KR20020063592A - 유체판별기능을 갖는 열식 유량계 - Google Patents

유체판별기능을 갖는 열식 유량계 Download PDF

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후루키신야
야마기시키요시
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미츠이 마이닝 & 스멜팅 콤파니 리미티드
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Abstract

발열체와 유량검지용 온도감지체와 유체유통로(3) 내로 이어내는 유량검지용 도전성 핀플레이트(44)를 서로 열전달 가능하도록 배치하고, 유체의 유체유통로(3) 내에서의 유통에 대응하여 유량검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유량검지유니트(4)를 구비하고, 또, 유체온도검지용 온도감지체와 유체유통로(3) 내로 이어내는 유체온도검지용 도전성 핀플레이트(44')를 서로 열전달 가능하도록 배치하고, 유체온도에 대응하여 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유체온도 검지유니트(6)를 구비한다. 유량검지용 및 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값에 기초하여 유체유량을 검지하고, 유량검지용 및 유체온도검지용 핀플레이트(44, 44') 사이의 도전성을 측정함으로써 유체를 판별한다. 이 열식 유량계에 의하면, 간단한 구성으로 유체가 소요되는 것인지의 여부를 판별하여, 유체가 지나치게 유통되는 것을 피할 수 있다.

Description

유체판별기능을 갖는 열식 유량계{THERMAL FLOWMETER WITH FLUID DISCRIMINANT FUNCTION}
종래, 각종 유체, 특히, 액체의 유량(또는 유속)을 측정하는 유량계[유량센서](또는 유속계[유속센서])로서는 여러가지 형식의 것이 사용되고 있지만, 저가격화가 용이하다는 이유로, 소위, 열식(특히 방열형) 유량계가 이용되고 있다.
이 방열형 유량계로서는, 기판 상에 박막기술을 이용하여 박막발열체와 박막온도감지체를 절연층을 개재하여 적층하여 이루어지는 센서 칩을 배관 내의 유체와의 사이에서 열전달이 가능하도록 배치한 것이 사용되고 있다. 발열체에 통전함으로써 온도감지체를 가열하고, 그 온도감지체의 전기적 특성, 예를 들어, 전기저항의 값을 변화시킨다. 이 전기저항값의 변화(온도감지체의 온도상승에 기초한다)는 배관 내를 흐르는 유체의 유량(유속)에 따라 변화한다. 이것은 발열체의 발열량 중의 일부가 유체 내로 전달되고, 이 유체 내로 확산되는 열량은 유체의 유량(유속)에 따라 변화하고, 이에 따라 온도감지체로 공급되는 열량이 변화하여, 그 온도감지체의 전기저항값이 변화하기 때문이다. 이 온도감지체의 전기저항값의 변화는 유체의 온도에 따라서도 다르고, 이 때문에 상기 온도감지체의 전기저항값의 변화를 측정하는 전기회로 중에 온도보상용 감온소자를 내장해 두고, 유체의 온도에 의한 유량측정값의 변화를 가능한 한 적게 하는 방법도 행해지고 있다.
이러한 박막소자를 이용한 방열형 유량계에 관해서는, 예를 들어, 일본 특개평 11-118566호 공보에 나타나 있다. 이 유량계에서는 유체의 유량에 대응하는 전기적 출력을 얻기 위해 브리지회로를 포함하는 전기회로(검지회로)를 사용하고 있다.
이상과 같은 유량계에서는 유체의 열적 성질이 다르면 실제의 유량이 동일하더라도 검지회로의 출력이 다르므로, 일반적으로 유량이 측정되는 유체의 종류가 공지인 것으로서, 그 유체에 관한 검량선을 이용하여 검지회로의 출력을 유체유량값으로 환산하고 있다.
그런데, 최근 유량이 측정되는 유체의 공급원으로서 유체를 소분류한 소분류 공급원을 이용하여, 같은 종류의 유체에 대하여 복수의 소분류 공급원을 차례로 교체하여 유량을 측정하는 것이 이루어져 있다.
예를 들어, 고순도 시약의 합성이나 의약의 합성이나 화학분석 등에서는 원재료유체나 시약유체가 수용되어 있는 소형 운반가능식 용기와 반응장치나 분석장치를 유체유통로에 의해 접속하고, 그 유체유통로에서 유량을 측정하면서 반응장치 내로 원재료유체나 시약유체를 공급하는 것이 이루어지는 경우가 있다. 원재료유체나 시약유체를 보충할 때에는 빈 운반가능식 용기로 교체하여 원재료유체나 시약유체가 충전된 새로운 운반가능식 유체를 반응장치나 분석장치와 접속한다.
또, 생체에 의료용 약물을 주입하는 경우에도, 휴대가 가능한 양으로 의료용 약물을 소분류하여 팩에 채우고, 이 약물 팩과 생체의, 예를 들면, 혈관을 유체유통로에 의해 접속하고, 그 유체유통로에서 유량을 측정하면서 생체 내로 약물을 주입하는 일이 이루어진다. 약물을 보충할 때에는 빈 팩으로 교체하여 약물이 충전된 새로운 팩을 생체와 접속한다.
이상과 같은 소분류 공급원의 사용은 실제로 큰 이점을 갖지만, 그 반면, 유체공급원을 교체할 때 소요되는 유체 이외의 유체를 지나치게 수용한 공급원과 접속할 가능성이 있다. 그와 같은 경우에, 그것을 알아차리지 못하고 유체를 공급하면, 소요되는 유체와 실제로 공급되는 유체의 열적 성질의 차이에 기초하여 정확한 유량측정을 할 수 없을 뿐만아니라, 지나치게 유체를 공급함으로써, 제조나 분석의 불량이나 사고 또는 의료사고를 야기시키는 원인이 된다.
그래서, 본 발명은 이상과 같은 지나친 유체의 유통을 피하기 위해 간단한 구성으로 유체가 소요되는 것인지의 여부를 판별하는 기능을 갖는 열식 유량계를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 유체유량 검지기술에 관한 것으로, 특히 유체판별기능을 갖는 열식 유량계에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 유량계의 일실시예를 나타내는 모식적 부분단면도이다.
도 2는 유량검지유니트의 단면도이다.
도 3은 유량검지유니트의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 유량계의 일실시예의 회로구성도이다.
도 5는 본 발명의 유량계에서의 검량선의 일례를 나타내는 모식도이다.
도 6은 유체판별의 플로우차트이다.
본 발명에 의하면, 이상과 같은 목적을 달성하는 것으로서,
발열체와 유량검지용 온도감지체와 유체유통로 내로 이어내는 도전성 유량검지용 열전달부재를 서로 열전달 가능하도록 배치하여 이루어지고, 상기 유량검지용 열전달부재를 통한 상기 유체유통로 내의 유체와의 열의 교환에 의해 상기 유체가 상기 유체유통로 내에서 유통되는 것에 대응하여 상기 유량검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유량검지유니트 및 유체온도검지용 온도감지체와 상기 유체유통로 내로 이어내는 도전성의 유체온도검지용 열전달부재를 서로 열전달 가능하도록 배치하여 이루어지고, 상기 유체유통로 내의 유체와의 열의 교환에 의해 상기 유체의 온도에 대응하여 상기 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유체온도 검지유니트를 구비하고 있고,
상기 유량검지용 온도감지체의 전기적 특성값 및 상기 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값에 기초하여 상기 유체의 유량을 검지하고, 상기 유량검지용 열전달부재와 상기 유체온도검지용 열전달부재 사이의 도전성을 측정함으로써, 상기 유체를 판별하도록 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 열식 유량계가 제공된다.
본 발명의 한 형태에서는, 상기 유체는 상기 유량검지용 열전달부재와 상기 유체온도검지용 열전달부재 사이를 통해 흐르는 전류가 측정대상유체에 대하여, 미리 설정된 범위 내의 값인 경우에는 상기 유체를 상기 측정대상유체라고 간주하고, 또 상기 미리 설정된 범위 이외의 값인 경우에는 상기 유체를 상기 측정대상유체가 아니라고 판정함으로써 판별된다.
본 발명의 한 형태에서는, 상기 유체의 유량은 상기 유량검지용 온도감지체와 상기 유체온도검지용 온도감지체를 포함하여 이루어지는 검지회로의 출력과 검량선에 기초하여 검지된다.
본 발명의 한 형태에서는, 상기 유량검지유니트에서, 상기 유량검지용 열전달부재의 일부가 전극단자를 구성하고 있고, 상기 유체온도 검지유니트에서 상기유체온도검지용 열전달부재의 일부가 전극단자를 구성하고 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 유량계의 일실시예를 나타내는 모식적 부분단면도이다. 도면에서 케이싱부재(2) 내에는 유체유통로(3)가 형성되어 있다. 그 케이싱부재(2)는 예를 들어, 에폭시수지나 폴리페닐렌설파이드수지 등의 합성수지제 또는 금속제이다. 금속제인 경우에는 유체유통로(3)를 형성하는 내면에 절연막을 부여하는 것이 바람직하다. 케이싱부재(2)에는 유체유통로(3)에 닿도록 하여 유량검지유니트(4) 및 유체온도 검지유니트(6)가 장착되어 있다.
유체는 유체유통로(3) 내를 화살표 방향으로 유통한다. 즉, 케이싱부재(2)에는 도 1 중의 좌단에서 유체유통로(3)에 연속해 있는 유체유입개구(도시생략)가 형성되어 있고, 여기에는 유체공급원측 배관이 접속된다. 또, 케이싱부재(2)에는 도 1 중의 우단에서 유체유통로(3)에 연속해 있는 유체유출개구(도시생략)가 형성되어있고, 여기에는 유체수요측 배관이 접속된다.
도 2 및 도 3은 유량검지유니트(4)의 단면도이다. 유량검지유니트(4)에서 유량검지부(42)가 열전달부재인 핀플레이트(44)의 표면에 열전도성이 양호한 접합재(46)에 의해 접합되고, 유량검지부(42)의 전극패드와 전극단자(48)가 본딩와이어(50)에 의해 접속되어 있으며, 유량검지부(42) 및 본딩와이어(50) 및 핀플레이트(44)의 일부 및 전극단자(48)의 일부가 합성수지제 하우징(52) 내에 수용되어 있다. 유량검지부(42)는 예를 들어, 실리콘이나 알루미나 등으로 이루어지는 두께가 0.4mm 정도이고 2mm각 정도의 직사각형 기판 상에 박막온도감지체 및 박막발열체를 서로 절연하여 형성한 칩형상의 것으로 이루어진다.
핀플레이트(44)는 양호한 열전도성과 함께 도전성을 갖고 있고, 예를 들어, 동, 듀랄루민, 동과 텅스텐의 합금 등의 금속으로 이루어진다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 유량검지유니트(4)에서, 유량검지용 핀플레이트(44)의 일부가 연장되어 전극단자(49)를 구성하고 있다. 이 전극단자(49)는 유체판별을 위한 회로를 구성하는 접속선이 접속되는 것이며, 이에 대하여, 상기 전극단자(48)는 유량을 검지하기 위한 회로를 구성하는 접속선이 접속되는 것이다. 한편, 유체를 판별하기 위한 회로를 구성하는 접속선과 접속되는 전극단자(49)는 유량검지용 핀플레이트(44)의 일부를 연장시켜 형성하는 대신에, 전극단자(48)와 동일하게 구성하여 본딩와이어에 의해 유량검지용 핀플레이트(44)와 접속해도 된다(이 경우, 핀플레이트(44)의 일부에 와이어본딩을 위한 접속영역을 돌출시켜 형성해 둘 수 있다).
또, 유체온도 검지유니트(6)는 상기 유량검지유니트(4)에서의 유량검지부(42) 대신에 유체온도검지부를 이용한 것에 상당한다. 유체온도 검지유니트(6)에서, 유량검지유니트(4)와 대응하는 부재는 동일한 부호에 「'」를 붙여 나타낸다. 유체온도검지부는 유량검지부(42)로부터 박막발열체를 제거한 것과 동일한 구성을 갖는다.
유량검지유니트(4) 및 유체온도 검지유니트(6)의 하우징(52, 52')으로부터 돌출되는 핀플레이트(44, 44')의 단부는 케이싱부재(2)의 유체유통로(3) 내로 이어나와 있다. 핀플레이트(44, 44')는 거의 원형의 단면을 갖는 유체유통로(3) 내에서 그 단면 내의 중앙을 통해 연장되어 있다. 핀플레이트(44, 44')는 유체유통로(3) 내에서의 유체의 유통방향을 따라 배치되어 있으므로, 유체유통에 큰 영향을 주지 않고 유량검지부(42) 및 유체온도검지부(42')와 유체 사이에서 양호하게 열을 전달할 수 있다.
도 4는 이상과 같은 유량계의 회로구성도이다.
전원회로(72)로부터 공급되는 안정화직류는 브리지회로(검지회로)(73)에 공급된다. 브리지회로(73)는 유량검지용 온도감지체(31)와 온도보상용 온도감지체(31')와 저항체(74) 및 가변저항체(75)를 포함하여 이루어진다. 브리지회로(73)의 a, b점의 전위 Va, Vb가 증폭율이 가변인 차동증폭회로(76)에 입력된다. 그 차동증폭회로(76)의 출력은 적분회로(77)에 입력된다.
한편, 전원회로(72)의 출력은 상기 박막발열체(33)로 공급되는 전류를 제어하기 위한 전계효과형 트랜지스터(81)를 통해 박막발열체(33)로 공급된다. 즉, 유량검지부(42)에서, 박막발열체(33)의 발열에 기초하여, 핀플레이트(44)를 통해 피검지유체에 의한 흡열의 영향을 받아, 박막온도감지체(31)에 의한 감온이 실행된다. 그리고, 그 감온의 결과로서 도 4에 나타내는 브리지회로(73)의 a, b점의 전위 Va, Vb의 차가 얻어진다.
(Va-Vb)의 값은 유체의 유량에 따라 유량검지용 온도감지체(31)의 온도가 변화함으로써 변화한다. 미리 가변저항체(75)의 저항값을 적절히 설정함으로써, 기준이 되는 원하는 유체유량의 경우에서 (Va-Vb)의 값을 제로(0)로 할 수 있다. 이 기준유량에서는 차동증폭회로(76)의 출력은 제로(0)이고, 적분회로(77)의 출력이 일정(기준유량에 대응하는 값)하게 된다. 또, 적분회로(77)의 출력은 최소값이 0V가 되도록 레벨이 조정되어 있다.
적분회로(77)의 출력은 V/F 변환회로(78)에 입력되고, 여기서 전압신호에 대응하는 주파수(예를 들어, 최대 5 ×10-6)의 펄스신호가 형성된다. 이 펄스신호는 펄스폭(시간폭)이 일정(예를 들어, 1∼10마이크로초의 희망값)하다. 예를 들어, 적분회로(77)의 출력이 1V인 경우에는 주파수 0.5㎑의 펄스신호를 출력하고, 적분회로(77)의 출력이 4V인 경우에는 주파수 2㎑의 펄스신호를 출력한다.
V/F 변환회로(78)의 출력은 트랜지스터(81)의 게이트로 공급된다. 이렇게 하여 게이트로 펄스신호가 입력된 트랜지스터(81)를 통해 박막발열체(33)로 전류가 흐른다. 따라서, 박막발열체(33)에는 트랜지스터를 통해 전원회로(72)의 출력전압의 분압이 적분회로(77)의 출력값에 대응하는 주파수로 펄스형상으로 인가되고, 그박막발열체(33)를 전류가 간헐적으로 흐른다. 이에 따라 박막발열체(33)가 발열한다. V/F 변환회로(78)의 주파수는 기준주파수 발생회로(80)에서 온도보상형 수정진동자(79)의 발진에 기초하여 설정되는 고정밀도 클록에 기초하여 설정된다.
그리고, V/F 변환회로(78)로부터 출력되는 펄스신호는 펄스카운터(82)에 의해 계수된다. 마이크로컴퓨터(83)는 기준주파수 발생회로(80)에서 발생되는 주파수를 기준으로 하여 펄스 계수한 결과(펄스주파수)에 기초하여, 대응하는 유량(순간유량)으로 환산하고, 그 유량을 시간에 관해서 누계함으로써 누계유량을 산출한다.
이 유량으로의 환산은 메모리(84)에 미리 기억되어 있는 유량검지에 관한 소요되는 유체의 검량선을 이용하여 행해진다. 이 검량선의 일례를 도 5에 나타낸다. 즉, 유체의 각 유량별로 펄스카운터(82)로부터 출력되는 펄스주파수를 측정함으로써 얻어진 데이터표가 검량선으로서 메모리(84)에 기억되어 있다. 마이크로컴퓨터(83)는 유량 측정시에 펄스카운터(82)로부터 출력되는 펄스주파수에 대응하는 검량선 상의 유량값을 측정값으로서 특정한다.
이상과 같이 하여 얻어진 순간유량 및 누계유량의 값은 표시부(25)에 의해 표시되는 동시에, 전화회선 외의 네트워크로 이루어지는 통신회선을 통해 외부로 전송된다. 또, 희망에 따라 순간유량이나 누계유량의 데이터를 메모리(84)에 기억시켜 둘 수 있다.
유체유량이 증감되면 차동증폭회로(76)의 출력은 (Va-Vb)의 값에 따라 극성(유량검지용 온도감지체(31)의 저항 - 온도특성의 음양에 따라 다르다) 및 크기가 변화하고, 이에 따라 적분회로(77)의 출력이 변화한다. 적분회로(77)의 출력이 변화하는 속도는 차동증폭회로(76)의 증폭률 설정에 의해 조절할 수 있다. 이들 적분회로(77)와 차동증폭회로(76)에 의해 제어시스템의 응답특성이 설정된다.
유체유량이 증가한 경우에는 유량검지용 온도감지체(31)의 온도가 저하되므로, 박막발열체(33)의 발열량을 증가시키도록(즉, 펄스주파수를 증가시키도록) 적분회로(77)의 출력(보다 높은 전압값)이 얻어지고, 이 적분회로의 출력이 유체유량에 대응한 전압이 된 시점에서 브리지회로(73)가 평형상태가 된다.
한편, 유체유량이 감소한 경우에는 유량검지용 온도감지체(31)의 온도가 상승하므로, 박막발열체(33)의 발열량을 감소시키는(즉, 펄스주파수를 감소시키는) 적분회로(77)의 출력(보다 낮은 전압값)이 얻어지고, 이 적분회로의 출력이 유체유량에 대응한 전압이 된 시점에서 브리지회로(73)가 평형상태가 된다.
즉, 본 실시예의 제어시스템에서는 브리지회로(73)가 평형상태가 되도록 박막발열체(33)로 공급하는 펄스형상 전류의 주파수(열량에 대응한다)가 설정되고, 이러한 평형상태의 실현(제어시스템의 응답)은 예를 들어, 0.1초 이내로 하는 것이 가능하다.
한편, 전원회로(72)의 출력은 고저항값(예를 들어, 10kΩ정도)의 저항체(62) 및 상기 전극단자(49')를 통해 상기 유체온도검지용 핀플레이트(44')로 공급되고, 상기 유량검지용 핀플레이트(44)는 상기 전극단자(49)를 통해 접지되어 있다. 저항체(62)의 양단에는 전압계(64)가 접속되어 있다. 그 전압계(64)에 의해 측정되는 전압은 유체유통로(3) 내로 유체가 도입되었을 때에 2개의 핀플레이트(44, 44') 사이에서 유체를 통해 흐르는 전류의 크기에 대응하고, 이것은 핀플레이트(44, 44')사이의 유체의 저항값에 대응한다. 이들을 포함하여, 유량검지용 핀플레이트(44)와 유체온도검지용 핀플레이트(44') 사이의 도전성을 측정하기 위한 회로가 구성되어 있다.
전압계(64)의 출력은 A/D 변환기(66)를 통해 상기 마이크로컴퓨터(83)로 입력된다. 상기 메모리(84)에는 소요되는 측정대상 유체에 대하여 상기 도전성 측정회로에 의해 측정되어야 할 전압계(64)의 출력값 범위(이하,「해당범위」라 한다)의 데이터가 기억되어 있다. 이 해당범위는 미리 소요되는 측정대상유체를 유체유통로(3) 내로 도입하고, 도전성 측정회로의 전압계(64)의 출력값을 실측하여, 필요한 검지오차범위를 고려하여 적절히 설정할 수 있다. 예를 들면, 소요되는 측정대상유체가 생리식염수인 경우에 있어서, 해당범위로서 3.2∼3.6V를 설정하는 것이 가능한 도전성 측정회로에서는 시수(市水)에 대한 전압계(64)의 출력값은 0.8∼1.2V이고, 알코올이나 아세톤에 대한 전압계(64)의 출력값은 0.05V 이하이고, 이들 소요되는 측정대상유체가 아닌 유체가 지나치게 도입된 경우에는 소요되는 측정대상유체와의 판별이 가능하다.
본 실시예에서는 유체유량의 검지에 앞서, 우선, 유량계의 유체유통로(3) 내에까지 유체를 도입한 후에, 유체의 유통을 정지한 상태에서 유체유통로(3) 내의 유체의 도전성의 정도(구체적으로는 전압계(64)의 출력전압값)를 측정한다. 그리고, 마이크로컴퓨터(83)에서는 A/D 변환기(66)로부터 입력되어 유체의 도전성의 정도를 나타내는 것인 전압값이 메모리(84)에 기억되어 있는 해당범위에 속하는지의 여부(즉, 해당 범위 내인지의 여부)를 판정한다. 이 판정에서 전압계(64)의 출력전압값이 해당범위 내라고 판정된 경우에는 유체유통로(3) 내에 도입된 유체는 소정의 측정대상유체라고 간주하고, 계속해서 유체유통로(3) 내로 유체공급원으로부터 유체를 공급하여, 상기와 같은 유량검지를 행하면서 유체를 유통시킨다. 반대로, 상기 판정에서 전압계(64)의 출력전압값이 해당범위 외라고 판정된 경우에는, 계속해서 유체공급원으로부터 유체유통로(3)내로 유체공급을 하지 않고, 유체유통로(3) 내에 도입된 유체가 소정의 측정대상유체가 아닌 것을 경고한다. 이 경고는, 예를 들어, 표시부(25)에 경고표시를 하거나, 도면하지 않는 경보수단에 의해 경보음을 발함으로써 실행할 수 있다. 이상과 같은 유체판별의 플로우차트를 도 6에 나타낸다.
따라서, 본 실시예에서는 유체공급원을 교체할 때마다 상기 유체판별을 행하도록 함으로써, 소요되는 측정대상유체와 분명히 다른 도전성을 갖는 유체(이것은 분명히 소요되는 측정대상유체가 아니다)를 지나치게 유통시키는 것을 방지할 수 있게 된다.
또, 이상의 실시예에 의하면, 유량을 측정하기 위해 V/F 변환회로(78)에서 작성된 펄스신호를 이용하고 있고, 이 펄스신호는 온도변화에 의한 오차를 충분히 작게 하는 것이 용이하므로, 펄스주파수에 기초하여 얻어지는 유량값 및 누계유량값의 오차를 작게 할 수 있다. 또, 본 실시예에서는 박막발열체(33)로의 통전의 제어는 V/F 변환회로(78)에서 작성된 펄스신호에 의한 온-오프에 의해 이루어지므로, 온도변화에 기초하는 제어오차의 발생은 매우 작다.
또, 본 실시예에서는 유량검지부로서 박막발열체 및 박막온도감지체를 포함하는 미세칩형상의 것을 이용하고 있으므로, 이상과 같은 고속응답성이 실현되어, 유량측정 정밀도를 양호하게 할 수 있다.
또, 본 실시예에서는 피검지유체의 유량의 여하에 상관없이, 박막발열체(33) 주위의 유량검지용 온도감지체(31)의 온도가 거의 일정하게 유지되므로, 시간이 경과함에 따르는 유량센서유니트의 열화가 적고, 또한 가연성 피검지유체가 발화폭발되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 설명한 바와 같이, 본 발명의 유량계에 의하면, 유량검지에 이용되는 유량검지용 열전달부재와 유체온도검지용 열전달부재 사이의 유체의 도전성을 측정함으로써, 유체를 판별하도록 하고 있으므로, 간단한 구성으로, 소요되는 측정대상유체와 도전성이 명확히 다른 유체를 지나치게 유통시키는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 발열체와 유량검지용 온도감지체와 유체유통로 내로 이어내는 도전성 유량검지용 열전달부재를 서로 열전달 가능하도록 배치하여 이루어지고, 상기 유량검지용 열전달부재를 통한 상기 유체유통로 내의 유체와의 열의 교환에 의해 상기 유체의 상기 유체유통로 내에서의 유통에 대응하여 상기 유량검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유량검지유니트 및 유체온도검지용 온도감지체와 상기 유체유통로 내로 이어내는 도전성 유체온도검지용 열전달부재를 서로 열전달 가능하도록 배치하여 이루어지고, 상기 유체유통로 내의 유체와의 열의 교환에 의해 상기 유체의 온도에 대응하여 상기 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값이 변화하는 유체온도 검지 유니트를 구비하고 있으며,
    상기 유량검지용 온도감지체의 전기적 특성값 및 상기 유체온도검지용 온도감지체의 전기적 특성값에 기초하여 상기 유체의 유량을 검지하여, 상기 유량검지용 열전달부재와 상기 유체온도검지용 열전달부재 사이의 도전성을 측정함으로써 상기 유체를 판별하도록 하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 열식 유량계.
  2. 제 2항에 있어서,
    상기 유체는 상기 유량검지용 열전달부재와 상기 유체온도검지용 열전달부재 사이를 통해 흐르는 전류가 측정대상유체에 대하여 미리 설정된 범위 내의 값인 경우에는 상기 유체는 상기 측정대상유체라고 간주하고, 또한 상기 미리 설정된 범위이외의 값인 경우에는, 상기 유체를 상기 측정대상유체가 아니라고 판정함으로써 판별되는 것을 특징으로 하는 열식 유량계.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 유체의 유량은 상기 유량검지용 온도감지체와 상기 유체온도검지용 온도감지체를 포함하여 이루어지는 검지회로의 출력과 검량선에 기초하여 검지되는 것을 특징으로 하는 열식 유량계.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 유량검지유니트에서, 상기 유량검지용 열전달부재의 일부가 전극단자를 구성하고 있고, 상기 유체온도 검지유니트에서 상기 유체온도검지용 열전달부재의 일부가 전극단자를 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 열식 유량계.
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