JPH0294542A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造装置等に適用して好適な搬送装置
に関し、詳しくは基板カセットからの基板の供給・回収
に際し基板等の姿勢を補正する高精度な搬送装置に関す
る。

［従来の技術］ 従来、半導体製造におけるウェハ搬送では、ウニ八カセ
ットの寸法精度が悪く、また搬送ハンドが高精度に位置
決めされていないため、ウェハをウニ八カセットに当た
らずに出し入れするのは困難であった。実際、従来のウ
ェハ搬送では、ウェハがウニ八カセットにこすれ、ゴミ
がでるのを承知の上で搬送しているケースがよくあった
。しかし、このようなウェハのウニ八カセットとの接触
は従来ではそれ程問題とはなっていなかった。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、近年半導体製造における露光による微細
パターン形成技術が向上するとともに、このようなりエ
バとウニ八カセットのこすれによるゴミの問題が無視で
きない問題となってぎた。

すなわち、このようなゴミが原因となって、半導体製造
における歩留りを低下させるからである。

本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、クエへ
等の基板を収納部から出し入れする際に基板と収納部と
の接触等を無くしゴミを出さない搬送装置を提供するこ
とを目的とする。

［課題を解決するための手段および作用］上記の目的を
達成するため、本発明に係る搬送装置は、基板を収納す
る基板収納部と基板の出し入れを行なう搬送ハンド部と
の間に姿勢補正手段を設け、基板の出し入れを行なう際
には、この姿勢補正手段により基板および搬送ハンドが
基板収納部に接触しないように搬送ハンドの姿勢を補正
することとしている。

これにより、ウェハ等の基板をウェハカセット等の基板
収納部に対して出し入れする際には、基板収納部の直前
で搬送ハンドの姿勢が所定の姿勢に補正される。したが
って、基板を基板収納部から、こすらずに出し入れする
ことができる。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る搬送装置の側面を示
す。同図において、１は回転台、２は回転台１の上に固
定されたベース板、３はベース板２の上に固定された直
動ガイド、１４は直動ガイド３の上に固定された固定ブ
ロックである。４はウェハを吸着して実際にウェハカセ
ットとの間で出し入れする吸着ハンドで、固定ブロック
１４に固定されている弾性体１７によって支持されてい
る。６は吸着ハンド４の吸着面を補正するための３点の
ビンが突き出たハンドロック板、５はそのハンドロック
板６を最初に設定した姿勢に対して平行に上下するため
の平行リンクである。ハンドロック板６は平行リンク５
に固定されている。平行リンク５は固定ブロック１４に
取り付けられている。これらの回転台１、ベース板２、
直動ガイド３、固定ブロック１４、平行リンク５、ハン
ドロック板６、弾性体１７および吸着ハンド４により搬
送ハンド部が構成される。１５は吸着ハンド４に吸着さ
れているウェハである。

７はカセット台、８はカセット台７の上に固定されてい
るウェハを収納するためのウェハカセット（ウェハ収納
部）である。９は吸着ハンド４に吸着されたウェハ１５
がウェハカセット８の直前に位置したときにその姿勢を
補正するためハンドロック板６に突き当てる駒付き突き
当て棒である。１１は駒付き突き当て棒９をｙ軸方向（
紙面上下方向）にガイドする直動ガイド、１０は直動ガ
イド１１が取り付けられている取り付は板である。駒付
き突き当て棒９は偏心カム１３によってｙ軸方向に駆動
され、この偏心カム１３はアクチュエータ１２により駆
動される。１６はホトセンサ、１８はアクチュエータ１
２を駆動制御する電磁弁、１９はホトセンサ１６からの
出力を受けて電磁弁１８の動作を制御するＣＰＵである
。ホトセンサ１６は、吸着ハンド４に吸着されたウェハ
１５がウェハカセット８に入る直前の位置まできたこと
を検出することができる。

次に、上記構成において、クエへをウェハカセットに回
収する動作を順を追って説明する。

まず、露光後のウェハ１５を吸着した吸着ハンド４を含
むユニットを、回転台１によってウェハカセット８の回
収側に回転させる。次に、直動ガイド３を駆動し、吸着
ハンド４に吸着されたウェハ１５を、ウェハカセット８
に入る直前の位置（駒付き突き当て棒９の突き当て位置
）まで動かして止める。直動ガイド３がこのウェハカセ
ット８の直前位置に来ると、ベース板２上のホトセンサ
１６が遮光される。ＣＰＵ１９は、ホトセンサ１６の遮
光を検知すると、アクチュエータ１２に対し指令を出し
、駒付き突ぎ当て棒９を所定の位置まで上昇させる。

駒付き突き当て棒９の上昇により、ハンドロック板６が
上方に押し上げられる。するとハンドロック板６上の３
点のピンが吸着ハンド４を押し上げる。これにより、吸
着ハンド４の面が矯正され、ウェハ１５の姿勢が補正さ
れる。この状態で直動ガイド３を駆動すれば、ハンドロ
ック板６は駒付き突き当て棒９により上方に押し上げら
れたまま、その駒の上を滑りながら移動することとなる
。これにより、ウェハ１５をウェハカセット８の収納位
置までこすらずに動かすことができる。

なお、ウェハカセット８は不図示の機構により紙面の上
下方向に動くことができる。

供給動作、すなわちウェハカセット８からウェハ１５取
り出す動作も回収動作と同様であり、ウェハカセット８
の直前で吸着ハンド４の姿勢を補正し、そのまま直動ガ
イド３によりウェハカセット８の収納位置まで差し入れ
る。そして、周知の方式によりクエへを吸着して取り出
せばよい。

第２．３．４図は、本実施例によるクエへのウェハカセ
ットへの収納動作をさらに詳細に表わす側面図である。

これらの図を参照して、吸着ハンド４、平行リンク５、
ハンドロック板６および駒付き突き当て棒９の関係を説
明する。

第２図は、直動ガイド３によりウェハ１５をウェハカセ
ット８の直前まで動かして止めたときを示す。弾性体１
７によって支持されている吸着ハンド４がたわんでおり
、もしこのままの状態でクエへを差し入れれば、ウェハ
１５および吸着ハンド４がウェハカセット８とこすれ合
ってしまうことが分かる。

第３図は、アクチュエータ１２によって上昇した駒付き
突き当て棒９がハンドロック板６を押し上げた状態を示
している。吸着ハンド４はハンドロック板６上の３点の
ピンにより押し上げられており、その姿勢は平行リンク
５により最初に設定した姿勢に対して平行に位置決めさ
れている。なお、ウェハカセット８のウェハ収納部は、
この押し上げられた状態のウェハ１５の姿勢（補正後の
姿勢）に対して平行となるように予め調整しておく。

第４図は、第３図の状態から吸着ハンド４を直動ガイド
３により水平に動かした様子を示す。駒付き突き当て棒
９はハンドロック板６を押し上げたままであり、これに
よりウェハ１５はその姿勢を補正した状態でウェハカセ
ット８に差込まれている。したがって、ウェハ１５とウ
ェハカセット８とは、こすれ合うことがない。

本実施例によればウェハカセット８の直前でウェハ１５
の姿勢を補正しているので、例えば本実施例の吸着ハン
ドの支持部材１７を高剛性とした場合と比べても、位置
決め誤差も少なく、ウェハ１５をウェハカセット８にこ
すらずに出し入れすることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、姿勢補正手段を
基板収納部と搬送ハンド部との間に備えているので、ウ
ェハ等の基板を収納部から出し入れする際に基板等と収
納部との接触を無くしゴミを出さないようにすることが
できる。また、基板の出し入れは高精度に行なうことが
でき、簡易な構成であるので安価でしかも組立ても容易
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る搬送装置の側面図、 第２図は、上記実施例における吸着ハンドの姿勢補正直
前の側面図、 第３図は、上記実施例における吸着ハンドの姿勢補正直
後の側面図、 第４図は、上記実施例において吸着ハンドを姿勢補正後
ウェハカセットに挿入した場合の側面図である。 １：回転台、 ：直動ガイド、 ：吸着ハンド、 ：平行リンク、 ：ハンドロツク板翫 ：カセット台、 ：ウェハカセット、 ：駒付ぎ突き当て棒、 ０：取り付は板、 ｔｏｙ軸直軸直イガイ ド：アクチエエータ、 ３：偏心カム、 ４：固定ブロック、 ５：ウェハ、 ６：ホトセンサ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板を収納する基板収納部と、該基板収納部との
   間で基板の出し入れを行なう搬送ハンド部と、該基板収
   納部と該搬送ハンド部との間で基板の出し入れを行なう
   際に該基板および搬送ハンドが基板収納部に接触しない
   ように搬送ハンドの姿勢を補正する姿勢補正手段とを具
   備することを特徴とする搬送装置。