JP4316083B2 - 流体判別機能を有する熱式流量計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体流量検知技術に属するものであり、特に流体判別機能を有する熱式流量計に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
従来、各種流体特に液体の流量(あるいは流速)を測定する流量計[流量センサー](あるいは流速計[流速センサー])としては、種々の形式のものが使用されているが、低価格化が容易であるという理由で、いわゆる熱式(特に傍熱型)の流量計が利用されている。
【0003】
この傍熱型流量計としては、基板上に薄膜技術を利用して薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を介して積層してなるセンサーチップを配管内の流体との間で熱伝達可能なように配置したものが使用されている。発熱体に通電することにより感温体を加熱し、該感温体の電気的特性例えば電気抵抗の値を変化させる。この電気抵抗値の変化(感温体の温度上昇に基づく)は、配管内を流れる流体の流量(流速)に応じて変化する。これは、発熱体の発熱量のうちの一部が流体中へと伝達され、この流体中へ拡散する熱量は流体の流量(流速)に応じて変化し、これに応じて感温体へと供給される熱量が変化して、該感温体の電気抵抗値が変化するからである。この感温体の電気抵抗値の変化は、流体の温度によっても異なり、このため、上記感温体の電気抵抗値の変化を測定する電気回路中に温度補償用の感温素子を組み込んでおき、流体の温度による流量測定値の変化をできるだけ少なくすることも行われている。
【0004】
このような、薄膜素子を用いた傍熱型流量計に関しては、例えば、特開平11−118566号公報に記載がある。この流量計においては、流体の流量に対応する電気的出力を得るためにブリッジ回路を含む電気回路(検知回路)を使用している。
【0005】
以上のような流量計においては、流体の熱的性質が異なると、実際の流量が同一であっても検知回路の出力が異なるので、一般に、流量測定される流体の種類が既知であるものとして、その流体に関する検量線を用いて検知回路の出力を流体流量値に換算している。
【0006】
しかるに、近年、流量測定される流体の供給源として流体を小分けした小分け供給源を用い、同種の流体について複数の小分け供給源を順次取り替えて流量測定を行うことがなされている。
【0007】
例えば、高純度試薬の合成や医薬の合成や化学分析などにおいては、原材料流体や試薬流体が収容されている小型可搬式容器と反応装置や分析装置とを流体流通路により接続して、該流体流通路において流量測定を行いながら反応装置内へと原材料流体や試薬流体を供給することがなされることがある。原材料流体や試薬流体の補充の際には、空の可搬式容器に替えて原材料流体や試薬流体の充填された新たな可搬式容器を反応装置や分析装置と接続する。
【0008】
また、生体に医療用薬液を注入する場合においても、携行が可能な量ごとに医療用薬液を小分けしてパックに詰め、この薬液パックと生体の例えば血管とを流体流通路により接続して、該流体流通路において流量測定を行いながら生体内へと薬液を注入することがなされる。薬液の補充の際には、空のパックに替えて薬液の充填された新たなパックを生体と接続する。
【0009】
以上のような小分け供給源の使用は実際上の大きな利点を有するが、その反面、流体供給源の取り替えの際に過って所要の流体以外の流体を収容した供給源と接続する可能性がある。そのような場合に、そのことに気づかずに流体供給を行うと、所要の流体と実際に供給される流体との熱的性質の相違に基づき正確な流量測定ができなくなるばかりでなく、過った流体を供給することで製造や分析の不良や事故あるいは医療事故を引き起こす原因になる。
【0010】
そこで、本発明は、以上のような過った流体の流通を避けるべく、簡単な構成で、流体が所要のものであるか否かの判別機能をもつ熱式流量計を提供することを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして、
発熱体と流量検知用感温体と流体流通路内へと延出せる導電性の流量検知用熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置してなり、前記流量検知用熱伝達部材を介しての前記流体流通路内の流体との熱の授受により前記流体の前記流体流通路内での流通に対応して前記流量検知用感温体の電気的特性値が変化する流量検知ユニット、及び、流体温度検知用感温体と前記流体流通路内へと延出せる導電性の流体温度検知用熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置してなり、前記流体流通路内の流体との熱の授受により前記流体の温度に対応して前記流体温度検知用感温体の電気的特性値が変化する流体温度検知ユニットを備えており、
前記流量検知用感温体の電気的特性値及び前記流体温度検知用感温体の電気的特性値に基づき前記流体の流量の検知を行い、前記流量検知用熱伝達部材と前記流体温度検知用熱伝達部材との間の導電性の測定を行うことで前記流体の判別を行うようにしてなることを特徴とする熱式流量計、
が提供される。
【0012】
本発明の一態様においては、前記流体の判別は、前記流量検知用熱伝達部材と前記流体温度検知用熱伝達部材との間を通って流れる電流が測定対象流体について予め設定された範囲内の値である場合には前記流体は前記測定対象流体であるとみなし、且つ前記予め設定された範囲以外の値である場合には前記流体は前記測定対象流体ではないと判定することにより行われる。
【0013】
本発明の一態様においては、前記流体の流量の検知は前記流量検知用感温体と前記流体温度検知用感温体とを含んでなる検知回路の出力と検量線とに基づき行われる。
【0014】
本発明の一態様においては、前記流量検知ユニットにおいて前記流量検知用熱伝達部材の一部が電極端子を構成しており、前記流体温度検知ユニットにおいて前記流体温度検知用熱伝達部材の一部が電極端子を構成している。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【0016】
図1は本発明の流量計の一実施形態を示す模式的部分断面図である。図において、ケーシング部材2内には流体流通路3が形成されている。該ケーシング部材2は、例えばエポキシ樹脂やポリフェニレンサルファイド樹脂などの合成樹脂製または金属製である。金属製の場合には、流体流通路3を形成する内面に絶縁膜を付与するのが好ましい。ケーシング部材2には流体流通路3に臨むようにして流量検知ユニット4及び流体温度検知ユニット6が取り付けられている。
【0017】
流体は流体流通路3内を矢印の方向に流通する。即ち、ケーシング部材2には、図1中の左端において流体流通路3に連なる流体流入開口(図示されていない)が形成されており、ここには流体供給源側配管が接続される。また、ケーシング部材2には、図1中の右端において流体流通路3に連なる流体流出開口(図示されていない)が形成されており、ここには流体需要側配管が接続される。
【0018】
図2及び図3は流量検知ユニット4の断面図である。流量検知ユニット4において、流量検知部42が熱伝達部材たるフィンプレート44の表面に熱伝導性良好な接合材46により接合され、流量検知部42の電極パッドと電極端子48とがボンディングワイヤ50により接続されており、流量検知部42及びボンディングワイヤ50並びにフィンプレート44の一部及び電極端子48の一部が合成樹脂製ハウジング52内に収容されている。流量検知部42は、例えばシリコンやアルミナなどからなる厚さ0.4mm程度で2mm角程度の矩形基板上に、薄膜感温体及び薄膜発熱体を互いに絶縁して形成したチップ状のものからなる。
【0019】
フィンプレート44は、良好な熱伝導性と共に導電性をも有しており、例えば銅、ジュラルミン、銅−タングステン合金などの金属からなる。
【0020】
図3に示されているように、流量検知ユニット4において、流量検知用フィンプレート44の一部が延在して電極端子49を構成している。該電極端子49は、流体判別のための回路を構成する接続線が接続されるものであり、これに対して、上記電極端子48は、流量検知のための回路を構成する接続線が接続されるものである。尚、流体判別のための回路を構成する接続線と接続される電極端子49は、流量検知用フィンプレート44の一部を延在させて形成する代わりに、電極端子48と同様に構成してボンディングワイヤにより流量検知用フィンプレート44と接続してもよい(この場合、フィンプレート44の一部にワイヤボンディングのための接続領域を突出させ形成しておくことができる)。
【0021】
尚、流体温度検知ユニット6は、上記流量検知ユニット4における流量検知部42の代わりに流体温度検知部を用いたものに相当する。流体温度検知ユニット6において、流量検知ユニット4のものと対応する部材は、同一の符号に「’」を付して示す。流体温度検知部は、流量検知部42から薄膜発熱体を除去したと同様な構成を持つ。
【0022】
流量検知ユニット4及び流体温度検知ユニット6のハウジング52,52’から突出せるフィンプレート44,44’の端部は、ケーシング部材2の流体流通路3内に延出している。フィンプレート44,44’は、ほぼ円形の断面を持つ流体流通路3内において、その断面内の中央を通って延在している。フィンプレート44,44’は、流体流通路3内における流体の流通方向に沿って配置されているので、流体流通に大きな影響を与えることなしに、流量検知部42及び流体温度検知部42’と流体との間で良好に熱を伝達することが可能である。
【0023】
図4は、以上のような流量計の回路構成図である。
【0024】
電源回路72から供給される安定化直流は、ブリッジ回路(検知回路)73に供給される。ブリッジ回路73は、流量検知用感温体31と温度補償用感温体31’と抵抗体74及び可変抵抗体75とを含んでなる。ブリッジ回路73のa,b点の電位Va,Vbが増幅率可変の差動増幅回路76に入力される。該差動増幅回路76の出力は積分回路77に入力される。
【0025】
一方、電源回路72の出力は、上記薄膜発熱体33へ供給される電流を制御するための電界効果型トランジスタ81を介して、薄膜発熱体33へと供給される。即ち、流量検知部42において、薄膜発熱体33の発熱に基づき、フィンプレート44を介して被検知流体による吸熱の影響を受けて、薄膜感温体31による感温が実行される。そして、該感温の結果として、図4に示すブリッジ回路73のa,b点の電位Va,Vbの差が得られる。
【0026】
(Va−Vb)の値は、流体の流量に応じて流量検知用感温体31の温度が変化することで、変化する。予め可変抵抗体75の抵抗値を適宜設定することで、基準となる所望の流体流量の場合において(Va−Vb)の値を零とすることができる。この基準流量では、差動増幅回路76の出力は零であり、積分回路77の出力が一定(基準流量に対応する値)となる。尚、積分回路77の出力は、最小値が0Vとなるようにレベル調整がなされている。
【0027】
積分回路77の出力はV/F変換回路78に入力され、ここで電圧信号に対応する周波数(例えば最大5×10-5)のパルス信号が形成される。このパルス信号は、パルス幅(時間幅)が一定(例えば1〜10マイクロ秒の所望値)である。例えば、積分回路77の出力が1Vの場合には周波数0.5kHzのパルス信号を出力し、積分回路77の出力が4Vの場合には周波数2kHzのパルス信号を出力する。
【0028】
V/F変換回路78の出力は、トランジスタ81のゲートへと供給される。かくして、ゲートへとパルス信号が入力されたトランジスタ81を介して薄膜発熱体33に電流が流れる。従って、薄膜発熱体33には、トランジスタを介して、電源回路72の出力電圧の分圧が、積分回路77の出力値に対応する周波数にてパルス状に印加され、該薄膜発熱体33を電流が間欠的に流れる。これにより薄膜発熱体33が発熱する。V/F変換回路78の周波数は、基準周波数発生回路80で温度補償型水晶振動子79の発振に基づき設定される高精度クロックに基づき設定される。
【0029】
そして、V/F変換回路78から出力されるパルス信号は、パルスカウンター82により計数される。マイクロコンピュータ83は、基準周波数発生回路80で発生される周波数を基準としてパルス計数した結果(パルス周波数)に基づき、対応する流量(瞬時流量)に換算し、該流量を時間に関して積算することで積算流量を算出する。
【0030】
この流量への換算は、メモリ84に予め記憶されている流量検知に係る所要の流体の検量線を用いて行われる。この検量線の一例を図5に示す。即ち、流体の各流量ごとにパルスカウンター82から出力されるパルス周波数を測定することで得られたデータテーブルが、検量線としてメモリ84に記憶されている。マイクロコンピュータ83は、流量測定の際にパルスカウンター82から出力されるパルス周波数に対応する検量線上の流量値を測定値として特定する。
【0031】
以上のようにして得られた瞬時流量及び積算流量の値は、表示部25により表示されると共に、電話回線その他のネットワークからなる通信回線を介して外部へと伝送される。また、所望により、瞬時流量や積算流量のデータをメモリ84に記憶させておくことができる。
【0032】
流体流量が増減すると、差動増幅回路76の出力は(Va−Vb)の値に応じて極性(流量検知用感温体31の抵抗−温度特性の正負により異なる)及び大きさが変化し、これに応じて積分回路77の出力が変化する。積分回路77の出力の変化の速さは差動増幅回路76の増幅率設定により調節することができる。これら積分回路77と差動増幅回路76とにより、制御系の応答特性が設定される。
【0033】
流体流量が増加した場合には、流量検知用感温体31の温度が低下するので、薄膜発熱体33の発熱量を増加させる(即ちパルス周波数を増加させる)ような積分回路77の出力(より高い電圧値)が得られ、この積分回路出力が流体流量に対応した電圧となった時点で、ブリッジ回路73が平衡状態となる。
【0034】
他方、流体流量が減少した場合には、流量検知用感温体31の温度が上昇するので、薄膜発熱体33の発熱量を減少させる(即ちパルス周波数を減少させる)ような積分回路77の出力(より低い電圧値)が得られ、この積分回路出力が流体流量に対応した電圧となった時点で、ブリッジ回路73が平衡状態となる。
【0035】
即ち、本実施形態の制御系では、ブリッジ回路73が平衡状態となるように薄膜発熱体33へと供給するパルス状電流の周波数(熱量に対応する)が設定され、このような平衡状態の実現(制御系の応答)は例えば0.1秒以内とすることが可能である。
【0036】
また、他方において、電源回路72の出力は高抵抗値(例えば10kΩ程度)の抵抗体62及び上記電極端子49’を介して上記流体温度検知用フィンプレート44’へと供給され、上記流量検知用フィンプレート44は上記電極端子49を介して接地されている。抵抗体62の両端には電圧計64が接続されている。該電圧計64により測定される電圧は、流体流通路3内に流体が導入された時に2つのフィンプレート44,44’間で流体を通って流れる電流の大きさに対応し、これはフィンプレート44,44’間の流体の抵抗値に対応している。これらを含んで、流量検知用フィンプレート44と流体温度検知用44’との間の導電性測定のための回路が構成されている。
【0037】
電圧計64の出力はA/Dコンバータ66を介して上記マイクロコンピュータ83へと入力される。上記メモリ84には、所要の測定対象流体について上記導電性測定回路により測定されるべき電圧計64の出力値範囲(以下、「該当範囲」という)のデータが記憶されている。この該当範囲は、予め、所要の測定対象流体を流体流通路3内に導入し、導電性測定回路の電圧計64の出力値を実測し、所要の検知誤差範囲を考慮して適宜設定することができる。一例を挙げれば、所要の測定対象流体が生理食塩水である場合において、該当範囲として3.2〜3.6Vを設定することが可能な導電性測定回路では、市水についての電圧計64の出力値は0.8〜1.2Vであり、アルコールやアセトンについての電圧計64の出力値は0.05V以下であり、これら所要の測定対象流体でない流体が過って導入された場合には所要の測定対象流体との判別が可能である。
【0038】
本実施形態においては、流体流量の検知に先立って、先ず、流量計の流体流通路3内にまで流体を導入した上で、流体の流通を停止した状態で流体流通路3内の流体の導電性(具体的には電圧計64の出力電圧値)を測定する。そして、マイクロコンピュータ83では、A/Dコンバータ66から入力される電圧値がメモリ84に記憶されている該当範囲に属するか否か(即ち、該当範囲内であるか該当範囲外であるか)の判定を行う。この判定で電圧計64の出力電圧値が該当範囲内であると判定された場合には、流体流通路3内に導入された流体は所定の測定対象流体であるとみなし、続いて流体流通路3内へと流体供給源から流体を供給し、上記のような流量検知を行いながら流体を流通させる。逆に、上記判定で電圧計64の出力電圧値が該当範囲外であると判定された場合には、続いて流体流通路3内への流体供給源からの流体供給を行うことなく、表示部25に警告表示をしたり、不図示の警報手段により警報音を発したりすることができる。
【0039】
従って、本実施形態においては、流体供給源の取り替えの度に上記の流体判別を行うようにすることで、所要の測定対象流体のものと明らかに異なる導電性をもつ流体(これは明らかに所要の測定対象流体ではない)を過って流通させるのを防止することが可能となる。
【0040】
また、以上の実施形態によれば、流量測定のためにV/F変換回路78で作成されたパルス信号を用いており、このパルス信号は温度変化による誤差を十分に小さくすることが容易であるので、パルス周波数に基づき得られる流量値及び積算流量値の誤差を小さくすることが可能である。また、本実施形態では、薄膜発熱体33への通電の制御は、V/F変換回路78で作成されたパルス信号によるON−OFFによりなされるので、温度変化に基づく制御誤差の発生は極めて小さい。
【0041】
また、本実施形態では、流量検知部として薄膜発熱体及び薄膜感温体を含む微小チップ状のものを用いているので、以上のような高速応答性が実現され、流量測定の精度を良好なものとすることができる。
【0042】
また、本実施形態では、被検知流体の流量の如何にかかわらず、薄膜発熱体33の周囲の流量検知用感温体31の温度がほぼ一定に維持されるので、流量センサーユニットの経時劣化が少なく、また可燃性の被検知流体の着火爆発の発生を防止することができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の流量計によれば、流量検知に利用される流量検知用熱伝達部材と流体温度検知用熱伝達部材との間の流体の導電性の測定を行うことで流体の判別を行うようにしているので、簡単な構成で、所要の測定対象流体のものと導電性の明らかに異なる流体を過って流通させるのを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の流量計の一実施形態を示す模式的部分断面図である。
【図2】流量検知ユニットの断面図である。
【図3】流量検知ユニットの断面図である。
【図4】本発明の流量計の一実施形態の回路構成図である。
【図5】本発明の流量計における検量線の一例を示す模式図である。
【符号の説明】
2 ケーシング部材
3 流体流通路
4 流量検知ユニット
6 流体温度検知ユニット
25 表示部
31 流量検知用感温体
31’ 温度補償用感温体
33 薄膜発熱体
42 流量検知部
44,44’ フィンプレート
46 接合材
48,48’ 電極端子
49,49’ 電極端子
50 ボンディングワイヤ
52,52’ ハウジング
62 抵抗体
64 電圧計
66 A/Dコンバータ
72 電源回路
73 ブリッジ回路(検知回路)
74 抵抗体
75 可変抵抗体
76 差動増幅回路
77 積分回路
78 V/F変換回路
79 温度補償型水晶振動子
80 基準周波数発生回路
81 電界効果型トランジスタ
82 パルスカウンター
83 マイクロコンピュータ
84 メモリ
Claims (4)
- 発熱体と流量検知用感温体と流体流通路内へと延出せる導電性の流量検知用熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置してなり、前記流量検知用熱伝達部材を介しての前記流体流通路内の流体との熱の授受により前記流体の前記流体流通路内での流通に対応して前記流量検知用感温体の電気的特性値が変化する流量検知ユニット、及び、流体温度検知用感温体と前記流体流通路内へと延出せる導電性の流体温度検知用熱伝達部材とを互いに熱伝達可能なように配置してなり、前記流体流通路内の流体との熱の授受により前記流体の温度に対応して前記流体温度検知用感温体の電気的特性値が変化する流体温度検知ユニットを備えており、
前記流量検知用感温体の電気的特性値及び前記流体温度検知用感温体の電気的特性値に基づき前記流体の流量の検知を行い、前記流量検知用熱伝達部材と前記流体温度検知用熱伝達部材との間の導電性の測定を行うことで前記流体の判別を行うようにしてなることを特徴とする熱式流量計。 - 前記流体の判別は、前記流量検知用熱伝達部材と前記流体温度検知用熱伝達部材との間を通って流れる電流が測定対象流体について予め設定された範囲内の値である場合には前記流体は前記測定対象流体であるとみなし、且つ前記予め設定された範囲以外の値である場合には前記流体は前記測定対象流体ではないと判定することにより行われることを特徴とする、請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記流体の流量の検知は前記流量検知用感温体と前記流体温度検知用感温体とを含んでなる検知回路の出力と検量線とに基づき行われることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記流量検知ユニットにおいて前記流量検知用熱伝達部材の一部が電極端子を構成しており、前記流体温度検知ユニットにおいて前記流体温度検知用熱伝達部材の一部が電極端子を構成していることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の熱式流量計。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35607499A JP4316083B2 (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 流体判別機能を有する熱式流量計 |
PCT/JP2000/008622 WO2001044761A1 (fr) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | Fluxmetre thermique a fonction discriminante vis a vis des fluides |
EP00979940A EP1253407A1 (en) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | Thermal flowmeter with fluid discriminant function |
US10/149,867 US6681624B2 (en) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | Thermal flowmeter with fluid descriminant function |
CNB008171653A CN1172166C (zh) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | 具有流体判别功能的热式流量计 |
CA002394291A CA2394291A1 (en) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | Thermal flowmeter with fluid discriminant function |
KR1020027007604A KR20020063592A (ko) | 1999-12-15 | 2000-12-06 | 유체판별기능을 갖는 열식 유량계 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35607499A JP4316083B2 (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 流体判別機能を有する熱式流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001174303A JP2001174303A (ja) | 2001-06-29 |
JP4316083B2 true JP4316083B2 (ja) | 2009-08-19 |
Family
ID=18447202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35607499A Expired - Lifetime JP4316083B2 (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 流体判別機能を有する熱式流量計 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6681624B2 (ja) |
EP (1) | EP1253407A1 (ja) |
JP (1) | JP4316083B2 (ja) |
KR (1) | KR20020063592A (ja) |
CN (1) | CN1172166C (ja) |
CA (1) | CA2394291A1 (ja) |
WO (1) | WO2001044761A1 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004025286A1 (ja) * | 2002-09-10 | 2004-03-25 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | 尿素濃度識別装置および尿素濃度識別方法ならびにそれを用いた自動車の排気ガスの低減装置および自動車の排気ガスの低減方法 |
JP3758625B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2006-03-22 | 三井金属鉱業株式会社 | ガソリンの液種識別装置およびガソリンの液種識別方法 |
RU2003108433A (ru) * | 2003-03-28 | 2004-09-27 | Аби Софтвер Лтд. (Cy) | Способ предварительной обработки изображения машиночитаемой формы |
JP4342855B2 (ja) * | 2003-07-11 | 2009-10-14 | 三井金属鉱業株式会社 | 軽油の液種識別装置および軽油の液種識別方法 |
EP1963817A2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-09-03 | Honeywell International Inc. | Portable sample analyzer cartridge |
US8240636B2 (en) | 2009-01-12 | 2012-08-14 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Valve system |
US8105487B2 (en) | 2007-09-25 | 2012-01-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Manifolds for use in conducting dialysis |
US9199022B2 (en) * | 2008-09-12 | 2015-12-01 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Modular reservoir assembly for a hemodialysis and hemofiltration system |
US9308307B2 (en) | 2007-09-13 | 2016-04-12 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Manifold diaphragms |
US8114288B2 (en) | 2007-11-29 | 2012-02-14 | Fresenlus Medical Care Holdings, Inc. | System and method for conducting hemodialysis and hemofiltration |
US9358331B2 (en) | 2007-09-13 | 2016-06-07 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable dialysis machine with improved reservoir heating system |
US8597505B2 (en) | 2007-09-13 | 2013-12-03 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable dialysis machine |
WO2010042667A2 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | Xcorporeal, Inc. | Thermal flow meter |
CA2976872C (en) | 2008-10-07 | 2021-04-13 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Priming system and method for dialysis systems |
CN105056324B (zh) | 2008-10-30 | 2019-01-01 | 弗雷塞尼斯医疗保健控股公司 | 模块化便携透析系统 |
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US9201036B2 (en) | 2012-12-21 | 2015-12-01 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Method and system of monitoring electrolyte levels and composition using capacitance or induction |
US9157786B2 (en) | 2012-12-24 | 2015-10-13 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Load suspension and weighing system for a dialysis machine reservoir |
JP5884769B2 (ja) * | 2013-05-09 | 2016-03-15 | 株式会社デンソー | 空気流量計測装置 |
US9354640B2 (en) | 2013-11-11 | 2016-05-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Smart actuator for valve |
US9889244B2 (en) | 2015-12-17 | 2018-02-13 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | System and method for controlling venous air recovery in a portable dialysis system |
US10195326B2 (en) | 2016-03-08 | 2019-02-05 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Methods and systems for detecting an occlusion in a blood circuit of a dialysis system |
US10987460B2 (en) | 2016-03-08 | 2021-04-27 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Methods and systems of generating rapidly varying pressure amplitudes in fluidic circuits in a dialysis treatment system |
US10561778B2 (en) | 2017-03-02 | 2020-02-18 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Split reservoir bags and method of using split reservoir bags to improve the heating and generation of dialysate |
US11110214B2 (en) | 2017-04-07 | 2021-09-07 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Methods and systems for measuring and heating dialysate |
EP3851812B1 (en) * | 2020-01-14 | 2022-07-06 | Axetris AG | Gas flow measuring circuit and gas flow sensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DK161260C (da) * | 1988-05-06 | 1991-12-30 | Paul Verner Nielsen | Flowmaaler |
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EP1024350A4 (en) * | 1997-10-15 | 2006-09-20 | Mitsui Mining & Smelting Co | FLOW DETECTOR, FLOWMETER, AND OUTLET CONTROL DEVICE FOR LIQUID EXTRACTORS |
JPH11118570A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-04-30 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 流体有無検出機能を有する流量センサ |
-
1999
- 1999-12-15 JP JP35607499A patent/JP4316083B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-12-06 CN CNB008171653A patent/CN1172166C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-06 CA CA002394291A patent/CA2394291A1/en not_active Abandoned
- 2000-12-06 WO PCT/JP2000/008622 patent/WO2001044761A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2000-12-06 EP EP00979940A patent/EP1253407A1/en not_active Withdrawn
- 2000-12-06 KR KR1020027007604A patent/KR20020063592A/ko not_active Application Discontinuation
- 2000-12-06 US US10/149,867 patent/US6681624B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1253407A1 (en) | 2002-10-30 |
JP2001174303A (ja) | 2001-06-29 |
CN1172166C (zh) | 2004-10-20 |
KR20020063592A (ko) | 2002-08-03 |
CN1409817A (zh) | 2003-04-09 |
WO2001044761A1 (fr) | 2001-06-21 |
US6681624B2 (en) | 2004-01-27 |
US20030056585A1 (en) | 2003-03-27 |
CA2394291A1 (en) | 2001-06-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090514 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4316083 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120529 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130529 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140529 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |