JPH0285712A - 光学的変位センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、被検出体に変位かあったときに当該変位の有
無を光学的に検知する変位検知センサに関するものであ
る。

［従来の技術］ 変位しあるいは移動する物体の当該位置変位を検出する
センサには、従来よりさまざまな方式が提案されてきた
。

光学的変位検知センサは、従来のリミットスイッチ等の
ような電気的接点方式によるものと相違し、検知手段が
非接触式であるから、接点部の摩耗といった問題がなく
、力命を大中に伸ばし得るのみならず、誘導やノイズに
よる誤動作も少ないことから信頼性の向上にも寄与し得
るなど多くの長所を有しており、光関係システムの長足
の進歩に伴い最近注目を集めるようになった。

第２２〜２４図に、この種従来の光学的変位センサの３
様の実株例を示す。

第２２図は、光の反射にプリズム４を使用する例を示す
ものであり、図示してない発光素子より出射された光を
光ファイバ１ａで導き、ロッドレンズ２により平行光と
された出射光３ａをプリズム４により反射して反射光３
ｂとなし、ロッドレンズ２−より入力せしめて光ファイ
バｌａ−を介し図示してない受光素子により受光するよ
うに構成されるものである０反射光３ｂの光路部分には
、図示してない被検出体の変位に応じて図中矢印方向に
変位する遮光板５が設けられており、遮光板５が変位し
て点線位置に移動することで反射光３ｂの光路を遮断し
、再び変位して実線位置に戻ることにより反射光３ｂの
光路が開かれるようにして受光素子が反射光３ｂの有無
を検出することにより被検出体の変位を検知する。

第２３図は、前記第２２図のプリズム４の代りに４５°
の反射面を有する２枚の反射鏡６．６−を設置したもの
であり、本実施例の場合には２枚の反射ｆｉ６．６−の
間に遮光板５を配置し、この反射鏡の間の光路を遮断で
きるようにしてあり、センサの設置条件によってこのよ
ううな位置に遮光板５を設置した方が能率的な場合に選
択される。

また、第２４図はさらに別な実施例を示すもので、２本
の光ファイバｌａ、ｌａ−を端面突合せ状態に配置し、
両光ファイバｌａ、ｌａ−が同一線上にあるときには光
の導通が可能に構成しておく、ここで、被検出体の変位
により外力Ｐが付加されると、光ファイバＩａ、ｌａ−
はそれぞれ点線で示したように軸ずれが生じ光が導通さ
れないように構成し、光の導通の有無により被検出体の
変位を検知するものである。

しかし、上記第２２〜２４図に示された従来構成のセン
サにはつぎのような問題点がある。

第１に遮光板５の変位移動が被検出体とのメカニカルな
接触により行なわれるという問題である。

確かに変位の検知手段は光学的な非接触状態で行なわれ
るが、遮光板を接触方式で移動させたのでは結局従来の
電気的接点方式と余り変りがなく、接触部の摩耗は不可
避であり、そのための動作不良のおそれはなお避は難い
。

第２に、センサ部分を塵埃や湿度、外力あるいは放射線
などから防護するなめにセンサ部をケース内に収納した
い場合が多いが、上記の通り遮光板を機械的な接触によ
り変位させる以上、ケース内に完全密閉することができ
ないという問題がある。

さらに、第２４図に示す方式では、光路の軸ずれを生じ
させることは容易であるが、これを元の位置に復元させ
ることが難しい、その上、曲率が大きなものであるにし
ても上記のように光ファイバに繰り返し曲げを与えるこ
とは、材料の疲労の面で好ましいものではない。

上記のような諸問題点を解決するために、出願人におい
ては先に、センサ部分を完全密閉可能なケース内に収納
し、遮光体の移動は密閉ケース外の外部磁石による遮光
体側磁性体への移動誘起により行なわせ得るように構成
した光学的変位センサを提案した。（特願昭６３−６２
２３４＞第２１は、当該提案に係る光学的変位センサの
具体例を示す断面図である。

非磁性体よりなる密閉ケース９内に発・受光端２．２゛
および発光端２よりの出射光３ａを当該出射光３ａと平
行方向に反射させる２枚の反射鏡６．６−を収納配置し
、同じく密閉ケース９内に収納されている遮光体５は少
なくとも一部が強磁性体７をもって構成されかつ前記出
・反射光に平行方向に前後移動可能に構成されると共に
、当該遮光体５の遮光片５ａは前記２枚の反射鏡６゜６
−の間で遮光し得るように構成し、被検出体の変位があ
った場合には密閉ケース外の外部磁石８が非接触的にケ
ース内の遮光体５の強磁性体７に変位移動を誘起せしめ
得るよう構成してなるものである。

［発明が解決しようとする課２ｆｆ］ 上記密閉式変位検知センサによれば、非接触状態で変位
検知を行なうから牽耗がないため長期安定性を確立させ
ることができ、かつ密閉ケース内に収容することで防塵
、防湿を図り精度を保持することが可能である上、外部
ノイズを十分排除できるといった大きなメリットがある
。

しかし、基本的構成が外部磁石８を変位させることで遮
光体側磁性体７を誘導変位させ、それによって遮光体５
を移動させるものであるため、外部磁石８の変位がある
範囲以内にあれば問題はないが、それを越えると磁性体
７はもはや外部磁石８による拘束力の及ぶ範囲外になり
、遮光体５は外部よりの振動などによって半ば自由に動
いてしまうという状態となり、センサとしての信頼性を
大巾に低下させる結果ともなりかねない。

本発明の目的は、上記したような問題点を解消し、外部
磁石により遮光体に移動を与えそれにより被検出体の変
位を検知する変位検知センサにおいて、外部磁石が遮光
体側磁性体を拘束し得る範囲以上に移動しても内部の遮
光体が勝手に動いてしまったりするおそれのない新規な
光学的変位検知センサを提供しようとするものであり、
またそのような光学的センサにおける光路の反射を簡易
化し、−回の反射で済ませることのできるよう入反射系
を改善した光学的変位検知センサを提供しようとするも
のである。

［課題を解決する、ための手段］ 本発明は、外部磁石と遮光体側磁性体あるいは磁石との
間に別途内部磁性体あるいは磁石を配置し、変位した遮
光体側磁性体を内部磁性体または磁石により吸着しロッ
クすることができるようにしたものである。

この際、好ましくは内部、磁性体あるいは磁石の移動範
囲の両側にロック用磁石を設置する。

また、そのような遮光体が遮光する光路について、発・
受光のためのレンズに角度を持たせ、一つの反射面より
の反射光をそのまま受光レンズで受は得るようにし、構
造の簡易化を図ったものである。

［作用］ 内部磁性体あるいは磁石が遮光体側の磁性体の移動に伴
い、一定範囲動き得るように構成しておけば、外部磁石
が大１１に移動して遮光体を拘束し得る範囲を逸脱して
も、内部磁性体あるいは磁石が変位した遮光体をその変
位状態でロックする。

外部磁石が元に復帰すればそれに伴い遮光体も元に復帰
することとなり、誤動作は防止される。内部磁性体ある
いは磁石の移動範囲の両側にこれを一時的にロックし得
る磁石を設けておくことでその誤動作防止効果は一層確
実となる。

［実施例］ 以下に、本発明について実施例図面を参照し、順次説明
する。

第１図は、本発明に係る実施例の−を示す断面図である
。

１．１−は内部に光ファイバを有する光フアイバケーブ
ル、１０．１０−は当該光フアイバケーブルの端末に取
付けられたコネクタ、１１゜１１−はコネクタ１０．１
０−と対をなすレセプタクル、１．２．１２−は前記レ
セプタクル１１゜１１−内の光ファイバの端末に設けら
れなロッドレンズである。

図示してない発光素子により発光された光は、光フアイ
バケーブル１の光ファイバを介しロッドレンズ１２より
平行出射光３ａとなって出射される。出射光３ａの先方
には４５°方向の反射面を有する第１の反射鏡６があり
、当該反射鏡６によって９０°方向転換せしめられた光
は第２の反射鏡６−でもう−度９０゛方向転換せられ、
出射光３ａと平行な反射光３ｂとなって全光がロッドレ
ンズ１２−に入射し、光フアイバケーブル１−を介して
図示してない受光素子に受光される。

一方、本実施例においては、前記比・反射光３ａ、３ｂ
と平行方向に前後移動し得る遮光体５があり、遮光体５
の一部は遮光片５ａに形成され、該遮光片５ａが図中点
線位置まで変位することで前記反射鏡６および６−の間
で光路を遮断し得るようになっている。１３は上記遮光
体５を保持しているホルダであり、７は遮光体５の外郭
に取付けられた強磁性体あるいは磁石（以下単に磁性体
という）である、磁性体７の外側には図示してない被検
出体側に取付けられた別個の外部磁石８があり、外部磁
石８が被検出体の変位により第１図中点線８−のように
移動することで遮光体５側の磁性体７を非接触的に引き
付は移動させ、それによって前記遮光片５ａが移動せし
められ、反射鏡６．６−間の光路を前記第１図中点線で
示したように遮断するように構成される。

しかして、本発明においては、前記遮光体１）ＩＩ磁性
体７と外部磁石８の間に別個の内部磁性体（または磁石
）１４があり、前記外＃磁石８の移動に追随して当該内
部磁性体（または磁石）１４も一定範囲内において動き
得るように構成されている。

遮光体１１ＰＩＢ＆性体７を強磁性体で構成するか磁石
で構成するか、あるいは内部磁性体１４を強磁性体とす
るか磁石とするかの選択については、上記動作が円滑と
なる組合せとなるように選択すればよいものである。従
って、以下に内部磁性体または磁石１４については単に
内部磁性体１４と記述するが、上記のように磁石との選
択性を含むものであることはいうまでもない。

第３図は、上記磁性体７および１４の挙動について外部
磁石８との関係をより詳細に説明するための説明断面図
である。

外部磁石８が点線で示した８−まで移動すると、それに
追随して遮光体側磁性体７および内部磁性体１４も点線
で示した７−および１４−まで移動する。そこで外部磁
性体８が白抜き矢印方向にさらに大きく移動して行った
とする。従来はそれによってもはや遮光体側磁性体７を
拘束するものがなくなり、磁性体７はいわば宙ぶらりん
の状態となって、外部よりの振動などによって自由に動
き得る状態となる。そのために遮光体５が動いて遮光状
態を解除してしまったりすれば、センサとしての信頼性
を大中に損ねてしまうことになる。

本発明に係るセンサにおいては、外部磁石８が大きく移
動して行ってしまっても、なお内部磁性体１４がその位
置に残留し、遮光体側磁性体７をそのまま拘束しつづけ
、いわば磁性体７を一時的にロックした状態を得る。

その後、外部磁石８が戻って来て元の位置に復帰すると
きは、内部磁性体１４と共に遮光体側磁性体７を元の位
置に復帰させ、前記遮光片５ａによる光路遮断は解除さ
れる。

上記により、変位センサとしての信頼性は十分に確立さ
れるのである。

内部磁性体１４は上記したようにある範囲において動き
得ることが必要であるから、滑りをよくする意味で摺動
部にテフロンコーティングをするなり適宜の牽擦係数を
小さくする材料を配置するなりすることが好ましい。

内部磁性体１４については上記のように滑りのよいこと
が望まれるが、例えば第２図に示すように外部磁石８が
８″に移動し、内部磁性体１４に対する拘束力が及ばな
い状態においては、滑りのよい内部磁性体１４が振動な
どにより動いてしまい遮光体５に誤動作を与えるおそれ
がある。それを防止するには、第２・および４図に示す
ように内部磁性体１４が動く範囲の両側にロック用磁石
ｉｓ、ｉｓ−を設けておくのがよい。

このロック用磁石１８．１８−を配置しておけば、外部
磁石８が過剰に移動し内部磁性体１４に対する拘束力が
及ばない状態となっても、内部磁性体１４をロック用磁
石１８あるいは１８−がロックし、内部磁性体１４が動
いてしまったりするのを防止することができる。ロック
用磁石１８゜１８−は上記したような作用を具有させる
ものであるから、内部磁性体１４として磁石が使用され
た場合にはロック用磁石１８．１８−は磁石に限らず強
磁性体を用いても差支えはないのである。

従って、ロック用磁石という表現の中にはかかる強磁性
体を用いる場合も含まれるものであることは勿論である
。

第５図は、本発明に係る上記センサを距、ＶＬの間での
物体の位置検知に応用した例を示す説明図である。密閉
ケース９．９″を距離りだけ離間させて設置し、外部磁
石８を当該密閉ケース９゜９−の外周面に沿って第５図
実線から点線のように移動させてやれば、ケース９およ
び９゛内で光路遮断および光路導通が起り、その変化に
よって移動物体の位置検知ができる。ケース９の数を必
要数設置し、つぎつぎに移動体の動きを検知することも
可能である。

第６図は、本発明に係る変位センサの別な実施例を示す
ものであり、ケース９の一部に外部磁石８および内部磁
性体１４を配置した例を示す、このように、これらは必
ずしも全周に配置する必要はないのである。この場合も
、必要に応じ第７図に示すようにロック用磁石ｉｓ、ｉ
ｓ−を配置するのが好ましい。

上記第１図に示した実施例においては、反射鏡６．６−
の一対を設置し、光路を２度それぞれ９０’づつ反射さ
せる場合を示したが、反射鏡の２個を対に設置すること
はそれだけスペースを要することであり、大型化し軸合
せも複雑化することになる。

第８〜１５図は、反射鏡を１個用い１回の反射で発・受
光することのできる本発明に係るそれぞれの実施例を示
すものである。

本発明においては、光ファイバ１．１゛の端部に取付け
られるコリメート用のレンズ１２゜１２−のいずれか一
方あるいは両方に角度あるいは曲率をもたせ、−の反射
鏡６の入反射角と合致する方向に光が出入射できるよう
に構成し、２個の反射鏡を使用することなく１個の反射
鏡６により光路を形成し得るようにしたものである。従
って、本発明の技術思想は外部磁石８を設置する場合に
のみ限定適用されるものではなく、第２３図に示したよ
うな従来構成のセンサにも適用できるものであることは
いうまでもない。

しかして、第８図は、一方のレンズ１２に角度をもたせ
ると同時に、反射鏡６にも角度をもなぜ、出射レンズに
より出射した光を反射鏡６で１度だけ反射させ、直ちに
集光レンズ１２″に集光させた例を示している。第８図
において５は遮光体（以下の実施例図面では遮光体側磁
性体７の図示が省略されているが遮光体の移動は前述と
変るものではない）、８は外部磁石、１４は内部磁性体
であり、それぞれ矢印で示したように移動することによ
り光の導通、遮断が行なわれる。

第１０図は別な実施例を示す縦断面図、第１１図はその
横断面説明図である１本実施例においては、外部磁石８
および内部磁性体１４を遮光体５の真下に配置し、遮光
体５の被検出体との連動をし易くしたものである。

第１３図はさらに別な実施例を示すものであり、出射レ
ンズ１２のみならず集光レンズ１２−も角度をもたせ、
反射鏡６については角度をもたせずにケース９の壁面と
平行に設置したものである。

反射鏡の調整の必要がなく装置の組立てを簡素化するこ
とができる。

上記いずれの実施例においても、第９図あるいは第１１
図のＡ−Ａ断面図である第１２図さらには第１４図に示
すように内部磁性体１４の移動範囲の両側にロック用磁
石ｔｓ、ｔｓ−を配置することにより上述した内部磁性
体１４のロックを行なわせることができる。

第１５図は、上記第１３図に示した装置を用いて別な遮
光体５を有するセンサに構成した別な実施例を示す横断
面説明図である。

本実施例においては、遮光体５はこれまでの実施例にお
けるように完全に光を遮断する構成となっておらず、部
分的に光が透過し得るように構成される。

第１６図（イ）は、かかる遮光体５の実施例を示す斜視
図であり、シャフト１５にガイドされて矢印のように前
後移動可能な遮光体５には出射光３ａが減衰透過する減
衰透過窓Ｔが長さ１だけ形成されている。透過窓Ｔは第
１６図（ロ）に示すように長さ１の一端から他端に向っ
て連続的に光の減衰量αが変化するように構成され、そ
の減衰量を検知することにより変位量がわかるように構
成されている。すなわち、被検出体が弁であれば、減衰
量により弁の全開、半開、全開、あるいはその途中とい
っな状態をモニタすることができる。

第１７図（イ）は、さらに別な遮光体５の実施例であり
、前記連続的な減衰窓ではなく、Ａ、Ｂ。

Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ、・・・・・・といった間隔をもった減
衰窓によって構成された例を示す。

本実施例では第１７図（ロ）に示すように善意Ａ、Ｂ、
Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆ、の減衰量αが同じ場合を示しであるが
、この減衰量は異なるものであってもよい、このような
間けつ的な窓によっても変位を容易にモニタすることが
できる。

さらに、第１５図のセンサにおいては、出射光３ａの通
過窓１７および反射光３ｂの通過窓１７゛をのこし、コ
リメートレンズ１２．１２−側を反射鏡６側より光学的
に仕切り得る仕切り部材１６が設置されている。これは
、遮光体５により光を遮断した場合に当該遮光体５にお
いて反射した光が受光側に入射して反射光による誤動作
を生ずるのを防止し、センサの信頼性を格段に高めよう
とするものである。従って、反射光の散乱をさらに低減
させる意味から、ケース９の内側には。

ツヤ消し塗装など適宜な乱反射防止処理をしておくこと
が一層好ましい。

このような仕切り部材１６については他の実施例にはと
くに図示がないが、第１５図に示す実施例以外について
も広く適用できるものであることは勿論である。

第１８図は、本発明に係るさらに別な実施例を示す断面
図であり、光路の形成には先に説明した第１３図の構成
が援用されている。

本実施例は、密閉ケース９の外側にある外部磁石８によ
りケース９内にある遮光体５を移動させ、光路を遮断さ
せ得るように構成していることですでに説明したいくつ
かの実施例と同じであるが、他の実施例においては遮光
体が前進後退することで光路を遮断しあるいは導通させ
ていたのに対し、本実施例は、遮光体５を回動可能に片
持ち軸支し、遮光体５の自由端側か外部磁石８の移動に
より首振り移動せしめられる構成よりなる。

第１゛９図は遮光体５部分の説明図であり、遮光体５の
片端はベアリング２０を介し支軸１９により回転可能に
軸支されており、自由端側が支軸１つを中心とする回転
運動ができるよう構成されている。第２０図は第１９図
のＢ−Ｂ断面図である。

しかして、遮光体５の回転軌跡の両側には固定されたロ
ック用磁石１８．１８−が配置されており、遮光体５の
自由端が当該磁石１８．１８−を越えて回転するのを阻
止する一方、磁石１８または１８゛まで回転移動した自
由端を当該磁石１８または１８−が−時的に吸着し、ロ
ックし得る構成を有する。このロック効果により、前述
のように外部磁石８が過剰に移動し遮光体５に対する拘
東方が及ばない状態になっても、前述同様に遮光体５の
自由端が外部振動などによって自由に動いてしまったり
することを防止するものである。

遮光体５にはレンズ１２のコリメート径ｄよりも小さい
円形断面のスリット５１が形成されており、外部磁石８
の移動により遮光体５が一方に倒れたときに光路３ａが
当該スリット５１を導通可能な角度になり、反対側に倒
れたとき光路３ａが遮断される角度となるように構成さ
れている。スリット５！の長さ１については光路角θに
もよるが　１≧ｎｄ　（ｎは１以上）とする。

なお、第１８図において、２１は密封用パツキン、２２
は発光素子、２３は受光素子である。

［発明の効果１ 以上の通り、本発明に係る変位検知センサによれば、被
検出体に対してすべて非接触状態で変位移動を検出でき
るから、摩耗などによる損傷部分がないため、接触式に
みられたような故障がなく、長期間にわたり安定状態を
維持し信頼性の向上が大巾に達成されるばかりでなく、
非接触式であるが故に検出系全体を密閉ケース内に収納
することができ、防塵、防湿などを図り得る上、外部磁
性体が大きく移動してその拘束力が及ばない状態になっ
ても遮光体に誤動作を生ずるおそれがないなど、その工
業上に及ぼす意義は非常に大きなものがある。

【図面の簡単な説明】

第１および２図は本発明に係る実施例の横断面図、第３
および４図はその動作を示す縦断面図、第５図は本発明
に係る実施例を移動体の位置検知に応用する例を示す説
明図、第６および７図は別な実施例を示す縦断面図、第
８および９図は別な実施例を示す横断面説明図、第１０
図は別な実施例を示す縦断面説明図、第１１図は第１０
図の横断面説明図、第１２図は第１１図のＡ−Ａ断面図
、第１３〜１５図は別な実施例を示す横断面説明図、第
１６および１７図は遮光体の２様の実施例を示す斜視図
ならびに透過光の減衰線図、第１８図はさらに別な実施
例を示す横断面図、第１９図はその遮光体部分の説明図
、第２０図は第１９図のＢ−Ｂ断面図、第２１図は既提
案のセンサの具体例を示す横断面図、第２２から２４図
は従来の光学的変位センサの構成を示す説明図である。 １．１−：光ファイバ、 ３ａ：出射光、 ３ｂ二反射光、 ５：遮光体、 ５！　ニスリット、 ５ａ：遮光片、 ６．６−：反射鏡、 ７：遮光体側磁性体、 ８：外部磁石、 ９：密閉ケース、 ２．２−．１２．１２−：ロッドレンズ、１４：内部磁
性体、 ｔｓ、１８−：ロック用磁石。 代理人　　弁理士　　佐　藤　不二雄 第３図 ８外記磁石 第４図 さ　　　　　　　　　　　　　　　　　　さシ　　　　
く 第５図 第７図 第８図 第９図 第１Ｏ図 第１１図 第１２図 第１５図 第１６図　　　　　　　　　第１７コ （イ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　（イ）（
。、　　　　　　　　　　　　　　八　　ａｃＤＥ第１
９図 第２０図 ｒｅ　　　　　　　＋８’ 第２１図 溶２３図 第２４図

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）発光素子より発光された光を受光素子により受光
   する光学系路の中途に被検出体の変位に応じて移動可能
   な遮光体を配置し、当該遮光体の少なくとも一部を強磁
   性体あるいは磁石をもつて構成し、被検出体の変位によ
   る遮光体の移動を当該被検出体側に別途設けられた外部
   磁石によって非接触的に行なわせ得るように構成してな
   る変位検知センサにおいて、前記外部磁石と遮光体側磁
   性体あるいは磁石の間に、外部磁石の移動に応じ一定範
   囲内で動き得る内部磁性体あるいは磁石を設けてなる光
   学的変位センサ。
2. （２）内部磁性体あるいは磁石が動き得る範囲の両側に
   当該内部磁性体あるいは磁石を一時的にロックすること
   のできる磁石あるいは強磁性体を配置してなる請求項１
   記載の光学的変位センサ。
3. （３）発光素子より発光された光を受光素子により受光
   する光学系路の中途に被検出体の変位に応じて移動可能
   な遮光体を配置し、当該遮光体の少なくとも一部を強磁
   性体あるいは磁石をもって構成し、被検出体の変位によ
   る遮光体の移動を当該被検出体側に別途設けられた外部
   磁石によって非接触的に行なわせ得るように構成してな
   る変位検知センサにおいて、前記遮光体には、光路を遮
   断する位置に入射光を連続的あるいは間けつ的に減衰さ
   せる減衰部が設けられてなる光学的変位センサ。
4. （４）発光素子より発光された光を受光素子により受光
   する光学系路の中途に被検出体の変位に応じて移動可能
   な遮光体を配置してなる光学的変位センサにおいて、発
   ・受光のためのコリメートレンズのいずれか一方または
   両方に角度あるいは曲率を持たせ、発光素子側レンズよ
   りの出射光を一つの反射面で反射させて当該反射光をそ
   のまま受光素子側レンズで受光可能に構成してなる光学
   的変位センサ。
5. （５）発光素子より発光された光を受光素子により受光
   する光学系路の中途に被検出体の変位に応じて移動可能
   な遮光体を配置し、当該遮光体の少なくとも一部を強磁
   性体あるいは磁石をもって構成し、被検出体の変位によ
   る遮光体の移動を当該被検出体側に別途設けられた外部
   磁石によって非接触的に行なわせ得るように構成してな
   る変位検知センサにおいて、前記遮光体は回動可能に片
   持ち状態に軸支され、当該遮光体の自由端側には回動変
   位した自由端を一時的に吸着可能な磁石が配置される一
   方、遮光体には光路軸に沿い該遮光体が一方に変位した
   とき前記発光素子よりの出射光が貫通され他方に変位し
   たときには遮光状態となるような光通路が形成されてな
   る光学的変位センサ。
6. （６）光の出射・集光部と反射鏡との間を、光路部分の
   みを光が通過し得る窓に形成し他を光が透過し得ないよ
   うにした仕切り部材で仕切ってなる請求項１から５のい
   ずれかに記載の光学的変位センサ。