JPH0513299A - レチクル搬送機構 - Google Patents
レチクル搬送機構Info
- Publication number
- JPH0513299A JPH0513299A JP3161237A JP16123791A JPH0513299A JP H0513299 A JPH0513299 A JP H0513299A JP 3161237 A JP3161237 A JP 3161237A JP 16123791 A JP16123791 A JP 16123791A JP H0513299 A JPH0513299 A JP H0513299A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- transfer arm
- forks
- arm
- transfer
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】寸法の異なるレチクルでも搬送して装置に装愼
できる。 【構成】ポール２を上下動してケース７ａ，７ｂを認識
するセンサ１３とレチクル５の大きさに応しで間隔を変
えるフォーク８ａ，８ｂとを有する搬送アーム１ａと、
レチクル装愼口６へレチクル５を挿入する搬送アーム１
ａと同じ構造の搬送アーム１ｂとを備え、所望のレチク
ルに応じてフォーク８ａと８ｂの間隔を変えて、レチク
ル５を装置のレチクル装愼口６に搬送し、装愼する。
できる。 【構成】ポール２を上下動してケース７ａ，７ｂを認識
するセンサ１３とレチクル５の大きさに応しで間隔を変
えるフォーク８ａ，８ｂとを有する搬送アーム１ａと、
レチクル装愼口６へレチクル５を挿入する搬送アーム１
ａと同じ構造の搬送アーム１ｂとを備え、所望のレチク
ルに応じてフォーク８ａと８ｂの間隔を変えて、レチク
ル５を装置のレチクル装愼口６に搬送し、装愼する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、露光装置にレチクルを
装愼するレチクル搬送機構に関する。
装愼するレチクル搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光装置は約１５ｍｍ平方の領域
を露光できる構造を有し、レチクルのパターンを１／５
に縮少して半導体基板にパターンを転写していた。そし
て、この露光装置に使用されるレチクルは、５インチ平
方の大きさのものが使用されていた。ところが最近は、
パターンの微細化にともない転写領域も、例えば、２０
ｍｍ平方と大きくなり、使用されるレチクルも６インチ
平方といったより大きなものになった。
を露光できる構造を有し、レチクルのパターンを１／５
に縮少して半導体基板にパターンを転写していた。そし
て、この露光装置に使用されるレチクルは、５インチ平
方の大きさのものが使用されていた。ところが最近は、
パターンの微細化にともない転写領域も、例えば、２０
ｍｍ平方と大きくなり、使用されるレチクルも６インチ
平方といったより大きなものになった。
【０００３】一方、この露光装置にレチクルを装愼する
レチクル搬送機構は、図面には示さないが、ケースより
レチクルを引き出し、レチクルを移載する２本のアーム
からなる搬送アームと、この搬送アームを装置のレチク
ル装愼口に移動させるレチクル受渡機構と、レチクル装
愼口に到着した搬送アームからレチクルを移載し、装置
のレチクル保持台に装愼する移載用アームとを有してい
た。
レチクル搬送機構は、図面には示さないが、ケースより
レチクルを引き出し、レチクルを移載する２本のアーム
からなる搬送アームと、この搬送アームを装置のレチク
ル装愼口に移動させるレチクル受渡機構と、レチクル装
愼口に到着した搬送アームからレチクルを移載し、装置
のレチクル保持台に装愼する移載用アームとを有してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来のレチクル搬送機構では、例えば、５インチのレチ
クルなら、５インチのみのレチクルを装愼出来る構造な
ので、５インチより大ききレチクルを搬送してレチクル
を装愼出来ないという欠点がある。このため、６インチ
のレチクルが装愼出来るレチクル搬送機構を準備し、縮
小投影露光装置に取付けなければならないという問題が
あった。
従来のレチクル搬送機構では、例えば、５インチのレチ
クルなら、５インチのみのレチクルを装愼出来る構造な
ので、５インチより大ききレチクルを搬送してレチクル
を装愼出来ないという欠点がある。このため、６インチ
のレチクルが装愼出来るレチクル搬送機構を準備し、縮
小投影露光装置に取付けなければならないという問題が
あった。
【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、寸法の異なるレチクルでも装置にレチクルを装愼出
来るレチクル搬送機構を提供することである。
く、寸法の異なるレチクルでも装置にレチクルを装愼出
来るレチクル搬送機構を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のレチクル搬送機
構は、ケースに収納されるレチクルを引き出し、搬送し
て露光装置に装愼するレチクル搬送機構において、大き
さの異なる前記レチクルを認識し、前記レチクルの大き
さに応じて間隔を変える二本のフォークをもつ第１の搬
送アームと、この第１の搬送アームのフォークで保持さ
れる前記レチクルを移載して露光装置のレチクル装愼口
に位置決めするレチクル受渡機構部と、このレチクル受
渡機構部から前記レチクルを移載し、前記レチクル装愼
口に挿入する前記第１の搬送アームと同じ構造をもつ第
２の搬送アームとを備えている。
構は、ケースに収納されるレチクルを引き出し、搬送し
て露光装置に装愼するレチクル搬送機構において、大き
さの異なる前記レチクルを認識し、前記レチクルの大き
さに応じて間隔を変える二本のフォークをもつ第１の搬
送アームと、この第１の搬送アームのフォークで保持さ
れる前記レチクルを移載して露光装置のレチクル装愼口
に位置決めするレチクル受渡機構部と、このレチクル受
渡機構部から前記レチクルを移載し、前記レチクル装愼
口に挿入する前記第１の搬送アームと同じ構造をもつ第
２の搬送アームとを備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を用いて説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示すレチクル搬
送機構の斜視図である。このレチクル搬送機構は、図１
に示すように、小形のレチクル５及び大形のレチクル５
が収納されているケース７ａ及び７ｂのそれぞれを認識
するセンサ１３と、ケース７ａあるいはケース７ｂから
レチクル５を移載して取出すフォーク８ａ及び８ｂを備
える搬送アーム１ａと、この搬送アーム１ａを上下動さ
せ、所要のケース７ａ，７ｂの位置と所定の位置との往
復させるポール２と搬送アーム１ａのレチクル５を吸着
パッド４ａで保持して移載してレール３上を往復移動す
るレチクル受渡機構部４と、レチクル装愼口６に位置決
めされたレチクル受渡機構部４よりレチクル５を移載し
てレチクル装愼口６に挿入する搬送アーム１ｂとを有し
ている。
送機構の斜視図である。このレチクル搬送機構は、図１
に示すように、小形のレチクル５及び大形のレチクル５
が収納されているケース７ａ及び７ｂのそれぞれを認識
するセンサ１３と、ケース７ａあるいはケース７ｂから
レチクル５を移載して取出すフォーク８ａ及び８ｂを備
える搬送アーム１ａと、この搬送アーム１ａを上下動さ
せ、所要のケース７ａ，７ｂの位置と所定の位置との往
復させるポール２と搬送アーム１ａのレチクル５を吸着
パッド４ａで保持して移載してレール３上を往復移動す
るレチクル受渡機構部４と、レチクル装愼口６に位置決
めされたレチクル受渡機構部４よりレチクル５を移載し
てレチクル装愼口６に挿入する搬送アーム１ｂとを有し
ている。
【０００９】図２（ａ）及び（ｂ）は搬送アームを拡大
して示す上面図及び側面図である。搬送アーム１ａと搬
送アーム１ｂは、図２に示すように、Ｌ字形のフォーク
８ａ及び８ｂの後端側に互いに向き合うラック９が形成
され、このラック９の背面側は本体のあり溝にはめ込め
られ摺動出来るようになっている。また、ラック９の間
にはピニオン１０が歯合っており、ピニオン１０はステ
ップモータ１１の軸に取付けられている。従って、ステ
ップモータ１１によりピニオン１０が右回転すれば、ラ
ック９が互いに逆方向に移動し、フォーク８ａと８ｂが
開き、大形レチクルを引き出すときは、ピニオン１０を
左回転させ、フォーク８ａと８ｂの間隔を狭くする。
して示す上面図及び側面図である。搬送アーム１ａと搬
送アーム１ｂは、図２に示すように、Ｌ字形のフォーク
８ａ及び８ｂの後端側に互いに向き合うラック９が形成
され、このラック９の背面側は本体のあり溝にはめ込め
られ摺動出来るようになっている。また、ラック９の間
にはピニオン１０が歯合っており、ピニオン１０はステ
ップモータ１１の軸に取付けられている。従って、ステ
ップモータ１１によりピニオン１０が右回転すれば、ラ
ック９が互いに逆方向に移動し、フォーク８ａと８ｂが
開き、大形レチクルを引き出すときは、ピニオン１０を
左回転させ、フォーク８ａと８ｂの間隔を狭くする。
【００１０】次に、このレチクル搬送機構の動作を説明
する。再び、図１を参照して、まず、搬送アーム１ａが
ポール２を上下動する。センサ１３は、例えば、大形レ
チクルのケース７ｂを認識し、搬送アーム１ａは、フォ
ーク８ａと８ｂの位置と大形レチクルが収納されるケー
ス７ｂの位置と一致したとき停止される。次に、ケース
７ａ，７ｂを搭載台（図示せず）が矢印の方向に往復移
動して、レチクル５をフォーク８ａ，８ｂに搭載する。
ここで、この移載動作を行う前に、フォーク８ａとフォ
ーク８ｂの間隔がレチクル５に合うか否かを確認する。
もし、間隔が狭く、レチクル５が移載出来ないとレチク
ル５に合うか否かを確認する。もし、間隔が狭く、レチ
クル５が移載出来ないと判定したら、図２に示すステッ
プモータ１１が右回転し、フォーク８ａと８ｂの間隔を
拡げる。
する。再び、図１を参照して、まず、搬送アーム１ａが
ポール２を上下動する。センサ１３は、例えば、大形レ
チクルのケース７ｂを認識し、搬送アーム１ａは、フォ
ーク８ａと８ｂの位置と大形レチクルが収納されるケー
ス７ｂの位置と一致したとき停止される。次に、ケース
７ａ，７ｂを搭載台（図示せず）が矢印の方向に往復移
動して、レチクル５をフォーク８ａ，８ｂに搭載する。
ここで、この移載動作を行う前に、フォーク８ａとフォ
ーク８ｂの間隔がレチクル５に合うか否かを確認する。
もし、間隔が狭く、レチクル５が移載出来ないとレチク
ル５に合うか否かを確認する。もし、間隔が狭く、レチ
クル５が移載出来ないと判定したら、図２に示すステッ
プモータ１１が右回転し、フォーク８ａと８ｂの間隔を
拡げる。
【００１１】次に、従来例と同様に、レチクル受渡機構
部４は、所定の位置にある搬送アーム１ａからレチクル
５を吸着パッド４ａで吸着保持する。次に、レチクル受
渡機部４はレール３上を移動し、レチクル装愼口６で停
止する。次に、搬送アーム１ａと同じようにフォーク８
ａ，８ｂが開いている搬送アーム１ｂによりレチクル５
はレチクル装愼口６から挿入され、装置本体に装愼され
る。また、レチクル５を装置より取出すときは、この動
作と逆に行えば良い。
部４は、所定の位置にある搬送アーム１ａからレチクル
５を吸着パッド４ａで吸着保持する。次に、レチクル受
渡機部４はレール３上を移動し、レチクル装愼口６で停
止する。次に、搬送アーム１ａと同じようにフォーク８
ａ，８ｂが開いている搬送アーム１ｂによりレチクル５
はレチクル装愼口６から挿入され、装置本体に装愼され
る。また、レチクル５を装置より取出すときは、この動
作と逆に行えば良い。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、大形のレ
チクルを収納するケース及び小形のレチクルを収納する
ケースを認識し、レチクルの大きさに応じて間隔を変え
られる２本のフォークをもつ第１の搬送アームを設ける
ことによって、適合した間隔のフォークによりそれぞれ
のケースからレチクルを引出し、レチクル受渡機後部で
レチクルを移載するとともに搬送し、装置のレチクル装
愼口に装置決めし、第１の搬送アームと同じ機構をもつ
第２の搬送アームでレチクルをレチクル装愼口に挿入し
て露光装置に装愼することが出来るので、寸法の異なる
レチクルでも装置に装愼できるレチクル搬送機構が得ら
れるという効果がある。
チクルを収納するケース及び小形のレチクルを収納する
ケースを認識し、レチクルの大きさに応じて間隔を変え
られる２本のフォークをもつ第１の搬送アームを設ける
ことによって、適合した間隔のフォークによりそれぞれ
のケースからレチクルを引出し、レチクル受渡機後部で
レチクルを移載するとともに搬送し、装置のレチクル装
愼口に装置決めし、第１の搬送アームと同じ機構をもつ
第２の搬送アームでレチクルをレチクル装愼口に挿入し
て露光装置に装愼することが出来るので、寸法の異なる
レチクルでも装置に装愼できるレチクル搬送機構が得ら
れるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すレチクル搬送機構の斜
視図である。
視図である。
【図２】図１の搬送アームを拡大して示す図であり、
（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。
（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。
１ａ，１ｂ 搬送アーム ２ ポール ３ レール ４ レチクル受渡機後部 ５ レチクル ６ レチクル装愼口 ７ａ，７ｂ ケース ８ａ，８ｂ フォーク ９ ラック １０ ピニオン １１ ステップモータ １２ 本体 １３ センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ケースに収納されるレチクルを引き出
し、搬送して露光装置に装愼するレチクル搬送機構にお
いて、大きさの異なる前記レチクルを認識し、前記レチ
クルの大きさに応じて間隔を変える二本のフォークをも
つ第１の搬送アームと、この第１の搬送アームのフォー
クで保持される前記レチクルを移載して露光装置のレチ
クル装愼口に位置決めするレチクル受渡機構部と、この
レチクル受渡機構部から前記レチクルを移載し、前記レ
チクル装愼口に挿入する前記第１の搬送アームと同じ構
造をもつ第２の搬送アームとを備えることを特徴とする
レチクル搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161237A JPH0513299A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | レチクル搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161237A JPH0513299A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | レチクル搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513299A true JPH0513299A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=15731249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3161237A Pending JPH0513299A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | レチクル搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513299A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06278806A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持アーム |
| KR100665293B1 (ko) * | 2006-01-04 | 2007-01-17 | 코리아테크노(주) | 마스크 운송박스 박스커버 오프너 |
| JP2014036143A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Lintec Corp | 搬送装置および搬送方法 |
| JP2020179485A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、モバイル型の収容装置、及びロボット制御方法 |
-
1991
- 1991-07-02 JP JP3161237A patent/JPH0513299A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06278806A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板支持アーム |
| KR100665293B1 (ko) * | 2006-01-04 | 2007-01-17 | 코리아테크노(주) | 마스크 운송박스 박스커버 오프너 |
| JP2014036143A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Lintec Corp | 搬送装置および搬送方法 |
| JP2020179485A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、モバイル型の収容装置、及びロボット制御方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000411 |