JPH04182134A - インクジェット記録用ヘッド - Google Patents
インクジェット記録用ヘッドInfo
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- JPH04182134A JPH04182134A JP31045890A JP31045890A JPH04182134A JP H04182134 A JPH04182134 A JP H04182134A JP 31045890 A JP31045890 A JP 31045890A JP 31045890 A JP31045890 A JP 31045890A JP H04182134 A JPH04182134 A JP H04182134A
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- JP
- Japan
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- nozzle plate
- ink
- substrate
- nozzle
- nickel
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、インク滴を飛翔させて記録媒体上に文字、画
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘッド
、に関するものである。
像等を形成するインクジェットプリンター記録用ヘッド
、に関するものである。
［従来の技術〕
コンピー−ター等の記録印字用として各種の方式がある
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
が最近、特にインクジェット記録方式が、高速印字、低
騒音という特徴により多く使われるようになってきてい
る。
インクジェット記録方式の記録ヘッドとしては、エツジ
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フェースイジェクト
タタプ（ＦＥタイプ）があるが、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造しやすさ等から、Ｆ
Ｅタイプのヘッドが多く採用されてきている。
イジェクトタイプ（ＥＥタイプ）、フェースイジェクト
タタプ（ＦＥタイプ）があるが、近年、高印字品質、ペ
ージプリンタ一対応、ヘッドの製造しやすさ等から、Ｆ
Ｅタイプのヘッドが多く採用されてきている。
このＦＥタイプヘッドの場合、インクを精度良く印字す
るために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロールす
るノズルプレート（オリフィスプレート）が用いられる
。
るために、インクの飛翔位置、飛翔量をコントロールす
るノズルプレート（オリフィスプレート）が用いられる
。
このノズルプレートは、φ５０μ疏−前後の微小な穴径
が形成されておりニッケル電鋳法、ガラスやシリコンの
エツチング、あるいはプラスチックの射出成形等により
製造される。
が形成されておりニッケル電鋳法、ガラスやシリコンの
エツチング、あるいはプラスチックの射出成形等により
製造される。
しかし、前述の従来技術ではノズルプレート表面の撥イ
ンク性が充分でないため、吐出したインクがノズルの表
面や周りに残留する場合が多く、ノズルプレート穴部周
辺に残留したインクによって飛翔するインク滴の方向性
が影響され、印字品質が悪化するという問題があり、特
に経時的に発生するために、インクジェットプリンター
における重要課題となっている。
ンク性が充分でないため、吐出したインクがノズルの表
面や周りに残留する場合が多く、ノズルプレート穴部周
辺に残留したインクによって飛翔するインク滴の方向性
が影響され、印字品質が悪化するという問題があり、特
に経時的に発生するために、インクジェットプリンター
における重要課題となっている。
本発明は、この様な問題を解決するもので、その目的は
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレート表
面へ撥インク処理を行う事によりインクの残留をなくし
、印字品質を大幅に向上、安定させるものである。
、ＦＥタイプインクジェットヘッドのノズルプレート表
面へ撥インク処理を行う事によりインクの残留をなくし
、印字品質を大幅に向上、安定させるものである。
上記の問題を解決するために本発明は、フェースイジェ
クトタタプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートの表面（紙側の面）に窒化物をコーティン
グする事を特徴としている。
クトタタプのインクジェット記録用ヘッドにおいて、ノ
ズルプレートの表面（紙側の面）に窒化物をコーティン
グする事を特徴としている。
本発明によれば、ノズルプレートの表面に不活性の窒化
物層を形成する事によって、吐出されたインクのノズル
プレート表面での界面張力が大きくなり、ノズル穴中に
容易にインクが戻るため、インクのノズルプレート表面
への残留をなくす事が出来、インクの飛翔が安定する。
物層を形成する事によって、吐出されたインクのノズル
プレート表面での界面張力が大きくなり、ノズル穴中に
容易にインクが戻るため、インクのノズルプレート表面
への残留をなくす事が出来、インクの飛翔が安定する。
（実施例１）
第１図は、本発明の詳細な説明するためのノズルプレー
ト製造工程の概略断面図である。
ト製造工程の概略断面図である。
第１図（ｃＬ）は、ノズルプレートを電解メツキ鋳造゛
法で作製するだめの基板の断面である。
法で作製するだめの基板の断面である。
基板の材質はステンレス、黄銅等、金属プレートを使用
し、ノズル部をフォトレジストを用いてノぐターン化す
る。
し、ノズル部をフォトレジストを用いてノぐターン化す
る。
ノズル数は仕様によっても異なるが、数十穴が形成され
ており、通常は複数列に配列される。
ており、通常は複数列に配列される。
このフォトレジストでパターニングした金属基板上にニ
ッケルメッキにより厚付け（電鋳）を行い、ノズルプレ
ートとなるニッケル層を形成したＣｂ）。
ッケルメッキにより厚付け（電鋳）を行い、ノズルプレ
ートとなるニッケル層を形成したＣｂ）。
次に、このニッケルのノズルプレートを基板より剥離、
洗浄した後ノズルプレートの表面（紙側の面）に、イオ
ンブレーティングにより約１μｍのＴＩＮ層を形成した
。
洗浄した後ノズルプレートの表面（紙側の面）に、イオ
ンブレーティングにより約１μｍのＴＩＮ層を形成した
。
最後に、樹脂製のインクジェットヘッド本体とシリコン
系接着剤を用いて接合し、ＦＥタイプのインクジェット
記録用ヘッドとして完成させた。
系接着剤を用いて接合し、ＦＥタイプのインクジェット
記録用ヘッドとして完成させた。
（実施例２）
第２図は、本発明による実施例２を説明するためのシリ
コン基板を用いたノズルプレート製造工程の概略断面図
である。
コン基板を用いたノズルプレート製造工程の概略断面図
である。
第２図（ａ）は、シリコン基板（１００面）を熱酸化後
、ノズル部をエツチングするためにフォトリソにより、
熱酸化膜（ＳＩＯ２）をパターン状に除去したものであ
る。
、ノズル部をエツチングするためにフォトリソにより、
熱酸化膜（ＳＩＯ２）をパターン状に除去したものであ
る。
次に、この基板の熱酸化膜を除去した部分を６０℃、６
０％ＫＯＨ溶液で溶解し、異方性エツチングにより上下
を貫通させ、ノズル部を形成するこのシリコン製ノズル
プレートの熱酸化膜をフッ酸テ除去した後、ノズルプレ
ート表面（紙側の面）にスパッタリングにより０５μｍ
のＴａＮ層を形成した。
０％ＫＯＨ溶液で溶解し、異方性エツチングにより上下
を貫通させ、ノズル部を形成するこのシリコン製ノズル
プレートの熱酸化膜をフッ酸テ除去した後、ノズルプレ
ート表面（紙側の面）にスパッタリングにより０５μｍ
のＴａＮ層を形成した。
その後、ガラス製のインクジェットヘッド本体と陽極接
合により接合一体化し、て、インクジェット記録用ヘッ
ドとして完成させた。
合により接合一体化し、て、インクジェット記録用ヘッ
ドとして完成させた。
本発明によるインクジェット記録用ヘッドを用い、従来
ヘッドとの比較で連続印字試験を行ったところ、従来品
においては開始後１時間以内でインクの飛行曲がりによ
り、印字品質が劣化し、ノズルプレート表面をクリーニ
ングする必要があったが、本発明によるものは連続２４
時間印字においても、インクの飛行曲がりがほとんどな
く良好な印字品質であった。
ヘッドとの比較で連続印字試験を行ったところ、従来品
においては開始後１時間以内でインクの飛行曲がりによ
り、印字品質が劣化し、ノズルプレート表面をクリーニ
ングする必要があったが、本発明によるものは連続２４
時間印字においても、インクの飛行曲がりがほとんどな
く良好な印字品質であった。
〔発明の効果〕
以上述べた様に、本発明によればＦＥタイプのインクジ
ェット記録用ヘッドにおいて、ノズルプレートの表面に
窒化物を形成する事により、吐出したインクが表面に残
留する事がなくなりインクの飛翔が安定するため印字品
質を改善する事が出来た。
ェット記録用ヘッドにおいて、ノズルプレートの表面に
窒化物を形成する事により、吐出したインクが表面に残
留する事がなくなりインクの飛翔が安定するため印字品
質を改善する事が出来た。
特に、連続印字においても印字品質は安定しており、ノ
ズルプレート表面の定期的クリーニングの頻度を少なく
する事ができると供に、窒化物層であるためにノズルプ
レート表面硬度が著しく向上し、物理的クリーニングに
よるノズルプレート表面の摩耗、島の問題も無くす事が
出来た。
ズルプレート表面の定期的クリーニングの頻度を少なく
する事ができると供に、窒化物層であるためにノズルプ
レート表面硬度が著しく向上し、物理的クリーニングに
よるノズルプレート表面の摩耗、島の問題も無くす事が
出来た。
第１図（α）〜（ｄ）及び、第２図（ａ）〜（ｄ）は、
本発明によるインクジェット記録用ヘッドの製造工程を
示す断面図。 １・・・・・・・・・金属基板 ２・・・・・・・・・レジスト ろ・・・・・・・・・ニッケル電鋳層 ４・・・・・・・・・ＴｉＮ層 ５・・・・・・・・・シリコン接着層 ６．１５・・・・・・インクジェットヘッド本体７１１
４・・・・・・ポンプ室 ８．１５・・・・・・ピエゾ圧電体 ９・・・・・・・・・シリコン基板 １０・・・・・・熱酸化膜 １１・・・・・・ノズル部 １２・・・・・・ＴａＮ層 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）第 １ 図 第 ２ 図
本発明によるインクジェット記録用ヘッドの製造工程を
示す断面図。 １・・・・・・・・・金属基板 ２・・・・・・・・・レジスト ろ・・・・・・・・・ニッケル電鋳層 ４・・・・・・・・・ＴｉＮ層 ５・・・・・・・・・シリコン接着層 ６．１５・・・・・・インクジェットヘッド本体７１１
４・・・・・・ポンプ室 ８．１５・・・・・・ピエゾ圧電体 ９・・・・・・・・・シリコン基板 １０・・・・・・熱酸化膜 １１・・・・・・ノズル部 １２・・・・・・ＴａＮ層 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）第 １ 図 第 ２ 図
Claims (2)
- （１）フェースイジェクトタタプのインクジェト記録用
ヘッドにおいて、インク吐出用ノズルプレートに窒化物
をコーティングした事を特徴とするインクジェット記録
用ヘッド。 - （２）インク吐出用ノズルプレートの材質が、金属、シ
リコン、ガラス、あるいはプラスチックである事を特徴
とする請求項１記載のインクジェット記録用ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31045890A JPH04182134A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | インクジェット記録用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31045890A JPH04182134A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | インクジェット記録用ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04182134A true JPH04182134A (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=18005496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31045890A Pending JPH04182134A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | インクジェット記録用ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04182134A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1093919A2 (en) | 1999-10-19 | 2001-04-25 | Nec Corporation | Ink jet printing head, nozzle plate and manufacturing method thereof |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP31045890A patent/JPH04182134A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1093919A2 (en) | 1999-10-19 | 2001-04-25 | Nec Corporation | Ink jet printing head, nozzle plate and manufacturing method thereof |
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