JPH03106984A - 研磨剤組成物の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野】 本発明は研磨剤組或物の製造法に関するものである。詳
しくは、粗大粒子を含まない研磨剤組或物を製造する方
法に関するものである。

［従来技術１ 金属、セラミックス、ハードディスク等の表面を平滑に
するために、研磨剤粉末を水等の液体に懸濁した研磨剤
組成物が広く使用されている。

このような研磨剤組或物においては、研磨剤粉末は通常
凝集した粒子として存在するが、研磨剤粉末の粗大な凝
集粒子や研磨剤以外の物質からなる粗大な固形異物（以
下、これらを粗大粒子と称す）が存在すると、被研磨表
面に研磨傷が発生して製品の商品価値を損ない、特にハ
ードディスク等の精密さが要求される分野においては、
微細な傷であっても性能上致命的な欠陥となるので、粗
大粒子は極力排除する必要がある。

粗大粒子を除去する方法としては、研磨剤スラリーを篩
、例えば機械的振動篩にかけて、粗大粒子を篩上に残し
粗大粒子を含まない研磨剤スラリーを篩を通して取得す
ることが考えられる。

しかしながら、研磨剤スラリ一〇濾過は容易ではなく、
濾過を速くしようとして目開きの大きい振動篩を使用す
ると、粗大粒子も同時に篩を通過して目的を達すること
は出来ない。逆に粗大粒子の少ない研磨剤スラリーを得
たいため、あまり目開きの小さい振動篩を用いると、当
初は良好な研磨剤スラリーを得ることが出来ても、篩上
に研磨剤粒子が蓄積して濾過に時間がかかるようになり
、ついには濾過不能となるので工業的に実施するには充
分満足出来る方法とはいえなかった。

［発明が解決しようとする課題１ 本発明は、粗大粒子を可能な限り除去した高品質の研磨
剤組成物の製造法を提供するのもである。

［課題を解決するための手段１ すなわち本発明の要旨は、研磨剤粉末を媒体に懸濁して
得た研磨剤スラリーを超音波濾過機にかけ、該研磨剤ス
ラリーを超音波濾過機の濾材を通して取得することを特
徴とする研磨剤組成物の製造法に存す。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明の研磨剤組或物で使用される研磨剤粉末としては
、アルミナ、シリカ、ジルコニア、シリコンカーバイド
、酸化セレン、酸化クロムのような公知の種々の研磨剤
用の粉末があげられる。これら研磨剤粉末は平均素粒子
径が５ｐｍ以下であるが、通常水等の液体媒体中では凝
集した状態で存在し平均凝集粒子径（Ｄ０）は１０〜１
００１１ｍ程度である。

研磨剤スラリーを調整するための媒体としては主として
水が用いられるが、分散剤、有機溶剤その他公知の種々
の添加剤を含有していてもよい。

研磨剤スラリー中の研磨剤粉末の含有量は通常５０重量
％以下、好ましくは１０〜３０重量％である。研磨剤粉
末の含有量があまりに多いと濾過が困難となる。逆に研
磨剤粉末の含有量が少ないことは濾過する上からは不都
合はないが、研磨剤組成物として余りにも稀薄な懸濁液
となって実用的なものではなくなる。

超音波濾過機とは、濾材とこれに対向して超音波振動子
が設けられた濾過機である。濾材は固定した形式のもの
、回転する形式のもの等何れも使用できる。超音波の周
波数は１０００　ＫＨｚ以下、好ましくは１０　〜５０
　ＫＨｚ、振幅５０１１ｍ以下、好ましくはＩＯから３
０　ｐｍ　，パワー密度Ｉ　Ｗ　／　ｃｍ２以上、好ま
しくは１０から１５０Ｗ／ｃｍ’の範囲で使用される。

超音波濾過機の濾材の目開きは、粗大粒子を通さないと
いう目的からは小さい程よいが、工業的な実施を考える
と濾過時間があまり長くなるのは避けるのがよい。通常
は４０　１ｌｍ以下、好ましくは３０　ｐｍ以下、より
好ましくは２５　ｐｍ以下のものを用いるのがよ＜、２
ｐｍ以上のものを選ぶのがよい。

超音波振動子と濾材との間隔は研磨剤スラリーの通過量
を大きく左右するので、注意して調整する必要があるが
通常０．１から１０ｍｍ、好ましくは１から５ｍｍとす
るのがよい。

このような超音波濾過機の具体例としては特開昭６１−
１５３１１５に記載されたもの等があげられる。

研磨剤スラリーは超音波濾過機に供給し、粗大粒子のみ
を濾材上に残し、研磨剤スラリーは濾材を通して取り出
し、そのまままたは濃度調整などして研磨剤組成物とし
て使用する。

研磨剤スラリーを超音波濾過機に供給するに際しては、
研磨剤スラリーを加圧するのがよく通常２Ｋｇ／ｃｍ”
Ｇ以下、好ましくはＩ　Ｋｇ　／　ｃｍ’　Ｇ以下の圧
力を採用するのがよい。

［実施例Ｊ 以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本
発明はその要旨をこえない限り以下の実施例に限定され
るものではない。

実施例１ 水と、水に対し１５重量％のアルミナ（研磨剤粉末）お
よび３重量％のセルロース（分散剤）を混合し、強く攪
拌して１５０センチボイスの粘度を有する研磨剤スラリ
ーを調整した。

これをボンブを用いて下記第１表に示す圧力に昇圧して
、下記第２表に示す運転条件の超音波濾過機に供給して
粗大粒子の除去を行い、濾液として研磨剤組成物を取得
した。

研磨剤組成物の製出量および粗大粒子除去の状況は下記
第１表に示す通りであった。また、この運転は１年間続
けても全く不都合はなかった。

比較のため、超音波濾過機の代わりに篩直径５０ｃｍで
目開き２０　ｐｍの機械的振動篩を用い、振動数１７５
０回ｌ分で濾過を行った。その結果は運転開始後１時間
経過した時点で製出研磨剤組或物の量が供給研磨剤スラ
リーの半量となった。

なお、粗大粒子はＪＩＳ　−　Ｋ　−　６２２１−１９
７０篩残分Ａ法によって測定した値である。

第１表 第２表 よく長時間にわたって安定して除去することが出来る。

又、かくして得られる研磨剤組成物は極めて高品質なも
のであり、被研磨材料の不良品発生率を格段に低下させ
ることが出来るので、工業的価値は極めて大きい。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）研磨剤粉末を媒体に懸濁して得た研磨剤スラリー
   を超音波濾過機にかけ、該研磨剤スラリーを超音波濾過
   機の濾材を通して取得するこを特徴とする研磨剤組成物
   の製造法。