JPH0280966A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH0280966A JPH0280966A JP23261188A JP23261188A JPH0280966A JP H0280966 A JPH0280966 A JP H0280966A JP 23261188 A JP23261188 A JP 23261188A JP 23261188 A JP23261188 A JP 23261188A JP H0280966 A JPH0280966 A JP H0280966A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- piezoelectric ceramic
- piezoelectric
- vibration plate
- fixed
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、車輌における各方向の加速度を検知し、各種
の動作1例えばサスペンション、車高等を調整または作
動させるシステムに使用する加速度センサに関する。
の動作1例えばサスペンション、車高等を調整または作
動させるシステムに使用する加速度センサに関する。
(従来の技術)
第2図は、従来の加速度センサの構成を示している。第
2図において、2−1はベースであり。
2図において、2−1はベースであり。
筐体と同一もしくはそれに固定されており1機械的には
筐体と同一の動きをなし、電気的にはアースグラウンド
である。2−2は振動板であり、ベース2−1とは溶接
等で固定されており、圧電セラミック2−3.2−4と
は接着等で固定されている。
筐体と同一の動きをなし、電気的にはアースグラウンド
である。2−2は振動板であり、ベース2−1とは溶接
等で固定されており、圧電セラミック2−3.2−4と
は接着等で固定されている。
2−3.2−4は圧電セラミックであり、各々表裏に銀
電極が焼付けられており、特に圧電セラミック2−3の
表(信号取出し側)の電極は4分割されており、互いに
対向する電極同士が接続され。
電極が焼付けられており、特に圧電セラミック2−3の
表(信号取出し側)の電極は4分割されており、互いに
対向する電極同士が接続され。
それぞれセンサ出力側とドライブ入力側に接続されてい
る。
る。
2−5は発振器であり、この発振器2−5より電気信号
が圧電セラミック2−3に加えられた場合、振動板、圧
電セラミックで構成された振動子全体が振動し、結果的
にセンサ出力2−9に出力が現われる。
が圧電セラミック2−3に加えられた場合、振動板、圧
電セラミックで構成された振動子全体が振動し、結果的
にセンサ出力2−9に出力が現われる。
2−6はインピーダンス変換回路、2−7はBPF(バ
ンドパスフィルタ)、2−8は増幅器、2−9はセンサ
出力である。
ンドパスフィルタ)、2−8は増幅器、2−9はセンサ
出力である。
また、圧電セラミック2−3.2−4は、振動板2−2
に対し互いに逆極性になるように固定されている。
に対し互いに逆極性になるように固定されている。
次に、上記従来例の動作について説明する。第2図にお
いて、筐体に振動加速度が加えられると。
いて、筐体に振動加速度が加えられると。
ベース2−1を通して振動板2−2に伝えられ。
振動板2−2がたわむ。
このたわみは、圧電セラミック2−3.2−4をたゆま
せ、このたわみ、すなわち加速度に比例して電荷が圧電
セラミック2−3.2−4に発生する。この電荷をイン
ピーダンス変換回路2−6で電圧に変換し、必要な帯域
、最適なレベルにするため、BPF2−7.増幅器2−
8を通ってセンサ出力2−9が得られる。
せ、このたわみ、すなわち加速度に比例して電荷が圧電
セラミック2−3.2−4に発生する。この電荷をイン
ピーダンス変換回路2−6で電圧に変換し、必要な帯域
、最適なレベルにするため、BPF2−7.増幅器2−
8を通ってセンサ出力2−9が得られる。
また、圧電セラミックは温度変化に対しても同様に電荷
を発生するが(焦電効果)、これを減らすために圧電セ
ラミック2−3.2−4は逆極性にしてあり、発生電荷
がキャンセルされ、上記した焦電の影響が少なくなる。
を発生するが(焦電効果)、これを減らすために圧電セ
ラミック2−3.2−4は逆極性にしてあり、発生電荷
がキャンセルされ、上記した焦電の影響が少なくなる。
第2図に示す加速度センサは、自動車用を目的としてい
るため、信頼性の要求が厳しい。そのため、故障してい
るかどうかをコントローラ側でチエツクできるようにす
るため、圧電セラミック2−3の電極が分割されており
、コントローラ側の発振器2−5から適当な信号をドラ
イブ入力としてセンサ側に入れてやれば、センサ出力2
−9にそれに対応したドライブ出力が現われ、センサの
故障診断が可能となる。
るため、信頼性の要求が厳しい。そのため、故障してい
るかどうかをコントローラ側でチエツクできるようにす
るため、圧電セラミック2−3の電極が分割されており
、コントローラ側の発振器2−5から適当な信号をドラ
イブ入力としてセンサ側に入れてやれば、センサ出力2
−9にそれに対応したドライブ出力が現われ、センサの
故障診断が可能となる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記従来の加速度センサでは、振動板の
表裏に圧電セラミックを固定し、かつ信号取出しの接続
をする必要があるため、非常に作りにくいという問題が
あった。
表裏に圧電セラミックを固定し、かつ信号取出しの接続
をする必要があるため、非常に作りにくいという問題が
あった。
(課題を解決するための手段)
本発明は上記課題を達成するために、焦電キャンセル用
の圧電セラミックを振動板の表側の外周部に固定するよ
うにしたものである。
の圧電セラミックを振動板の表側の外周部に固定するよ
うにしたものである。
(作 用)
本発明は上記のような構成により、次のような作用を有
する。すなわち、圧電セラミックが2枚とも振動板の一
方に固定されるため、信号取出しの接続作業を同時に行
なうことができ、作業が楽になり、かつ自動化2機械化
を行なうことができる。
する。すなわち、圧電セラミックが2枚とも振動板の一
方に固定されるため、信号取出しの接続作業を同時に行
なうことができ、作業が楽になり、かつ自動化2機械化
を行なうことができる。
(実施例)
第1図は、本発明の一実施例を示すものである。
第1図において、1−1はベース、1−2は金属振動板
、1−3は圧電セラミック、1−5はコントローラ側で
持っている発振器、1−6はインピーダンス変換回路、
1−7はBPF(バンドパスフィルタ)、1−8は増幅
器、1−9はセンサ出力であり、役割は従来例と同一で
ある。
、1−3は圧電セラミック、1−5はコントローラ側で
持っている発振器、1−6はインピーダンス変換回路、
1−7はBPF(バンドパスフィルタ)、1−8は増幅
器、1−9はセンサ出力であり、役割は従来例と同一で
ある。
1−4も圧電セラミックであるが、金属振動板1−2に
対し、第1図に示すように圧電セラミック1−3と同一
面に、かつ逆極性の向きに金属振動板1−2に接着固定
される。また、圧電セラミック1−4の面積は圧電セラ
ミック1−3のセンサ部の、第1図の例でいうと約半分
の面積になっており、丁度焦電効果をキャンセルするよ
うに選ばれる。
対し、第1図に示すように圧電セラミック1−3と同一
面に、かつ逆極性の向きに金属振動板1−2に接着固定
される。また、圧電セラミック1−4の面積は圧電セラ
ミック1−3のセンサ部の、第1図の例でいうと約半分
の面積になっており、丁度焦電効果をキャンセルするよ
うに選ばれる。
次に、上記実施例の動作について説明する。第1図にお
いて、筐体に振動加速度が加えられると、ベース1−1
を通して振動板1−2に伝えられ、振動板1−2がたわ
む。
いて、筐体に振動加速度が加えられると、ベース1−1
を通して振動板1−2に伝えられ、振動板1−2がたわ
む。
このたわみは、圧電セラミック1−3.1−4をたわま
せる。
せる。
第2図と異なる点は、第2図の場合は圧電セラミックが
逆極性でたわみが圧縮、伸長と逆のため同極性の電荷が
発生するが1本発明の場合はたわみが同一方向のため異
極性の電荷が発生し、振動に対してセンサ出力がキャン
セルする方向になるが、金属振動板1−2の外周部に固
定されているため、たわみ、つまり歪が小さく、圧電セ
ラミック1−4の出力はさほどセンサ出力を小さくしな
い。
逆極性でたわみが圧縮、伸長と逆のため同極性の電荷が
発生するが1本発明の場合はたわみが同一方向のため異
極性の電荷が発生し、振動に対してセンサ出力がキャン
セルする方向になるが、金属振動板1−2の外周部に固
定されているため、たわみ、つまり歪が小さく、圧電セ
ラミック1−4の出力はさほどセンサ出力を小さくしな
い。
このように、上記実施例によれば、焦電効果キャンセル
用圧電セラミック1−4が振動板1−2の表に固定され
ているため、従来の加速度センサの機能を保持しつつ、
接着等による固定および配線が表側でのみ行なえ、非常
に作り易いという効果を有する。
用圧電セラミック1−4が振動板1−2の表に固定され
ているため、従来の加速度センサの機能を保持しつつ、
接着等による固定および配線が表側でのみ行なえ、非常
に作り易いという効果を有する。
(発明の効果)
本発明は上記実施例により明らかなように、圧電ディス
ク中心固定型加速度センサにおいて、焦電効果キャンセ
ル用圧電セラミックをも、センサ用圧電セラミックと同
じく金属振動板の表側に固定したものであり、従来の加
速度センサと同様の機能を保持しつつ、接着等による圧
電素子の固定および配線が一方向で可能になり、非常に
作り易いという利点を有する。
ク中心固定型加速度センサにおいて、焦電効果キャンセ
ル用圧電セラミックをも、センサ用圧電セラミックと同
じく金属振動板の表側に固定したものであり、従来の加
速度センサと同様の機能を保持しつつ、接着等による圧
電素子の固定および配線が一方向で可能になり、非常に
作り易いという利点を有する。
第1図(A)、(B)は加速度センサの一実施例の概略
構造を示す平面図および側面図、第2図(A)。 (B)は従来の加速度センサの概略構造を示す平面図お
よび側面図である。 1−1.2−1・・・ベース、 1−2.2−2・・・金属振動板、 1−3.2−3・・・圧電セラミック。 1−4゜ 1−5゜ l−6゜ 1−8゜ 1−9゜ 2−4・・・圧電セラミック、 2−5・・・コントローラ側発振器。 2−6・・・インピーダンス変換回路、2−7・・・B
PF(バンドパスフィ ルタ)、 2−8・・・増幅器。 2−9・・・センサ出力。
構造を示す平面図および側面図、第2図(A)。 (B)は従来の加速度センサの概略構造を示す平面図お
よび側面図である。 1−1.2−1・・・ベース、 1−2.2−2・・・金属振動板、 1−3.2−3・・・圧電セラミック。 1−4゜ 1−5゜ l−6゜ 1−8゜ 1−9゜ 2−4・・・圧電セラミック、 2−5・・・コントローラ側発振器。 2−6・・・インピーダンス変換回路、2−7・・・B
PF(バンドパスフィ ルタ)、 2−8・・・増幅器。 2−9・・・センサ出力。
Claims (1)
- ディスク状の圧電セラミック1−3と金属振動板の組合
せの振動子を有する圧電ディスク中心固定型の加速度セ
ンサにおいて、もう一つのリング状の圧電セラミック1
−4を、上記金属振動板の外周部に、上記圧電セラミッ
ク1−3が固定されている面に、上記圧電セラミック1
−3とは逆極性にして固定し、上記二つの圧電セラミッ
ク1−3および1−4の出力を共通にしてセンサ信号を
取り出すことを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23261188A JPH0280966A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23261188A JPH0280966A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 加速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0280966A true JPH0280966A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16942057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23261188A Pending JPH0280966A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 加速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0280966A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5128581A (en) * | 1989-05-02 | 1992-07-07 | Fujikura Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor and piezoelectric acceleration sensor device |
CN114624468A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-06-14 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种防水型六维振动传感器及其测量方法 |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP23261188A patent/JPH0280966A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5128581A (en) * | 1989-05-02 | 1992-07-07 | Fujikura Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor and piezoelectric acceleration sensor device |
CN114624468A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-06-14 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种防水型六维振动传感器及其测量方法 |
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