JPH0286513A - キャリヤ中心部偏在ワークと外周部等配ワークの共用連続収納装置 - Google Patents
キャリヤ中心部偏在ワークと外周部等配ワークの共用連続収納装置Info
- Publication number
- JPH0286513A JPH0286513A JP23840388A JP23840388A JPH0286513A JP H0286513 A JPH0286513 A JP H0286513A JP 23840388 A JP23840388 A JP 23840388A JP 23840388 A JP23840388 A JP 23840388A JP H0286513 A JPH0286513 A JP H0286513A
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- work
- workpieces
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 title claims abstract description 7
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
−１）産業上の利用分野
■薄いワークのラッピング操業
■薄い割れ易い偏在ワークの自動装出、装入用産業機械
−２）従来の技術
実例がなく、すべて手作業である。
−３）発明が解決しようとしている問題点折角キャリヤ
ＩｔＬ位で早い自動装出、出来ても中心部偏在ワークと
外周部等配ワークを迅速に、共用収納する安い装置の開
発 −４）問題を解決するための手段 ■ワークの乾きを防止する早い収納のため２枚同時収納
を図る ■偏在ワークを外周部並に収納出来るよう旋回移動させ
る方法の発見 −５）実施例 シリコンウェーハのラッピングに於いて、サイクルタイ
ムで生産性向上を図る以上にワーク装出滞空中の乾きに
よる品質低下防止要望例として、１２０秒以下１秒でも
多いｘｊｙ縮を強く要望されると共に水中収納を要求さ
れているのが現状である。
ＩｔＬ位で早い自動装出、出来ても中心部偏在ワークと
外周部等配ワークを迅速に、共用収納する安い装置の開
発 −４）問題を解決するための手段 ■ワークの乾きを防止する早い収納のため２枚同時収納
を図る ■偏在ワークを外周部並に収納出来るよう旋回移動させ
る方法の発見 −５）実施例 シリコンウェーハのラッピングに於いて、サイクルタイ
ムで生産性向上を図る以上にワーク装出滞空中の乾きに
よる品質低下防止要望例として、１２０秒以下１秒でも
多いｘｊｙ縮を強く要望されると共に水中収納を要求さ
れているのが現状である。
従って折角キャリヤ単位でワークを一括装出し、引き続
きキャリヤ単位で中継テーブル装架の全ワークサポート
にワークを迅速移載出来ても、キャリヤ単位生産性の向
上を図るラッピングメーカ苦肉の中央偏心部に追加した
ワーク１枚の収納に手間取って、サイクルタイム延長の
悪因をつくったり、或は１間合部ワーク収納装置に複雑
な動作Ｒ椙を介在させて、高価なコストで旙能解決して
もコスト生産性と設（ｉｆｆ償却性絡みで、自動化各種
メリットと経済効果は大幅に減殺される０本発明は各種
改良実験と共に最も確実、且つ簡単な形式によりサイク
ルタイムとコストの両面解決することが出来た。即ち本
実施例ではキャリヤ外周部等配の８枚と、中心部偏在の
１枚で合ｄ１ワーク９枚形式キャリヤで説明する。収納
は外周で隣接する２枚を２列ラックに同時、掬い上げ吸
着旋回ストロークで収納するものである。中心偏在ワー
クも中継テーブルに装架した旋回テーブル■により外周
等配ワークは２連パツトで２枚同時収納し、偏在ワーク
収納に共用する時は１枚収納となる１通例は１枚のワー
クを９回間欠連続収納する代わりに、本実施例では外周
部２枚同時収納するなめ偏在ワークを含め５回の収納サ
イクルを間欠連続収納してキャリヤ単位収納を早く完了
することが出来る。
きキャリヤ単位で中継テーブル装架の全ワークサポート
にワークを迅速移載出来ても、キャリヤ単位生産性の向
上を図るラッピングメーカ苦肉の中央偏心部に追加した
ワーク１枚の収納に手間取って、サイクルタイム延長の
悪因をつくったり、或は１間合部ワーク収納装置に複雑
な動作Ｒ椙を介在させて、高価なコストで旙能解決して
もコスト生産性と設（ｉｆｆ償却性絡みで、自動化各種
メリットと経済効果は大幅に減殺される０本発明は各種
改良実験と共に最も確実、且つ簡単な形式によりサイク
ルタイムとコストの両面解決することが出来た。即ち本
実施例ではキャリヤ外周部等配の８枚と、中心部偏在の
１枚で合ｄ１ワーク９枚形式キャリヤで説明する。収納
は外周で隣接する２枚を２列ラックに同時、掬い上げ吸
着旋回ストロークで収納するものである。中心偏在ワー
クも中継テーブルに装架した旋回テーブル■により外周
等配ワークは２連パツトで２枚同時収納し、偏在ワーク
収納に共用する時は１枚収納となる１通例は１枚のワー
クを９回間欠連続収納する代わりに、本実施例では外周
部２枚同時収納するなめ偏在ワークを含め５回の収納サ
イクルを間欠連続収納してキャリヤ単位収納を早く完了
することが出来る。
以下図面により簡単に動作説明をする。
第１図はラップ機上定盤■上に中心開存ワークを含む９
枚収容キャリヤ５枚が装填されている。旋回ロボット下
面のキャリヤ吸着盤■により常に下定盤■上の定点で停
止さぜなキャリヤ（Ｋ１）〜（Ｋ５）を順次装出し、乾
き防止に可及的速やかな連続装出が期待される。中継テ
ーブルを介し、水中コンベヤに装架したワークラックに
収納しなければならない、先ず下定盤■上のキャリヤ（
Ｋ１）は、旋回ロボットの吸着盤■に吸着されて、ワー
クのみ中継テーブル基型■上の全てのワークサポート■
上に一括同時移載し、勿論空キャリヤは別の位置にプー
ルされる６次のキャリヤ（Ｋ２）が中継テーブルに到着
する迄に（Ｋ１）ワークは迅速に収納されなければなら
ない、即ち外周部隣接ワーク２枚を同時吸着する２連パ
ット収納旋回アーム■は、中継テーブル背面のタクト駆
動コンベヤ上に装架した２列の櫛形ラックピッチと連動
して、ワーク下面から掬い上げバット吸着、旋回して素
早く収納する。
枚収容キャリヤ５枚が装填されている。旋回ロボット下
面のキャリヤ吸着盤■により常に下定盤■上の定点で停
止さぜなキャリヤ（Ｋ１）〜（Ｋ５）を順次装出し、乾
き防止に可及的速やかな連続装出が期待される。中継テ
ーブルを介し、水中コンベヤに装架したワークラックに
収納しなければならない、先ず下定盤■上のキャリヤ（
Ｋ１）は、旋回ロボットの吸着盤■に吸着されて、ワー
クのみ中継テーブル基型■上の全てのワークサポート■
上に一括同時移載し、勿論空キャリヤは別の位置にプー
ルされる６次のキャリヤ（Ｋ２）が中継テーブルに到着
する迄に（Ｋ１）ワークは迅速に収納されなければなら
ない、即ち外周部隣接ワーク２枚を同時吸着する２連パ
ット収納旋回アーム■は、中継テーブル背面のタクト駆
動コンベヤ上に装架した２列の櫛形ラックピッチと連動
して、ワーク下面から掬い上げバット吸着、旋回して素
早く収納する。
中心偏在ワークの収納は外周部ワーク収納後に旋回テー
ブル■の自転旋回を要し、ピニオン（Ｐ）とラック又は
別形式の駆動を受けて外周部ワーク跡に停止、し、２連
パット旋回収納アームの片側バットに吸着され共用の収
納サイクルにより全ワークを迅速に水中収納する。外周
ワーク収納時は旋回テーブル■は自転せず公転のみ６本
発明は面心部ワークを低コストで迅速収納出来る方法装
置として最も、簡明なセールスポイントを築くことが出
来た。ロボットのキャリヤ吸着盤■は下定盤■と中継テ
ーブル基盤■と空キャリヤプール＠と未加工ワーク供給
ステーション■間を旋回する。
ブル■の自転旋回を要し、ピニオン（Ｐ）とラック又は
別形式の駆動を受けて外周部ワーク跡に停止、し、２連
パット旋回収納アームの片側バットに吸着され共用の収
納サイクルにより全ワークを迅速に水中収納する。外周
ワーク収納時は旋回テーブル■は自転せず公転のみ６本
発明は面心部ワークを低コストで迅速収納出来る方法装
置として最も、簡明なセールスポイントを築くことが出
来た。ロボットのキャリヤ吸着盤■は下定盤■と中継テ
ーブル基盤■と空キャリヤプール＠と未加工ワーク供給
ステーション■間を旋回する。
−６）発明の効果
ワークの乾き不安なく早い収納が実現出来て低コスト自
動化背反に貢献出来な。
動化背反に貢献出来な。
第１図・・・中継テーブル関連配置図
第２図・・・中継テーブル平面図
第３図・・・中継テーブル断面図
第４図・・・偏在ワーク孔のあるキャリヤ第５図・・・
中継テーブル〜２列うック収納しイアウト図 ■ワークサポート ■２連パット収収納口アーム■櫛形
ワーク収納ラック ■ラック搭載コンベヤ■中継テーブ
ル基盤 ■旋回テーブル ■キャリヤ吸着盤 ■下定盤 ■空うック■吸着パット
■ワーク供給ステーション■空キャリヤプール （Ｐ）ビニオン （Ｋ）キャリヤ （Ｉ？）ラック第３
回 手 クゴテ 祝 補 正 書 昭８１に″？年７２月ニーとさ３日
中継テーブル〜２列うック収納しイアウト図 ■ワークサポート ■２連パット収収納口アーム■櫛形
ワーク収納ラック ■ラック搭載コンベヤ■中継テーブ
ル基盤 ■旋回テーブル ■キャリヤ吸着盤 ■下定盤 ■空うック■吸着パット
■ワーク供給ステーション■空キャリヤプール （Ｐ）ビニオン （Ｋ）キャリヤ （Ｉ？）ラック第３
回 手 クゴテ 祝 補 正 書 昭８１に″？年７２月ニーとさ３日
Claims (1)
- ワークをキャリヤ単位で移載した中継テーブル上の、外
周部等配の隣接するワークを２枚単位で、中継テーブル
の間欠旋回と連動する２連パットで掬い上げ同時吸着し
て、背面のラックピッチ連動コンベヤ上に装架した２列
の櫛形ラックに同時収納し、中心偏在ワークは外周等配
隣接ワークの心間を底辺とし、偏在ワーク心を頂点とす
る正三角点の偏在ワーク中心点に、ワークを搭載旋回出
来る機構を中継テーブル上に装架し、外周部ワークを優
先収納して、干渉ワークを排除後に、偏在ワークのみ搭
載のまま１／３旋回して外周ワーク収納条件を形成し、
外周部ワーク跡に収納待機するものである、外周部ワー
ク跡に収納待機させる旋回テーブルと２連パットを備え
た事を特長とする偏在ワークと外周部等配ワークの共用
連続収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840388A JPH0286513A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | キャリヤ中心部偏在ワークと外周部等配ワークの共用連続収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23840388A JPH0286513A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | キャリヤ中心部偏在ワークと外周部等配ワークの共用連続収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0286513A true JPH0286513A (ja) | 1990-03-27 |
Family
ID=17029684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23840388A Pending JPH0286513A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | キャリヤ中心部偏在ワークと外周部等配ワークの共用連続収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0286513A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006092652A1 (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-08 | Sacmi Cooperativa Meccanici Imola Societa' Cooperativa | Apparatuses and methods |
| DE102008055531A1 (de) * | 2008-12-16 | 2010-06-17 | Krones Ag | Vorrichtung zum Speichern von Gegenständen innerhalb einer Verarbeitungsstrecke |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP23840388A patent/JPH0286513A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006092652A1 (en) * | 2005-03-01 | 2006-09-08 | Sacmi Cooperativa Meccanici Imola Societa' Cooperativa | Apparatuses and methods |
| DE102008055531A1 (de) * | 2008-12-16 | 2010-06-17 | Krones Ag | Vorrichtung zum Speichern von Gegenständen innerhalb einer Verarbeitungsstrecke |
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