JPH03105940A - ウェハープロービング装置 - Google Patents
ウェハープロービング装置Info
- Publication number
- JPH03105940A JPH03105940A JP1244239A JP24423989A JPH03105940A JP H03105940 A JPH03105940 A JP H03105940A JP 1244239 A JP1244239 A JP 1244239A JP 24423989 A JP24423989 A JP 24423989A JP H03105940 A JPH03105940 A JP H03105940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- needle
- polishing
- brush
- brushing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハー１ロービング装置に関し、特に自動針
先研摩及びブラッシング機能を備えたウエハーブロービ
ング装置に関する。
先研摩及びブラッシング機能を備えたウエハーブロービ
ング装置に関する。
従来、この種のブロービング装置は、Ｚステージ上にウ
エハーを吸着し、ウェハー上のチップと１ローブカード
の針とをコンタクトさせて電気的特性を測定するのに使
用され、それ以外の機能は設けられていない。
エハーを吸着し、ウェハー上のチップと１ローブカード
の針とをコンタクトさせて電気的特性を測定するのに使
用され、それ以外の機能は設けられていない。
上述した従来のブ冒一ビング装置は、Ｚステージ上にウ
ェハーを吸着し、ウェハー上のチ・ソプとブローブカー
ドの針とをコンタクトさせる機能のみを備えた装置であ
るため、ブローブカードの針先研摩や清掃は、人の手を
介して行わなければならない上に、針の酸化等によるミ
スコンタクトによって測定時の歩留り低下を生ずるとい
う欠点がある。
ェハーを吸着し、ウェハー上のチ・ソプとブローブカー
ドの針とをコンタクトさせる機能のみを備えた装置であ
るため、ブローブカードの針先研摩や清掃は、人の手を
介して行わなければならない上に、針の酸化等によるミ
スコンタクトによって測定時の歩留り低下を生ずるとい
う欠点がある。
本発明のウェハープロービング装置は、Ｚステージ中央
上部に設けられた針先研摩用のセラミックと、Ｚステー
ジのＸもしくはＹ方向端に設けられたブラッシング用の
刷毛と、ウェハーの測定枚数を設定する測定枚数格納レ
ジスターとを有している。
上部に設けられた針先研摩用のセラミックと、Ｚステー
ジのＸもしくはＹ方向端に設けられたブラッシング用の
刷毛と、ウェハーの測定枚数を設定する測定枚数格納レ
ジスターとを有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の断面図及び
平面図である。Ｚステーシｌは、中央上部に針先研摩用
セラミック２を有し、更にそのＸもしくはＹ方向端にブ
ラッシング用刷毛３を有している。
平面図である。Ｚステーシｌは、中央上部に針先研摩用
セラミック２を有し、更にそのＸもしくはＹ方向端にブ
ラッシング用刷毛３を有している。
通常測定中において、測定枚数格納レジスターで設定さ
れたウェハー枚数を測定した後、Ｚステージ１を上昇さ
せた状態でＺステージエをθ方向に動作させ、ブローブ
カードの針を針先研摩用セラミック２にて研摩し、更に
Ｚステージ１を下降させ、Ｘ方向もしくはＹ方向に移動
後再び上昇させ、ブラッシング用刷毛３にてブローブカ
ードの針をブラッシングし、付着したアルミニウムの除
去や酸化した針先の研摩動作を行い、その後通常測定に
戻る。本実施例では、Ｚステージの動作は従来の装置を
そのまま使用することで得られる。
れたウェハー枚数を測定した後、Ｚステージ１を上昇さ
せた状態でＺステージエをθ方向に動作させ、ブローブ
カードの針を針先研摩用セラミック２にて研摩し、更に
Ｚステージ１を下降させ、Ｘ方向もしくはＹ方向に移動
後再び上昇させ、ブラッシング用刷毛３にてブローブカ
ードの針をブラッシングし、付着したアルミニウムの除
去や酸化した針先の研摩動作を行い、その後通常測定に
戻る。本実施例では、Ｚステージの動作は従来の装置を
そのまま使用することで得られる。
以上説明したように本発明は、Ｚステージ１の中央上部
に針先研摩用のセラミック２を設けることにより、研摩
動作をＺステージ１の上下動作及びθ方向動作に加え、
更にＺステージ１のＸもしくはＹ方向にブラッシング用
刷毛を設けることにより、ブローブカードの針のブラッ
シングも可能としたものである。
に針先研摩用のセラミック２を設けることにより、研摩
動作をＺステージ１の上下動作及びθ方向動作に加え、
更にＺステージ１のＸもしくはＹ方向にブラッシング用
刷毛を設けることにより、ブローブカードの針のブラッ
シングも可能としたものである。
その結果、従来、人が手で行っていた針先研摩や清掃を
、測定操作と連続して行うことができるため、針先研摩
等の工数低減、測定歩留り低下防止の効果が得られる。
、測定操作と連続して行うことができるため、針先研摩
等の工数低減、測定歩留り低下防止の効果が得られる。
第ｔ図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例の断面図及び
平面図である。 １・・・Ｚステージ、２・・針先研摩用セラミ・ソク、
３・・ブラッシング用刷毛。
平面図である。 １・・・Ｚステージ、２・・針先研摩用セラミ・ソク、
３・・ブラッシング用刷毛。
Claims (1)
- Ｚステージ中央上部に設けられた針先研摩用のセラミッ
クと、このＺステージのＸもしくはＹ方向端に設けられ
たブラッシング用の刷毛と、ウェハー測定枚数格納レジ
スターとを有し、ウェハーが予め設定された測定枚数に
達した時に前記Ｚステージの移動により針先研摩とブラ
ッシングを行うことを特徴とするウェハープロービング
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1244239A JPH03105940A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | ウェハープロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1244239A JPH03105940A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | ウェハープロービング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03105940A true JPH03105940A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17115810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1244239A Pending JPH03105940A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | ウェハープロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03105940A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6306187B1 (en) | 1997-04-22 | 2001-10-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive material for the needle point of a probe card |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP1244239A patent/JPH03105940A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6306187B1 (en) | 1997-04-22 | 2001-10-23 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive material for the needle point of a probe card |
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