JPH055671A - ハロゲンリ―クデイテクタの校正方法 - Google Patents
ハロゲンリ―クデイテクタの校正方法Info
- Publication number
- JPH055671A JPH055671A JP15873691A JP15873691A JPH055671A JP H055671 A JPH055671 A JP H055671A JP 15873691 A JP15873691 A JP 15873691A JP 15873691 A JP15873691 A JP 15873691A JP H055671 A JPH055671 A JP H055671A
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- JP
- Japan
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- pressure
- leak
- signal
- cpu
- halogen
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Abstract
(57)【要約】
【目的】圧力を一定にするためのバルブ操作などを必要
とせず、容易に基準リ―ク量を発生させてハロゲンリ―
クディテクタを校正できるハロゲンリ―クディテクタの
校正方法を提供する。 【構成】内部にフロンガスが充填されている圧力タンク
に、ストップバルブを介して圧力発振器を装着し、一定
量のリ―クガスをプロ―ブを介してハロゲンリ―クディ
テクタに導くと共に、圧力発振器の出力をＣＰＵに送出
してリ―ク量の圧力補正演算を行ないながら、ハロゲン
リ―クディテクタを校正するようにしたもの。
とせず、容易に基準リ―ク量を発生させてハロゲンリ―
クディテクタを校正できるハロゲンリ―クディテクタの
校正方法を提供する。 【構成】内部にフロンガスが充填されている圧力タンク
に、ストップバルブを介して圧力発振器を装着し、一定
量のリ―クガスをプロ―ブを介してハロゲンリ―クディ
テクタに導くと共に、圧力発振器の出力をＣＰＵに送出
してリ―ク量の圧力補正演算を行ないながら、ハロゲン
リ―クディテクタを校正するようにしたもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハロゲンリ―クディテ
クタの校正方法に関し、更に詳しくは、フロンガスなど
の洩れを検出する検出器であるハロゲンリ―クディテク
タの検出感度を校正するハロゲンリ―クディテクタの校
正方法に関する。
クタの校正方法に関し、更に詳しくは、フロンガスなど
の洩れを検出する検出器であるハロゲンリ―クディテク
タの検出感度を校正するハロゲンリ―クディテクタの校
正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ハロゲンリ―クディテクタの校正
はリ―クスタンダ―ドと呼ばれる基準リ―ク発生器を用
いて行われていた。このリ―クスタンダ―ドは、フロン
ガスが充填された上部タンクと下部タンクの間にインク
リ―スバルブを設けると共に、該下部タンクをディクリ
―スバルブを介して大気解放とし、且つ、該下部タンク
からキャピラリ―を介して基準リ―ク量を発生させるよ
うな構成になっていた。
はリ―クスタンダ―ドと呼ばれる基準リ―ク発生器を用
いて行われていた。このリ―クスタンダ―ドは、フロン
ガスが充填された上部タンクと下部タンクの間にインク
リ―スバルブを設けると共に、該下部タンクをディクリ
―スバルブを介して大気解放とし、且つ、該下部タンク
からキャピラリ―を介して基準リ―ク量を発生させるよ
うな構成になっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上述のよ
うな従来例においては、インクリ―スバルブとディクリ
―スバルブを操作して一定圧力を得る必要があったた
め、ハロゲンリ―クディテクタの校正が繁雑となる欠点
があった。
うな従来例においては、インクリ―スバルブとディクリ
―スバルブを操作して一定圧力を得る必要があったた
め、ハロゲンリ―クディテクタの校正が繁雑となる欠点
があった。
【０００４】本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてな
されたものであり、その目的は、圧力を一定にするため
のバルブ操作などを必要とせず、容易に基準リ―ク量を
発生させてハロゲンリ―クディテクタを校正できるハロ
ゲンリ―クディテクタの校正方法を提供することにあ
る。
されたものであり、その目的は、圧力を一定にするため
のバルブ操作などを必要とせず、容易に基準リ―ク量を
発生させてハロゲンリ―クディテクタを校正できるハロ
ゲンリ―クディテクタの校正方法を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ハロゲンリ―
クディテクタの校正方法において、内部にフロンガスが
充填されている圧力タンクに、ストップバルブを介して
圧力タンクから供給された圧力に応じて圧力信号を発生
する圧力発振器を装着し、ストップバルブとキャピラリ
―を介して供給される一定量のリ―クガスをプロ―ブを
介してハロゲンリ―クディテクタに導くと共に、圧力発
振器の出力をＣＰＵに送出してリ―ク量の圧力補正演算
を行ないながら、ハロゲンリ―クディテクタを校正する
ことによって前記課題を解決したものである。
クディテクタの校正方法において、内部にフロンガスが
充填されている圧力タンクに、ストップバルブを介して
圧力タンクから供給された圧力に応じて圧力信号を発生
する圧力発振器を装着し、ストップバルブとキャピラリ
―を介して供給される一定量のリ―クガスをプロ―ブを
介してハロゲンリ―クディテクタに導くと共に、圧力発
振器の出力をＣＰＵに送出してリ―ク量の圧力補正演算
を行ないながら、ハロゲンリ―クディテクタを校正する
ことによって前記課題を解決したものである。
【０００６】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、内部にフ
ロンガスが充填されている圧力タンクに、ストップバル
ブを介して圧力発振器が装着される。また、ストップバ
ルブとキャピラリ―を介して一定量のリ―クガスが供給
され、該リ―クガスがプロ―ブを介してハロゲンリ―ク
ディテクタに導かれる。更に、圧力発振器の出力がＣＰ
Ｕに送出されてリ―ク量の圧力補正演算が行われるとと
もに、ハロゲンリ―クディテクタが行われる。
ロンガスが充填されている圧力タンクに、ストップバル
ブを介して圧力発振器が装着される。また、ストップバ
ルブとキャピラリ―を介して一定量のリ―クガスが供給
され、該リ―クガスがプロ―ブを介してハロゲンリ―ク
ディテクタに導かれる。更に、圧力発振器の出力がＣＰ
Ｕに送出されてリ―ク量の圧力補正演算が行われるとと
もに、ハロゲンリ―クディテクタが行われる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例を説明するための図であり、
図中、１は内部にフロンガスが充填されている圧力タン
ク、２はストップバルブ、３は供給された圧力に応じて
圧力信号を発生する圧力発信器、４はキャピラリ―、５
はキャピラリ―４を介して供給された一定量のリ―クガ
スを例えばハロゲンガスリ―クディテクタのようなリ―
クセンサ６に導くプロ―ブ、７はポンプ、８は圧力発信
器３の出力Ｐ1とリ―クセンサ６の出力Ｓ1 を受けて順
次Ａ／Ｄ変換器９に送出するマルチプレクサ、１０はＡ
／Ｄ変換器９の出力を受けて所定の演算を行なう中央処
理装置´以下、「ＣＰＵ」という）、１１はＣＰＵ１０
と情報の授受を行なうＲＯＭやＲＡＭでなるメモリ、１
２はＣＰＵ１０の出力を受けてリ―ク量などを表示する
表示器である。
する。図１は本発明実施例を説明するための図であり、
図中、１は内部にフロンガスが充填されている圧力タン
ク、２はストップバルブ、３は供給された圧力に応じて
圧力信号を発生する圧力発信器、４はキャピラリ―、５
はキャピラリ―４を介して供給された一定量のリ―クガ
スを例えばハロゲンガスリ―クディテクタのようなリ―
クセンサ６に導くプロ―ブ、７はポンプ、８は圧力発信
器３の出力Ｐ1とリ―クセンサ６の出力Ｓ1 を受けて順
次Ａ／Ｄ変換器９に送出するマルチプレクサ、１０はＡ
／Ｄ変換器９の出力を受けて所定の演算を行なう中央処
理装置´以下、「ＣＰＵ」という）、１１はＣＰＵ１０
と情報の授受を行なうＲＯＭやＲＡＭでなるメモリ、１
２はＣＰＵ１０の出力を受けてリ―ク量などを表示する
表示器である。
【０００８】図２は圧力発生器３から供給されるリ―ク
量Ｌと圧力Ｐとの関係を示す特性曲線図である。また、
図３はリ―クセンサ６で検出されたリ―ク量Ｌとセンサ
圧力Ｐs との関係を示す特性曲線図であり、図中、実線
Ａは上記メモリ１１内のＲＯＭの別エリアに格納されて
いる基準校正曲線であり、破線Ｂはリ―クセンサ６で実
際に測定された校正曲線である。
量Ｌと圧力Ｐとの関係を示す特性曲線図である。また、
図３はリ―クセンサ６で検出されたリ―ク量Ｌとセンサ
圧力Ｐs との関係を示す特性曲線図であり、図中、実線
Ａは上記メモリ１１内のＲＯＭの別エリアに格納されて
いる基準校正曲線であり、破線Ｂはリ―クセンサ６で実
際に測定された校正曲線である。
【０００９】以下、図１〜図３を用いて本発明実施例の
動作について詳しく説明する。図１のメモリ１１（ＲＯ
Ｍ）に、図２に示すような特性曲線を、予め格納してお
く。その後、図１において、ストップバルブ２を開ける
と、タンク１内の圧力が圧力変換器３に供給され、該圧
力変換器から圧力信号Ｐ1 がマルチプレクサ８に送出さ
れ、Ａ／Ｄ変換器９でＡ／Ｄ変換される。圧力信号Ｐ1
は、このようにしてＡ／Ｄ変換されて後、ＣＰＵ１０に
送出され図２の特性曲線に基づく所定の演算によってリ
―ク量Ｌが決定される。
動作について詳しく説明する。図１のメモリ１１（ＲＯ
Ｍ）に、図２に示すような特性曲線を、予め格納してお
く。その後、図１において、ストップバルブ２を開ける
と、タンク１内の圧力が圧力変換器３に供給され、該圧
力変換器から圧力信号Ｐ1 がマルチプレクサ８に送出さ
れ、Ａ／Ｄ変換器９でＡ／Ｄ変換される。圧力信号Ｐ1
は、このようにしてＡ／Ｄ変換されて後、ＣＰＵ１０に
送出され図２の特性曲線に基づく所定の演算によってリ
―ク量Ｌが決定される。
【００１０】また、キャピラリ―４を介して供給された
一定量のリ―クガスが、プロ―ブ５を介して一定流量で
リ―クセンサ６に導びかれて検出される。該検出信号Ｓ
1 はマルチプレクサ８に送出され、Ａ／Ｄ変換器９でＡ
／Ｄ変換される。このようにしてＡ／Ｄ変換されて後、
ＣＰＵ１０に送出され所定の演算によってリ―ク量が決
定されて、表示器１２に表示される。
一定量のリ―クガスが、プロ―ブ５を介して一定流量で
リ―クセンサ６に導びかれて検出される。該検出信号Ｓ
1 はマルチプレクサ８に送出され、Ａ／Ｄ変換器９でＡ
／Ｄ変換される。このようにしてＡ／Ｄ変換されて後、
ＣＰＵ１０に送出され所定の演算によってリ―ク量が決
定されて、表示器１２に表示される。
【００１１】ところで、上述のようにしてリ―クセンサ
６の検出信号Ｓ1 に基いて作成される校正曲線が、図３
の破線Ｂのようになっている場合、次のようにして校正
曲線の修正が行われる。即ち、図１のメモリ１１（ＲＯ
Ｍ）の別エリアに、図３の実線Ａで示すような特性曲線
を、予め格納しておく。また、上述のようにしてリ―ク
センサ６の検出信号Ｓ1 に基いて作成される校正曲線
が、図３の破線Ｂを示したとき、この破線Ｂと実線Ａを
比較し、破線Ｂが実線Ａと一致するように校正曲線を修
正する。尚、本発明は上述の実施例に限定されることな
く種々の変形が可能である。
６の検出信号Ｓ1 に基いて作成される校正曲線が、図３
の破線Ｂのようになっている場合、次のようにして校正
曲線の修正が行われる。即ち、図１のメモリ１１（ＲＯ
Ｍ）の別エリアに、図３の実線Ａで示すような特性曲線
を、予め格納しておく。また、上述のようにしてリ―ク
センサ６の検出信号Ｓ1 に基いて作成される校正曲線
が、図３の破線Ｂを示したとき、この破線Ｂと実線Ａを
比較し、破線Ｂが実線Ａと一致するように校正曲線を修
正する。尚、本発明は上述の実施例に限定されることな
く種々の変形が可能である。
【００１２】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、圧力発振器をキャピラリ―の近くに設け、一定圧力
を得るような構成であるため、前記従来例のようにイン
クリ―スバルブやディクリ―スバルブを操作する必要が
ないという利点がある。また、圧力変動は圧力発振器が
検知しているため、常に正確なリ―ク量を検出できると
いう利点もある。
ば、圧力発振器をキャピラリ―の近くに設け、一定圧力
を得るような構成であるため、前記従来例のようにイン
クリ―スバルブやディクリ―スバルブを操作する必要が
ないという利点がある。また、圧力変動は圧力発振器が
検知しているため、常に正確なリ―ク量を検出できると
いう利点もある。
【００１３】従って、本発明によれば、圧力を一定にす
るためのバルブ操作などを必要とせず、容易に基準リ―
リ量を発生させてハロゲンリ―クディテクタを校正でき
るハロゲンリ―クディテクタの校正方法が実現する。
るためのバルブ操作などを必要とせず、容易に基準リ―
リ量を発生させてハロゲンリ―クディテクタを校正でき
るハロゲンリ―クディテクタの校正方法が実現する。
【図１】本発明実施例を説明するための図である。
【図２】リ―リ量と圧力の関係を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図３】リ―リ量と圧力の関係を示す校正曲線図であ
る。
る。
１ 圧力タンク ２ ストップバルブ ３ 圧力発信器 ４ キャピラリ― ５ プロ―ブ ６ リ―クセンサ ７ ポンプ ８ マルチプレクサ １０ 中央処理装置 １１ メモリ １２ 表示器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】内部にフロンガスが充填されている圧力タ
ンクに、ストップバルブを介して前記圧力タンクから供
給された圧力に応じて圧力信号を発生する圧力発振器を
装着し、前記ストップバルブとキャピラリ―を介して供
給される一定量のリ―クガスをプロ―ブを介してハロゲ
ンリ―クディテクタに導くと共に、前記圧力発振器の出
力をＣＰＵに送出してリ―ク量の圧力補正演算を行ない
ながら、前記ハロゲンリ―クディテクタを校正すること
を特徴とするハロゲンリ―クディテクタの校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3158736A JP3065719B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | ハロゲンガス漏れ検出器の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3158736A JP3065719B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | ハロゲンガス漏れ検出器の校正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055671A true JPH055671A (ja) | 1993-01-14 |
| JP3065719B2 JP3065719B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=15678213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3158736A Expired - Lifetime JP3065719B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | ハロゲンガス漏れ検出器の校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3065719B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009168511A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | キャピラリ電気泳動装置及び電気泳動媒体のリーク検査方法 |
| WO2015014899A1 (de) * | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem drucksensor |
| CN105606318A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-05-25 | 上海市计量测试技术研究院 | 一种气密检漏仪的校准方法及校准装置 |
| RU188879U1 (ru) * | 2018-12-21 | 2019-04-25 | Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт "Гермес" | Контрольная течь |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP3158736A patent/JP3065719B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009168511A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | キャピラリ電気泳動装置及び電気泳動媒体のリーク検査方法 |
| WO2015014899A1 (de) * | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem drucksensor |
| CN105473992A (zh) * | 2013-08-02 | 2016-04-06 | 英福康有限责任公司 | 具有集成传感器的测试泄漏装置 |
| JP2016528492A (ja) * | 2013-08-02 | 2016-09-15 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 一体化された圧力センサを備える漏洩試験器 |
| US10101237B2 (en) | 2013-08-02 | 2018-10-16 | Inficon Gmbh | Test leak device having integrated pressure sensor |
| CN105473992B (zh) * | 2013-08-02 | 2018-12-07 | 英福康有限责任公司 | 具有集成传感器的测试泄漏装置 |
| CN105606318A (zh) * | 2015-11-26 | 2016-05-25 | 上海市计量测试技术研究院 | 一种气密检漏仪的校准方法及校准装置 |
| RU188879U1 (ru) * | 2018-12-21 | 2019-04-25 | Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт "Гермес" | Контрольная течь |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3065719B2 (ja) | 2000-07-17 |
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