JPH0291837A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光を利用して磁性膜上に情報を記録する
光磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

垂直磁気異方性を有する磁性膜を記録膜として用いる光
磁気記録媒体では、磁性膜の磁化の向きを情報の“１７
７　、　１１０１１に対応させるために、記録のみなら
ず消去・再記録が可能である。

光磁気記録媒体の構造には種々のものがあるが、磁性膜
上に直接あるいは適当な介在層を介して金、属膜を設け
た光磁気記録媒体が、再生性能や耐食性が向上する点で
有利であることが特開昭６１−１７２３６号公報あるい
は特開昭５９−１５２５５２号公報に記載されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら上記従来技術では、情報の消去を行なった
際の消え残りに対する配慮がなされていない。消去が不
完全で消え残りがある場合には、新たに記録された情報
の再生時に読み誤りが発生する恐れがあるため、光磁気
記録媒体の信頼性を損ってしまう。

消え残りが発生する場所は、主として、レーザ光スポッ
トが本来通過すべき位置から離れたところである。すな
わち、いわゆるオン・ランド記録の場合には、グルーブ
（案内溝）内の磁性膜に記録された領域（記録磁区）が
、消去時のトラッキングずれのために、消え残りとなる
ことがある。

本発明の目的は、消え残りという問題を大幅に低減でき
る光磁気記録媒体を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明では、ランド（基板
側から光が入射した際に、より遠い側）上の磁性膜が、
隣接するグルーブ（基板側から光が入射した際に、より
近い側）上の金属膜とその一部が相隣るように配置して
いる。すなわち、グルーブとグルーブとの間のランド上
の磁性膜の基板側の面が、隣接するグルーブ上の金属膜
の基板とは反対側の面よりも基板側に位置するように配
置し、しかもランド上の磁性膜の基板とは反対側の面が
、隣接するグルーブ上の金属膜の基板側の面よりも基板
とは反対側に位置するように配置する。このような配置
を可能ならしめるためには、グルーブ形状としては、い
わゆる矩形状あるいはＵ字状、７字状もしくは台形状で
あることが好ましく、また、第１の透明膜、磁性膜、第
２の透明膜、金属膜の順で基板上に膜を構成することが
好ましい。さらには、本発明になる光磁気記録媒体に対
して磁界の強度を変調して記録が行なわれた場合に、消
え残りが特に顕著に低減される。

〔作用〕

金属膜は光の反射膜として、あるいは保護膜として作用
する以外に、レーザ光により磁性膜に照射された光′が
磁性膜に与えた熱を吸収する作用、すなわちヒート・シ
ンクとしても働く。この働きは金属膜が磁性膜に近接す
るほど顕著になってくる。金属膜と磁性膜とが前述した
ように配置されると、ランド上の磁性膜に与えられた熱
は、その上方に積層された金属膜に向かって縦方向へ拡
散するとともに、隣接するグルーブ上に設けられた金属
膜へ向かって横方向へも拡散する。グルーブ上の磁性膜
は、グルーブの深さ分だけランド上の金属膜とは離れて
いるため、グルーブ上の磁性膜からランド上の金属膜へ
向かっての熱拡散はほとんど生じない。このため、適当
なパワーのレーザ光をグルーブに沿って照射すれば、グ
ルーブ上の磁性膜には記録磁区が形成され、ランド上の
磁性膜には記録磁区が形成されにくくすることが可能で
ある。しかもレーザ光の強度分布はガウス型であるため
、グルーブ上では強度が高く、ランド上ではもともと強
度が低い。このため、ランド上の磁性膜には記録されな
いようなレーザ光強度を設定する際、その強度マージン
は充分大きく取ることが可能である。つまり、グルーブ
上には記録磁区を形成しないということが実現可能なレ
ーザ光の強度マージンが比較的広く存在することを意味
している。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図において、射出成形により作製されたポリカーボ
ネート基板１には、１．４μｍのピッチで矩形状のグル
ーブ６が形成されている。グルーブ６の幅は０．９μｍ
である。グルーブ６とグルーブ６との間の平坦部、すな
わちランド７におけるポリカーボネート基板１の厚さは
、グルーブ６におけるポリカーボネート基板１の厚さよ
りもグルーブ６の深さ分だけ厚い。グルーブ６の深さは
ここでは１０００人としている。該ポリカーボネート基
板１をまず８０℃の真空中に３時間保持し、基板に含ま
れる水の脱水処理を行なった。この後、ポリカーボネー
ト基板１を高周波マグネトロン・スパッタ装置内に装填
し、８　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒ以下に真空槽内を排気
した後、ＡｒガスとＮ２ガスとの混合ガスを導入し、Ｓ
ｉＮの焼結体をターゲットとしてＩＸＩｏｏ−２Ｔｏｒ
ｒのガス圧でスパッタし、第１透明膜２としてＳｉＮ膜
を８００人だけポリカーボネート基板１上に形成した。

次いで同様な真空排気後、Ａｒガスを導入し、 Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｂからなる合金ターゲットを５　
Ｘ　Ｉ　Ｏ−′Ｔｏｒｒのガス圧でスパッタし、Ｔｂ−
Ｆ　ｅ−Ｃｏ−Ｎｂｉｉ性膜３を２００人だけ形成した
。次いで再び同様な真空排気後、ＡｒとＮ２と０２との
混合ガスを導入し、Ａｌ１とＳｉとの混合焼結体をター
ゲットとして２　Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒのガス圧でスパ
ッタし、第２透明膜４として５ｉ−ＡΩ−０−Ｎ膜を４
００人の厚さ形成した。

このあと再び同様な真空排気を行なった後、Ａｒガスを
導入し、ＡＱのターゲットを３Ｘ１０−３Ｔ　ｏｒｒの
ガス圧でスパッタし、Ａｆｆ金属膜５を５００人の厚さ
だけ形成した。

本発明においては、ランド７上の磁性膜３は、その両側
面の一部がグルーブ６上の金属膜５と接している。この
ため、グルーブ６上にトラッキングをかけ光スポットが
グルーブ６上を走るように設定し、グルーブ６上に記録
磁区を形成するようにした場合、光スポットによって磁
性膜３に与えられた熱は、グルーブ６上では磁性膜３内
および磁性膜３から金属膜５へ拡散するだけであるのに
対し、ランド７上ではこれらに加えて、グルーブ６上の
金属膜５へも拡散する。記録磁区を形成するためには磁
性膜３の温度をキュリー温度近傍にまで上昇させる必要
がある。したがって、ランド７上の磁性膜３はグルーブ
６上の磁性膜３に比べて温度上昇しにくいため、記録感
度が悪い。つまり、ランド７上の磁性膜３には記録磁区
が形成されにくい。

ランド７上の磁性膜３の記録感度は、グルーブ上の金属
膜５がランド７上の磁性膜３の側面を覆うように形成さ
れた場合に最も悪くなる。したがってこのような構成に
なるように、ポリカーボネート基板１上に積層する第１
透明膜２．磁性膜３゜第２透明膜４．金属膜５の冬服の
膜厚を設定することができる。ただし、ランド７上の記
録感度を低下させるという効果を得るためには、ランド
７上の磁性膜３の側面の一部がグルーブ６上の金属膜５
と接していればよい。この条件を満足するように種々の
グルーブ６の深さに対して冬服の膜厚を設定した数例を
、第１表に示す。

第１表 単位二人 また、グルーブ６の形状は上記実施例において示された
矩形状に限定されるものではない。上述したような、ラ
ンド７上の磁性膜３の記録感度を低下させる効果を引き
出すことのできるグルーブ６の形状としては、第２図に
示すようなＵ字状、第３図に示すような７字状、あるい
は第４図に示すような台形状であればよい。これらの場
合、グルーブ６とランド７との間には、斜面８が存在す
る。この斜面８の傾き角は基板の光入射側平面９に対し
て９０６が望ましい。実際にはこの傾き角を９０’にす
ることはグルーブ６形成のプロセス上困難であるため、
９０６以下の値をとることが多い。今、Ｕ字状の案内溝
を有する基板上に第１図の実施例と同じ多層膜を積層し
最上層に紫外線硬化樹脂層９を１０μｍの厚さだけスピ
ン塗布した場合、第４図に示すように斜面８上にも透明
膜や磁性膜、金属膜が形成されるため、第１図に示した
ような、ランド７上の磁性膜３がグルーブ６上の金属膜
５と側面で直接接するという状況は生じない。しかしな
がら、斜面８の傾き角が３０゜以上あるならば、斜面８
上に形成される透明膜や磁性膜、金属膜の厚さは充分薄
くなる。このため、前述したようなグルーブ６上の金属
膜５による熱吸収効果が顕著となり、ランド７上の磁性
膜３の、記録感度を低減することが可能である。ただし
７字状のグルーブの場合には、グルーブの深さを、使用
するレーザ光の波長をλとして、λ／８の奇数（１，３
，５・・・・・・）倍が適当であり、深い方がより好ま
しい。

なお、本発明になる光磁気記録媒体の膜構成は上述した
実施例に限られるものではなく、以下のような構成も可
能である。すなわち、 （１）透明膜としてＳｉＯ，Ｔａ、Ｏ，などの酸化物、
ＡｇＮ、ＴａＮなとの窒化物、ＺｎＳなどの硫化物を用
いる。

（２）金属膜上に無機物（ＳｉＮ、Ｓｉｎ。

ＡＱＮなど）や有機物（熱硬化性樹脂や紫外線硬化樹脂
など）を更に積層する。

（３）　　ａ性膜上に第２透明膜を設けないで直接金属
膜を形成する。

（４）第１透明膜を設けないで、磁性膜、透明膜。

金属膜の順で積層する。

（５）基板として、アクリル、紫外線硬化樹脂。

ガラス、ＡＱなどを用いる。

（６）磁性膜としてＴｂ−Ｆｅ。

Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏなどの希土類と遷
移金属との非晶質合金、あるいはこれらに、Ｔｉ、Ｔａ
、Ｃｒ、Ｖ、Ｎｂなどの耐食性向上のための元素を少な
くとも１種以上添加した非晶質合金を用いる。

（７）金属膜としてＡＱ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、ステンレ
スなどを用いる。

また、本発明になる光磁気記録媒体を用いて光磁気記録
を行なう際には、レーザ光の強度を変化させて記録を行
なってもよいし、レーザ光強度を一定として磁界強度を
変化させて記録を行なってもよい。特に後者の記録方式
（いわゆる磁界変調記録方式）では、本発明になる光磁
気記録媒体を用いることによって、記８磁区の＠（ディ
スク半径方向の磁区幅）をグルーブ幅に整えることがで
きるため、再生信号出力を大幅に改善できる。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように、本発明によれば、円板状の
透明基板と、該基板上に形成されたグルーブと、前記基
板上に設けられた少なくとも磁性膜と金属膜とから構成
された多層膜とからなる光磁気記録媒体において、前記
グルーブとグルーブとの間のランド上の磁性膜の基板側
の面が、隣接するグルーブ上の金属膜の基板とは反対側
の面よりも基板側に位置するように配置され、しがもラ
ンド上の磁性膜の基板とは反対側の面が、隣接するグル
ーブ上の金属膜の基板側の面よりも基板とは反対側に位
置するように配置されているため。

適当なパワーのレーザー光をグルーブに沿って照射すれ
ば、ランド上の磁性膜に与えられた熱は隣接するグルー
ブ上に設けられた金属膜へ向かって横方向へも拡散する
ため、グルーブ上の磁性膜には記録磁区が形成され、ラ
ンド上の磁性膜には記録磁区が形成されにくくすること
が可能である。

たとえば、第４図に示すような光磁気記録媒体および第
５図に示すような従来の光磁気記録媒体を用い、浮上型
磁気ヘッドを使用して磁界強度を変調させて記録した場
合、記録磁区の形状は第６図に示すように両者において
異なる。即ち、本発明になる光磁気記録媒体を用いた場
合には、記録磁区はグルーブ６および斜面８に形成され
るのみであるのに対し、従来の光磁気記録媒体を用いた
場合にはランド７にまで記録磁区が広がってしまう。ラ
ンド７上の記録磁区は消え残りの原因となるため好まし
くない。従って本発明になる光磁気記録媒体に対しては
、磁界強度を変調させて記録した場合に効果が顕著であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図は本発明になる光磁気記録媒体第１図は
記録磁区の形状を示す断 媒体の断面図、 面図である。 １・・・基板、２，４・・・透明膜、３・・・磁性膜、
５・・・金属膜、６・・・グルーブ、７・・・ランド、
８・・・斜面、９・・・紫外線硬化樹脂層、１０・・・
記録磁区。 第 圓 第 固 ！ 席２犯

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、円板状の透明基板と、 前記基板上に形成されたグルーブと、 前記基板上に設けられ、少なくとも磁性膜と金属膜とか
   ら構成された多層膜とからなる光磁気記録媒体において
   、 前記グルーブとグルーブとの間のランド上の磁性膜の基
   板側の面が、隣接するグルーブ上の金属膜の基板とは反
   対側の面よりも基板側に位置するように配置され、しか
   もランド上の磁性膜の基板とは反対側の面が、隣接する
   グルーブ上の金属膜の基板側の面よりも基板とは反対側
   に位置するように配置されたことを特徴とする光磁気記
   録媒体。 ２、グルーブの形状が矩形状、Ｕ字状、Ｖ字状、台形状
   のうちの少なくとも一種であることを特徴とする、請求
   項１記載の光磁気記録媒体。 ３、多層膜が、第１の透明膜、磁性膜、第２の透明膜、
   金属膜の順で構成されていることを特徴とする、請求項
   １または請求項２記載の光磁気記録媒体。 ４、磁界の強度を変調して記録が行なわれることを特徴
   とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の光磁気記
   録媒体。