JP3103700B2 - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
等の気体や水道水などの液体等の流体流量を計測する流
量計に係わり、特に流量検出センサーとしてフルイディ
ック素子を用いた流量計で、流量計間の器差を簡単且つ
速く修正し流量センサーの出力信号より高精度の演算機
能を有する流量計に関するものである。
3−44512号公報に示されているように、図4、図
5のような構成になっていた。
流量計で、2はガス配管、3はフルイディック発振素子
で、流体のもつ運動エネルギーを利用して流体発振を生
じさせる。4は圧電膜センサーで、流体発振の周波数を
検出する。5はフローセンサで小流量域の流量を検出す
る。6は遮断弁で、異常な使用状態を検出するとガスの
供給を遮断する。7は制御装置である。
2を流れる流体はフルイディック発信素子3を通過する
時で流体発振を生じる。そのときの発振周波数Fと流体
流量とのフルイディック発振素子3で関係が一般にQ=
A・F+Bなる直線近似式が成立することを利用して流
量を求める。しかしフルイディック発振素子3は計測す
る全流量域で前述の直線式は成立しない。従って直線近
似が可能な発振周波数範囲毎に直線近似式の定数A、B
を変えて流量を求める。図5は周波数F0で直線近似式
が切り替わる場合である。
に分割しあらかじめ設定しておく。そして周波数範囲が
F0までの領域においてA0、B0の最適な組合せを16
段階の中より選ぶ。同様に周波数がF0以上の場合、A
1、B1の最適な組合せを16段階の中から選択し設定す
る。以上の処理を行った後流量計測をし圧電膜センサ4
から検出した周波数より流量を求める。
の構成では、流量と振動周波数(あるいは周期)の関係
を示す定数を16段階しか設定していないため、特に設
定した段階の間に最適値がある場合、器差が大きくな
り、その結果流量を精度良く計測できず、また積算流量
値にも影響するという課題があった。
検出手段のバラツキを吸収しかつ出力信号より正確な流
量演算をおこなえる流量計を提供することを目的とした
ものである。
するため、流体流量を検出する流量検出手段と、予め前
記流量検出手段の出力信号と流体流量に対応した前記流
量検出手段の出力信号とから求めた係数群とを記憶した
データ記憶手段と、前記データ記憶手段のデータを補正
する値を入力する補正値入力手段と、前記補正データで
前記データ記憶手段のデータ値を補正する補正手段と、
前記流量検出手段の出力信号と前記補正手段で補正され
た係数データ群とから流量を演算する流量演算手段とを
有するものである。
出手段の出力信号との関係を示す係数のバラツキを補正
値入力手段より入力した補正値をもとに補正手段で最適
値に補正する。その補正された係数データと流量検出手
段の出力信号とから流量演算手段で瞬時流量を演算し更
に積算流量を求める。
信号との非線形な関係を示す希有数のバラツキを補正値
入力手段で正確に補正して流量を求めるので、流量誤差
を極めて小さく、高精度にもとめることができる。その
結果ガスの使用量である積算値も正確に計測できる。
る。
同一番号を付した。図1は本発明の一実施例の流量計の
ブロック図である。図1において、8は流量検出手段
で、例えばフルイディック発振素子3を用いて流体発振
を発生させ、流体の発振周波数を例えば圧電センサー、
サーミスタ等を用いて圧力−電圧変化、熱−抵抗変化と
して検出したり、あるいは熱線式センサーにより流速を
求める。
量範囲でサンプリングした流体流量Qとその時の流量検
出手段8の出力信号とのサンプリングデータより流体流
量と流量検出手段8の関係を示す係数を求め、係数と流
量検出手段8の出力信号とのペアで記憶している。10
は補正値入力手段で、流量検出手段8のバラツキを補正
する値が入力される。あるいは設定器(図示せず)など
を介し補正値を補正値入力手段に送信する。11は補正
手段で補正値入力手段10に入力された補正値でデータ
記憶手段9に格納された係数データ群を補正する。
検出した出力信号と補正手段11で修正された係数デー
タ群とより、そのときの瞬時流量を演算し求める。13
は積算流量演算手段で、求めた流量を積算し積算値を求
める。14は表示手段で、積算値等を表示する。
る。ガスが使用され始めるとガス流量を流量検出手段8
によって例えば電圧信号などの信号形態で検出する。こ
のとき流体流量と流量検出手段の出力信号とは非線形な
特性を有し、その時の流体流量Qと流量検出手段8の出
力信号の関係を示す係数δ(F)は図2に示すように非線
形な特性を有する。そこで予め流量と流量検出手段8の
出力信号との関係を測定し、いくつかサンプリングし、
係数を求め例えば設定器(図示せず)を介してデータ記
憶手段に9に転送する。設定器とは流量計測に必要なデ
ータ、例えば流量と流量検出手段の出力信号とを入力し
データ伝送する装置である。流体流量Qと流量検出手段
8の出力信号との関係を示す係数δ(F)はバラツキがあ
り、各々の流量計に取り付けられた流量検出手段8に応
じて補正する必要がある。そこで設定器等を介し補正値
入力手段10に取り付けられた流量検出手段のバラツキ
を修正する補正値を送る。次に補正手段11でデータ記
憶手段9に格納された全ての係数データを補正値で補正
する。補正された係数データ群は流量演算手段12に送
られる。以上が図3のP1、P2、P3である。
段8の出力信号に対応した係数δ(F)は補正手段11で
補正された係数データ間で直線近似し求める。ここで、
δ(F)は流量検出手段8の出力信号Fに対応した係数であ
る。Fは流量検出手段8の出力信号で任意の値を示す。
Fi、Fjはデータ記憶手段9に格納された流量検出手
段の出力信号の値で、i番目、j番目の値を示すある。
出信号で、縦軸は係数を示す。計測しようとする流量範
囲に対応した検出信号の領域を、最も精度良く近似でき
るように任意に分割する。いま出力信号領域をn点分割
したとする。それぞれの境界信号をF1、F2、・・F
i、Fj・・、Fnとし、その時の係数値、即ち流量と
流量検出手段8の出力信号との比で与えられる値ををδ
(F1)、δ(F2)、・・、δ(Fn)、とする。
係数δ(F)と流量検出手段8の出力信号Fとから関係式
Q=δ(F)・Fより求める。即ち流量検出手段8で検出
した信号Fを前述の式に代入し流量を求める。積算流量
演算手段13は瞬時流量Qを加算し、使用合計の積算流
量を求める。表示手段14は求めた積算流量値等を表示
する。以上が図3のP4、P5、P6、P7である。
検出手段8の特性に合わせ、予め格納したデータ記憶手
段9の係数データ群を補正値入力手段10を介し入力し
た補正値で最も器差が少なくなるように補正し、更にサ
ンプリングしたポイント間の係数は直線近似するので、
検出した流量検出手段8の出力信号に対する係数を正確
に求めることが出来、かつ補正処理も簡単かつ連続無段
階の行え、その結果流量を高精度で求められ、また積算
流量などの流量計測をも正確に求めれる。
ク式流量計の例をあげたが、他の例えば水道メータなど
の流量計に関しても上記の内容を適用できる。
予めデータ記憶手段にサンプリングした流量と流量検出
手段の出力信号との関係を示す係数データを記憶させて
おき、補正値入力手段に流量検出手段のバラツキを補正
する補正値を入力しその補正値で係数データ群を補正
し、更に補正手段で補正された係数データと、ガス等の
流体を使用開始するとそのときの流体流量を流量検出手
段で検出し、瞬時流量を求め、次に積算流量を演算し求
めるので、非線形な特性を有しかつ流量検出手段のバラ
ツキを補正した係数で流量を求めるので、簡単にかつ連
続無段階に補正でき高精度で正確に流量計測を行えると
いう効果がある。
ク図
係数の特性図
Claims (1)
- 【請求項1】流体流量を検出する流量検出手段と、予め
前記流量検出手段の出力信号と流体流量に対応した前記
流量検出手段の出力信号とから求めた係数群とを記憶し
たデータ記憶手段と、前記データ記憶手段のデータを補
正する値を入力する補正値入力手段と、前記補正データ
で前記データ記憶手段のデータ値を補正する補正手段
と、前記流量検出手段の出力信号と前記補正手段で補正
された係数データ群とから流量を演算する流量演算手段
とからなる流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05043551A JP3103700B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05043551A JP3103700B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0719917A JPH0719917A (ja) | 1995-01-20 |
JP3103700B2 true JP3103700B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=12666896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05043551A Expired - Lifetime JP3103700B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3103700B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6491279B2 (ja) * | 2017-07-26 | 2019-03-27 | オルガノ株式会社 | 採水ディスペンサー及びその補正方法 |
US11041749B1 (en) | 2019-12-19 | 2021-06-22 | Hitachi Metals, Ltd. | Multi-gas mass flow controller and method |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP05043551A patent/JP3103700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0719917A (ja) | 1995-01-20 |
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