JPH0288921A - 圧力補正形差圧発信器 - Google Patents
圧力補正形差圧発信器Info
- Publication number
- JPH0288921A JPH0288921A JP63239651A JP23965188A JPH0288921A JP H0288921 A JPH0288921 A JP H0288921A JP 63239651 A JP63239651 A JP 63239651A JP 23965188 A JP23965188 A JP 23965188A JP H0288921 A JPH0288921 A JP H0288921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- differential pressure
- value
- sensor
- differential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、プロセス制御装置等に用いられ、気体の質
量流量を測定する圧力補正形差圧発信器に関するもので
ある。
量流量を測定する圧力補正形差圧発信器に関するもので
ある。
[従来の技術]
一最に、プロセス制御装置では気体の質量流量を測定す
ることがあり、従来は第3図に示すように気体流路に挿
入した静圧センサ23によって静圧を得、差圧センサ2
4によって差圧を得て、それ等を静圧発生器21および
差圧発生器22を介して演算器20に供給し、必要な演
算を行って質量流量を表す信号として出力していた。
ることがあり、従来は第3図に示すように気体流路に挿
入した静圧センサ23によって静圧を得、差圧センサ2
4によって差圧を得て、それ等を静圧発生器21および
差圧発生器22を介して演算器20に供給し、必要な演
算を行って質量流量を表す信号として出力していた。
第4図はこの信号を発生する差圧発信器25第3図に示
す装置)の出力信号を伝送するシステムを表す図であり
、出力信号はジャクンジョンボックス27または差圧発
信器25に接続された5FC26によって、あるいは受
信計28によって表示される。
す装置)の出力信号を伝送するシステムを表す図であり
、出力信号はジャクンジョンボックス27または差圧発
信器25に接続された5FC26によって、あるいは受
信計28によって表示される。
この場合、高圧側気体の圧力と低圧側気体の圧力が第7
図(a)に示すように変化すると仮定する。このときの
センサ室圧力は第7図(b)に示すようにように変化し
、差圧は第7図(c)に示すように変化する。そして差
圧センサの保護のため差圧が所定値P。7Lを越えると
きセンサにはそれ以上の差圧が加わらないように過大圧
力保護機構が動作するようになっており、それ以後の高
圧側の圧力は(b)に示すように低圧の変化に追従して
低下するようになっている。このため、差圧は(C)に
示すようにP O/Lで飽和する。
図(a)に示すように変化すると仮定する。このときの
センサ室圧力は第7図(b)に示すようにように変化し
、差圧は第7図(c)に示すように変化する。そして差
圧センサの保護のため差圧が所定値P。7Lを越えると
きセンサにはそれ以上の差圧が加わらないように過大圧
力保護機構が動作するようになっており、それ以後の高
圧側の圧力は(b)に示すように低圧の変化に追従して
低下するようになっている。このため、差圧は(C)に
示すようにP O/Lで飽和する。
このようにして得られたデータに対して演算器20では
静圧値と差圧値を乗算したうえでその値の開平値をとり
出力するので第7図<d)に示すように演算結果が出力
される。このときの実測値は実線で示すようにある値で
飽和するが、出力信号は4〜20mAの信号で送出する
ように構成されており、このときの演算結果の最大値は
(d)の記号Aとなるように構成されている(−点M線
は差圧が飽和しないときの理想値である)、シたがって
実測可能な差圧は(c)の記号Bで示す範囲となり、そ
れを越える圧力が印加されたとき表示はスケールアウト
の状態になっている。
静圧値と差圧値を乗算したうえでその値の開平値をとり
出力するので第7図<d)に示すように演算結果が出力
される。このときの実測値は実線で示すようにある値で
飽和するが、出力信号は4〜20mAの信号で送出する
ように構成されており、このときの演算結果の最大値は
(d)の記号Aとなるように構成されている(−点M線
は差圧が飽和しないときの理想値である)、シたがって
実測可能な差圧は(c)の記号Bで示す範囲となり、そ
れを越える圧力が印加されたとき表示はスケールアウト
の状態になっている。
ところが第3図に示すように静圧センサと差圧センサを
別個に気体流路に挿入することは種々の面で不都合があ
り、このため第5図に示すような両方を一体に組込んだ
センサを使用すればこれらの不都合は一気に解決できる
。第5図において50は気体流路、51は絞り、52は
高圧パイプ、53は低圧パイプ、54はカバー、55は
高圧センサ室、56は低圧センサ室、57.58はバリ
アダイヤフラム、59は内機、60はセンタダイヤフラ
ム、61は差圧センサ、62は静圧センサ、63は基準
圧室である。このセンサは高圧側の気体が高圧センサ室
55のバリアダイヤフラム57にかかり、低圧側の気体
が低圧センサ室56のバリアダイヤフラムにかかる。そ
してそれらの圧力は連通管64.65およびセンタダイ
ヤフラム60に満たされたオイルを介して差圧センサ6
1に伝えられる。また、高圧側の静圧は静圧センサ62
に供給され、その静圧と基準圧室の圧力の差が静圧とし
て出力される。このようにすることによって気体流路の
同一箇所で差圧と静圧を得ることができる。
別個に気体流路に挿入することは種々の面で不都合があ
り、このため第5図に示すような両方を一体に組込んだ
センサを使用すればこれらの不都合は一気に解決できる
。第5図において50は気体流路、51は絞り、52は
高圧パイプ、53は低圧パイプ、54はカバー、55は
高圧センサ室、56は低圧センサ室、57.58はバリ
アダイヤフラム、59は内機、60はセンタダイヤフラ
ム、61は差圧センサ、62は静圧センサ、63は基準
圧室である。このセンサは高圧側の気体が高圧センサ室
55のバリアダイヤフラム57にかかり、低圧側の気体
が低圧センサ室56のバリアダイヤフラムにかかる。そ
してそれらの圧力は連通管64.65およびセンタダイ
ヤフラム60に満たされたオイルを介して差圧センサ6
1に伝えられる。また、高圧側の静圧は静圧センサ62
に供給され、その静圧と基準圧室の圧力の差が静圧とし
て出力される。このようにすることによって気体流路の
同一箇所で差圧と静圧を得ることができる。
この装置は気体流路内の圧力が所定値以上になるとバリ
アダイヤプラム57.58のいずれか一方または双方が
内機59に着底し、それ以上の圧力が加わらないように
構成されている。
アダイヤプラム57.58のいずれか一方または双方が
内機59に着底し、それ以上の圧力が加わらないように
構成されている。
[発明が解決しようとする課M]
しかしながらこのようなセンサにおいて例えば高圧側の
バリアダイヤフラム57が内機59に着底したとき、そ
れ以後の差圧が一定値となるように作用するので、低圧
側の圧力低下に追従して高圧側の静圧センサ出力も低下
する。一方、演算出力は静圧と差圧を乗算して開平した
ものであるから、差圧が一定で静圧が低下すれば出力信
号は低下する。すなわち第8図(a)〜(c)の変化は
従来のものと同一であるものの、演算結果は第8図(d
)に示すように保護機構が動作した時点では表示の最大
値よりも大きい値を示す信号を送出しており、図示しな
い表示器の指示をスールアウトさせているが、それ以後
は低下してやがて表示の最大値A(20mA)以下の値
を示すようになる。このことにより過大圧力が印加され
ていても表示は正常値の範囲を示してしまう。
バリアダイヤフラム57が内機59に着底したとき、そ
れ以後の差圧が一定値となるように作用するので、低圧
側の圧力低下に追従して高圧側の静圧センサ出力も低下
する。一方、演算出力は静圧と差圧を乗算して開平した
ものであるから、差圧が一定で静圧が低下すれば出力信
号は低下する。すなわち第8図(a)〜(c)の変化は
従来のものと同一であるものの、演算結果は第8図(d
)に示すように保護機構が動作した時点では表示の最大
値よりも大きい値を示す信号を送出しており、図示しな
い表示器の指示をスールアウトさせているが、それ以後
は低下してやがて表示の最大値A(20mA)以下の値
を示すようになる。このことにより過大圧力が印加され
ていても表示は正常値の範囲を示してしまう。
[課題を解決するための手段]
このような課題を解決するためにこの発明は、差圧が所
定値を越えたことを検出する手段と、それ以後は表示を
スケールアウトさせる手段を備えたものである。
定値を越えたことを検出する手段と、それ以後は表示を
スケールアウトさせる手段を備えたものである。
[作用]
差圧が所定値以下のときは実測値をもとに演算した値が
出力され、差圧が所定値を越えたときは表示をスケール
アウトさせる値が出力される。
出力され、差圧が所定値を越えたときは表示をスケール
アウトさせる値が出力される。
[実施例コ
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図である。
図において差圧センサ61.静圧センサ62および温度
センサ1cの出力はcpuioの制御によって切り換え
られるマルチプレクサ2を介L7て出力された信号がA
/D変換器3によってデジタル信号に変換され、補正演
算器4によって周知の補正(差圧の補正)が行われる。
センサ1cの出力はcpuioの制御によって切り換え
られるマルチプレクサ2を介L7て出力された信号がA
/D変換器3によってデジタル信号に変換され、補正演
算器4によって周知の補正(差圧の補正)が行われる。
その補正された差圧が差圧判定装置5によって所定値を
越えているか否かを判定し、越えていないときは補正出
力をそのまま出力するので、出力された信号はレンジン
グ装置6、周知の補正演算器(静圧の補正)7、開平演
算器8、D/A変換器9を介して質量流量を表わす信号
が出力される。ここまでの構成と動作は従来のものと同
様である。
越えているか否かを判定し、越えていないときは補正出
力をそのまま出力するので、出力された信号はレンジン
グ装置6、周知の補正演算器(静圧の補正)7、開平演
算器8、D/A変換器9を介して質量流量を表わす信号
が出力される。ここまでの構成と動作は従来のものと同
様である。
本願の特徴は差圧判定装置5において差圧が所定値を越
えていることを判定した後の作用にあって、このときは
第2図に示すように、ステップ100において差圧測定
された値がステップ101において正の最大値として規
定されている値を越えたと判断されると、ステップ10
4に示すように出力が上限値にオーバースケールする値
を出力し、それをD/A変換器9に供給する。このため
表示部は差圧および静圧の値にかかわらずオーバースケ
ール表示がなされ、保守者は過大圧力がかかっているこ
とを認識できる。
えていることを判定した後の作用にあって、このときは
第2図に示すように、ステップ100において差圧測定
された値がステップ101において正の最大値として規
定されている値を越えたと判断されると、ステップ10
4に示すように出力が上限値にオーバースケールする値
を出力し、それをD/A変換器9に供給する。このため
表示部は差圧および静圧の値にかかわらずオーバースケ
ール表示がなされ、保守者は過大圧力がかかっているこ
とを認識できる。
差圧は必ず正の値であるとは限らず、なんらかの事情に
よってステップ102に示すように負の値をとることも
ある。このときはステップ105に示すように出力が下
限値をオーバースケールする値を出力し、それをD/A
変換器9に供給するようにしている。
よってステップ102に示すように負の値をとることも
ある。このときはステップ105に示すように出力が下
限値をオーバースケールする値を出力し、それをD/A
変換器9に供給するようにしている。
なお、ステップ103は差圧が所定値以下のときの処理
であり、このときは前述したように補正演算器4の出力
がそのまま出力される。また第6図は第5図のセンサの
側面図である。
であり、このときは前述したように補正演算器4の出力
がそのまま出力される。また第6図は第5図のセンサの
側面図である。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明は、差圧が所定値値をこえ
たときは表示をスケールアウトさせる信号を出力するよ
うにしたので、差圧センサと静圧センサを一体に組込ん
だ装置において圧力補正した場合であっても、過大圧力
が供給されたときは必ず表示がスケールアウトし、従来
のように誤表示をすることがないので安全に質量流量を
測定することができるという効果を有する。
4
たときは表示をスケールアウトさせる信号を出力するよ
うにしたので、差圧センサと静圧センサを一体に組込ん
だ装置において圧力補正した場合であっても、過大圧力
が供給されたときは必ず表示がスケールアウトし、従来
のように誤表示をすることがないので安全に質量流量を
測定することができるという効果を有する。
4
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図第2図は
その動作の要部を示すフローチャート、第3図は従来装
置の一例を示すブロック図、第4図は全体システムを示
すブロック図、第5図は静圧センサと差圧センサを一体
化したセンサの構造を示す断面図、第6図はそのセンサ
の側面図、第7図は従来装置の動作を説明するグラフ、
第8図は一体形センサを使用したときの問題点を説明す
るためのグラフである。 2・・・・マルチプレクサ、4.7・・・−補正演算器
、5・・・・差圧判定装置、8−・・・開平演算器、1
0・・・・CPU、50・・・・気体流路、51・・・
・絞り、57.58・・バリヤダイヤフラム、59・・
・・内機、60・・・・センタダイヤフラム、61・・
・・差圧センサ、62・・・・静圧センサ、63・・・
・基準圧室、64.65・・・一連通管。 図面の浄書(内容に変更なし) 第1図 LJ 第2図 特許出願人 山武ハネウェル株式会社代 理 人 山
川数構(ほか2名) 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図
その動作の要部を示すフローチャート、第3図は従来装
置の一例を示すブロック図、第4図は全体システムを示
すブロック図、第5図は静圧センサと差圧センサを一体
化したセンサの構造を示す断面図、第6図はそのセンサ
の側面図、第7図は従来装置の動作を説明するグラフ、
第8図は一体形センサを使用したときの問題点を説明す
るためのグラフである。 2・・・・マルチプレクサ、4.7・・・−補正演算器
、5・・・・差圧判定装置、8−・・・開平演算器、1
0・・・・CPU、50・・・・気体流路、51・・・
・絞り、57.58・・バリヤダイヤフラム、59・・
・・内機、60・・・・センタダイヤフラム、61・・
・・差圧センサ、62・・・・静圧センサ、63・・・
・基準圧室、64.65・・・一連通管。 図面の浄書(内容に変更なし) 第1図 LJ 第2図 特許出願人 山武ハネウェル株式会社代 理 人 山
川数構(ほか2名) 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 絞りによって高圧側と低圧側の圧力を測定して質量流量
を測定するとき圧力変動による流体密度変化の補正を行
い質量流量を表示器に表示する信号を出力する圧力補正
形差圧発信器において、高圧側または低圧側圧力のいず
れか一方の静圧センサと両圧力の差圧を測定する差圧セ
ンサを一体に形成した圧力センサと、 差圧が所定値以下のとき差圧値をそのまま出力し差圧値
が所定値を越えたとき表示をスケールアウトさせる固定
値を出力する差圧判定装置とを備えたことを特徴とする
圧力補正形差圧発信器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63239651A JPH0288921A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 圧力補正形差圧発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63239651A JPH0288921A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 圧力補正形差圧発信器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0288921A true JPH0288921A (ja) | 1990-03-29 |
Family
ID=17047872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63239651A Pending JPH0288921A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 圧力補正形差圧発信器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0288921A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009096224A1 (ja) | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Yamatake Corporation | 差圧発信器 |
WO2009096225A1 (ja) | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Yamatake Corporation | 計測機器 |
JP2012510631A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 磁気特性を用いた圧力測定方法および装置 |
JP2012510632A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 充填管を用いた圧力測定方法および装置 |
WO2016170743A1 (ja) * | 2015-04-22 | 2016-10-27 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57139633A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Capacitive pressure-difference converter |
JPS6061637A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | Hitachi Ltd | 複合機能形差圧センサ |
JPS6029233B2 (ja) * | 1980-11-05 | 1985-07-09 | 富士通株式会社 | 光電型非線形可変抵抗器 |
JPS62116215A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-05-27 | ア−フアウエル・ゲゼルシヤフト・フユア・フエアブレヌングスクラフトマシ−ネン・ウント・メステクニ−ク・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・プロフエツサ−・ドクトル・ドクトル・ハー・ツエー・ハンス・リスト | 流体、特にガスの流れの流量を測定する測定装置 |
JPS62206416A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-10 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 流体流量計測装置 |
JPS6325332B2 (ja) * | 1979-09-20 | 1988-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP63239651A patent/JPH0288921A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6325332B2 (ja) * | 1979-09-20 | 1988-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS6029233B2 (ja) * | 1980-11-05 | 1985-07-09 | 富士通株式会社 | 光電型非線形可変抵抗器 |
JPS57139633A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-28 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Capacitive pressure-difference converter |
JPS6061637A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-09 | Hitachi Ltd | 複合機能形差圧センサ |
JPS62116215A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-05-27 | ア−フアウエル・ゲゼルシヤフト・フユア・フエアブレヌングスクラフトマシ−ネン・ウント・メステクニ−ク・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング・プロフエツサ−・ドクトル・ドクトル・ハー・ツエー・ハンス・リスト | 流体、特にガスの流れの流量を測定する測定装置 |
JPS62206416A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-10 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 流体流量計測装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009096224A1 (ja) | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Yamatake Corporation | 差圧発信器 |
WO2009096225A1 (ja) | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Yamatake Corporation | 計測機器 |
US8326550B2 (en) | 2008-01-31 | 2012-12-04 | Azbil Corporation | Differential pressure transmitter |
US8412471B2 (en) | 2008-01-31 | 2013-04-02 | Azbil Corporation | Measurement instrument |
JP2012510631A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 磁気特性を用いた圧力測定方法および装置 |
JP2012510632A (ja) * | 2008-12-03 | 2012-05-10 | ローズマウント インコーポレイテッド | 充填管を用いた圧力測定方法および装置 |
WO2016170743A1 (ja) * | 2015-04-22 | 2016-10-27 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP2016205989A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5469749A (en) | Multiple-function fluid measuring and transmitting apparatus | |
CA2283284C (en) | Differential pressure transmitter with highly accurate temperature compensation | |
US4651559A (en) | Method and apparatus for detecting leaks in a gas pipe line | |
US20070225934A1 (en) | Measuring apparatus | |
US20030053516A1 (en) | Transducer assembly | |
JPH0288921A (ja) | 圧力補正形差圧発信器 | |
US7260496B2 (en) | Pressure detector and method of diagnosing blockage of impulse lines | |
US20050134467A1 (en) | Outdoor computer | |
KR101073239B1 (ko) | 가스 차단 장치 | |
US20220390268A1 (en) | Method for Operating a Flowmeter and Flowmeter | |
US11099055B1 (en) | Self-checking ultrasonic fluid flow measurement system | |
US5315876A (en) | Purge gas pressure monitoring system | |
RU2243508C2 (ru) | Устройство для измерения расхода пара в паропроводе | |
JP2004144491A (ja) | 差圧・圧力検出器およびそれを用いた差圧伝送器 | |
JPH055671A (ja) | ハロゲンリ―クデイテクタの校正方法 | |
JPH1114493A (ja) | ガス配管の気密試験方法および気密試験装置 | |
JPH02147931A (ja) | パイプラインの漏洩検知方法 | |
NO172955B (no) | Fremgangsmaate og anordning for maaling av vertikale forskyvninger i fravaer av fast referansepunkt | |
JP3103700B2 (ja) | 流量計 | |
JP3596085B2 (ja) | 流量計測装置 | |
JP2997576B2 (ja) | フルイディックガスメータにおける漏洩検査用単位流量信号出力方法 | |
SU572672A1 (ru) | Устройство дл испытани пневмосистемы на герметичность | |
JP3146603B2 (ja) | フルイディックメーター制御装置 | |
JPH0718935B2 (ja) | 水深計付電子時計 | |
JP2004354280A (ja) | 導圧管詰まり検出器およびそれを内蔵した差圧・圧力伝送器 |