JPH03111701A - 工作物測定装置を備えた光学素子加工装置 - Google Patents

工作物測定装置を備えた光学素子加工装置

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JPH03111701A
JPH03111701A JP24995289A JP24995289A JPH03111701A JP H03111701 A JPH03111701 A JP H03111701A JP 24995289 A JP24995289 A JP 24995289A JP 24995289 A JP24995289 A JP 24995289A JP H03111701 A JPH03111701 A JP H03111701A
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始 田村
Naoyuki Kishida
尚之 岸田
Kazuo Ushiyama
一雄 牛山
Toshihiro Isshiki
一色 敏浩
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は加工された光学素子の寸法精度を数値制御技術
を利用し自動的に確認するようにした工作物測定方法お
よび装置に関するものである。
(従来の技術) この種の光学素子の寸法精度、特にその中心厚さ、スラ
スト寸法および曲率半径は、第6〜8図及び光学工業技
術研究組合発行“レンズ・プリズム加工技術°80”に
示すように、簡単な横置を使用し加工装置から取り外し
た後、個別に測定していた。
即ち、第6図はダイヤルゲージ等の簡単な測定器12を
使用し、ワーク(レンズ)2の中心厚さを計測する装置
を示し、台13の上面が測定器12の垂直線上で凸面と
なっている。
又、第7図は台13を平面としワーク2の平面部分にお
いてワークのイラスト寸法を計る手動測定装置を示す。
更に、第8図は球面環(リング)14と測定器12とを
用いてワーク(レンズ)2の曲率半径をマスターレンズ
との比較で計る手動測定装置を示す。
(発明が解決しようとする課題) この種光学素子の寸法精度、特に中心厚さ、スラスト寸
法および曲率半径は品質を維持管理するうえで重要な中
間検査(インライン計測)として行われているが、それ
ぞれを、各々特有の装置により測定しているため作業工
数がかかる欠点があった。
又、測定を人間の感覚で行うため、測定誤差が発生する
可能性が大きかった。
更に、測定時ワークを加工装置から外して抜取り検査で
行っているが、その結果がタイムリーにフィードバック
されないため、品質のバラツキが発生することがしばし
ばあった。
又、加工装置上に測定器を持込んで、寸法精度の確認を
行うことも可能であるが、確認に時間がかかり実質的で
なかった。
本発明はかかる従来の欠点を除去し、寸法精度の確認を
光学素子が加工装置に保持されている状態で行うととも
にその結果をその場で直ちにフィードバックできるよう
にした工作物測定方法及び装置を提供することを目的と
する。
(課題を解決するための手段および作用)本発明工作物
測定装置はワークの搬送を行うローディング装置と、こ
のローディング装置に付設したタッチセンサと、ワーク
を保持し直角方向に移動するNC駆動装置と、その制御
装置とを備えるることを特徴とする。
また、本発明方法はワークの搬送を行うローディング装
置と、そのローディング装置に付設したタッチセンサと
、ワークを保持し直角方向に移動するNC駆動装置と、
その制御装置とで構成された工作物測定装置を用い、加
工機にワークを保持した状態で前記NC駆動装置の移動
量および前記制御装置の計算機能によりワークの寸法及
び形状を求めるようにしたことを特徴とする。
第1図及び第2図に示す本発明工作物測定方法の概念図
において、1はNC駆動する加工機本体を示し、ワーク
2を保持するコレットチャック11とワーク軸3を備え
ている。
4はワークを搬送するローディング装置を示し、ワーク
チャック5とともにタッチセンサ6を備えている。
7はNC制御装置を示し、ワーク軸3を2方向に駆動す
るサーボモータ8やローディング装置4のY方向位置制
御を行うサーボモータ9とともにタッチセンサ6に接続
されて演算処理を行った後、その出力を制御軸群10に
供給して所望の制御指示を行い得るようにする。
尚、タッチセンサ6の移動接線は、第2図に示すように
ワーク軸3のZ方向に対し直角方向であればいかなる方
向をもとり得るように配置する。
(第1実施例) 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明するが、以下
の図面において第1図に示した構成部分と同一部分には
同一符号を付して説明する。
第3図に示す本発明工作物測定方法を実施する装置にお
いて、1はNC駆動する加工機本体でワーク2を保持す
るコレットチャック11とワーク軸3とを有している。
ワークを搬送するローディング装置4はワークチャック
5とともにタッチセンサ6を備えている。
NC制御装置7はワーク軸3をZ方向に駆動するサーボ
モータ8およびローディング装置4のY方向位置制御を
行うサーボモータ9と共にタッチセンサー6に接続され
て演算処理を行い、その出力を制御軸群10に接続して
所望の制御指示を行い得るようにする。
かように構成された本発明工作物測定装置の作動を加工
装置と関連させて説明する。
自動ガラス研削機で加工するワーク(レンズの被測定物
)2は、まずコンベア等(図示せず)の位置からローデ
ィング装置4に装着したワークチャック5により保持し
、ワーク軸3の下側に移送後、加工機のコレットチャッ
ク11により把持し、加工工具(図示せず)に押当てる
ことにより、加工される。本発明はその加工後のワーク
2を測定する方法である。
ローディング装置4は、サーボモータ9とNC制御装置
7によりミクロンオーダで任意に位置決めできる構造と
なっており、かつ、ワーク軸3のZ方向に対し直角方向
であればいかなる方向をもとり得るように配置されてい
るため、これに装着しているタッチセンサ6もワーク2
の中心を通るように構成されている。
このタッチセンサ6としては、作動感知の繰返し再現性
が一ミクロン以下の高精度のセンサを使用するのがこう
できである。
ワーク軸3はサーボモータ8とNC制御装置7によりミ
クロンオーダでZ方向に移動し位置決め、検出ができる
構造とする。
この第1実施例では、ワーク2の中心厚さを計測する場
合の動作を順をおって説明する。
加工終了後のワーク軸3はZ方向の原点位置に移動し停
止している。次にタッチセンサー6がワーク軸線上に移
動後停止する。なお、Z方向の原点位置はワーク2の裏
面が接するコレットチャック■1のあてつけ面であり、
この基準点からタッチセンサ6の作動点までの距離aを
予め基準寸法としてNC制御装置7に記憶させておく。
次にワーク軸3をサーボモーター8により動かしワーク
2の面でタッチセンサー6が作動するまでの距離すはN
C制御装置7により係数されているので正確に測定され
る。従ってワーク2の中心厚さCは次式の簡単な計算で
求めることができる。
中心厚さC=基基準寸法−ワーク軸移動量すこの計算は
NC制御装置7で自動的に行われ表示されると共に公差
より外れた場合には次のワークにフィードバックさせる
べく制御軸群10に自動指令される。
このようにワークが加工機に保持された状態で自動加工
するのに必要な既存のユニットを利用しワーク2の中心
厚さを自動計測および処理するため、費用及び作業工数
がかからず、又、タイムリにフィードバックが掛かるた
め品質の安定を図ることができる。
(第2実施例) 第4図に本発明工作物測定方法を実施する装置の第2実
施例を示す。図中第3図に示す構成部材と同一部材には
同一符号を付して示し、その説明を省略する。従って本
例では構成の説明は省略し、ワーク2のスラスト計測を
行う場合の作動を順を追って説明する。
本実施例が第1実施例と相違する所はタッチセンサ6の
停止位置がワーク2の下向き平面位置に移動している点
である。
7−り2(以下レンズと称する)のスラスト寸法は裏面
(この場合は平面)の基準位置から表面の平面までの厚
さであり、しかるも裏面基準位置はコレットチャックの
あてつけ面である。従って、この基準点からタッチセン
サ6の作動点までの距離をa、レンズの下向き平面位置
が下降しタッチセンサ6が作動するまでの距離をbとす
れば、レンズスラスト寸法Cは次式で求めることができ
る。
スラスト寸法C=基準寸法a−ワーク軸移動量b タッチセンサ6の停止位置はZ軸線上+d寸法であるが
、この6寸法は図面より求めることができるため、この
値をあらかじめNC制御装置7に入れておくと計算し停
止位置を決めてくれる。この計算及びこれ以降の処理も
第1実施例と同一であるためその説明を省略する。
従って、ローディング装置4に装着したタッチセンサ6
の位置を僅か移動するだけで上述した所と同様の動作に
よりスラスト寸法を測定することができる。
(第3実施例) 第5図に本発明工作物測定方法を実施する装置の第3実
施例を示す。第5図において第3図に示す構成部材と同
一部材には同一符号を付して示し、その説明を省略する
。従って本例では構成の説明は省略し、ワーク2の曲率
半径の計測を行う場合の作動を順を追って説明する。
ワーク2(以下レンズと称する)の曲率半径は従来例の
球面計で計る方法からも明らかなように決められたレン
ゲ径CD)が被計測レンズアール面に接する底面からレ
ンズ頂点までの高さをhとすると、曲率半径Rは次式で
求めることができる。
R= (D/2) 2+h2/2h 一方、本例の構成素子を使ってレンズの曲率半径を計測
する場合には、第1実施例の方法によりタッチセンサ6
の作動点とレンズ頂点までの距離すとを求め、レンゲ径
に相当するDの1/2、つまり、f値を決め、Z軸線上
よりタッチセンサ6を移動させ、再度ワーク軸3を下降
しタッチセンサ6が作動するまでの距離dを求める。こ
の計測により上式の高さhを次式から求めることができ
る。
h=b−d 従って曲率半径Rは次式により求めることができる。
R=f2+h2/2h 尚f値は図面より求められるので、これを予めNC制御
装置7に入れておくと、これが自動的に計算し停止位置
を決めることができる。
かように、これらの一連の計算と動作はNC制御装置7
で自動的に行われ表示されると共に公差より外れた場合
には次ワークにフィードバックさせるべく制御軸群10
に自動指令されることは前記実施例の場合と同様である
本例は第1実施例と組合わせて実行することも容易であ
り、従って自動測定が一層短時間で行なえ、その効果は
大なるものである。
又、本例によれば基準リング等の特定治具を使うことな
く曲率半径Rの絶対値が計測できるため、汎用性が高(
なる。
(発明の効果) 上述したように、本発明工作物測定方法および装置によ
れば以下に示す効果を呈することができる。
ガラスの自動加工に必要な既存のユニットを利用し、こ
れにタッチセンサを付設しただけで、レンズの中心厚さ
、スラスト寸法、曲率半径が自動計測できるため、設備
費および治工具の費用がかからない。
3種類の検査項目が1回で自動計測し、処理できるため
品質の安定化が向上する。
NC制御装置によりタイムリにフィードバックを行うこ
とができるため、品質の安定化を一層向上させることが
できる。
ワークが加工機に保持された状態で自動測定を行うため
、人によるバラツキが発生せず、品質管理を行うのが容
易となる。
制御装置に数値データを入力するだけで計測できるため
汎用性が高くなる。。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明工作物測定方法の概念を示す説明図、 第2図は本発明工作物測定方法の制御軸の位置関係を示
す説明図、 第3図は中心厚さの測定を行う本発明工作物測定方法を
実施する装置の第1実施例を示す説明図、第4図はスラ
ストの測定を行う本発明工作物測定方法を実施する装置
の第2実施例を示す説明図、第5図は曲率半径の測定を
行う本発明工作物測定方法を実施する装置の第3実施例
を示す説明図、第6図は中心厚さの測定を行う従来の工
作物測定方法を実施する装置を示す説明図、 第7図はスラストの測定を行う従来の工作物測定方法を
実施する装置を示す説明図、 第8図は曲率半径の測定を行う従来の工作物測定方法を
実施する装置を示す説明図である。 加工機本体 ワーク ワーク軸 ローディング装置 ワークチャック タッチセンサ NC制御装置 サーボモータ サーボモータ 制御軸群 コレットチャック 測定器 台 基準環(リング)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ワークの搬送を行うローディング装置と、このロー
    ディング装置に付設したタッチセンサと、ワークを保持
    し直角方向に移動するNC駆動装置と、その制御装置と
    を備えるることを特徴とする工作物測定装置。 2、ワークの搬送を行うローディング装置と、そのロー
    ディング装置に付設したタッチセンサと、ワークを保持
    し直角方向に移動するNC駆動装置と、その制御装置と
    で構成された工作物測定装置を用い、加工機にワークを
    保持した状態で前記NC駆動装置の移動量および前記制
    御装置の計算機能によりワークの寸法及び形状を求める
    ようにしたことを特徴とする工作物測定方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0754522A1 (fr) * 1995-07-18 1997-01-22 Commissariat A L'energie Atomique Procédé d'évaluation de différents défauts d'une machine d'usinage
JP2013217906A (ja) * 2012-03-13 2013-10-24 Toshiba Mach Co Ltd 機上測定機能付き加工装置

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