JPH0283521U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す正面図、第
２図は載置テーブルの平面図、第３図及び第４図
は第２図の平面図及び右側面図、第５図は第３図
の―線断面図、第６図、第７図及び第８図は
夫々第５図の―線断面図、―線断面図及
び―線断面図、第９図は第２図の―線断
面図、第１０図ａ〜ｃはそれぞれリニアボールベ
アリングと案内レールとの関係を示す拡大平面図
、一部を断面とした正面図及び右側面図、第１１
図はボール保持器の拡大断面図、第１２図ａ及び
ｂは直線駆動機構の拡大正面図及び端面図、第１
３図は回転駆動源の拡大断面図である。 図中、１は基台、２は被露光部材、３は載置テ
ーブル、５は円筒体、６は縮小レンズ、１０はレ
チクルステージ、１１はコンデンサレンズ、２４
Ｌ、２４Ｒは案内レール、２５は斜面スライダ、
２７ａ〜２７ｆはリニアボールベアリング（転動
部材）、３７は方形枠体、３７ｇ_１〜３７ｇ_４は
開口、３７ｈ_１，３７ｈ_２，３７ｉ_１，３７ｉ_２
は、吸引通路、３７ｋはフレキシブル配管、３７
ｌは真空吸引源、３７ｐは真空ポンプ、４３は直
線駆動機構、４３はステツピングモータ、４５は
ボールねじ、４６はボールナツト、４７はブラケ
ツト、４８ａ，４８ｂは板部、４７ｂ，４８ｅ，
４８ｆは吸引通路、５０は載置台、５１は真空チ
ヤツク、５４は微動機構、５７Ｌ，５７ＲはＸ方
向微動体、５９はＸＹ方向微動体、６４Ｌ，６４
Ｒ，６５Ｆ，６５Ｒは電磁石、８１はボールベア
リング、８２は歯車、８３は旋回テーブル、８４
は回転駆動源、８７は微動ステージ、８８はレチ
クルホルダ、９２は駆動モータ、９３は減速機、
９７はピニオン、９８，１０１ａ，１０１ｂ，１
０２は吸引通路、１００は配管である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被露光部材を載置して当該被露光部材をＸ
   ＹＺ方向に位置調整可能な載置テーブルと、該載
   置テーブルに載置された被露光部材に対向する位
   置に配設されたマスクを少なくともＸＹ方向に移
   動可能に保持するマスクステージとを備え、マス
   クからの透過光を被露光部材に露光する露光装置
   において、前記マスク及び被露光部材周辺におけ
   る当該マスク及び被露光部材を位置調整するため
   の可動部に対して塵埃吸引手段を設けたことを特
   徴とする露光装置の除塵装置。 (2) 前記載置テーブルは、前記載置台を転動体
   を介して載置する水平面を有する斜面スライダと
   、前記斜面スライダを斜動案内する複数の傾斜案
   内部及び該傾斜案内部に係合する転動部材を有し
   、当該傾斜案内部及び転動部材の何れか一方が前
   記粗動テーブルに、他方が前記斜面スライダに夫
   々配設された斜動案内機構と、前記斜面スライダ
   を前記斜動案内方向に進退駆動するボールねじと
   を備えたＺ方向移動手段を有し、当該Ｚ方向移動
   手段の転動部材及びボールねじに塵埃吸引手段が
   設けられている請求項(1)記載の露光装置の除塵
   装置。 (3) 前記マスクステージは、ＸＹ方向移動手段
   及び歯車を使用した角度調整手段を有し、該角度
   調整手段の歯車近傍に塵埃吸引手段を設けた請求
   項(1)又は(2)記載の露光装置の除塵装置。