JPH02222815A - 流量計における流体組成補正方法 - Google Patents
流量計における流体組成補正方法Info
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- JPH02222815A JPH02222815A JP1325179A JP32517989A JPH02222815A JP H02222815 A JPH02222815 A JP H02222815A JP 1325179 A JP1325179 A JP 1325179A JP 32517989 A JP32517989 A JP 32517989A JP H02222815 A JPH02222815 A JP H02222815A
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- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、流速測定に関し、特に流体測定における不正
確さを克服する方法に関する０本発明は、種々の被測定
気体流体の流速測定値の組成変化による誤差を除去する
。
確さを克服する方法に関する０本発明は、種々の被測定
気体流体の流速測定値の組成変化による誤差を除去する
。
［従来技術Ｊ
高温膜マイクロ風速計（マイクロアネモメータ）は、単
一方向及び双方向流体測定の双方に用いられる装置とし
て一般に知られている。このような装置の一例はヒガシ
らによる米国特許第４５０１１４４号に示されている。
一方向及び双方向流体測定の双方に用いられる装置とし
て一般に知られている。このような装置の一例はヒガシ
らによる米国特許第４５０１１４４号に示されている。
マイクロ風速計、または素子としての「マイクロブリッ
ジ」自体比較的安価に生産できる。
ジ」自体比較的安価に生産できる。
後に詳細に述べるが、マイクロ風速計は直接流体の流れ
の中に晒すことによって、特に流体が層流の時、非常に
高い精度で流速を感知することができる。このようにし
て、マイクロ風速計は流体の動的特性を直接測定するこ
とができる。
の中に晒すことによって、特に流体が層流の時、非常に
高い精度で流速を感知することができる。このようにし
て、マイクロ風速計は流体の動的特性を直接測定するこ
とができる。
上述の感知装置は流量を近似的に測定するのに用いるこ
とができるが、測定される流体の組成変化によって大き
なエラーが発生する。従って、測定される流体の組成変
化に影響されないマイクロ風速計型の流量測定装量が要
求されている。
とができるが、測定される流体の組成変化によって大き
なエラーが発生する。従って、測定される流体の組成変
化に影響されないマイクロ風速計型の流量測定装量が要
求されている。
［本発明の概要］
本発明は、流体には直接晒されていない第２のマイクロ
風速センサが用いられている。このセンサは流体とは比
較的離れた付量で連通しており、静止状態で検出される
流体パラメータを測定するのに用いられる。このセンサ
は熱伝導率ｋ及び比熱ｃｐを既知の方法で直接測定する
ことができ。
風速センサが用いられている。このセンサは流体とは比
較的離れた付量で連通しており、静止状態で検出される
流体パラメータを測定するのに用いられる。このセンサ
は熱伝導率ｋ及び比熱ｃｐを既知の方法で直接測定する
ことができ。
単一の測定装置で被測定サンプルのこれら特性値から密
度を求めることもできる。
度を求めることもできる。
本発明によれば、零質量流量Ｍ、即ち流量が零の時に得
られる値を減算することによって補正される質量流量、
ｃｐ、ｋ及びｑの間にある関係が存在することが発見さ
れた。更に具体的には、流体の比熱ｃ、ｐ、熱伝導率ｋ
及び密度ｑがわかっていれば、零質量流量Ｍに間して次
の補正を全質量流量Ｍに適用できることが経験的に発見
されている。
られる値を減算することによって補正される質量流量、
ｃｐ、ｋ及びｑの間にある関係が存在することが発見さ
れた。更に具体的には、流体の比熱ｃ、ｐ、熱伝導率ｋ
及び密度ｑがわかっていれば、零質量流量Ｍに間して次
の補正を全質量流量Ｍに適用できることが経験的に発見
されている。
その間係は次の式で表される。
Ｍ＝Ｍ Ｃｐ／ｋ （３，８＋ｑ）、、、 （Ｉ）
更に、実際の動的センサ出力信号Ｓと零流量出力信号Ｓ
との間にもある関係が存在することが経験的に示され
ており、その間係は次の式で表される。
更に、実際の動的センサ出力信号Ｓと零流量出力信号Ｓ
との間にもある関係が存在することが経験的に示され
ており、その間係は次の式で表される。
Ｓ＝Ｓ ［ｋ （３，８＋ｑ）／ｃｐ） ｏ、４
、 、 、 （Ｉ Ｉ） 本発明の方法は、具体的にアルゴンＡｒ、ヘリウムＨｅ
、メタンＣＨ１二酸化炭素ＣＯ、プロハンＣＨに関して
既に確認されている。したがａ って、本発明の方法は、商用の一般的な気体の全てでは
ないがほとんどに有効であると思われる。
、 、 、 （Ｉ Ｉ） 本発明の方法は、具体的にアルゴンＡｒ、ヘリウムＨｅ
、メタンＣＨ１二酸化炭素ＣＯ、プロハンＣＨに関して
既に確認されている。したがａ って、本発明の方法は、商用の一般的な気体の全てでは
ないがほとんどに有効であると思われる。
［実施例１
第１図は本発明の概念を利用した流量計の一実施例を示
す、この流量計は、ある長さの管、例えば、ガス管、導
管、または計器の本体部分ｌＯのような一体化した部分
として図示されており、現存する配管内の接続部、連結
体等の間に容易に挿入することができる。第１図の流量
計の基本的構成は、細管部の両側にある一対のフィルタ
部材１１．１２を備える。細管部は導管の直径を減少さ
せる手段１３．１４を含む０手段１３．１４は。
す、この流量計は、ある長さの管、例えば、ガス管、導
管、または計器の本体部分ｌＯのような一体化した部分
として図示されており、現存する配管内の接続部、連結
体等の間に容易に挿入することができる。第１図の流量
計の基本的構成は、細管部の両側にある一対のフィルタ
部材１１．１２を備える。細管部は導管の直径を減少さ
せる手段１３．１４を含む０手段１３．１４は。
細管の分割された管束を包含する部分１５．１６に接続
されている。直径減少手段１３．１４は充満効果を生じ
させ、流体が管束に入るとき及び管束から出るときに起
きる圧力損を減少させることができる。更に、全体の圧
力効果や速度水頭効果も低減させる。
されている。直径減少手段１３．１４は充満効果を生じ
させ、流体が管束に入るとき及び管束から出るときに起
きる圧力損を減少させることができる。更に、全体の圧
力効果や速度水頭効果も低減させる。
流体を感知するマイクロブリッジ、即ちマイクロ風速セ
ンサパッケージを符号１８で示す、電気的接続ビン１９
は、マイクロ風速センサをヒータ用電源、センサからの
出力信号を処理する外部信号受信・処理手段２１に接続
する。静的流体感知用マイクロブリッジ、即ちセンサ２
１ａを有するマイクロ風速計２１はメータ本体１０の開
口２２を介して被測定流体と連通し、基本的に静的状態
にある代表的組成の流体を、流れている状態と関連して
観察することができる。センサ２１ａの出力はビン２３
によって入出力装置（Ｉｌｏ）２４に供給される。また
、ヒータ素子の電源もＩ１０装置２４を通じて供給され
る。
ンサパッケージを符号１８で示す、電気的接続ビン１９
は、マイクロ風速センサをヒータ用電源、センサからの
出力信号を処理する外部信号受信・処理手段２１に接続
する。静的流体感知用マイクロブリッジ、即ちセンサ２
１ａを有するマイクロ風速計２１はメータ本体１０の開
口２２を介して被測定流体と連通し、基本的に静的状態
にある代表的組成の流体を、流れている状態と関連して
観察することができる。センサ２１ａの出力はビン２３
によって入出力装置（Ｉｌｏ）２４に供給される。また
、ヒータ素子の電源もＩ１０装置２４を通じて供給され
る。
薄膜マイクロブリッジ、即ち風速センサ１８ａ、２１ａ
に関して、近年非常に小さく精度の高いマイクロブリッ
ジ半導体センサが開発され、エツチングされたマイクロ
ブリッジが状態センサ、即ち流速センサとして用いられ
ている。このようなセンサは、例えば、薄膜ヒータに隣
接して一対の薄膜センサを備える。このような半導体チ
ップセンサは、本発明と同一発明者による米国特許第４
４７８０７６号、第４４７８０７７号、第４５０１１４
４号、第４５５５９３９号、第４６５１５６４号、第４
６８３１５９号等に詳細に説明されている。マイクロブ
リッジセンサについて詳細な説明が必要なときは上述の
米国特許を引用することとする。
に関して、近年非常に小さく精度の高いマイクロブリッ
ジ半導体センサが開発され、エツチングされたマイクロ
ブリッジが状態センサ、即ち流速センサとして用いられ
ている。このようなセンサは、例えば、薄膜ヒータに隣
接して一対の薄膜センサを備える。このような半導体チ
ップセンサは、本発明と同一発明者による米国特許第４
４７８０７６号、第４４７８０７７号、第４５０１１４
４号、第４５５５９３９号、第４６５１５６４号、第４
６８３１５９号等に詳細に説明されている。マイクロブ
リッジセンサについて詳細な説明が必要なときは上述の
米国特許を引用することとする。
本発明では、動的流量センサ１８ａが、例えば、薄膜ヒ
ータに隣接して対称的に配置された一対の薄膜センサを
有していれば、双方向の流れを感知するのに用いること
ができることを述べれば十分であろう、勿論、センサが
正しい方向を向くようにチップを配置し、流体がマイク
ロブリッジと直角で接することが条件となる１本発明の
流量計は横方向に対称であるので、被測定流体が流れる
配管に関して双方向の感知に用いることができる。
ータに隣接して対称的に配置された一対の薄膜センサを
有していれば、双方向の流れを感知するのに用いること
ができることを述べれば十分であろう、勿論、センサが
正しい方向を向くようにチップを配置し、流体がマイク
ロブリッジと直角で接することが条件となる１本発明の
流量計は横方向に対称であるので、被測定流体が流れる
配管に関して双方向の感知に用いることができる。
したがって、センサ１８ａは導管内で流体に直接晒され
、流体の動的特性を直接測定するのに用いられる。
、流体の動的特性を直接測定するのに用いられる。
静的マイクロ風速センサ２１ａは、センサ１８ａと背中
あわせに取り付けられ、流体の他のパラメータを動的な
流量と同時に測定することができる。上述のように、セ
ンサ２１ａは流体に直接晒されていないが、流体とは直
接連通されており、静止状態で測定が容易なパラメータ
の測定に用いることができる。
あわせに取り付けられ、流体の他のパラメータを動的な
流量と同時に測定することができる。上述のように、セ
ンサ２１ａは流体に直接晒されていないが、流体とは直
接連通されており、静止状態で測定が容易なパラメータ
の測定に用いることができる。
このようなセンサは、正確な測定方法及び単一の感知シ
ステムを用いたサンプリングにしたがって、熱伝導率ｋ
及び比熱Ｃｐの直接測定に用いることができる。この方
法は、被測定流体内に密接に配置された１つ以上のヒー
タ素子に熱パルスを発生することによって上述の特性を
測定する。被測定流体の特性値ｋ及びｃｐにより熱パル
スに対して経時的に変化するヒータの温度応答は熱パル
スに対応した変化となる。被測定流体が比較的静止状態
にあるときは、主に被測定流体を介してヒータに熱的に
結合されている１つ以上の温度応答センサの経時的に変
化する温度応答に対応する変化を誘発する。
ステムを用いたサンプリングにしたがって、熱伝導率ｋ
及び比熱Ｃｐの直接測定に用いることができる。この方
法は、被測定流体内に密接に配置された１つ以上のヒー
タ素子に熱パルスを発生することによって上述の特性を
測定する。被測定流体の特性値ｋ及びｃｐにより熱パル
スに対して経時的に変化するヒータの温度応答は熱パル
スに対応した変化となる。被測定流体が比較的静止状態
にあるときは、主に被測定流体を介してヒータに熱的に
結合されている１つ以上の温度応答センサの経時的に変
化する温度応答に対応する変化を誘発する。
変化を起こす元となる熱パルスは、ヒータが短期間実質
的に安定状態になるのに必要な長さがあればよい、この
パルスはセンサに安定状態と遷移状態の双方を起こす、
熱伝導率ｋ及び比熱ｃｐは、検出された同−熱パルス内
で感知することができる。ｋは安定状態を表す平坦状温
度曲線から得ることができ、にと過渡状態時の温度変化
率とを用いることによってｃｐを求めることができる。
的に安定状態になるのに必要な長さがあればよい、この
パルスはセンサに安定状態と遷移状態の双方を起こす、
熱伝導率ｋ及び比熱ｃｐは、検出された同−熱パルス内
で感知することができる。ｋは安定状態を表す平坦状温
度曲線から得ることができ、にと過渡状態時の温度変化
率とを用いることによってｃｐを求めることができる。
このような測定法は、本願と同一発明者により１９８８
年６月２４日に出願され現在継続中の米国特許出願第２
１０８９２号に詳細に記載されている。
年６月２４日に出願され現在継続中の米国特許出願第２
１０８９２号に詳細に記載されている。
更に、−旦比熱及び熱伝導率の値が決まれば、これらの
値を基に経験的多項式にしたがって被測定流体の粘度ρ
または密度ｑをｃｐ及びｋの関数として得ることができ
る。この方法は本願と同一発明者によって１９８８年６
月２４日に出願され現在継続中の米国特許出願第２１１
０１４号に詳細に記載されている。
値を基に経験的多項式にしたがって被測定流体の粘度ρ
または密度ｑをｃｐ及びｋの関数として得ることができ
る。この方法は本願と同一発明者によって１９８８年６
月２４日に出願され現在継続中の米国特許出願第２１１
０１４号に詳細に記載されている。
動的及び静的マイクロ風速センサの組み合わせによって
測定できる流体の特性から、本発明にしたがえば特性値
の補正を行なうことができる。勿論、ｋ、ｃｐ、ｑなど
の気体のパラメータは、必要であれば他の手段で測定す
ることもできる。
測定できる流体の特性から、本発明にしたがえば特性値
の補正を行なうことができる。勿論、ｋ、ｃｐ、ｑなど
の気体のパラメータは、必要であれば他の手段で測定す
ることもできる。
第２図は、６種類の気体の零流量時の出力電圧を示した
グラフである。勿論、被測定流体が同一流量であれば同
一出力電圧が発生されるはずであり、すべての曲線は一
致するはずである。未修正データでは種々の気体間でか
なりのずれが見られる。第３図は第２図のデータを両対
数目盛にプロットしたものである。第３図では出力信号
を出力電圧ではなくセンサ抵抗に間してとることによっ
て、縦軸を拡張している。従って、第３図では第２図よ
りもずれが大きく現われている。特に、１００ｇｍ／ｍ
ｉｎ以下の小流量時に著しい。
グラフである。勿論、被測定流体が同一流量であれば同
一出力電圧が発生されるはずであり、すべての曲線は一
致するはずである。未修正データでは種々の気体間でか
なりのずれが見られる。第３図は第２図のデータを両対
数目盛にプロットしたものである。第３図では出力信号
を出力電圧ではなくセンサ抵抗に間してとることによっ
て、縦軸を拡張している。従って、第３図では第２図よ
りもずれが大きく現われている。特に、１００ｇｍ／ｍ
ｉｎ以下の小流量時に著しい。
第４図はＭに発見された補正間係Ｉを含めて第３図のデ
ータをプロットしたものである。低流量範囲を除いてほ
ぼ全域でデータ点に事実上の一致が見られることは注目
に値する。これは、広い流量範囲にわたって、また不活
性から共有結合までの種々の気体分子に関して常に近い
相関があることを意味する。
ータをプロットしたものである。低流量範囲を除いてほ
ぼ全域でデータ点に事実上の一致が見られることは注目
に値する。これは、広い流量範囲にわたって、また不活
性から共有結合までの種々の気体分子に関して常に近い
相関があることを意味する。
第５図は１発見された補正間係ＩＩの応用を表したもの
である。補正関係ＩＩは補正関係Ｉはと正確ではないが
、特に高流量時の応用では十分な精度を有する。
である。補正関係ＩＩは補正関係Ｉはと正確ではないが
、特に高流量時の応用では十分な精度を有する。
このように、本発明では、簡素で普遍的な補正係数が発
見され、この補正係数によって重要な測定精度の問題を
簡単に解決することができる。補正係数は、上述の測定
器の信号処理装量に簡単に設定することができる。
見され、この補正係数によって重要な測定精度の問題を
簡単に解決することができる。補正係数は、上述の測定
器の信号処理装量に簡単に設定することができる。
第１図及び第１ａ図は、本発明の流量計の断面図及び流
量計に関連するＩ１０装置のブロック図を示す図、 第２図は、補正されていない誤差を含む出力と流量測定
との関係を線形座標で表したグラフ、第３図は、第２図
と同じデータをセンサ抵抗と零流量との関係として対数
座標で表し、低流量における誤差を明白にした図、 第４図は、第３図の気体に（１）の関係を用いて零質量
流量に補正係数Ｍを適用した効果を示す図、 第５図は、第３図の気体に（Ｉ Ｉ）の関係を用いて零
流量時の信号を補正した効果を示す図である。 １０、、、計器本体 １１．１２．、、フィルタ部材 １３、ｌ ４． 、 、直径減少手段 １５、ｔｅ、、、細管束 １７、、、マイクロ風速センサパッケージ１８．１８ａ
、、、マイクロブリッジセンサ１９、、、電気的接続ビ
ン ２０．２４．、、入出力装置 ２１ａ。 ２２、。 ２３、。 ２５、。 、マイクロ風速センサ 開口 ビン データ処理・通信装置 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテッド代理人
弁理士 松 下 義 治 ｍｔｔ 乃Ｉ・ −５（’（”＋ｑ））− 苫ｇ・５ 鴫・ Ｆ労・２ 鵬・ 乃Ｉ・３ 鵬・ 手 続 争甫 正 書 （自発） 平成 ２年 ３月 １日 ２゜ 発明の名称 流量計における流体組成補正方法 ３゜ 補正をする者 事件との関係
量計に関連するＩ１０装置のブロック図を示す図、 第２図は、補正されていない誤差を含む出力と流量測定
との関係を線形座標で表したグラフ、第３図は、第２図
と同じデータをセンサ抵抗と零流量との関係として対数
座標で表し、低流量における誤差を明白にした図、 第４図は、第３図の気体に（１）の関係を用いて零質量
流量に補正係数Ｍを適用した効果を示す図、 第５図は、第３図の気体に（Ｉ Ｉ）の関係を用いて零
流量時の信号を補正した効果を示す図である。 １０、、、計器本体 １１．１２．、、フィルタ部材 １３、ｌ ４． 、 、直径減少手段 １５、ｔｅ、、、細管束 １７、、、マイクロ風速センサパッケージ１８．１８ａ
、、、マイクロブリッジセンサ１９、、、電気的接続ビ
ン ２０．２４．、、入出力装置 ２１ａ。 ２２、。 ２３、。 ２５、。 、マイクロ風速センサ 開口 ビン データ処理・通信装置 特許出願人 ハネウェル・インコーボレーテッド代理人
弁理士 松 下 義 治 ｍｔｔ 乃Ｉ・ −５（’（”＋ｑ））− 苫ｇ・５ 鴫・ Ｆ労・２ 鵬・ 乃Ｉ・３ 鵬・ 手 続 争甫 正 書 （自発） 平成 ２年 ３月 １日 ２゜ 発明の名称 流量計における流体組成補正方法 ３゜ 補正をする者 事件との関係
Claims (2)
- （１）マイクロ風速計型流量計の質量流量測定値を被測
定気体の組成変化に対して補正する方法において、 被測定流体の零質量流量の未補正値をマイクロ風速セン
サ出力に関して求め、 比熱（ｃｐ）、熱伝導率（ｋ）及び密度（ｑ）を求め、 前記零流量値から以下の関係にしたがって質量流量の補
正値（Ｍ）を求めるステップからなることを特徴とする
、流体における流体組成補正方法。 Ｍ＝Ｍ＿０ｃｐ／ｋ（３．８＋ｑ） - （２）マイクロ風速計型流量計のマイクロ風速流量セン
サからの動的流量出力信号を被測定流隊の組成変化に対
して補正する方法において、 被測定流体の質量流量に関するマイクロ風速センサの零
流量時の出力信号を求め、 比熱（ｃｐ）、熱伝導率（ｋ）及び密度（ｑ）を求め、 前記零流量時のセンサ出力から以下の関係にしたがって
センサ出力の補正値（ｓ）を求めるステップからなるこ
とを特徴とする、流体における流体組成補正方法。 Ｓ＝Ｓ＿０｛ｋ（３．８＋ｑ）／ｃｐ｝０．４（３）前
記ｃｐ、ｋ、及びｑの各値は被測定流体の静的状態にお
いてマイクロ風速センサで測定して得ることを特徴賭す
る、請求項第１項または第２項に記載の流体における流
体組成補正方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/285,896 US4885938A (en) | 1988-12-16 | 1988-12-16 | Flowmeter fluid composition correction |
| US285896 | 1988-12-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5363832A (en) * | 1992-05-14 | 1994-11-15 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel vapor purging control system with air/fuel ratio compensating system for internal combustion engine |
| US5390644A (en) * | 1991-12-27 | 1995-02-21 | Nippondenso Co., Ltd. | Method for producing fuel/air mixture for combustion engine |
| JP2002538451A (ja) * | 1999-03-01 | 2002-11-12 | エー ビー ビー リサーチ リミテッド | ガスメータ |
| WO2012147586A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | オムロン株式会社 | 流量測定装置 |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE467552B (sv) * | 1988-10-31 | 1992-08-03 | Jerker Delsing | Saett och anordning foer maetning av massfloedet m av ett fluidium |
| GB8910372D0 (en) * | 1989-05-05 | 1989-06-21 | Framo Dev Ltd | Multiphase process mixing and measuring system |
| FR2664975A1 (fr) * | 1990-07-23 | 1992-01-24 | Methane Cie Francaise | Procede et dispositif de comptage de gaz combustible. |
| US5237523A (en) * | 1990-07-25 | 1993-08-17 | Honeywell Inc. | Flowmeter fluid composition and temperature correction |
| DE69109236T2 (de) * | 1990-11-09 | 1996-01-11 | Hewlett Packard Co | Verfahren und Systeme zur Identifizierung von Flüssigkeiten und Bestimmung der Strömung. |
| US5249462A (en) * | 1991-07-09 | 1993-10-05 | Honeywell Inc. | Safe channel design for flow sensor chip microbridges |
| ES2161696T3 (es) * | 1991-10-23 | 2001-12-16 | Honeywell Inc | Aparato para medir, sin combustion, la calidad de un gas combustible. |
| US5235844A (en) * | 1991-10-23 | 1993-08-17 | Niagara Mohawk Power Corporation | Multiple gas property sensor |
| GB2263776B (en) * | 1992-01-28 | 1995-05-17 | Endress & Hauser Ltd | Fluid mass flowmeter |
| US5263369A (en) * | 1992-07-24 | 1993-11-23 | Bear Medical Systems, Inc. | Flow sensor system and method |
| US5279155A (en) * | 1993-02-04 | 1994-01-18 | Honeywell, Inc. | Mass airflow sensor |
| ATE231237T1 (de) | 1997-07-29 | 2003-02-15 | Gascontrol Bv | Verfahren und einrichtung zur messung eines gasflusses |
| US6220747B1 (en) * | 1997-08-14 | 2001-04-24 | Michael Gosselin | Proportional pump system for viscous fluids |
| DE19749524C2 (de) * | 1997-11-08 | 1999-10-21 | Reisland Martin Ulrich | Einrichtung zum Messen des Volumenstromes eines strömenden Mediums |
| CN1515878A (zh) * | 1998-08-18 | 2004-07-28 | ͬ�Ϳ�ҵ��ʽ���� | 流量传感器及过滤器一体型流量计 |
| US6911894B2 (en) * | 1998-12-07 | 2005-06-28 | Honeywell International Inc. | Sensor package for harsh environments |
| US7258003B2 (en) * | 1998-12-07 | 2007-08-21 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with self-aligned flow channel |
| DE19913968B4 (de) | 1999-03-18 | 2004-02-12 | Fafnir Gmbh | Thermischer Durchflußsensor und Verfahren zum Bestimmen des Durchflusses eines Fluids |
| DE10009153A1 (de) * | 2000-02-26 | 2001-09-13 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung von zumindest einem Parameter eines strömenden Gas-Flüssigkeitsgemischs bzw. Verwendung eines Strömungsgleichrichters als Kondensationsfalle bzw. Verfahren zur Kondensierung einer Flüssigkeit |
| DE10031813C2 (de) * | 2000-06-30 | 2002-08-01 | Fafnir Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen des Durchflusses eines Gasgemisches |
| EP1227305B1 (de) * | 2001-01-30 | 2007-02-28 | Ems-Patent Ag | Gaszähler |
| US6681623B2 (en) | 2001-10-30 | 2004-01-27 | Honeywell International Inc. | Flow and pressure sensor for harsh fluids |
| DE50209352D1 (de) | 2002-08-22 | 2007-03-15 | Ems Patent Ag | Thermisches Gasdurchfluss-Messgerät mit Gasqualitätsindikator |
| DE50311403D1 (de) | 2003-01-23 | 2009-05-20 | Ems Patent Ag | Gasenergiemeter mit erhöhter genauigkeit |
| US7201033B2 (en) * | 2003-08-14 | 2007-04-10 | Fluid Components International Llc | Flowmeter in-situ calibration verification system |
| US7191645B2 (en) * | 2003-08-14 | 2007-03-20 | Fluid Components International Llc | Dynamic mixed gas flowmeter |
| EP1512948A1 (de) * | 2003-09-03 | 2005-03-09 | Abb Research Ltd. | Gasdurchflusssensor mit Strömungsdiagnostik |
| FR2908515B1 (fr) * | 2006-11-09 | 2008-12-26 | Actaris Sas Soc Par Actions Si | Cellule de mesure de la conductivite thermique d'un gaz |
| EP1959242A3 (en) * | 2007-02-19 | 2009-01-07 | Yamatake Corporation | Flowmeter and flow control device |
| EP2175246B1 (en) | 2008-10-09 | 2017-07-19 | Sensirion AG | A method for measuring a fluid composition parameter by means of a flow sensor |
| EP2204555B1 (en) * | 2009-01-02 | 2011-08-03 | Sensirion AG | Ammonia storage system |
| US8434479B2 (en) | 2009-02-27 | 2013-05-07 | Covidien Lp | Flow rate compensation for transient thermal response of hot-wire anemometers |
| CN102460811B (zh) * | 2009-05-28 | 2015-11-25 | 艾默吉电力系统股份有限公司 | 氧化还原流通单元电池再平衡 |
| US20110079074A1 (en) * | 2009-05-28 | 2011-04-07 | Saroj Kumar Sahu | Hydrogen chlorine level detector |
| EP2392898B1 (en) | 2010-06-04 | 2017-12-13 | Sensirion AG | Sensor system |
| PL228663B1 (pl) * | 2011-02-03 | 2018-04-30 | Sylwester Kalisz | Miernik strumienia gazu w krótkich kanałach zamkniętych o dużej powierzchni przekroju, zwłaszcza w obiegach powietrzno-spalinowych kotłów i wentylacji |
| DE102013105993A1 (de) | 2012-12-14 | 2014-07-03 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Thermische Durchflussmessvorrichtung und Verfahren zur Korrektur eines Durchflusses eines Mediums |
| DE102014217870A1 (de) * | 2014-09-08 | 2016-03-10 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Messkanal strömenden fluiden Mediums |
| US9874467B2 (en) * | 2015-02-23 | 2018-01-23 | Aceinna, Inc. | MEMS thermal flow sensor with compensation for fluid composition |
| US10845226B2 (en) * | 2017-04-21 | 2020-11-24 | Trane International Inc. | Adhesive flow meter |
| EP3421947B1 (en) | 2017-06-30 | 2019-08-07 | Sensirion AG | Operation method for flow sensor device |
| EP3614109A1 (de) * | 2018-08-22 | 2020-02-26 | Technische Universität Graz | Messvorrichtung und messsonde für ein strömendes fluid |
| CN111947727A (zh) * | 2020-09-11 | 2020-11-17 | 希尔思仪表（深圳）有限公司 | 一种热式质量流量计探头 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1769358A (en) * | 1922-04-01 | 1930-07-01 | Cutler Hammer Inc | Method of and apparatus for ascertaining the rate of flow of fluids |
| DE1232358B (de) * | 1962-07-26 | 1967-01-12 | Licentia Gmbh | Verfahren und Durchfuehrungsanordnungen zur selbsttaetigen Durchfuehrung der durch den Feuchtigkeitsgehalt erforderlichen Korrektur eines gemessenen Gasvolumenwertes |
| NL6618236A (ja) * | 1966-12-28 | 1968-07-01 | ||
| US4478077A (en) * | 1982-09-30 | 1984-10-23 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
| US4478076A (en) * | 1982-09-30 | 1984-10-23 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
| US4683159A (en) * | 1982-09-30 | 1987-07-28 | Honeywell Inc. | Semiconductor device structure and processing |
| US4651564A (en) * | 1982-09-30 | 1987-03-24 | Honeywell Inc. | Semiconductor device |
| US4501144A (en) * | 1982-09-30 | 1985-02-26 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
| US4555939A (en) * | 1984-03-19 | 1985-12-03 | Honeywell Inc. | Condition responsive sensor for fluid flow measurement |
| US4685331A (en) * | 1985-04-10 | 1987-08-11 | Innovus | Thermal mass flowmeter and controller |
| JPH06103211B2 (ja) * | 1987-05-19 | 1994-12-14 | 日産自動車株式会社 | 機関の空気量検出装置 |
| GB8719105D0 (en) * | 1987-08-12 | 1987-09-16 | Schlumberger Electronics Uk | Fluid metering |
-
1988
- 1988-12-16 US US07/285,896 patent/US4885938A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-12-15 EP EP19890313166 patent/EP0373965A3/en not_active Withdrawn
- 1989-12-15 JP JP1325179A patent/JPH02222815A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5390644A (en) * | 1991-12-27 | 1995-02-21 | Nippondenso Co., Ltd. | Method for producing fuel/air mixture for combustion engine |
| US5363832A (en) * | 1992-05-14 | 1994-11-15 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel vapor purging control system with air/fuel ratio compensating system for internal combustion engine |
| JP2002538451A (ja) * | 1999-03-01 | 2002-11-12 | エー ビー ビー リサーチ リミテッド | ガスメータ |
| JP4828702B2 (ja) * | 1999-03-01 | 2011-11-30 | ヒドロメーター ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスメータ |
| WO2012147586A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | オムロン株式会社 | 流量測定装置 |
| US9068871B2 (en) | 2011-04-28 | 2015-06-30 | Omron Corporation | Flow rate measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| EP0373965A3 (en) | 1990-11-07 |
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