JPH029519Y2 - - Google Patents
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- JPH029519Y2 JPH029519Y2 JP1984178550U JP17855084U JPH029519Y2 JP H029519 Y2 JPH029519 Y2 JP H029519Y2 JP 1984178550 U JP1984178550 U JP 1984178550U JP 17855084 U JP17855084 U JP 17855084U JP H029519 Y2 JPH029519 Y2 JP H029519Y2
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- electrode
- thin film
- dielectric layer
- mask
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、透光性基板上に薄膜EL素子を蒸
着・形成してなる薄膜ELパネルに関するもので
ある。
着・形成してなる薄膜ELパネルに関するもので
ある。
従来の技術
透光性基板上に第１の電極層、第１の誘電体
層、発光層、第２の誘電体層及び第２の電極層を
順次積層した薄膜EL素子を形成してなる薄膜EL
パネルを第６図及び第７図を参照してその具体的
構造から以下説明する。尚、第６図の左半分はＸ
方向の断面図を示し、右半分はＹ方向の断面図を
示す。
層、発光層、第２の誘電体層及び第２の電極層を
順次積層した薄膜EL素子を形成してなる薄膜EL
パネルを第６図及び第７図を参照してその具体的
構造から以下説明する。尚、第６図の左半分はＸ
方向の断面図を示し、右半分はＹ方向の断面図を
示す。
まず、図に示すように、上記薄膜EL素子１は、
ガラス板等の透光性の基板２上に、In，Sn等の
酸化物等からなる透明電極、即ち、第１の電極層
３、Y2O3等からなる第１の誘電体層４、Mn等を
ドープしたZnS等よりなる発光層５、前記第１の
誘電体層４と同様の材質よりなる第２の誘電体層
６、Al等からなる背面電極、即ち、第２の電極
層７を順次積層することにより形成される。そし
てこの薄膜EL素子１を保護すべく、薄膜EL素子
１を覆うように凹板状のカバーガラス８を、エポ
キシ樹脂、光硬化性樹脂等の接着剤９を介して基
板２上に固着させることにより基板２及びカバー
ガラス８からなる外囲器１０を形成し、更に薄膜
EL素子１の耐湿性を向上させるため外囲器１０
内にシリコンオイル等の絶縁性保護流体１１を封
入してある。（特公昭57−47559号公報） ここで上記第１及び第２の電極層３，７…は、
第７図に示すように、発光層５を第１及び第２の
誘電体層（図示せず）を介して挟み込むことによ
り、相互に直交する方向（Ｘ方向及びＹ方向）に
夫々複数本平行配置されてマトリクス状に形成さ
れる。各第１及び第２の電極層３，７…の一端は
１本おきに基板２の反対方向の周辺部に延設さ
れ、各周辺部にて電極層３，７…の端部は電極パ
ツド１２，１２…の一部に重畳して接続され、端
子部３′，７′…を形成する。この端子部３′，
７′…を介して上記第１及び第２の電極層３，７
…とフレキシブルリード１３，１３…とを電気的
に接続する。
ガラス板等の透光性の基板２上に、In，Sn等の
酸化物等からなる透明電極、即ち、第１の電極層
３、Y2O3等からなる第１の誘電体層４、Mn等を
ドープしたZnS等よりなる発光層５、前記第１の
誘電体層４と同様の材質よりなる第２の誘電体層
６、Al等からなる背面電極、即ち、第２の電極
層７を順次積層することにより形成される。そし
てこの薄膜EL素子１を保護すべく、薄膜EL素子
１を覆うように凹板状のカバーガラス８を、エポ
キシ樹脂、光硬化性樹脂等の接着剤９を介して基
板２上に固着させることにより基板２及びカバー
ガラス８からなる外囲器１０を形成し、更に薄膜
EL素子１の耐湿性を向上させるため外囲器１０
内にシリコンオイル等の絶縁性保護流体１１を封
入してある。（特公昭57−47559号公報） ここで上記第１及び第２の電極層３，７…は、
第７図に示すように、発光層５を第１及び第２の
誘電体層（図示せず）を介して挟み込むことによ
り、相互に直交する方向（Ｘ方向及びＹ方向）に
夫々複数本平行配置されてマトリクス状に形成さ
れる。各第１及び第２の電極層３，７…の一端は
１本おきに基板２の反対方向の周辺部に延設さ
れ、各周辺部にて電極層３，７…の端部は電極パ
ツド１２，１２…の一部に重畳して接続され、端
子部３′，７′…を形成する。この端子部３′，
７′…を介して上記第１及び第２の電極層３，７
…とフレキシブルリード１３，１３…とを電気的
に接続する。
上記電極パツド１２，１２…は、第６図に示す
ように、その一部が各第１及び第２の電極層３，
７…の端部に重畳して端子部３′，７′…を形成す
るように、基板２の周辺部に沿つて第１及び第２
の電極層３，７…と同一ピツチ間隔で電子ビーム
蒸着等により形成されるもので、例えば、Ti等
の基板２となじみのよい金属からなる最下層１２
ａと、Al等よりなる中間層１３ｂと、Ni等の半
田となじみのよい金属からなる最上層１３ｃとを
順次積層してなる３層構造のものである。又、フ
レキシブルリード１３は絶縁性のプラスチツクフ
イルム１３ａに、第１及び第２の電極層３，７…
の端子部３′，７′…と同一ピツチ間隔で、銅等よ
りなる複数本の外部リード１３ｂ，１３ｂ…を平
行に被着形成したものである。そして、第１及び
第２の電極層３，７…の端子部３′，７′…とフレ
キシブルリード１３，１３…との電気的接続は、
電極パツド１２，１２…と外部リード１３ｂ，１
３ｂ…の端部とを位置合わせし、電極パツド１
２，１２…の最上層１２ｃ，１２ｃ…に外部リー
ド１３ｂ，１３ｂ…を半田付けしている。
ように、その一部が各第１及び第２の電極層３，
７…の端部に重畳して端子部３′，７′…を形成す
るように、基板２の周辺部に沿つて第１及び第２
の電極層３，７…と同一ピツチ間隔で電子ビーム
蒸着等により形成されるもので、例えば、Ti等
の基板２となじみのよい金属からなる最下層１２
ａと、Al等よりなる中間層１３ｂと、Ni等の半
田となじみのよい金属からなる最上層１３ｃとを
順次積層してなる３層構造のものである。又、フ
レキシブルリード１３は絶縁性のプラスチツクフ
イルム１３ａに、第１及び第２の電極層３，７…
の端子部３′，７′…と同一ピツチ間隔で、銅等よ
りなる複数本の外部リード１３ｂ，１３ｂ…を平
行に被着形成したものである。そして、第１及び
第２の電極層３，７…の端子部３′，７′…とフレ
キシブルリード１３，１３…との電気的接続は、
電極パツド１２，１２…と外部リード１３ｂ，１
３ｂ…の端部とを位置合わせし、電極パツド１
２，１２…の最上層１２ｃ，１２ｃ…に外部リー
ド１３ｂ，１３ｂ…を半田付けしている。
考案が解決しようとする問題点
ところで、透光性の基板２上に薄膜EL素子１
のEL層（発光層と誘電体層）を形成するに際し
ては、基板２の面積よりも小さい開口部を有する
マスクを基板２に密着させ、マスクを介し第１の
電極層３に積層して各誘電体層、発光層を順次蒸
着している。例えば、第１の誘電体層４を蒸着す
るには、第８図に示すような基板面積よりも小さ
い方形状の開口部１４′を有するステンレス製の
マスク１４を用い、このマスク１４を第９図に示
すように基板２に密着させ、マスク１４を介して
第１の誘電体層４を蒸着する。そして、薄膜EL
素子１の他の各EL層も、マスクを所定寸法と形
状の開口部を有するものに代えてから、上記同
様、基板２上に順次積層して蒸着される。
のEL層（発光層と誘電体層）を形成するに際し
ては、基板２の面積よりも小さい開口部を有する
マスクを基板２に密着させ、マスクを介し第１の
電極層３に積層して各誘電体層、発光層を順次蒸
着している。例えば、第１の誘電体層４を蒸着す
るには、第８図に示すような基板面積よりも小さ
い方形状の開口部１４′を有するステンレス製の
マスク１４を用い、このマスク１４を第９図に示
すように基板２に密着させ、マスク１４を介して
第１の誘電体層４を蒸着する。そして、薄膜EL
素子１の他の各EL層も、マスクを所定寸法と形
状の開口部を有するものに代えてから、上記同
様、基板２上に順次積層して蒸着される。
従つて、基板２上に第１の電極層３、第１の誘
電体層４、発光層５、第２の誘電体層６を積層・
形成したとき、第１０図に示すように基板２と第
２の誘電体層６の上面との間に急激な段差Ｈ，
H′が生じる。そのため、第２の誘電体層６に第
２の電極層７を積層して蒸着したとき、第１１図
に示すように上記段差Ｈ又はH′が生じる部分に
電極の段切れ７ａ又は７ｂが生じて断線する。特
に、第１２図に示すように、薄膜EL素子１の各
層を同一開口マスクで蒸着したとき、段差H″が
より大きくなつて上記段切れ７ｃが生じ易い。
電体層４、発光層５、第２の誘電体層６を積層・
形成したとき、第１０図に示すように基板２と第
２の誘電体層６の上面との間に急激な段差Ｈ，
H′が生じる。そのため、第２の誘電体層６に第
２の電極層７を積層して蒸着したとき、第１１図
に示すように上記段差Ｈ又はH′が生じる部分に
電極の段切れ７ａ又は７ｂが生じて断線する。特
に、第１２図に示すように、薄膜EL素子１の各
層を同一開口マスクで蒸着したとき、段差H″が
より大きくなつて上記段切れ７ｃが生じ易い。
問題点を解決するための手段
本考案は、透光性基板上に形成されている第１
の電極層に積層して、第１の誘電体層と発光層と
第２の誘電体層とからなるEL層を形成し、更に
第２の電極層を形成した薄膜EL素子を有する薄
膜ELパネルにおいて、上記EL層の少なくとも第
２の電極層の端部が引き出される側の端面を傾斜
させて成膜したものである。
の電極層に積層して、第１の誘電体層と発光層と
第２の誘電体層とからなるEL層を形成し、更に
第２の電極層を形成した薄膜EL素子を有する薄
膜ELパネルにおいて、上記EL層の少なくとも第
２の電極層の端部が引き出される側の端面を傾斜
させて成膜したものである。
作 用
上記手段によれば、薄膜EL素子のEL層の少な
くとも第２の電極層の端部が引き出される側の端
面において、層厚が徐々に変化し、EL層の急激
な段差が生じないため、第２の電極層の段切れが
生じない。
くとも第２の電極層の端部が引き出される側の端
面において、層厚が徐々に変化し、EL層の急激
な段差が生じないため、第２の電極層の段切れが
生じない。
実施例
本考案の一実施例を第１図乃至第５図を参照し
て以下説明する。第１図において、１５は本考案
に係る薄膜EL素子で、透光性基板２上に第１の
電極層１６、第１の誘電体層１７、発光層１８、
第２の誘電体層１９、及び第２の電極層２０を順
次、積層・形成したものである。この時、上記薄
膜EL素子１５は、EL層、即ち、誘電体層１７，
１９及び発光層１８の少なくとも第２の電極層２
０の端部を引き出す側の端面１７′，１８′，１
９′を傾斜させて成膜されている。そこで、上記
端面１７′，１８′，１９′においてEL層の層厚が
徐々に変化し、従来のような急激な段差Ｈ，
H′又はH″が生じないため、EL層にAl等の第２の
電極層２０を積層して蒸着したとき、従来の電極
の段切れと共に断線が生じない。
て以下説明する。第１図において、１５は本考案
に係る薄膜EL素子で、透光性基板２上に第１の
電極層１６、第１の誘電体層１７、発光層１８、
第２の誘電体層１９、及び第２の電極層２０を順
次、積層・形成したものである。この時、上記薄
膜EL素子１５は、EL層、即ち、誘電体層１７，
１９及び発光層１８の少なくとも第２の電極層２
０の端部を引き出す側の端面１７′，１８′，１
９′を傾斜させて成膜されている。そこで、上記
端面１７′，１８′，１９′においてEL層の層厚が
徐々に変化し、従来のような急激な段差Ｈ，
H′又はH″が生じないため、EL層にAl等の第２の
電極層２０を積層して蒸着したとき、従来の電極
の段切れと共に断線が生じない。
ここで、上記端面１７′，１８′，１９′におけ
る傾斜は、EL層の蒸着に用いられるマスクの開
口部にテーパを設けることにより形成される。例
えば、第１の誘電体層１７を蒸着するに際して
は、第３図及び第４図に示すマスク２１が用いら
れる。このマスク２１は、図に示すように、開口
部２１′の第２の電極層２０の端部を引き出す側
の一対の対向辺を一定の幅だけ上方に折曲し、該
対向辺にテーパ２１″，２１″を設けたものであ
る。そして、第２図に示すように透光性基板２上
にマスク２１を密着させ、マスク２１を介し第１
の誘電体層１７を蒸着したとき、蒸着粒子が基板
２とテーパ２１″の間にわずかに回り込んで基板
２に付着するため、第１の誘電体層１７の上記端
面１７′に傾斜が形成される。又、発光層１８及
び第２の誘電体層１９を蒸着するため、マスクを
所定寸法と形状の開口部を有するものに代えたと
きも、その開口部に上記同様のテーパを設けるこ
とにより蒸着が行われる。
る傾斜は、EL層の蒸着に用いられるマスクの開
口部にテーパを設けることにより形成される。例
えば、第１の誘電体層１７を蒸着するに際して
は、第３図及び第４図に示すマスク２１が用いら
れる。このマスク２１は、図に示すように、開口
部２１′の第２の電極層２０の端部を引き出す側
の一対の対向辺を一定の幅だけ上方に折曲し、該
対向辺にテーパ２１″，２１″を設けたものであ
る。そして、第２図に示すように透光性基板２上
にマスク２１を密着させ、マスク２１を介し第１
の誘電体層１７を蒸着したとき、蒸着粒子が基板
２とテーパ２１″の間にわずかに回り込んで基板
２に付着するため、第１の誘電体層１７の上記端
面１７′に傾斜が形成される。又、発光層１８及
び第２の誘電体層１９を蒸着するため、マスクを
所定寸法と形状の開口部を有するものに代えたと
きも、その開口部に上記同様のテーパを設けるこ
とにより蒸着が行われる。
更に、マスクのテーパは、マスク２１のように
所定の対向辺を一定の幅だけ折曲するに限らず、
第５図に示すマスク２２のように上記対向辺に一
定の幅だけ直接、テーパ２２″を形成してもよい。
所定の対向辺を一定の幅だけ折曲するに限らず、
第５図に示すマスク２２のように上記対向辺に一
定の幅だけ直接、テーパ２２″を形成してもよい。
考案の効果
本考案によれば、透光性基板上に薄膜EL素子
を積層・形成してなる薄膜ELパネルにおいて、
EL層の少なくとも第２の電極層の端部が引き出
される側の端面を傾斜させて成膜したから、EL
層に従来のような急激な段差が生じないため、
EL層に第２の電極層を積層して蒸着したとき、
第２の電極層の段切れをなくすことができ、その
断線を防止できる。
を積層・形成してなる薄膜ELパネルにおいて、
EL層の少なくとも第２の電極層の端部が引き出
される側の端面を傾斜させて成膜したから、EL
層に従来のような急激な段差が生じないため、
EL層に第２の電極層を積層して蒸着したとき、
第２の電極層の段切れをなくすことができ、その
断線を防止できる。
第１図は本考案に係る薄膜EL素子の一実施例
の要部断面図、第２図は第１図の薄膜EL素子の
第１の誘電体層の成膜状態を示す要部断面図、第
３図は第２図に示す成膜に用いられるマスクの斜
視図で、第４図はそのＡ−Ａ線断面図、第５図は
他のマスクの要部断面図、第６図は従来の薄膜
ELパネルの断面図で、左半分はＸ方向の断面図、
右半分はＹ方向の断面図、第７図は第６図の薄膜
ELパネルの電極層とフレキシブルリードとの接
続状態を示す要部平面図、第８図は第６図の薄膜
ELパネルの第１の誘電体層の成膜に用いられる
蒸着用マスクの斜視図、第９図は第８図のマスク
を用いた成膜状態を示す要部断面図、第１０図は
第６図の薄膜ELパネルの薄膜EL素子の部分断面
図、第１１図は第１０図の薄膜EL素子に生じる
電極の段切れの断面図、第１２図は他の薄膜EL
素子に生じる電極の段切れの断面図である。 ２……透光性基板、１５……薄膜EL素子、１
６……第１の電極層、１７……第１の誘電体層、
１８……発光層、１９……第２の誘電体層、２０
……第２の電極層、１７′，１８′，１９′……端
面、２１……マスク、２１′……開口部。
の要部断面図、第２図は第１図の薄膜EL素子の
第１の誘電体層の成膜状態を示す要部断面図、第
３図は第２図に示す成膜に用いられるマスクの斜
視図で、第４図はそのＡ−Ａ線断面図、第５図は
他のマスクの要部断面図、第６図は従来の薄膜
ELパネルの断面図で、左半分はＸ方向の断面図、
右半分はＹ方向の断面図、第７図は第６図の薄膜
ELパネルの電極層とフレキシブルリードとの接
続状態を示す要部平面図、第８図は第６図の薄膜
ELパネルの第１の誘電体層の成膜に用いられる
蒸着用マスクの斜視図、第９図は第８図のマスク
を用いた成膜状態を示す要部断面図、第１０図は
第６図の薄膜ELパネルの薄膜EL素子の部分断面
図、第１１図は第１０図の薄膜EL素子に生じる
電極の段切れの断面図、第１２図は他の薄膜EL
素子に生じる電極の段切れの断面図である。 ２……透光性基板、１５……薄膜EL素子、１
６……第１の電極層、１７……第１の誘電体層、
１８……発光層、１９……第２の誘電体層、２０
……第２の電極層、１７′，１８′，１９′……端
面、２１……マスク、２１′……開口部。
Claims (1)
- 透光性基板上に形成されている第１の電極層に
積層して、第１の誘電体層と発光層と第２の誘電
体層とからなるEL層を形成し、更に第２の電極
層を形成した薄膜EL素子を有する薄膜ELパネル
において、上記EL層の少なくとも第２の電極層
の端部が引き出される側の端面を傾斜させて成膜
したことを特徴とする薄膜ELパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984178550U JPH029519Y2 (ja) | 1984-11-24 | 1984-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984178550U JPH029519Y2 (ja) | 1984-11-24 | 1984-11-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192978U JPS6192978U (ja) | 1986-06-16 |
| JPH029519Y2 true JPH029519Y2 (ja) | 1990-03-08 |
Family
ID=30736115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984178550U Expired JPH029519Y2 (ja) | 1984-11-24 | 1984-11-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH029519Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI80821C (fi) * | 1987-02-23 | 1990-07-10 | Lohja Ab Oy | Skivformig displaykonstruktion, i synnerhet elektroluminensdisplaykonstruktion. |
| JP3999837B2 (ja) * | 1997-02-10 | 2007-10-31 | Ｔｄｋ株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| JP4880923B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2012-02-22 | 日本放送協会 | 表示装置 |
| JP2007227397A (ja) * | 2007-04-23 | 2007-09-06 | Tohoku Pioneer Corp | 発光ディスプレイパネル及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855634A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Nobuhiro Kojima | 建築物の通気方法および装置 |
| JPS5911437U (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 電子部品 |
-
1984
- 1984-11-24 JP JP1984178550U patent/JPH029519Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855634A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Nobuhiro Kojima | 建築物の通気方法および装置 |
| JPS5911437U (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 電子部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6192978U (ja) | 1986-06-16 |
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