JPH0197288U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す正面図、第
２図及び第３図は第１図の平面図及び右側面図、
第４図は第２図の―線断面図、第５図、第６
図及び第７図は夫々第４図の―線断面図、
―線断面図及び―線断面図、第８図は第１
図の―線断面図、第９図はリニアボールベア
ンリングと案内レールとの関係を示す拡大断面図
、第１０図はボール保持器の拡大断面図、第１１
図はこの考案を適用し得る縮小投影露光装置の一
例を示す概略構成図、第１２図はこの考案の第２
実施例を示す載置台の平面図、第１３図は温度制
御装置の一例を示す概略構成図、第１４図はチヤ
ツク本体の断面図、第１５図は閉塞具の断面図で
ある。 図中、１は基台、２は粗動テーブル、３は円筒
体、４Ｌ，４Ｒは案内レール（傾斜案内部）、５
は斜面スライダ、７ａ〜７ｆはリニアボールベア
リング（転動部材）、１９は保持器、２０はボー
ル、２１は直線駆動機構、２２はステツピングモ
ータ、２４はボールねじ、２５はボールナツト、
２６は載置台、２７は真空チヤツク、２７ｇはチ
ヤツク本体、２７ｉ_１〜２７ｉ_６は冷却水通路、
２７ｋ_１〜２７ｋ_４はチユーブ、３３Ｌ，３３Ｒ
はＸ方向微動体、３５はＸＹ方向微動体、３９は
シリコンオイル、４１Ｌ，４１Ｒ，４２Ｆ，４２
Ｒは電磁石（微動機構）、４７ａ〜４７ｄは板ば
ね（弾性連結体）、６０は温度調節装置、６１は
冷却水温度制御兼供給装置、６２ａ，６２ｂは温
度センサ、６３は温度調節計である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ＸＹ方向に移動可能な粗動テーブル上に、
   ＸＹＺ方向に微動可能で、被載置物を載置する載
   置台を配設し、前記粗動テーブルと前記載置台と
   の間に、当該載置台のＺ方向位置調整手段を備え
   、該Ｚ方向位置調整手段は、前記載置台を転動体
   を介して載置する水平面を有する斜面スライダと
   、前記斜面スライダを斜動案内する複数の傾斜案
   内部及び該傾斜案内部に係合する転動部材を有し
   、当該傾斜案内部及び転動部材の何れか一方が前
   記粗動テーブルに、他方が前記斜面スライダに夫
   々配設された斜動案内機構と、前記斜面スライダ
   を前記斜動案内方向に進退駆動する駆動機構とを
   備えていることを特徴とする複合移動テーブル。 (2) 前記載置台は、前記粗動テーブル上にＸＹ
   方向に微動可能に弾性支持され且つ微動機構によ
   つてＸＹ方向に微動されるＸＹ微動体に弾性連結
   体を介して連結されている実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の複合移動テーブル。 (3) ＸＹ微動体は、粗動テーブルとの間に制振
   部を有する実用新案登録請求の範囲第２項記載の
   複合移動テーブル。 (4) 前記斜動案内機構は、傾斜案内部が粗動テ
   ーブル上に配設された互いに平行な傾斜案内レー
   ルで構成され、転動部材が各傾斜案内レールに係
   合する複数のリニアボールベアリングで構成され
   ている実用新案登録請求の範囲第１項乃至第３項
   の何れかに記載の複合移動テーブル。 (5) 前記載置台は、温度調節装置によつて温度
   制御された冷媒が供給される循環路が形成されて
   いる実用新案登録請求の範囲第１項乃至第４項の
   何れかに記載の複合移動テーブル。