JPS61231406A - 寸法測定装置 - Google Patents

寸法測定装置

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JPS61231406A
JPS61231406A JP61071424A JP7142486A JPS61231406A JP S61231406 A JPS61231406 A JP S61231406A JP 61071424 A JP61071424 A JP 61071424A JP 7142486 A JP7142486 A JP 7142486A JP S61231406 A JPS61231406 A JP S61231406A
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JP61071424A
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フランコ、ダニエリ
セルジオ、ソラロリ
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Finike Italiana Marposs SpA
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Finike Italiana Marposs SpA
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Publication date
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41875Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/08Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37207Verify, probe, workpiece
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の目的) (産業上の利用分野) この発明は機械部品の寸法を検査する装置に関するもの
で支持手段、第1および第2の機械部品の機械的な位置
決めのための第1及び第2の参照手段と、支持手段に結
合されて第1および第2の部品を検査するための測定手
段と、測定手段および参照手@間の相互変位を生じさせ
て測定手段と第1および第2の部品間の相互位置決めを
達成する駆動制御手段を有するものに関する。
(従来の技術) よく知られているように機械工業、特に自動車工業にお
いて用いられている部品は通常同じ、あるいはより頻繁
には異なる工作機械によって後続する加工が行なわれる
特に回転機械を参照すると開度用の近代的な旋盤が広い
範囲で自動化され、同時にコンピュータ数値制御および
部品の取り扱い、工具の交換のための自動システム、回
転工具および近年はジョーの交換のための自動システム
を使用することによって適応性が良好になっているにも
かかわらず非常に頻繁な加工作業が行なわれている。す
なわち第1の部品がその一端をつかむ第1の旋盤のチャ
ック部にセットされその旋盤により加工される。
そして取りはずされ他の旋盤のチャック部に他端がつか
まれ第1の旋盤のチャック部につかまれた部分に関して
その部品を加工するためにセットされる。もちろん第2
の旋盤が第1の部品を加工している間第1の旋盤は後続
の部品を加工し、この動作が続くこととなる。
機械部品の公差を減少させる傾向に鑑みて作業の数を減
少させたり省略するために作業を自動化し、またサイク
ルタイムを短かくするために加工部品の寸法を自動的に
チェックするための測定装置が用いられることが知られ
ている。特に公知の装置は旋盤で加工された部品を内径
、外径、厚さ、縦方向長さ、円筒度等に関してr後工程
」検査をするために適用される。
通常このような装置は旋盤に用いられる被加工物ハンド
リングシステム(パレットコンベア、ロボット、ガント
リーローダ等)と同じハンドリングシステムによって補
助される。
近代的な旋盤はコンピュータ数値制御にロードされる関
連したプログラムに依存して非常に短かいサイクルタイ
ムで各種の形状の部品を加工するのに用いられるので、
バッチ加工する傾向を考慮して、後工程検査装置の重要
な特性はフレキシビリティすなわち装置を再セットする
複雑な作業を必要とすることなしに各種の部品を検査す
る能力および迅速性、さらに高精度と測定の再現性であ
る。
(発明が解決しようとする問題点) このような対照的な要求間の最適な妥協を得ることは容
易ではなく一般に測定装置の高価格をまるく。
異なったタイプの部品を検査するための測定装置のコス
トを低下させるためには、測定手段と機械的な参照手段
により位置決めされる複数の部品間の相互変位を行なう
ことの可能な共通のハンドリングシステムを用いること
が知られている。
特に、ドイツ特許1101777はその第1の特許請求
の範囲′の全文によれば異なったタイプの複数の部品の
位置決めをディスクの周辺部に関連して行なう機械的な
参照手段を有する回転ディスクと複数の固定測定ステー
ションを備えたことが記載されている。部品はディスク
の段階的な回転により対応する測定ステーションの位置
へ変位される。
この公知の装置は測定手段に関する限りフレキシブルで
はない。なぜならば各ステーションは定まったタイプの
部品を検査するようになっているからである。従ってこ
の装置は上述の応用分野における必要に適合しない。
本発明の目的は高精度や再現性のほかに非常にフレキシ
ブルで高速でありかつ高価でない測定装置を提供するこ
とである。
(問題点を解決するための手段) 本発明によれば前述した装置において第1と第2の参照
手段が支持手段に関して実質的に固定されて位置決めさ
れており、測定手段は支持手段上を動く第1のスライド
、少なくとも第1のスライド上を動く第2のスライド、
第2のスライド上に配置された第1の検知手段、第1お
よび第2のスライドの位置を検知手段、第1および第2
のスライドの位置を検出するトランスジューサ手段を備
えており第1の検知手段は第1および第2の参照手段に
関してほぼ対称的な位置に配設されている。
本発明は同じ測定手段を用いることにより異なった機械
的参照位置に配置された異なったタイプの部品を検査す
るという問題を解決する。
〔発明の効果〕
このタイプの装置によれば次のような結果および利点が
得られる。
この装置は異なった旋盤または一つまたは2つの回転軸
を有する同一の旋盤において第1および第2の作業を行
なう部品の検査に特に適する。一対の旋盤上での加工作
業の場合装置は2つの旋盤に関してほぼ対称の配置とな
るように位置決めされ、このようにすることは被加工物
の取り扱い作業を容易にする。測定手段は当該部品に対
する第1および第2の参照手段に関し対称な配置および
位置とすることができ、このことは測定手段を第1およ
び第2の参照手段上に位置決めされた部品と迅速に共動
させる上で有利である。このような対称配置および位置
は単純な運動要素の使用を可能にし、装置の精度と再現
性に貢猷する。
(実施例) 以下本発明を好ましい実施例を図示する図面に従って詳
細に説明する。
第1図に示された加工および測定セルは装入コンベア1
、キャビネット3にプログラマブルコントローラととも
に含まれるコンピータ数値制御(CNC)を伴った第1
の旋盤2、キャビネット5に含まれるCNC42により
制御される測定装置4、CNCおよび電気機器筺体7を
伴った第2の旋盤6、排出コンベア8、ダブルグリッパ
を有するキャリッジ10を伴ったガントリローダ9、ロ
ーダ9およびコンベア1,8の駆動部をキャビネット3
.5.7に収められたコンピュータ数値制御器と同等に
制御する中央コンピュータ11を備えている。
第1図のセルはよく知られた形式であり測定装置4から
は離れている。
部品12は装入コンベア1によりピックアップ位置向け
て少しずつ前進させられる。
ガントリローダ9のキャリッジ10は適当に動き旋盤2
のスピンドル16上にその一端をチャックされて取り付
けられたグリッパ(図示せず)の1つによりコンベア1
から第1の部品12を取り出す。旋盤2上での加工後キ
ャリッジ10は第の部品12をつかみ上げ他のグリッパ
によりスピンドル16上に載せ、すでにコンベア1から
取り出された第2の部品12をつかみ上げて第1の部品
12を装置i4の第1の参照手段13上に運ぶ。
CNC42は測定装置15の第1の部品12に対する測
定されるべきか変位を制御する。チェック−結果が、こ
の部品12はすでに行なわれた作業に関する限り良好で
あることを示している時はキャリッジ10は同じ部品1
2を再びつかみ上げて第2の旋!86に運ぶ。部品12
は旋!86のスピンドル17に、ずでに加工された端部
をチャックされ、他端部が加工される。
キャリッジ10は第1の部品12を再びつかみ上げ、装
W4の第2の参照手段14上に運ぶ。
CNC42は、第1の部品12についての他のチェック
を行なうために、測定手段15の変位を制御する。
第2のチェック結果に基づいて、キャリッジ10は部品
12が良品か回復できないスクラップか後続の加工作業
により回復できるものであるかに応じて部品12をつか
み上げコンベア8に対する関連する取り出し位置に配置
する。
第2図は第1のセルの期間Tcのサイクル中における作
業段階を示すタイムチャートである。
横座標は時間Tを示し縦座標は121から126であら
れされる6つの部品12に対する実際の段階を示す。
文字AからNは次のような段階を示している。
A:部品12をコンベア1から旋盤2へ移送。
第2図においては実際は部品125の移送を示している
B:旋!12上の2つの部品12を交換。
第2図の場合には部品12 と125の交換を示してい
る。
C:旋盤2から参照手段13に向けて移送。
E:参照手段13上での2つの部品12の交換。
F:参照手段13上で部品12の測定。
G:部品12の参照手段13から旋5JI6への移送。
H:部品12の旋盤6上での交換。
■=旋盤6上での加工。
J:旋盤6から参照手段14への移送。
K:2つの部品12の参照手段14上での交換。
L:参照手段14上での部品12の測定。
M:参照手段14からコンベア8へ部品12の移送。
N:コンベア8上の部品12の取り出し、他の新らしい
部品12のコンベア1からのつかみ上げ。
セルの作業サイクルは第2図に示されたものと異なって
表われることがある。例えば測定装置4が第1の旋盤2
上での加工直後部品12が回復可能あるいは回復不可能
なスクラップであると判定した場合にはこの部品は適当
な場所で排出コンベア上に直接取り出される。
第1図に示されるように旋12および6の特にスピンド
ル16および17の配置に関する構造、および参照手段
13.14の構造は部品12が旋giI2および6双方
および測定装置4上での同一方向を維持するようなもの
である。
同様のことは部品12が台18上に位置決めされるコン
ベア1および部品12の良品、回復可能なスクラップ、
回復不可能なスクラップに対応する台19,20.21
を有するコンベア8に適用される。このことは部品12
を取扱う部分および作業を単純化する。
測定装置は第3図を参照してさらに説明される。
参照手段は基本的に回転対称である部品12を横方向±
Xに沿って位置決めするためのV字型の基準構造をなす
2対の止め板13.14を備えている。さらに接合要素
22.23が部品12(第1図中では12 と121)
の軸方向位置決めすなわら縦方向±7に沿って位置決め
を保証する。
参照手段13,14,22.23は測定手段15の摺動
を可能にする縦方向ガイド25.26を有するベッドま
たはベース24による支持手段により支持される。
装置4の測定手段15はモータ29に適当な運動部材、
例えば参照番号28で示される送りネジと割れナツトを
介して結合された第1の縦方向スライドを有している。
縦方向スライド27は比較測定ヘッド33゜34により
構成されている関係検知手段を運ぶ2つの横方向スライ
ド31.32が沿って動きうる移送ガイド30を有して
いる。横スライド31゜32はこのスライドに参照番号
36で示−される適当な運動部材を介して結合されたモ
ータ35によって一時的に駆動される。この運動部材3
6は例えば一つが右ネジ他方が左ネジの2つのネジを有
するステムで時計方向および反時計方向のモータの回転
動作により横方向スライド31を相互に近づけ、また遠
ざけるようにしている。スライド31.32および測定
ヘッド33.34は装置4の幾何学的縦軸およびまたは
第1の参照手段′13および第2の参照手段13により
定義されこの幾何学的軸を含む縦方向対称面にに関して
常に対称に配置される。
退避状態においては縦方向スライド27および横方向ス
ライド31.32は装置4の直交方向幾何学軸に関連し
て配置され、測定ヘッド33゜34は第1および第2の
参照手段13.14に関してほぼ対称な配置を有する。
測定ヘッド33゜34は同一でありよく知られた形式の
ものであるので詳細な説明を省略する。例えばヘッド3
3は検知要素あるいは例えば弾性的な平行四辺形の形式
の2つの可動アームセットに支持された可動アーム37
を有しており2つの軸±2および士×にほぼ沿って動く
ようにされている。ここで2およびXは装置14の縦方
向および横方向の幾何学的軸の方向を表わす。ヘッド3
3の要素には同じ参照番号で示される。もちろんヘッド
34の可動アーム37′は±2および±Xにそって変位
可能となっている。
可動アーム37は関連する接触子40.41を運ぶ2つ
の対向する延出部38.39を含む接触手段を有してお
りその接触子40.41は退避位置でスライド27の幾
何学軸すなわち装置4の直交方向幾何学軸に関して対称
に配置されている。
接触子40は参照手段13上に配置された部品124に
接するようにされ接触子41は参照手段14上に配置さ
れた部品121に接触するようにされている。
ヘッド33.34は例えば差動トランス型の位置トラン
スジューサを有しており退避位置からの可動アーム37
.37’の変位を測定するようにされる。
CNC42に加えてキャビネット5内には入出力回路4
3およびプログラムコントロニラ44が収納されている
他の部分との間では入出力回路43はモータ29および
35、測定ヘッド33.34.2つの累積的リニアトラ
ンスジューサ45により構成されるトランスジューサと
接続されている。
光学スケール型のリニアトランスジューサ45は装置4
の縦軸に一致した幾何学軸を定義するように配置されベ
ース24上に固定された目盛のついたスケール47およ
びスライド27に固定されたスライド48を有すること
が望ましい。
リニアトランスジューサ46はスライド31に固定され
た目盛のついたスケール49とスライド32に固定され
たスライド50を備えている。第4図の簡略化された機
能ダイヤグラムはトランスジューサおよび測定手段、駆
動および制御手段および装置4の処理手段を示している
。特に第4図はキャビネット5に収納された外径チェッ
ク用の回路を示している。
リニアトランスジューサ45はモータ29を駆動してい
るグループ54に接続されているカウンタ53に接続さ
れている。リニアトランスジューサ46はカウンタ55
を介してモータ35を駆動するグループ56に接続され
ている。
グループ54および56は数値制御42にロードされる
プログラムに依存して制御される。
測定ヘッド33および34の出力信号は2つの増幅器5
7.58を介してアナログ合計回路59に達する。アナ
ログ合計回路59の出力はグループ56、アナログ/デ
ジタル変換器60の入力側および比較あるいは参照電圧
を供給する回路62に接続された他の入力を有する有効
化回路61に接続されている。デジタル加算回路63は
それぞれカウンタ55の変換器60、およびレジスタ回
路64の出力側に接続された3つの入力を有しており、
出力はサンプルホールド回路65に接続されている。
回路61からの第2の入力を有する回路65はディプレ
イユニット66に接続された出力を有している。
測定装置4の部品12の外径測定を数値制御42にロー
ドされた関係プログラムに基づいて測定を行なう際の動
作は次のように説明される。退避位置においてはスライ
ド27は第3図の位置にありこの時スライド31.32
は最大距離の位置にある。すなわち接触子40と40′
はとり得る最大の相互距離に位置する。
CNC42の制御のもとにモータ29はスライド27を
Z方向に沿って接触子40.40’が外径をチェックさ
れる部品124の断面に関して配置されるまで送られる
スライド27の正確な位置決めはリニアトランスジュー
サ45により得られる。
モータ35は数値制御42にロードされたプログラムに
従って起動されスライド31および32を方向−Xおよ
び+Xに沿ってそれぞれ変位させることにより相互に近
づける。装置4の縦軸および部品12の幾何学軸(すな
わち参照手段13により定義される対称面に)関して常
に対称に配置されるスライド31および32の相互位置
はリニアトランスジューサ46により検出される。合計
回路59の出力信号の値に依存して駆動群56はスピー
ドの減速とモータ35の停止を制御する。
主要部上の一装置4の初期ゼロセット動作の間接触子4
0.40’の外径(直径)、これらの退避状態における
距離同じく退避状態におけるトランスジューサ46と測
定ヘッド33.34の信号値等のいくつかのパラメータ
に依存した修正値がレジスタ回路64中に記憶されてい
る。
従って接触子40.40’が部品124に接触し測定ヘ
ッド33.34がその直線状動作領域内で動作した時デ
ジタル加算回路63の出力信号が部品124の外径を示
していることは明らかである。
この測定信号は検出され回路65により記憶されるが、
これはコンパレータ61により有効とされる。
最後に回路65の出力信号はユニット66により表示さ
れ、キャビネット5内に含まれるプリンタにより記録す
ることが可能である。
検出された直径値がスクラップ部品124に関するもの
である時はCNC42はコンベア8上に置かれた部品1
24の取り出しを制御する信号をコンピュータ11に送
る。
外径の測定(および同様内径の測定)は静的あるいは動
的(すなわち静止あるいは可動スライド31.32)に
可能でありトランスジユーザ46をそのヘッド33.3
4と結合することにより行なわれる。
関連する接触子40.40’が部品124と接触した時
に2つの測定と33.34の信号を用いて各外径の測定
が行なわれるので高速および高精度が達成される。
軸寸法のチェックも、例えば部品124の表面70と7
1間の距離は2つのヘッド33および34を用いて行な
われこれらの信号はトランスジューサ45の信号と結合
される。
このようにして装置4の縦軸に関する測定された軸距離
を参照することが可能となり高精度と再現性が保証され
る。
測定の検出および処理のための回路は本発明の主要な目
的でなく米国特許456248([) anielli
)に記載されているため説明を省略する。
本発明によれば部品例えば第3図の参照手段14.23
上に配置された部品121をチェックするために前述し
たようにヘッド33.34およびトランスジューサ45
.46が使用されている。
特別の形状を有する部品に対しては突出部38゜39の
形は異なることができる。さらに特別の形を有する部品
に対してはいつも第5図において参照される変形例を使
用することが有利である。
第5図を参照すると回転対称で周凹のみぞ81を有する
部品80をチェックするのに望ましい場合には、スライ
ド31に剛性的に固定されるよりもヘッド33の少なく
とも2つの位置を確定するのに適した結合手段を介して
取り付けられる。特にヘッド33はスライド31に固定
された軸またはビン82に関して回転可能となっており
、スライド31に固定された83.84および85゜8
6により確定され実線および破線により示される2つの
位置に配置される。その変位はヘッド33の90’回転
を引き起こすようにレバー87を操作することにより相
互にかつ自動的に得られる。
制御要素88は例えば二重動作シリンダを介して変位を
制御することができ、受は部83.84または85.8
6に対してヘッド33の位置を正確に確定するために、
例えば空気圧型の弾性スラストを適用することができる
参照手段13.14,22.23は装置4が部品の非常
に異なった形状および寸法をチェックするために迅速に
再配置されるように調整可能あるいは容易に交換可能で
あるようにされ得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は2つの旋盤と1つの測定装置を含む下降および
測定セルをしめず概略構造平面図、第2図は第1図のセ
ルの1つの作業サイクルの各種の段階を示す説明図、第
3図は測定装置の概略平面図、第4図は測定装置の回路
の機能ブロックダイヤグラム、第5図は第4図までの装
置の変形例を示す拡大構造図である。 1・・・装入コンベア、2・・・第1の旋盤、4・・・
測定装置、6・・・第2の旋盤、8・・・排出コンベア
、9・・・ガントリローダ、10・・・キャリッジ、1
1・・・コンピュータ、12・・・部品、13・・・第
1の参照手段、14・・・第2の参照手段、15・・・
測定手段、16゜17・・・スピンドル、22.23・
・・接合要素、22゜26・・・縦方向ガイド、27・
・・縦方向スライド、29.35・・・モータ、31.
32・・・横方向スライド、33.34・・・測定ヘッ
ド、37・・・可動アーム、40.41・・・接触子、
/15・・・トランスジューサ、47・・・スケール、
48・・・スライド、50・・・スライド。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、支持手段と、 この支持手段に関し、実質的に固定されて配置され第1
    および第2の部品を機械的に位置決めするための第1お
    よび第2の参照手段と、 前記第1および第2の部品を検査するために前記支持手
    段に結合され、前記支持手段上を可動の第1のスライド
    、その第1のスライド上を可動の少なくとも1つの第2
    のスライドと、前記第2のスライド上に配置された第1
    の検知手段および前記第1および第2のスライドの位置
    を検出するためのトランスジューサ手段とを備えた測定
    手段と、前記第1および第2の部品に関して測定手段の
    位置決めを行なうために測定手段の変位を生じさせる駆
    動および制御手段とを備え、前記第1の検知手段は前記
    第1および第2の参照手段に対しほぼ対称に配置された
    ことを特徴とする機械部品の寸法房検査装置。 2、測定手段が第1のスライド上を可動の第3のスライ
    ドを有しその第3のスライド上に第2の検知手段が配置
    され前記第2の検知手段は第1および第2の参照手段に
    関してほぼ対称に配置されてなることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の測定装置。 3、第1および第2の参照手段が縦方向対称面を確定す
    るようにされ、前記第1のスライドは縦軸に沿って可動
    であり、第2および第3のスライドは直交方向に可動で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の測定
    装置。 4、第2および第3のスライドが縦方向対称面に関して
    対称な位置に配置されたことを特徴とする特許請求の範
    囲第3項記載の測定装置。 5、トランスジューサ手段が支持手段に関して第1のス
    ライドの位置を検出する第1のトランスジューサと第2
    および第3のスライドの相互位置を検出する第2のトラ
    ンスジューサを備えたことを特徴とする特許請求の範囲
    第4項記載の測定装置。 6、第1および第2の検知手段が第1および第2の部品
    に接触する関係接触手段をそれぞれ有する2つのヘッド
    を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の
    測定装置。 7、各ヘッドの接触手段が2つの接触部を有する可動ア
    ームを有し1つの接触部が第1の部品に接触し他の接触
    部が第2の部品に接触するようにされたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第6項記載の測定装置。 8、駆動および制御手段が第1のスライドの変位を制御
    する第1のモータと第2および第3のスライドの相互変
    位を制御する少なくとも1つの第2のモータを有してい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の測定装
    置。 9、ヘッドが測定ヘッドであり可動アームが少なくとも
    2つの軸に沿って可動であることを特徴とする特許請求
    の範囲第7項記載の測定装置。 10、第1の加工作業後に第1の部品を検査し第2の加
    工作業によって第1の部品から得られた第2の部品を検
    査するために第1および第2の参照手段が縦軸に関して
    同じ方向へ向くように部品を支持するように第1および
    第2の参照手段がなっていることを特徴とする特許請求
    の範囲第3項記載の測定装置。 11、第1および第2の参照手段が横方向に沿って部品
    を位置決めする退避部および縦方向に沿ってその部品を
    位置決めする受部を備えたことを特徴とする特許請求の
    範囲第10項記載の測定装置。 12、第1の検知手段は第2のスライドに関して第1の
    検知手段の少なくとも2つの位置を確定するような結合
    手段により第2のスライド上に配置されたことを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の測定装置。 13、第1および第2の検知手段が関係軸のまわりに回
    転可能に第2および第3のスライド上に配置され、第2
    および第3のスライドは第1および第2の検知手段の少
    なくとも2つの位置を確定するようにされた受部を確定
    していることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
    測定装置。
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