JPH03108554A - インクジェット記録用ヘッド - Google Patents
インクジェット記録用ヘッドInfo
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- JPH03108554A JPH03108554A JP24754589A JP24754589A JPH03108554A JP H03108554 A JPH03108554 A JP H03108554A JP 24754589 A JP24754589 A JP 24754589A JP 24754589 A JP24754589 A JP 24754589A JP H03108554 A JPH03108554 A JP H03108554A
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- nozzle plate
- resin
- recording head
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- Pending
Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インク滴を飛翔させて記録媒体上に文字、画
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘッド
に関するものである。
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘッド
に関するものである。
［発明の概要］
本発明は、インクジェット記録プリンター 特にフェー
スイジェクトタイプの記録用ヘッドにおいて、そのノズ
ルプレートの材質を樹脂製として、その表面に金属をコ
ーティングする事により、ノズルプレート製造プロセス
の合理化による大幅なコスト低減を図ると供に、ノズル
プレートの穴径精度を安定させる事により印字品質を向
上させたものである。
スイジェクトタイプの記録用ヘッドにおいて、そのノズ
ルプレートの材質を樹脂製として、その表面に金属をコ
ーティングする事により、ノズルプレート製造プロセス
の合理化による大幅なコスト低減を図ると供に、ノズル
プレートの穴径精度を安定させる事により印字品質を向
上させたものである。
［従来の技術］
コンピューター等の記録印字用として各種の方式がある
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
インクジェット記録方式の記録ヘッドとしては、エツジ
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フェースイジェクト
タイプ（ＦＥタイプ）があるが、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造しやすさ等から、Ｆ
Ｅタイプのヘッドが多く採用されてきている。
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フェースイジェクト
タイプ（ＦＥタイプ）があるが、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造しやすさ等から、Ｆ
Ｅタイプのヘッドが多く採用されてきている。
こＯＦＥタイプヘッドの場合、インクを精度良く飛翔さ
せるために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロール
するための、ノズルプレート（オリフィスプレート）が
用いられる。
せるために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロール
するための、ノズルプレート（オリフィスプレート）が
用いられる。
このノズルプレートは、φ５０１１１１前後の微小な穴
径と、±２〜３朋の高い精度が要求され、またテーパー
状である事が望ましいために、ニッケル電鋳法により５
０〜１００μｍ程度の厚みにコントロールして製造され
ている。
径と、±２〜３朋の高い精度が要求され、またテーパー
状である事が望ましいために、ニッケル電鋳法により５
０〜１００μｍ程度の厚みにコントロールして製造され
ている。
［発明が解決しようとする課題及び目的］しかし、前述
の従来技術では、ニッケル電鋳法による製造のために、
サイクルタイムが使用するメツキ液の析出速度で決まり
、液組成、電解条件の改良を行ったとしても、均一電着
性が要求されるために、ノズルプレートとしての厚みを
得るのに最低でも、数時間程度が必要となり、生産性の
低いものであった。
の従来技術では、ニッケル電鋳法による製造のために、
サイクルタイムが使用するメツキ液の析出速度で決まり
、液組成、電解条件の改良を行ったとしても、均一電着
性が要求されるために、ノズルプレートとしての厚みを
得るのに最低でも、数時間程度が必要となり、生産性の
低いものであった。
また、電解によるため、面内、ロット間の析出速度にバ
ラツキが発生し、ノズルプレートとしての厚みが不均一
となり、結果として穴径が精度良くつくつ込めず、歩留
りの低下、印字品質の不安定という問題が生じていた。
ラツキが発生し、ノズルプレートとしての厚みが不均一
となり、結果として穴径が精度良くつくつ込めず、歩留
りの低下、印字品質の不安定という問題が生じていた。
本発明は、この様な問題を解決するもので、その目的は
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレートの
製造プロセスを簡略化する事により、サイクルタイムを
大幅に短縮して、コストダウンを図ると供に、インクの
飛翔量に大きく影響する、ノズルプレートの穴径を精度
良く作り込む事によって、印字品質を向上安定させるも
のである。
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレートの
製造プロセスを簡略化する事により、サイクルタイムを
大幅に短縮して、コストダウンを図ると供に、インクの
飛翔量に大きく影響する、ノズルプレートの穴径を精度
良く作り込む事によって、印字品質を向上安定させるも
のである。
［課題を解決するための手段］
上記の問題を解決するために本発明は、フェースイジェ
クトタイプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートの材質を樹脂製として、その表面に金属を
コーティングした事を特徴としており、その樹脂製ノズ
ルプレートの製造方法が、射出成形、圧縮成形または、
感光性樹脂を用いた、フォトリソグラフ、フォトフォー
ミングである事を特徴としている。
クトタイプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートの材質を樹脂製として、その表面に金属を
コーティングした事を特徴としており、その樹脂製ノズ
ルプレートの製造方法が、射出成形、圧縮成形または、
感光性樹脂を用いた、フォトリソグラフ、フォトフォー
ミングである事を特徴としている。
［作用］
本発明によれば、ノズルプレートとして樹脂を用いて、
成形あるいは、フォトリソプロセスにより作製しその後
、金属をコーティングする工程となるため、電鋳法と比
較して著しくサイクルタイムを短縮する事が出来、大幅
なコストダウンが可能になると供に、穴径の精度につい
ても成形においては金型の精度、感光性樹脂を用いる場
合は、マスクの精度によって決まり、いずれの方法も高
精度に製作する事ができ、安定して穴径精度の優れた樹
脂製のノズルプレートを製造可能である。
成形あるいは、フォトリソプロセスにより作製しその後
、金属をコーティングする工程となるため、電鋳法と比
較して著しくサイクルタイムを短縮する事が出来、大幅
なコストダウンが可能になると供に、穴径の精度につい
ても成形においては金型の精度、感光性樹脂を用いる場
合は、マスクの精度によって決まり、いずれの方法も高
精度に製作する事ができ、安定して穴径精度の優れた樹
脂製のノズルプレートを製造可能である。
［実施例−１］
第１図は、本発明の詳細な説明するための工程毎の概略
断面図である。
断面図である。
第１図（ａ）は、フェースイジェクト用ノズルプレート
の断面である。
の断面である。
ノズル数は、仕様によっても異なるが数十穴が形成され
ており、通常は、２列に配列される。
ており、通常は、２列に配列される。
ノズルプレートの材質は、ポリサルフオンのメツキグレ
ードで射出成形により製造され、厚みは、約２００μｌ
である。
ードで射出成形により製造され、厚みは、約２００μｌ
である。
この樹脂製のノズルプレートを、硫酸−塩酸系の溶液に
浸漬して（常温×１５分）エツチング処理を行った後、
キャタリスト処理（常温×２０秒）、アクセレート処理
（常温×５分）を行い、樹脂製ノズルプレート表面にＰ
ｄの薄膜を形成する。
浸漬して（常温×１５分）エツチング処理を行った後、
キャタリスト処理（常温×２０秒）、アクセレート処理
（常温×５分）を行い、樹脂製ノズルプレート表面にＰ
ｄの薄膜を形成する。
次に、このノズルプレートを無電解ニッケルメッキ処理
を行い、ニッケル・リン皮膜を、３μｍ形成した。
を行い、ニッケル・リン皮膜を、３μｍ形成した。
このノズルプレートと射出成形により製造した樹脂製の
ポンプ室を、紫外線（ＵＶ）硬化タイプの接着剤を用い
て接合し、ＦＥタイプのインクジェット記録用ヘッドと
して完成させた。
ポンプ室を、紫外線（ＵＶ）硬化タイプの接着剤を用い
て接合し、ＦＥタイプのインクジェット記録用ヘッドと
して完成させた。
［実施例−２］
実施例−１と同様の形状のノズルプレートを、感光性ポ
リイミドのドライフィルム（厚木 約１００ＪＪ■）を
用いて、フォトリソプロセスにより作製した。
リイミドのドライフィルム（厚木 約１００ＪＪ■）を
用いて、フォトリソプロセスにより作製した。
このポリイミド製ノズルプレート表面に、スパッタリン
グによりニッケル皮膜を０． ２３１１形成し、さらに
この面に無電解ニッケルメッキにより、ニッケル・リン
皮膜を５ｕｍ形成した。
グによりニッケル皮膜を０． ２３１１形成し、さらに
この面に無電解ニッケルメッキにより、ニッケル・リン
皮膜を５ｕｍ形成した。
このノズルプレートと、プラスティック酸のポンプ室を
、ＵＶ硬化タイプの接着剤を用いて接合し、ＦＥタイプ
のインクジェット記録用ヘッドとして完成させた。
、ＵＶ硬化タイプの接着剤を用いて接合し、ＦＥタイプ
のインクジェット記録用ヘッドとして完成させた。
この様な実施例のヘッドにおいては、ノズルプレートを
樹脂製としたため、その製造プロセスが成形法、フォト
リソ法で行うことが出来、従来の電鋳法によるものに比
べ 製造サイクルタイムを大幅に短縮する事ができ、穴
径精度も従来±１０％以上のバラツキがあったものを、
±５％以下におさえる事が出来た。
樹脂製としたため、その製造プロセスが成形法、フォト
リソ法で行うことが出来、従来の電鋳法によるものに比
べ 製造サイクルタイムを大幅に短縮する事ができ、穴
径精度も従来±１０％以上のバラツキがあったものを、
±５％以下におさえる事が出来た。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によればＦＥタイプのインクジ
ェット記録用ヘッドのノズルプレートを樹脂製とし、射
出成形法、圧縮成形法、あるいは、感光性樹脂によるフ
ォトリソ法、フォトフォーミング法により作製し、その
表面に金属をコーティングする事により従来の電鋳法に
比−（１，／１０以下と著しく製造時間を短縮でき、コ
ストダウンが図れると供に、穴径の精度も±５％以下と
向上する事により、インクの飛翔量が安定し印字品質を
大幅に改善する事が出来た。
ェット記録用ヘッドのノズルプレートを樹脂製とし、射
出成形法、圧縮成形法、あるいは、感光性樹脂によるフ
ォトリソ法、フォトフォーミング法により作製し、その
表面に金属をコーティングする事により従来の電鋳法に
比−（１，／１０以下と著しく製造時間を短縮でき、コ
ストダウンが図れると供に、穴径の精度も±５％以下と
向上する事により、インクの飛翔量が安定し印字品質を
大幅に改善する事が出来た。
金属をコーティングするのは、樹脂単体では、インクに
対する耐薬品性が不十分であるためと、インクに対する
濡れ性が悪く、気泡付着によるインクの飛翔が不安定に
なる問題があるためである。
対する耐薬品性が不十分であるためと、インクに対する
濡れ性が悪く、気泡付着によるインクの飛翔が不安定に
なる問題があるためである。
第１図（ａ）〜（Ｃ）は、本発明によるインクジェット
記録用ヘッドの製造工程を示す断面図。 １・・・・樹脂製ノズルプレート ２・・・・ノズル部 ３・・・・金属コーティング層 ４・・・・接着層 ５・・・・ポンプ室 ６・・・・ピエゾ振動板 以上。
記録用ヘッドの製造工程を示す断面図。 １・・・・樹脂製ノズルプレート ２・・・・ノズル部 ３・・・・金属コーティング層 ４・・・・接着層 ５・・・・ポンプ室 ６・・・・ピエゾ振動板 以上。
Claims (2)
- （１）フェースイジェクトタイプのインクジェット記録
用ヘッドにおいて、ノズルプレートの材質を樹脂製とし
て、その表面に金属をコーティングした事を特徴とする
インクジェット記録用ヘッド。 - （２）樹脂製ノズルプレートの製造方法が、射出成形、
圧縮成形または、感光性樹脂を用いた、フォトリソグラ
フ、フォトフォーミングである事を特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載のインクジェット記録用ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24754589A JPH03108554A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | インクジェット記録用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24754589A JPH03108554A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | インクジェット記録用ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03108554A true JPH03108554A (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=17165089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24754589A Pending JPH03108554A (ja) | 1989-09-22 | 1989-09-22 | インクジェット記録用ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03108554A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0743184A2 (en) * | 1995-05-18 | 1996-11-20 | SCITEX DIGITAL PRINTING, Inc. | Composite nozzle plate |
| US7549711B2 (en) | 2002-06-21 | 2009-06-23 | Nissin Kogyo Co., Ltd. | Vacuum pressure booster |
| JP2018089894A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
-
1989
- 1989-09-22 JP JP24754589A patent/JPH03108554A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0743184A2 (en) * | 1995-05-18 | 1996-11-20 | SCITEX DIGITAL PRINTING, Inc. | Composite nozzle plate |
| EP0743184A3 (en) * | 1995-05-18 | 1997-07-16 | Scitex Digital Printing Inc | Composite nozzle plate |
| US7549711B2 (en) | 2002-06-21 | 2009-06-23 | Nissin Kogyo Co., Ltd. | Vacuum pressure booster |
| JP2018089894A (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
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