JPH0298952A - 半導体用プロービング装置 - Google Patents
半導体用プロービング装置Info
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- JPH0298952A JPH0298952A JP25261988A JP25261988A JPH0298952A JP H0298952 A JPH0298952 A JP H0298952A JP 25261988 A JP25261988 A JP 25261988A JP 25261988 A JP25261988 A JP 25261988A JP H0298952 A JPH0298952 A JP H0298952A
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- JP
- Japan
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- wafer
- axis
- alignment
- pellet
- wafer stage
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004904 shortening Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体を製造する際のＰ／Ｗチエツク（ペレッ
ト試験）時、ペレットとテスターを接続を行なうプロー
ビング装置に関し、特にペレットの目合わせ（ペレット
の平行合わせ及び位置決め）に関する。
ト試験）時、ペレットとテスターを接続を行なうプロー
ビング装置に関し、特にペレットの目合わせ（ペレット
の平行合わせ及び位置決め）に関する。
従来、この種のプロービング装置は、ウェハーステージ
が１つしかなく、その為、ペレットの目合わせはＰ／Ｗ
チエツク直前に実施せざるを得なかった。
が１つしかなく、その為、ペレットの目合わせはＰ／Ｗ
チエツク直前に実施せざるを得なかった。
上述した従来のプロービング装置では、ウェハーステー
ジが一つしかない為、ペレットの目合わせは次のウェハ
ーのＰ／Ｗチエツク開始直前に、行なわなければならな
く、Ｐ／Ｗ終了なら次のウェハーのＰ／Ｗ開始までに目
合わせ時間という無駄があり、スルーブツトが低下する
という欠点がある。
ジが一つしかない為、ペレットの目合わせは次のウェハ
ーのＰ／Ｗチエツク開始直前に、行なわなければならな
く、Ｐ／Ｗ終了なら次のウェハーのＰ／Ｗ開始までに目
合わせ時間という無駄があり、スルーブツトが低下する
という欠点がある。
従来のプロービング装置では、ウェハーステージが１つ
しかないのに対し、本発明のプロービング装置では、ウ
ェハーステージが２つあり、そのウェハーステージを入
れ換える為のレール、又はウェハーステージ交換用のア
ームを有している。
しかないのに対し、本発明のプロービング装置では、ウ
ェハーステージが２つあり、そのウェハーステージを入
れ換える為のレール、又はウェハーステージ交換用のア
ームを有している。
上述した従来のプロービング装置に対し、本発明ではウ
ェハーステージを２つにする事により、。
ェハーステージを２つにする事により、。
１枚のウェハーをＰ／Ｗチエツク中に次のウェハーの目
合わせを行ない待機するという相違点を有している。
合わせを行ない待機するという相違点を有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の正面図（Ａ）と、側面図（
Ｂ）である。
Ｂ）である。
１．２はウェハーステージで１１．１２のθ軸用モータ
にて回転、９，１０の２軸用モータにより上下に動くよ
うになっている。さらに１，２のウェハーステージは６
，７のＸ軸周モータにより、１６のＸ軸シール及び１８
の目合わせ用Ｘ軸シールの上を自由に移動する事が出来
、１６のＸ軸シールは、１７のＹ軸シールの上を１８の
目合わせ用Ｘ軸シールは、１９の目合わせ用Ｙ軸シール
の上を移動する。
にて回転、９，１０の２軸用モータにより上下に動くよ
うになっている。さらに１，２のウェハーステージは６
，７のＸ軸周モータにより、１６のＸ軸シール及び１８
の目合わせ用Ｘ軸シールの上を自由に移動する事が出来
、１６のＸ軸シールは、１７のＹ軸シールの上を１８の
目合わせ用Ｘ軸シールは、１９の目合わせ用Ｙ軸シール
の上を移動する。
動作手順としては、始めにウェハーステージ■１上にウ
ェハーをセットし、目合わせ用Ｘ軸シール１８上でセッ
トしたウェハーの目合わせを行なう。その後Ｘ軸シール
１６上に移動し、Ｐ／Ｗチエツクを行なう。ウェハース
テージ■１でＰ／Ｗチエツクを行なっている間、ウェハ
ーステージ■２上に次のウェハーをセットし、ウェハー
ステージ■と同様の手順にて目合わせを行ない、ウェハ
ーステージ■１上のウェハーのＰ／Ｗチエツクが終了す
るまで待機する。
ェハーをセットし、目合わせ用Ｘ軸シール１８上でセッ
トしたウェハーの目合わせを行なう。その後Ｘ軸シール
１６上に移動し、Ｐ／Ｗチエツクを行なう。ウェハース
テージ■１でＰ／Ｗチエツクを行なっている間、ウェハ
ーステージ■２上に次のウェハーをセットし、ウェハー
ステージ■と同様の手順にて目合わせを行ない、ウェハ
ーステージ■１上のウェハーのＰ／Ｗチエツクが終了す
るまで待機する。
ウェハーステージ■１のＰ／Ｗチエツクが終了したらウ
ェハーステージ■１は、目合わせ用Ｘ軸シール１８上に
移動し、ウェハーステージ■２はＸ軸シール１６上に移
動し、Ｐ／Ｗチエツクを行なう。その間、ウェハーステ
ージ■１は、ウェハーを交換し、最初と同様に目合わせ
を行ない待機するという手順になっている。
ェハーステージ■１は、目合わせ用Ｘ軸シール１８上に
移動し、ウェハーステージ■２はＸ軸シール１６上に移
動し、Ｐ／Ｗチエツクを行なう。その間、ウェハーステ
ージ■１は、ウェハーを交換し、最初と同様に目合わせ
を行ない待機するという手順になっている。
第２図は本発明の他の実施例の正面図（Ａ）と側面図（
Ｂ）である。
Ｂ）である。
１．２はウェハーステージで、１のウェハーステージ■
は１１のθ軸用モータにより回転９の２軸用モータによ
り上下に動くようになっており、さらに６のＸ軸周モー
タにより１６のＸ軸シール上を、８のＹＭ用モータによ
り１７のＹ軸シール上を自由に移動出来る。
は１１のθ軸用モータにより回転９の２軸用モータによ
り上下に動くようになっており、さらに６のＸ軸周モー
タにより１６のＸ軸シール上を、８のＹＭ用モータによ
り１７のＹ軸シール上を自由に移動出来る。
２のウェハーステージ■は１５の目合わせ用θ軸モータ
により回転、１３０目合わせ用Ｘ軸モータにより１８の
目合わせ用Ｘ軸シール上を１４の目合わせ用Ｙ軸モータ
により１９の目合わせ用Ｙ軸シール上を自由に移動出来
る。
により回転、１３０目合わせ用Ｘ軸モータにより１８の
目合わせ用Ｘ軸シール上を１４の目合わせ用Ｙ軸モータ
により１９の目合わせ用Ｙ軸シール上を自由に移動出来
る。
ウェハーステージ１と２の入れ換えは、２４のウェハー
ステージ交換用のアームにより交換出来るようになって
いる。
ステージ交換用のアームにより交換出来るようになって
いる。
この実施例ではウェハーステージの入れ換えをアームに
よって行なっている為、従来のプロービング装置にウェ
ハー交換用のアーム部及びウェハーステージ■の目合わ
せ部を追加する事により実行出来るという利点がある。
よって行なっている為、従来のプロービング装置にウェ
ハー交換用のアーム部及びウェハーステージ■の目合わ
せ部を追加する事により実行出来るという利点がある。
以上説明したように本発明は、ウェハーステージを２つ
有する事により１枚のウェハーをＰ／Ｗチエツク中に、
次のウェハーのペレットの目合わせを行ない、ウェハー
のローディング時間を短縮できるという効果がある。
有する事により１枚のウェハーをＰ／Ｗチエツク中に、
次のウェハーのペレットの目合わせを行ない、ウェハー
のローディング時間を短縮できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す正面図と側面図である
。第２図は本発明のウェハーステージをアームで交換す
るようにした実施例を示す正面図と側面図である。 １・・・・・・ウェハーステージ■、２・・・・・・ウ
ェハーステージ■、３・・・・・・プローブカード、４
・・・・・・目合わせ用センサー ５・・・・・・ウェ
ハー、６・・・・・・Ｘ軸用モータ■、７・・・・・・
Ｘ軸層モータ■、８・・・・・Ｙ軸層モータ、９・・・
・・Ｚ軸層モータ■、１０・・・・・・Ｚ軸周モータ■
、１１・・・・・・θ軸周モータ■、１２・・・・・・
θ軸周モータ■、１３・・・・・・目合わせ用Ｘ軸モー
タ、１４・・・・・・目合わせ用Ｙ軸モータ、１５・・
・・・・目合わせ用θ軸モータ、１６・・・・・・Ｘｉ
レール、１７・・・・・・Ｙ軸シール、１８・・・・・
・目合わせ用Ｘ軸シール、１９・・・・・・目合わせ用
Ｙ軸シール、２０・・・・・・Ｙ軸移動用ネジ、２１・
・・・・・目合わせ用Ｙ軸移動ネジ、２２・・・・・・
Ｘ軸移動用ネジ、２３・・・・・・目合わせ用Ｘ軸移動
ネジ、 ２４・・・・・ ウェハーステージ交換用アーム、 ２５・・・・・・アーム動作用モータ。
。第２図は本発明のウェハーステージをアームで交換す
るようにした実施例を示す正面図と側面図である。 １・・・・・・ウェハーステージ■、２・・・・・・ウ
ェハーステージ■、３・・・・・・プローブカード、４
・・・・・・目合わせ用センサー ５・・・・・・ウェ
ハー、６・・・・・・Ｘ軸用モータ■、７・・・・・・
Ｘ軸層モータ■、８・・・・・Ｙ軸層モータ、９・・・
・・Ｚ軸層モータ■、１０・・・・・・Ｚ軸周モータ■
、１１・・・・・・θ軸周モータ■、１２・・・・・・
θ軸周モータ■、１３・・・・・・目合わせ用Ｘ軸モー
タ、１４・・・・・・目合わせ用Ｙ軸モータ、１５・・
・・・・目合わせ用θ軸モータ、１６・・・・・・Ｘｉ
レール、１７・・・・・・Ｙ軸シール、１８・・・・・
・目合わせ用Ｘ軸シール、１９・・・・・・目合わせ用
Ｙ軸シール、２０・・・・・・Ｙ軸移動用ネジ、２１・
・・・・・目合わせ用Ｙ軸移動ネジ、２２・・・・・・
Ｘ軸移動用ネジ、２３・・・・・・目合わせ用Ｘ軸移動
ネジ、 ２４・・・・・ ウェハーステージ交換用アーム、 ２５・・・・・・アーム動作用モータ。
Claims (1)
- ウェハー内のペレット試験時においてウェハーを乗せる
為のウェハーステージを複数台有す事により、ペレット
の平行合わせ及び位置決めの時間を短縮する事を特徴と
する半導体用プロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25261988A JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25261988A JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0298952A true JPH0298952A (ja) | 1990-04-11 |
Family
ID=17239880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25261988A Pending JPH0298952A (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 半導体用プロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0298952A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0357974A (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体検査装置及び検査方法 |
| US7190764B2 (en) | 2002-10-25 | 2007-03-13 | Japan Science And Technology Agency | Electron accelerator and radiotherapy apparatus using same |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP25261988A patent/JPH0298952A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0357974A (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-13 | Tokyo Electron Ltd | 半導体検査装置及び検査方法 |
| US7190764B2 (en) | 2002-10-25 | 2007-03-13 | Japan Science And Technology Agency | Electron accelerator and radiotherapy apparatus using same |
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