JPH02109662A - トレーサヘッドの検出誤差の補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ワークの３次元立体形状の寸法測定、倣い工
作機械における母型倣い、母型倣いデータから数値制御
工作機械のＮＣ加工用デジタルデータを作成するディジ
タイジングに用いられるトレ−サヘッドに関し、特に、
トレーサヘッド先端に接触測定子として着脱自在に設け
られるスタイラスの長さや重量、及びスタイラスの可動
ストローク長さの増加等の物理的条件が変化することに
より発生するトレーサヘッドの検出変位の誤差を補正す
ることにより、高い検出精度を実現可能にする誤差補正
方法に関する。

〔従来の技術〕

ワークの３次元立体形状の寸法測定、所望形状の母型を
倣うことにより工具動作を倣い制御して母型と同−又は
相似形状の加工品を機械加工する倣い工作機械、又は母
型倣いデータから数値制御工作機械用のＮＣデータを作
成し、そのＮＣデータを用いて数値制御工作機械を作動
させ得るようにするディジタイジング装置においては、
ワーク表面や母型表面を接触検出するスタイラスを先端
に備え、このスタイラスを弾性支持機構により直交３次
元方向に平行移動可能に自由支持すると共にそのスタイ
ラスの追従変位を電気信号として取り出す変位検出器を
各軸毎に内蔵したトレーサヘッドが用いられる。このよ
うなトレーサヘッドの従来の構成の最も典型的な例は、
特公昭５４−４３２３０号公報に開示されており、上記
変位検出器として差動トランスが最適に用いられること
は、周知である。上述の特公昭５４−４３２３０号公報
に開示されたトレーサヘッドは、スタイラスの支持に弾
性板と弾性筒とを用いることにより、スタイラスが測定
面や倣い面を走査して機械的変位を行う過程における摩
擦に原因した誤差の発生を排除した点で良好な機械的性
能を有していることが認められている。又、この公知の
トレーサヘッドを用いた効果的な立体形状測定方法と装
置が特公昭５３−０３９３５号公報に開示されている。

すなわち、スタイラスの被測定面との接触部が通常、球
形状部に形成されているため、上記被測定面がスタイラ
ス軸線に対して傾斜した面である場合には、被測定点と
球形状部との接触点にずれが生じることを考慮し、球形
状部の見掛けの中心を被測定点に一致させるように電気
的に補正を行い、傾斜面を含む非平面の高精度測定を実
現可能にしたものであり、この様な補正方法は３次元形
状の測定ばかりでなく、倣い工作機械にふける母型の複
雑な表面の倣い過程における変位検出においても基準変
位量の設定に効果的に実用されている。

〔発明が解決すべき問題点〕

然しなから、上述した弾性機構により自由支持したスタ
イラスを有したトレーサヘッドにおいてもなお種々の解
決すべき問題点が有る。即ち、この種の従来のトレーサ
ヘッドは、弾性支持機構を用いた自由支持構造を有して
いることから、原理的には上述の如く、直交３次元の各
軸方向くＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）に平行移動変位を行う構成
にあるが、スタイラスの検出変位が大き（なると、スタ
イラスの実際の変位量に対するトレーサヘッドの変位検
出器から得られる検出変位量とは１対１の関係からずれ
を生じ、第４図に示すように、スタイラスに対して与え
た変位量を横軸とし、該スタイラスを装着したトレーサ
ヘッドの変位検出器の検出変位出力を縦軸とする直交グ
ラフ表示において、所謂、非線型性が発生するため誤差
要因となる。

また、周知の自動スタイラス交換装置を有した倣い工作
機械やディジタイジング装置等にあって、トレーサへ、
ラドに着脱自在に装着されるスタイラスの長さが長短種
々異なることにより、スタイラスの同一変位量に対する
トレーサヘッドの変位検出器から検出される検出変位量
が一定にならない。

第５図に図示のように、スタイラスに対する与変位を横
軸、トレーサヘッドの変位検出器の検出変位を縦軸とす
るグラフにおいて、両者の関係直線が予め選定した標準
長さのスタイラスに関して得られる理想的な直線関係に
対して、スタイラス長さの増加に伴い横軸側に寝てくる
傾向を有するばらつきが生ずると言う検出精度の劣下に
繋がる問題点が発生する。これらはスタイラスを弾性支
持機構で支持することにより略理想的な平行移動構造を
実現したトレーサヘッドにおいては、最早、機械構造的
な改善では解決が困難な状態に到っている。故に、この
ような問題点の解決策として、従来はスタイラス長さに
応じた誤差早見表を予め作成し、作業者が装着するスタ
イラスの長さに対応した補正量をトレーサヘッドの基準
変位量の変更により設定する方策が取られたが、このよ
うな作業者の介在による補正対策は機械の自動化、無人
化の障害となるばかりでなく、自動スタイラス交換装置
を備えた倣い工作機械等では、予めスタイラス長さを一
定長さに揃えて準備しておかなければならない等の厄介
且つコスト高の原因となるような問題点を残存させる結
果と成っている。

更に、従来のトレーサヘッドによると、上記スタイラス
長さの変化に加えてスタイラス重量の変化によって、特
に、スタイラス軸心方向においてトレーサヘッドの変位
検出器における零点がずれる問題があった（第６図に図
示のように、重量の増加に従って与変位−検出変位の直
線が下方にずれる）。このような零点のずれを補正する
ためには、トレーサヘッドに装着されるスタイラスの重
量変化に対応してカウンタバランス装置を取付け、スタ
イラス軸心方向において、人手によりカウンタバランス
調整を行う方策が取られていた。このようなカウンタバ
ランス装置の介在は自動化の障害となり、自動スタイラ
ス交換装置を備えた倣い工作機械の場合には、該自動ス
タイラス交換装置に装填される種々異なる径を有した球
形部を持つ複数のスタイラスに就き、上述したスタイラ
ス長さと同時に重量をも予め相互に一致するようにスタ
イラスを、例えば、材料変更等の方法で製作する方法が
取られている。従って、スタイラスの加工を極めて煩瑣
にすると共にコスト低減を著しく困難にする問題を生じ
ている。

依って、本発明の主たる目的は、寸法測定及び倣い加工
等に用いられるトレーサヘッドにおける上述の諸問題を
解決し得る新規な解決策を提供して、トレーサヘッドに
よって従来より高精度な変位検出を可能にすることにあ
る。

本発明の他の目的は、トレーサヘッドの検出変位の誤差
を近時の高性能マイクロプロセッサの利用により、非機
械的に補正する新規な方法を提供することにある。

また、本発明の更に他の目的は、無人化、自動化を高度
に推進可能にした倣い工作機械等に適用可能なトレーサ
ヘッドを提供することにある。

〔解決手段〕

即ち、本発明によれば、被測定物や母型等の被検出面を
接触、走査するスタイラスと、該スタイラスを求心作用
を有して直交３軸方向に自由支持する弾性保持機構と、
前記スタイラスに与えられた与変位を信号形態の検出変
位に変換送出する変位検出器とを備えたトレーサヘッド
からの検出変位出力に含まれる誤差を補正する方法にお
いて、上記スタイラスの各種長さについて上記スタイラ
スに与える真の与変位とその時の誤差を含む検出変位と
の関数を予め求めて補正関数として読み込み手段に記憶
し、実用中のスタイラスで検出している刻々の検出変位
を該実用中のスタイラス長に応じて上記補正関数の検出
変位の項に代入して演算し、自動的にスタイラスの正し
い変位量・を得るようにしたことを特徴としたトレーサ
ヘッドの検出変位の誤差補正方法を提供し、上述の発明
目的を達成するものである。

ここで、好ましくは、上記読み込み手段に記憶する補正
関数は、補正後の変位量をｙ１実用中のスタイラスで検
出した変位量をＸ１スタイラスの長さによって決まる正
の係数をａ、ｂとすると、Ｘ≧０のとき、　　　　ｙ＝
ａｘ２＋ｂｘｘ＜Ｑのとき、　　　　ｙ＝−ａｘ”　＋
ｂｘの２次関数で近似されるものであり、また、上記関
数の係数ａ、ｂは、Ｌをスタイラスの長さ、Ｕ＋　、Ｖ
＋　ＳＷ＋　、Ｕ２　、Ｖ２　、Ｗ２を定数とすると、 ａ＝Ｕ＋　Ｌ”　十ｖ、　Ｌ＋Ｗ＋ ｂ＝＝Ｕｚ　Ｌ”　＋Ｖ２　Ｌ＋Ｗ２ の２次関数で近似される。

以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づいて更に詳
しく説明する。

〔実施例〕

第１図は、本発明によるトレーサヘッドの検出変位の誤
差補正方法の適用例を説明するために、同方法をディジ
タイジング装置で利用する例を示したシステム全体の構
成を示すブロック図であり、又、第２図は第１図に右け
る倣い演算処理部に設けられた誤差補正機能部の構成を
拝承したブロック図、第３図はトレーサヘッドのスタイ
ラス交換に伴う変位検出器の変位誤差補正処理過程右よ
び刻々の測定変位に応じた変位検出器の検出変位送出処
理過程を一括して説明するフローチャートである。

第１図において、ディジタイジング装置１０はベース１
２上で上下動（Ｚ軸動作）可能なニー１４の上部に搭載
されたテーブル１６に加工製品の母型１８が取付けられ
、他方、ベース１２の背部に立設したコラム２０に機械
へラド２２に支持されてトレーサヘッド２４が上下方向
と直交した２軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸）に可動に設けられて
いる。

同トレーサヘッド２４は、先端に母型１８の表面形状を
接触測定する一般的に球形または半球形の先端形状を有
したスタイラス（トレーサとも言う）２６を備え、着脱
自在にトレーサヘッド２４０本体部に装着される構造に
ある。また、トレーサヘッド２４の本体内部には装着さ
れたスタイラス２６を支持する弾性支持機構と、変位検
出器とが内蔵、具備され、上記弾性機構を介して伝達さ
れるスタイラス２６の測定時に与えられた変位（これを
与変位と言う）が変位検出器２５により電気的な信号形
態を有した検出変位として出力されるように成っている
。変位検出器２５はｘ、ｙ、ｚの３軸方向の各変位を検
出できるように、図示の如く、３個設けられている。な
お、上記弾性支持機構の具体例は、既述の特公昭５４−
４３２３０号公報に開示された構造のものが好ましく、
又変位検出器２５は周知の差動トランス型検出器が有効
に利用できる。トレーサヘッド２４の検出変位は、同じ
く機械ヘッド２２に装着されたアンプ２８により電気的
に増幅されてから外部に送出される構成にある。

また、ディジタイジング装置１０はテーブル１６を備え
たニー１４の上下動を駆動する２軸モ一タ３０ｚ１機械
ヘッド２２の直交する２軸方向の横移動を駆動するＸ軸
、Ｙ軸モータａｏｘ、ａ。

ｙを備えている。これらの駆動モータ３０Ｘ等は夫々通
常はサーボモータから成り、トレーサヘッド２４の倣い
動作を制御駆動する構成に成っている。

他方、ディジタイジング装置１０にはディジタイジング
制御装置４０が付設されており、このディジタイジング
制御装置４０は上記トレーサヘッド２４の信号増幅用ア
ンプ２８からの検出変位信号を受信するアナログインタ
ーフェース４２、該アナログインターフェース４２から
のアナログ信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコン
バータ４４、検出変位の誤差補正と倣い演算処理を遂行
する倣い制御部４６、該倣い制御部４６のディジタル出
力信号を再びアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータ
４８、サーボアンプ５０、ディジタルデータ作成部５２
等を備えて構成されている。

ここで、倣い制御部４６は上述のように検出変位の誤差
補正と倣い演算処理とを遂行するために設けられており
、特に本発明に係る検出変位の誤差補正処理は、第２図
に図示のように倣い制御部４６が有するマイクロプロセ
ッサユニットＣＰＵと通常のＲＯＭ及びＲＡＭから成る
記憶手段を用いて形成される補正条件の読込手段５４と
をハードウェア手段とし、これらをソフトウェアによっ
て起動させることにより遂行される構成と成っている。

また、上記倣い制御部４６から送出される検出変位信号
は、Ｄ／Ａコンバータ４８、サーボアンプ５０を介して
ディジタイジング装置１０の本体側の前記各駆動モータ
３０ｘ、３０ｙ、３０２ヘフイードバツク入力され、こ
れらを駆動してトレーサヘッド２４を母型１８の表面形
状に沿って倣い動作させる制御が遂行されるのである。

方、倣い制御部４６から送出される検出変位信号はディ
ジタルデータ作成部５２にも母型１８の表面の位置信号
に変換されて送出され、ここで母型１８と同一または相
似形状の加工品を数値制御工作機械によりＮＣ加工する
ためのデジタルデータの作成が遂行される。

上述した構成を有したディジタイジング装置１０とディ
ジタイジング制御装置４０とにおいて、トレーサヘッド
２４はスタイラス２６が母型１８を接触測定した測定変
位を内蔵の変位検出器２５で検出変位に変換、送出する
が、ここで行われる誤差補正方法に就いて以下に説明す
る。

まず、トレーサヘッド２４は、通常、長さと重さが選定
既知量の標準スタイラスを装着することにより、スタイ
ラス変位なしのフリー状態で各軸の変位検出器からの出
力値が零となる調整、所謂周知の自動零点調整が遂行さ
れ、又、スタイラスに既知の変位を与えた場合の該変位
と変位検出器の検出変位との関係が一定勾配の直線とな
るように周知のゲイン自動調整が行われる。これらの両
自動調整は、多数繰り返し遂行されるものではなく、ト
レーサヘッド２４を現場で使用開始する際等の特定の場
合に遂行される処理操作である。この調整処理操作が遂
行されると、トレーサヘッド２４の変位検出器２５から
出力される検出変位は、スタイラス２６の与変位に対し
て直交座標系の原点→を通る直線式の関係を呈する。更
に予め倣い開始時にスタイラスに一定の変位を与える基
準変位量の設定が行われれば、トレーサヘッド２４は作
動開始準備が通常完了することになる。然しなから、ト
レーサヘッド２４の内蔵の弾性支持機構の弾性係数がス
タイラス可動ストロークを増大させるべく変更された等
の特定な場合に、スタイラスストロークが大きな領域で
は、上記与変位−検出変位の直線は、既述の非線形性を
帯びる誤差状態を現出し、又使用するスタイラス２６の
長さ、重量等の物理的条件を上記のゲイン調整に使用し
た標準スタイラスとは異なる条件にした時には、上記測
定変位−検出変位の直線は、勾配が異なる直線式の特性
を示し、標準スタイラスの直線式に対して偏差を有する
ことになる。また、スタイラス重量が異なると、変位フ
リー状態における零点は座標原点からオフセットした位
置に移動する。

従って、本発明は、これらの誤差を補正する処理を遂行
して変位検出器２５から出力される検出変位中の誤差分
を除去するものである。

ここで、第１図、第２図と共に第３図を参照すると、ス
タイラス２６が標準スタイラスから或いは倣い操作の条
件変更に応じて他種のスタイラスに交換されたときは、
交換後のスタイラス２６の長さデータと重量データから
成る物理的条件のＣＰＵへの読み込みが行われる。この
スタイラス２６の物理的条件データの読み込みは、周知
の自動スタイラス交換装置を備えた無人式倣い工作機械
の場合には、自動スタイラス交換装置からスタイラス番
号と対応したデータとして供給され、また、自動スタイ
ラス交換装置を具備しない本例のディジタイジング装置
１０や３次元測定器等では予め人がデータを人力、設定
しておく等により遂行される（ステップ１）。次いで、
スタイラスデータの読み込みが終了すると、次に本発明
によれば、非直線性の補正とスタイラス長さの変更に伴
う偏差補正が遂行される。ここで、本発明の最も典型的
な実施例においては、予め、スタイラス可動ストローク
の増加に依る非直線性及びスタイラス長さ変更による直
線式の勾配変動を各軸方向の変位検出器２５に就いて補
正するには実験的に次の２式から補正後の変位量が一義
的に定められることが確認されている（第７図）。

ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ　（ｘ≧Ｏ）　　・−−−（１）ｙ＝
−ａｘ２＋ｂｘ（ｘくＯ）　・・・　（２）但し、ｙ：
補正後の変位量（真の変位量）Ｘ：変位検出器に発生し
た検出変位量（誤差を含んだ変位量）、 ａ、ｂニスタイラス長によって決まる係数、上述の２式
は、種々の長さのスタイラスを用いて実際に与えた与変
位と変位検出器２４の検出量とを多数求め、最小二乗法
によりａ、ｂの係数を決定した近似式であり、略、現実
の検出変位の関係曲線を忠実に表現していることを確認
した式であり、倣い制御部４６内の所定記憶手段内に予
め設定、登録されるのである。

ここで、上記ａ、ｂの係数を、スタイラス長さしに応じ
て多数、直交座標上にプロットして繋ぐと、次の関係式
（３）、（４）で定まることが分かった。

ａ＝ＵＩ　　Ｌ２　＋ＶＩ　　Ｌ＋Ｗｌ　　　−・　・
　（３）ｂ　＝　Ｕ　２　　Ｌ　”　　＋　Ｖ　２　　
Ｌ　＋　Ｗ　２　　　・　・　・　（４）そして、所定
のスタイラス長さしに対するｐ係数ａ、ｂを上記（３）
式、（４）式に当てはめた結果として得られたＵｌ、ｖ
ｌＳＷｌ及びＵ２、Ｖ２　、Ｗ２の６つの値を倣い制御
部４６の記憶手段におけるＲＡＭ内にシステムパラメー
タとして設定、登録し、スタイラス交換時に長さしの指
定が成されると、ＣＰＵが上記（３）、（４）式を演算
して（ステップ２）、対応のａＳｂの係数値を決定する
過程が遂行される（ステップ３）。上記係数ａ、ｂが決
定されれば、それらの係数値は補正条件読み込み手段５
４内に登録される。又、ここで、スタイラス２６の重量
に応じて零点のオフセット値を変えなければならないの
で、零点調節信号を発したときの変位検出器の値を読み
込んで補正条件読み込み手段５４内に設定、登録する（
ステップ４）。斯くして、長さしおよび重量が指定され
たスタイラス２６の実用中は、上記（１）、（２）式に
より補正後の変位検出器２４の実際の検出変位量が各軸
（Ｘ、ＹＳＺ軸）に就いて得られ（ステップ５）、又、
オフセット補正も行われる。こうして、各軸毎に検出変
位が送出される（ステップ６）。そして、このステップ
（５）、（６）の過程は刻々の測定変位に対して繰り返
し遂行される。故に、倣い制御部４６は、各軸に就いて
補正条件読み込み手段５４を経由して送出されるトレー
サヘッド２４の検出変位から合成変位を算出する等の所
定の各種倣い演算処理を遂行して第１図のＤ／Ａコンバ
ータ４８へ送出するのである。こうして倣い処理された
検出変位は、トレーサヘッド２４の倣い制御とディジタ
イジング化によるＮＣ加工データの作成に用いられるこ
とは既述の通りである。

なお、上述では特定の演算式（１）〜（４）を使用する
検出変位の誤差補正方法に就いて説明したが、これに代
えて、非線形特性及び直線式の勾配がスタイラス長さ変
動により変化することによる補正値を予め実験的に求め
てテーブル化し、該テーブルを倣い制御部４６の記憶手
段内に登録しておき、実際に種々異なる物理的条件のス
タイラス２６がトレーサヘッド２４の本体部に着脱交換
し、刻々母型Ｉ８を接触倣いするときにスタイラス２６
の測定変位に対する変位検出器２５の検出変位に上記補
正値を加算処理することにより、真の検出変位データと
して送出せしめるようにしても良い。

以上の説明は、ディジタイジング装置ｌＯの例に就いて
説明したが、自動スタイラス交換装置を備えた倣い工作
機械や３次元立体形状の寸法測定器におけるトレーサヘ
ッドに関しても同様に本発明による誤差補正方法が適用
可能であることは言うまでもない。

なお、ディジタイジング装置１０の場合においては、上
述のようにトレーサヘッドの検出誤差の補正、特に、ス
タイラスストロークの増加時における非直線性の補正が
成されることにより、ディジタ１′ジング過程でトレー
サヘッド２４のスタイラス２６が母型１８の急激な形状
変化によりオーバシュート　（大きなストローク変動に
該当する）を発生した場合にも、該オーバーシュート量
は、正確に変位検出器２４が送出する検出変位量として
倣い演算処理部４６で取得することが可能であり、故に
、ディジタルデータ作成部５２がＮＣ加工データを作成
する過程で上記オーバーシュート量を引算することによ
り、スタイラス２６が正確に母型１８を倣ったデータに
基づ＜ＮＣ加工データが作成可能となり、ディジタイジ
ングの更なる高精度化が可能となるのである。

〔発明の効果〕

以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、これらの
説明から、本発明によれば、トレーサヘッドの先端に設
けられる接触測定子としてのスタイラスが交換により、
長さ、重量等の条件を変更された場合や、スタイラスス
トロークを増加させる等の物理的条件を変更された場合
にも、主に差動トランス型変位検出器から成る変位検出
器は、誤差を自動的に電気的に補正され、スタイラスが
母型や被測定対象物の表面を接触走査することによる測
定変位に対する真の関係にある検出変位を出力するから
、高精度のトレーサヘッドの検出性能が保証されて、結
果的に倣い工作機械の精度向上やディジタイジング装置
が作成するＮＣ加工データの高精度化が保証され、数値
制御工作機械の加工精度の向上を達成できる。又、自動
スタイラス交換装置を備えた倣い工作機械等において、
スタイラス長さが変動してもトレーサヘッドの検出変位
精度が高度に維持されることから、無人化による倣い工
作機械の性能を著しく向上させて実用性を一段と向上さ
せることが可能となる。又、同時にスタイラスの長さや
重量を統一させる煩瑣から解放されることにより、この
種自動スタイラス交換装置付きの倣い工作機械のコスト
低減をもたらす効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるトレーサヘッドの検出変位の誤
差補正方法の適用例を説明するために、同方法をディジ
タイジング装置で利用する例を示したシステム全体の構
成を示すブロック図、第２図は第１図における倣い演算
処理部に設けられた誤差補正機能部の構成を拝承したブ
ロック図、第３図はトレーサヘッドのスタイラス交換に
伴う変位検出器の変位誤差補正処理過程および刻々のス
タイラス変位に応じた変位検出器の検出変位送出処理過
程を一括して説明するフローチャート、第４図、第５図
、第６図は従来のトレーサヘッドの特性を示したグラフ
図、第７図は本発明による補正後の変位と実際の検出変
位との関係を表したグラフ図である。 １０・・・ディジタイジング装置、２４・・・トレーサ
ヘッド、２５・・・変位検出器、２６・・・スタイラス
、４０・・・ディジタイジング制御装置、４６・・・倣
い制御部、５４・・・補正条件読み込み手段。 標準スタイラスによる 関係直線 標準スタイラスによる 関係直線

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物や母型等の被検出面を接触、走査するスタ
   イラスと、該スタイラスを求心作用を有して直交３軸方
   向に自由支持する弾性保持機構と、前記スタイラスに与
   えられた与変位を信号形態の検出変位に変換送出する変
   位検出器とを備えたトレーサヘッドからの検出変位出力
   に含まれる誤差を補正する方法において、前記スタイラ
   スの各種長さについて前記スタイラスに与える真の与変
   位とその時の誤差を含む検出変位との関数を予め求めて
   補正関数として読み込み手段に記憶し、実用中のスタイ
   ラスで検出している刻々の検出変位を該実用中のスタイ
   ラス長に応じて前記補正関数の検出変位の項に代入して
   演算し、自動的にスタイラスの正しい変位量を得るよう
   にしたことを特徴としたトレーサヘッドの検出変位の誤
   差補正方法。 ２、前記読み込み手段に記憶する補正関数は、補正後の
   変位量をｙ、実用中のスタイラスで検出した変位量をｘ
   、スタイラスの長さによって決まる正の係数をａ、ｂと
   すると、 ｘ≧０のとき、ｙ＝ａｘ＾２＋ｂｘ ｘ＜０のとき、ｙ＝−ａｘ＾２＋ｂｘ の２次関数で近似される特許請求の範囲第１項に記載の
   トレーサヘッドの検出変位の誤差補正方法。 ３、前記関数の係数ａ、ｂは、Ｌをスタイラスの長さ、
   Ｕ＿１、Ｖ＿１、Ｗ＿１、Ｕ＿２、Ｖ＿２、Ｗ＿２を定
   数とすると、 ａ＝Ｕ＿１Ｌ＾２＋Ｖ＿１Ｌ＋Ｗ＿１ ｂ＝Ｕ＿２Ｌ＾２＋Ｖ＿２Ｌ＋Ｗ＿２ の２次関数で近似される特許請求の範囲第２項に記載の
   トレーサヘッドの検出変位の誤差補正方法。