JP2702987B2 - イオンビーム加工装置 - Google Patents
イオンビーム加工装置Info
- Publication number
- JP2702987B2 JP2702987B2 JP63244123A JP24412388A JP2702987B2 JP 2702987 B2 JP2702987 B2 JP 2702987B2 JP 63244123 A JP63244123 A JP 63244123A JP 24412388 A JP24412388 A JP 24412388A JP 2702987 B2 JP2702987 B2 JP 2702987B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- neutralizer
- current
- ion beam
- wire
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims description 17
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 12
- 238000012885 constant function Methods 0.000 claims description 4
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はイオンビーム加工装置に係り、特に、イオン
源より試料に照射されるイオンビームを中和するための
ニュートラライザを備えたイオンビーム加工装置に関す
る。
源より試料に照射されるイオンビームを中和するための
ニュートラライザを備えたイオンビーム加工装置に関す
る。
従来、絶縁物や孤立パターンをもつ試料に、イオンビ
ームを照射して加工する場合には、イオンビーム照射に
よるチヤージアツプ防止のため、実開昭61−199860号公
報に記載のように、ニユートラライザ線、ニユートララ
イザ電源を取付け、ニユートラライザ線に、ニユートラ
ライザ電源より電流を流して加熱し、熱電子を放出させ
中和する工夫がされていた。
ームを照射して加工する場合には、イオンビーム照射に
よるチヤージアツプ防止のため、実開昭61−199860号公
報に記載のように、ニユートラライザ線、ニユートララ
イザ電源を取付け、ニユートラライザ線に、ニユートラ
ライザ電源より電流を流して加熱し、熱電子を放出させ
中和する工夫がされていた。
また、ニユートラライザよりの熱電子の調整は色々の
方法がとられてきた。例えば、イオン源と、試料の間に
シヤツタを設け、シヤツタ電流を監視しながら、シヤツ
タ電流が零となるようにニユートラライザ電源の出力電
流を調整することなどであつた。
方法がとられてきた。例えば、イオン源と、試料の間に
シヤツタを設け、シヤツタ電流を監視しながら、シヤツ
タ電流が零となるようにニユートラライザ電源の出力電
流を調整することなどであつた。
上記従来技術では、調整を手動でおこなつていたた
め、自動化にするのに問題があつた。
め、自動化にするのに問題があつた。
本発明の目的は、ニユートラライザの調整を自動化
し、手動調整が不要なイオンビーム加工装置を提供する
ことにある。
し、手動調整が不要なイオンビーム加工装置を提供する
ことにある。
上記目的は、イオン源と、該イオン源より試料に照射
されるイオンビームを中和するための熱電子を放出する
ニュートラライザ線と、該ニュートラライザ線に電流を
流すニュートラライザ電源と、前記イオン源の加速電流
を検出する加速電流検出器と、前記ニュートラライザ線
の熱電子放出電流を検出する熱電子電流検出器と、該熱
電子電流検出器により検出された熱電子放出電流が前記
加速電流検出器により検出された加速電流の一定関数に
なるように前記ニュートラライザ電源にフィードバック
する自動調整器とを備えたイオンビーム加工装置とする
ことにより達成される。
されるイオンビームを中和するための熱電子を放出する
ニュートラライザ線と、該ニュートラライザ線に電流を
流すニュートラライザ電源と、前記イオン源の加速電流
を検出する加速電流検出器と、前記ニュートラライザ線
の熱電子放出電流を検出する熱電子電流検出器と、該熱
電子電流検出器により検出された熱電子放出電流が前記
加速電流検出器により検出された加速電流の一定関数に
なるように前記ニュートラライザ電源にフィードバック
する自動調整器とを備えたイオンビーム加工装置とする
ことにより達成される。
加速電流値は、イオンビーム量とほぼ比例関係にあ
り、かつ、ニユートラライザ線よりの熱電子のうち、加
速電流の中和に使用される量は、真空チヤンバの大きさ
や、ニユートラライザの取付位置で決まる装置固有の値
であるため、ニユートラライザ線よりのエミツシヨン電
流を、加速電流の関数値となるようにフイードバツクす
ることにより、常に、最適値となり、手動調整が不要と
なる。
り、かつ、ニユートラライザ線よりの熱電子のうち、加
速電流の中和に使用される量は、真空チヤンバの大きさ
や、ニユートラライザの取付位置で決まる装置固有の値
であるため、ニユートラライザ線よりのエミツシヨン電
流を、加速電流の関数値となるようにフイードバツクす
ることにより、常に、最適値となり、手動調整が不要と
なる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
フイラメント線1a、フイラメント電源1b、アーク電源
1c、加速電源1d、減速電源1e等よりなるイオン源１よ
り、イオンビーム２を照射し、試料３を加工する。この
とき、試料３が孤立パターンを備えたり絶縁物であると
き、ニユートラライザ線４に、ニユートラライザ電源５
より、電流を流して加熱し、熱電子６を放出してイオン
ビーム２を中和させる。ここで、ニユートラライザ電源
５の出力は、熱電子電流検出器８により検出された熱電
子放出電流が、加熱電流検出器７により検出された加速
電流のある一定関数になるよう、自動調整器９によりフ
イードバツクされる。
1c、加速電源1d、減速電源1e等よりなるイオン源１よ
り、イオンビーム２を照射し、試料３を加工する。この
とき、試料３が孤立パターンを備えたり絶縁物であると
き、ニユートラライザ線４に、ニユートラライザ電源５
より、電流を流して加熱し、熱電子６を放出してイオン
ビーム２を中和させる。ここで、ニユートラライザ電源
５の出力は、熱電子電流検出器８により検出された熱電
子放出電流が、加熱電流検出器７により検出された加速
電流のある一定関数になるよう、自動調整器９によりフ
イードバツクされる。
なお、上述の一定関数とは、たとえば、以下の式で表
現される。
現される。
ISET＝（IACC＋ａ）xb ここで、ISET:ニユートラライザ出力値 IACC:加速電流 a,b :定数 a,bは、チヤンバの大きさ、及び、ニユートラライザ
線で決まる固有の値であり、装置により決まり毎回調整
する必要はない。なお、関数は、上記式に限るものでは
なく、二次式、非線形式等装置により式がかわる。
線で決まる固有の値であり、装置により決まり毎回調整
する必要はない。なお、関数は、上記式に限るものでは
なく、二次式、非線形式等装置により式がかわる。
本実施例によれば、加速電流出力設定値が変化した
り、ニユートラライザの線径が変化しても、自動的に最
適値に調整され、手動の調整が不要となる。
り、ニユートラライザの線径が変化しても、自動的に最
適値に調整され、手動の調整が不要となる。
以上説明した本発明のイオンビーム加工装置によれ
ば、イオン源と、該イオン源より試料に照射されるイオ
ンビームを中和するための熱電子を放出するニュートラ
ライザ線と、該ニュートラライザ線に電流を流すニュー
トラライザ電源と、前記イオン源の加速電流を検出する
加速電流検出器と、前記ニュートラライザ線の熱電子放
出電流を検出する熱電子電流検出器と、該熱電子電流検
出器により検出された熱電子放出電流が前記加速電流検
出器により検出された加速電流の一定関数になるように
前記ニュートラライザ電源にフィードバックする自動調
整器とを備えたものであるから、 ニュートラライザの調整が自動化され手動調整が不要
になるので、この種イオンビーム加工装置には有効であ
る。
ば、イオン源と、該イオン源より試料に照射されるイオ
ンビームを中和するための熱電子を放出するニュートラ
ライザ線と、該ニュートラライザ線に電流を流すニュー
トラライザ電源と、前記イオン源の加速電流を検出する
加速電流検出器と、前記ニュートラライザ線の熱電子放
出電流を検出する熱電子電流検出器と、該熱電子電流検
出器により検出された熱電子放出電流が前記加速電流検
出器により検出された加速電流の一定関数になるように
前記ニュートラライザ電源にフィードバックする自動調
整器とを備えたものであるから、 ニュートラライザの調整が自動化され手動調整が不要
になるので、この種イオンビーム加工装置には有効であ
る。
第１図は本発明の一実施例の系統図である。 １……イオン源、２……イオンビーム、３……試料、４
……ニユートラライザ線、５……熱電子、６……加速電
流検出器、８……熱電子電流検出器、９……自動調整
器。
……ニユートラライザ線、５……熱電子、６……加速電
流検出器、８……熱電子電流検出器、９……自動調整
器。
Claims (1)
- 【請求項１】イオン源と、該イオン源より試料に照射さ
れるイオンビームを中和するための熱電子を放出するニ
ュートラライザ線と、該ニュートラライザ線に電流を流
すニュートラライザ電源と、前記イオン源の加速電流を
検出する加速電流検出器と、前記ニュートラライザ線の
熱電子放出電流を検出する熱電子電流検出器と、該熱電
子電流検出器により検出された熱電子放出電流が前記加
速電流検出器により検出された加速電流の一定関数にな
るように前記ニュートラライザ電源にフィードバックす
る自動調整器とを備えたことを特徴とするイオンビーム
加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63244123A JP2702987B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | イオンビーム加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63244123A JP2702987B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | イオンビーム加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0294241A JPH0294241A (ja) | 1990-04-05 |
| JP2702987B2 true JP2702987B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=17114104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63244123A Expired - Fee Related JP2702987B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | イオンビーム加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2702987B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199880A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | イオンミリング装置 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63244123A patent/JP2702987B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0294241A (ja) | 1990-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1500849A (en) | Method and apparatus for examining a body by a beam of x-rays or other penetrating radiation | |
| US4803716A (en) | X-ray diagnostics installation for radiographs | |
| KR970067590A (ko) | 하전빔 노광 시스템 및 하전빔 노광 방법 | |
| US3825839A (en) | Constant current field emission electron gun | |
| EP0200272A3 (en) | X-ray examination system and method of controlling an exposure | |
| JP2702987B2 (ja) | イオンビーム加工装置 | |
| US6094473A (en) | Digital automatic X-ray exposure control system | |
| EP0160479A2 (en) | Method and apparatus for forming a thin film | |
| US4686466A (en) | Method for automatically setting the voltage resolution in particle beam measuring devices and apparatus for implementation thereof | |
| JPH11233300A (ja) | 粒子加速器 | |
| JPS60198726A (ja) | Ｘ線露光装置の露光量調整方法と装置 | |
| JPH07169433A (ja) | イオン注入装置 | |
| JP3081965B2 (ja) | イオンビーム発生装置 | |
| JP2762298B2 (ja) | イオン注入装置の帯電抑制装置 | |
| JPS6335399Y2 (ja) | ||
| JP2750465B2 (ja) | イオン発生装置 | |
| JP2621369B2 (ja) | 電子ビーム加工装置 | |
| JPH0636721A (ja) | イオンビーム分析装置における対物スリット板のスリット間隙幅自動調整方法 | |
| JPS63109438U (ja) | ||
| GB2038544A (en) | The minimisation of surface originating contamination in electron microscopes | |
| JP2954141B2 (ja) | イオン注入装置のイオンビームの中和方法 | |
| JPH04357657A (ja) | イオン処理装置 | |
| JPS6014462B2 (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| JPH0545500A (ja) | 電子線照射装置 | |
| JPH04337232A (ja) | イオン電流経時変化検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |