JPS62140735A

JPS62140735A - 間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動插入装出装置

Info

Publication number: JPS62140735A
Application number: JP60281505A
Authority: JP
Inventors: Toshio Konishi; 敏夫小西
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-12-13
Filing date: 1985-12-13
Publication date: 1987-06-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】１）産業上の利用分野 ■ウェハ及びセラミックその他ラッピングと’ｊ’＋へ
ｎｎＪ＆／Ｉ）＃）鉾Ｔ’ｔｒＫＩＩＴ７ｔｈ２）従来
の技術手動操作が大半を占めて居り自動化も形式の異なる限ら
れた特定工程間の搬送程度である。

３）発明が解決しようとしている問題点ラック単位装填
（出）が容易でワーク径変更段取り替えを省き長時間省
人操業と総合サイクルタイムの迅速化４）問題点を解決するための手段未加工ウェハを装填したラックをコンベヤ上に預けるだ
けでラッピングを完了したウェハが未加工ウェハ抽出（
挿入）後の空ラックに挿入して装出されるコンベヤライ
ンの形成と薄い破損し易いウェハを嵌装精度高くキャリ
ヤの複数個の孔に速やかに挿入する心出し機構の発見５）実施例ローラチェンα０のアタッチ上部に荷重支持専用ローラ
（１０１）を伺えた平行２連のチェノを２軸α＠のスプ
ロケットホイール（１１）に装架して連続運航する２列
のローラコンベヤを形成し、荷重支持ローラ（１０Ｉｔ
）上前間隔に搭載した再先端のワーク間仕切りラック（
Ｒ１）を間仕切りピッチ毎、間欠進行とアーム（ハ）先
端パット吸着挿入（抽出）パットＱυを連動させてウェ
ハ（Ｗ）（以下ワークと呼称）を１枚づつ間仕切りラッ
クに自動挿入（抽出）するに於いて、挿入（抽出）中の
ラック（Ｒ１）と待機中のラック帯（Ｂ２以降）を分離
拘束するためワーク下方の間仕切りピッチ送り用ネジ（
５）と雌ネジ（６）により移動するテーブル（７）に固
定されたラック連動用昇降ピン（Ａ）と（Ｂ）及び固定
フレーム（９）に設けた待機ラックストップ用昇降ピン
（Ｃ）により、ラック（Ｒ１）及び（Ｒ２）の間仕切り
ラック下面の支持ローラ（ＩＯＩＬ）を空転させ所定位
置に停止させている。

（但しラック（Ｒ１）はピン（Ａ）　（Ｂ）の下部をフ
ランジ形成とし一昇降ストロークを大きくシ、支持ロー
ラから分離して、ラック（Ｒ１）を独自支持することが
出来る。）（Ｒ２）ラックの進行方向のピン（Ｃ）により（Ｒ２）
ラック以降の間仕切りラック支持ローラを空転させて定
位置に停止させている。

（Ｒ１）Ｅ仕切りラック内全問仕切りピッチにワーク（
Ｗ）の抽出（挿入）を終わるとピッチ送りテーブル（７
）のラック連動（又は支持）ピン（Ａ）　（Ｂ）は沈降
し、（Ｒ１）ラックはコンベヤにより進行し、送りテー
ブル（７）はワーク挿入（抽出）開始点に早戻りし、ピ
ン（Ａ）が浮上し、（Ｂ）は沈降し、（Ｒ２）ラック到
達を待機し、（Ｒ２）ラックは前部の溝でピン（Ａ）と
嵌装し、ピン（Ｂ）はラック後部の溝に浮上嵌装してラ
ックの定位置をガイドする。

ピン（Ｃ）は（Ｒ２）ラック通過直後浮上し、ラック（
Ｒ８）以降の支持ローラを空転させてラックを停止させ
る。

ラックに対するワーク（Ｗ）の挿入（抽出）はパット付
きアーム端の先端に吸着パットシυを備え、ワーク挿入
（抽出）昇降用シリンダ（イ）によりワーク下端がラッ
ク（几ｌ）の干渉を遁れる以高でアクチェータ（２）に
より９０度旋回してワーク００を水平に保持し第３図に
示す心出しテーブル（Ｔ）上に移載し、心出しフォーク
ユニットの内径を合成ゴムライニングで形成しキャリヤ
のワーク挿入孔径に加工し、心出しスライド方向をワー
ク直径＋０．０５２を閉止限度とし、ワークの破壊圧を
予防し、フォーク各中央部に万一に備えフォークストロ
ークを異常停止させワークの圧壊を予防する近接ＳＷ（
又はセンサ）を装備している。心出しフォーク前後開閉
ガイド（ハ）（イ）により平行にスライドする心出しフ
ォーク（２１Ａ）　（２８Ｂ）をガイドし心出しフォー
ク開閉はシリンダα？）Ｑａｌで行なう。

心出しセンサ付パットアーム０υの作動は先端の心出し
センサ（ＰＳ）装着板−の中央に吸着パット□□□を、
又センサ（ＰＳ）を装着板−と同心三種径に段取り替え
せず同時心円し出来るよう三周に１２個を装備し、吸着
パット＠の昇降はシリンダ（７）により行ない、アーム
のストローク調整はボールネジ（イ）をサーボモータ（
至）で駆動する。直交軸はサーボモータ付きテーブル（
ハ）により行なう。心出しセンサの中央に備えたパット
（ト）は旋回アクチェータ（ロ）により心出しテーブル
（Ｔ）の直上に達し、センサ（ＰＳ　）とＸ−Ｙテーブ
ル演算によりワーク（Ｗ）とパット弼を同心険知し、降
下してワークに吸着如ｒぐ浦１．１ゝ　ｌｌｌ＋　　　
１　÷　−）’ｌ　　Ｌ、（ψＭＹ−−？　　Ｌ、　　
＝１　ｒＦｈ　　１７　　＋Ｊ　　１）１ト吸着し、シ
リンダ（１）で上昇し、再びアクチェータ（ロ）で旋回
テーブル搭載のキャリヤ（［Ｃ！のワーク孔の直上に達
しセンサ（ＰＳ）でキャリヤ孔心出しを行ないパット轍
を降下ワークを挿入装崩し、パット吸着を解除しキャリ
ヤＭは連動旋回してｊ（仙次全部の孔にワークを挿入す
る。

※　キャリヤとは０．５　’Ｘ程度の薄い歯車でラッピ
ングマシンのドーナツ状テーブルに載ってドーナツ形テ
ーブルの中心部では駆動用サンギヤと噛み合い外方では
インターナルギヤと噛み合いキャリヤの孔にワークな嵌
装、口伝、公転してワークに複雑な運動を与えてラッピ
ング効果を高めるンＨ３い遊星ギヤである。

６）発明の効＝１１毛所期の目的を達成することが出来たのでワークの装填（
出）は完全に無人化されｆこ。

【図面の簡単な説明】

第１図　パットアームによるラック内ワークの吸着図第３図　第１図の側面図第４図　ワーク６出しユニット作動要領図第５図　ワー
クラックのピッチ送り説明図第６図　間仕切りラック断
面図第７図　ラック及びローラ支持説明図第８図　心出しセンサ付パットアーム説明図第９図　パ
ット及びセンサ装着板平面図（１）・・・間欠テーブル
駆動サーボモータ（２）　＜４）・・・プーリ　　　　
　（３）・・・ベルト（５）・・・送りネジ　　　　　
（６）・・・送り宙雌ネジ（７）・・・間仕切りピッチ
送りピン装着テーブル（８）・・・レール　　　　　　
（９）・・・フレームａ０・・・ローラチェンａυ・・・スプロケットホイール０２αＱ・・・プーリ　　　　　α→・・・ベルト０Ｑ
・・・モータ　　　　　　Ｒ１へＲ４・・・ラックＣ１
７）　Ｇ８）・・・シリンダ　　　　０ｇＪ・・・キャ
リヤ（イ）・・・昇降シリンダ　　　２１）・・・吸着
パット（ホ）・−・旋回アクチェータ（２１）　（２３Ｂ）・・・心出しフォーク（ホ）（ハ
）・・・フォークガイドレール？り・・・ラック間仕切
り（ハ）・・・レバー　操作シリンダ（ハ）・・・パット圀・・・心出しセンサ装着板（１）・・・パット昇降シリンダＧ１）−・・アーム（至）・・・アームストローク調整ネジ（至）・・・ス
ライドメタル［有］・・・サーボモータ曽・・・直交スライドテーブル（至）・・・旋回アーム支持ポール（ト）・・・ボール（アーム）旋回アクチェータ（至）
・・・パット付きアーム

Claims

【特許請求の範囲】

連続運航するコンベヤラインのローラに支持された細か
い間仕切りラックに薄いウェハを装填し、ラックとパッ
ト吸着（又はフォーク）ユニットが連動し、更に心出し
センサ付きパットアームにより段取り替えせず複数異径
のワークを同心吸着し、テーブル搭載キャリヤ旋回と連
動してキャリヤ孔に嵌装精度高く、ウェハの迅速挿入（
抽出）を特長とする間仕切りラックと旋回テーブル搭載
キャリヤ相互連動によるワーク自動挿入（抽出）装置