JPH0954112A - 加速度センサ装置 - Google Patents
加速度センサ装置Info
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- JPH0954112A JPH0954112A JP7227535A JP22753595A JPH0954112A JP H0954112 A JPH0954112 A JP H0954112A JP 7227535 A JP7227535 A JP 7227535A JP 22753595 A JP22753595 A JP 22753595A JP H0954112 A JPH0954112 A JP H0954112A
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- acceleration
- acceleration sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で形状が単純であり、感度が高く、高周
波数の加速度変化も検知可能にする。 【構成】 加速度を受けることにより歪みを生じる円板
状の歪み検知部材１０と、この歪み検知部材１０の歪み
の最大応力発生部周辺の表裏等に各々４方向に独立して
設けられた４対の電気変換部２１ａ〜２４ｂと、この電
気変換部２１ａ〜２４ｂからの信号のうちこの歪み部材
１０の表面と平行な方向の２方向に沿って各電気変換部
２１ａ〜２４ｂの信号を、その各方向毎に差動増幅する
増幅器２６と、４対の電気変換部２１ａ〜２４ｂからの
信号を加算して増幅する増幅器２８とを設ける。
波数の加速度変化も検知可能にする。 【構成】 加速度を受けることにより歪みを生じる円板
状の歪み検知部材１０と、この歪み検知部材１０の歪み
の最大応力発生部周辺の表裏等に各々４方向に独立して
設けられた４対の電気変換部２１ａ〜２４ｂと、この電
気変換部２１ａ〜２４ｂからの信号のうちこの歪み部材
１０の表面と平行な方向の２方向に沿って各電気変換部
２１ａ〜２４ｂの信号を、その各方向毎に差動増幅する
増幅器２６と、４対の電気変換部２１ａ〜２４ｂからの
信号を加算して増幅する増幅器２８とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、加速度により生
じる歪みを電気的に検知して、その加速度を電気信号に
変換して出力する加速度センサ装置に関する。
じる歪みを電気的に検知して、その加速度を電気信号に
変換して出力する加速度センサ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば圧電型の加速度センサ装置
としては、図６〜図１０に示すものが知られている。こ
の加速度センサは、円板状の圧電セラミックス板１０の
表裏面に互いに対称に、図９に示すような電極１２が設
けられているものである。この圧電セラミックス板１０
は、ガラス基板等の起歪体１４に貼り付け固定され、こ
の起歪体１４の周縁部端は、固定の枠体１６等に固着さ
れている。また起歪体１４の裏面中央部には、重り１８
が同心的に固定されている。
としては、図６〜図１０に示すものが知られている。こ
の加速度センサは、円板状の圧電セラミックス板１０の
表裏面に互いに対称に、図９に示すような電極１２が設
けられているものである。この圧電セラミックス板１０
は、ガラス基板等の起歪体１４に貼り付け固定され、こ
の起歪体１４の周縁部端は、固定の枠体１６等に固着さ
れている。また起歪体１４の裏面中央部には、重り１８
が同心的に固定されている。
【０００３】この加速度センサの検知方法は、水平方向
の加速度に対しては、図７に示すように、圧電セラミッ
クス板１０がＳ字状に歪み、その歪みによる、圧電セラ
ミックス板１０の表面の引張又は圧縮状態により、圧電
セラミックス板表面に電荷が発生し、その電荷を各電極
１２により電位として検知するものである。図７の電位
を検知する電極１２は、図９において、水平方向のＹ軸
方向とすると、左上方から右下の電極までの４枚の電極
１２が、＋−＋−の電位となる。この電位は表裏で逆と
なり、これを、図１０に示すような増幅器２０により増
幅し、Ｙ方向成分の電位を加速度の値として検知する。
Ｘ軸方向の加速度も、同様に検知する。又、ＸＹ軸方向
と垂直方向の加速度に対しては、図８に示すように、圧
電セラミクス１０が、内側と外側で電位が＋−逆にな
り、図９に示すＺ軸方向の加速度検出用の電極が、Ｚ軸
方向の加速度の大きさとその正負を検知し出力する。
の加速度に対しては、図７に示すように、圧電セラミッ
クス板１０がＳ字状に歪み、その歪みによる、圧電セラ
ミックス板１０の表面の引張又は圧縮状態により、圧電
セラミックス板表面に電荷が発生し、その電荷を各電極
１２により電位として検知するものである。図７の電位
を検知する電極１２は、図９において、水平方向のＹ軸
方向とすると、左上方から右下の電極までの４枚の電極
１２が、＋−＋−の電位となる。この電位は表裏で逆と
なり、これを、図１０に示すような増幅器２０により増
幅し、Ｙ方向成分の電位を加速度の値として検知する。
Ｘ軸方向の加速度も、同様に検知する。又、ＸＹ軸方向
と垂直方向の加速度に対しては、図８に示すように、圧
電セラミクス１０が、内側と外側で電位が＋−逆にな
り、図９に示すＺ軸方向の加速度検出用の電極が、Ｚ軸
方向の加速度の大きさとその正負を検知し出力する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の加速度セン
サ装置は、ＸＹＺの３軸方向の加速度を各々独立した電
極で検知し、各電極用の配線を圧電セラミックス板表面
に形成しなければならず、配線が複雑になるとともに、
歪みによる電荷を確保する個々の電極面積も小さくなっ
てしまうものである。しかも、圧電セラミックス板１０
の最大応力発生部から外れた部分にも電極を形成しなけ
ればならず、検出精度及び感度も悪く、これを上げよう
とすると比較的大きな形状となってしまうものであっ
た。さらに、検知する共振周波数を上げようとすると、
圧電セラミックス板の剛性を高めなければならず、剛性
を高めると歪みが小さくなり検出感度が落ちてしまうと
いう相反する問題があった。
サ装置は、ＸＹＺの３軸方向の加速度を各々独立した電
極で検知し、各電極用の配線を圧電セラミックス板表面
に形成しなければならず、配線が複雑になるとともに、
歪みによる電荷を確保する個々の電極面積も小さくなっ
てしまうものである。しかも、圧電セラミックス板１０
の最大応力発生部から外れた部分にも電極を形成しなけ
ればならず、検出精度及び感度も悪く、これを上げよう
とすると比較的大きな形状となってしまうものであっ
た。さらに、検知する共振周波数を上げようとすると、
圧電セラミックス板の剛性を高めなければならず、剛性
を高めると歪みが小さくなり検出感度が落ちてしまうと
いう相反する問題があった。
【０００５】この発明は、上記従来の技術の問題点に鑑
みて成されたもので、形状が単純であり、感度が高く、
高周波数の加速度変化も検知可能であり、小型化も容易
な加速度センサ装置を提供することを目的とする。
みて成されたもので、形状が単純であり、感度が高く、
高周波数の加速度変化も検知可能であり、小型化も容易
な加速度センサ装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、加速度を受
けることにより歪みを生じる円板状の歪み検知部材と、
この歪み検知部材の歪みの最大応力発生部周辺の表裏等
に各々４方向に独立して設けられた４対の電極等の電気
変換部と、この電気変換部からの信号のうちこの歪み部
材の表面と平行な方向の２方向に沿って各電気変換部の
信号を、その各方向毎に差動増幅する増幅器と、上記４
対の電気変換部からの信号を加算して増幅する増幅器と
設けた加速度センサ装置。上記歪み検知部材は、圧電セ
ラミックス板、静電容量の変化を検知する静電容量型力
センサ、又は半導体基板表面に、４方向の拡散抵抗を形
成した半導体力センサである。上記電気変換部は、電極
や、半導体上の拡散抵抗である。
けることにより歪みを生じる円板状の歪み検知部材と、
この歪み検知部材の歪みの最大応力発生部周辺の表裏等
に各々４方向に独立して設けられた４対の電極等の電気
変換部と、この電気変換部からの信号のうちこの歪み部
材の表面と平行な方向の２方向に沿って各電気変換部の
信号を、その各方向毎に差動増幅する増幅器と、上記４
対の電気変換部からの信号を加算して増幅する増幅器と
設けた加速度センサ装置。上記歪み検知部材は、圧電セ
ラミックス板、静電容量の変化を検知する静電容量型力
センサ、又は半導体基板表面に、４方向の拡散抵抗を形
成した半導体力センサである。上記電気変換部は、電極
や、半導体上の拡散抵抗である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図１〜図５に基づいて説明する。この実施形態の加
速度センサ装置は、図１に示すように、歪み検知部材で
ある円状の圧電セラミックス板１０の表裏面に互いに対
称に、図２に示すような４分の１円弧状の電気変換部で
ある電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２１ｂ，２
２ｂ，２３ｂ，２４ｂが設けられているものである。圧
電セラミックス板１０は、ガラス基板等の起歪体１４に
貼り付け固定され、この起歪体１４の周縁部は、固定の
枠体１６等に固着されている。また起歪体１４の裏面中
央部には、重り１８が同心的に固定されている。
いて図１〜図５に基づいて説明する。この実施形態の加
速度センサ装置は、図１に示すように、歪み検知部材で
ある円状の圧電セラミックス板１０の表裏面に互いに対
称に、図２に示すような４分の１円弧状の電気変換部で
ある電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２１ｂ，２
２ｂ，２３ｂ，２４ｂが設けられているものである。圧
電セラミックス板１０は、ガラス基板等の起歪体１４に
貼り付け固定され、この起歪体１４の周縁部は、固定の
枠体１６等に固着されている。また起歪体１４の裏面中
央部には、重り１８が同心的に固定されている。
【０００８】この加速度センサ装置は、水平方向の加速
度に対しては、従来と同様に、図７に示すように、圧電
セラミックス板１０がＳ字状に歪み、その歪みによる、
圧電セラミックス板１０の表面の引張又は圧縮状態によ
り、圧電セラミックス板１０の表面に電荷が発生し、こ
の電荷を各電極により検出する。ここで、この電位があ
らわれる位置は、図３に示すように、重り１８の外側か
ら半径方向にＤの位置までが最も感度が良い位置であ
り、この部分が最大応力を発生している部分である。従
って、各電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２１
ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂを同心状に各々独立させ
て、図２に示すように、中心から半径方向に距離Ｒから
Ｄまでの範囲に各電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４
ａ，２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂを設けたものであ
る。ここで、距離Ｒまでは、重り１８が固定されている
ので、歪みが生じないものである。
度に対しては、従来と同様に、図７に示すように、圧電
セラミックス板１０がＳ字状に歪み、その歪みによる、
圧電セラミックス板１０の表面の引張又は圧縮状態によ
り、圧電セラミックス板１０の表面に電荷が発生し、こ
の電荷を各電極により検出する。ここで、この電位があ
らわれる位置は、図３に示すように、重り１８の外側か
ら半径方向にＤの位置までが最も感度が良い位置であ
り、この部分が最大応力を発生している部分である。従
って、各電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２１
ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂを同心状に各々独立させ
て、図２に示すように、中心から半径方向に距離Ｒから
Ｄまでの範囲に各電極２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４
ａ，２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂを設けたものであ
る。ここで、距離Ｒまでは、重り１８が固定されている
ので、歪みが生じないものである。
【０００９】この加速度センサ装置の検知方法は、水平
方向の加速度に対しては、従来と同様に、図７に示すよ
うに、水平方向に加速度が作用するとそれによる慣性力
Ｆが重り１８に作用し、圧電セラミックス板１０がＳ字
状に歪む。ここでは、図７の状態がＸ軸方向の歪みであ
るとすると、圧電セラミックス板１０の電極２３ａ側に
電荷が生じて−となり、その裏面の電極２３ｂが＋とな
る。また、この圧電セラミックス板１０の１８０°反対
側の電極２１ａ部分は引張側となり、その裏面が圧縮部
分となって電極２１ｂ側に電荷が生じ、電極２１ａが
＋、電極２１ｂが−となる。そして、この電極２１ｂ，
２３ａを差動アンプ２６の反転入力端子に接続し、電極
２１ａ，２３ｂを差動アンプ２６の非反転入力端子に接
続する。これにより、Ｘ軸方向の歪みによる電位がその
加速度に比例して得られ、差動アンプ２６から増幅率Ａ
で出力（Ｘ+−Ｘ-）Ａが得られる。Ｘ軸方向と同じ平面
内で直交するＹ軸方向の加速度も、同様に検出される。
方向の加速度に対しては、従来と同様に、図７に示すよ
うに、水平方向に加速度が作用するとそれによる慣性力
Ｆが重り１８に作用し、圧電セラミックス板１０がＳ字
状に歪む。ここでは、図７の状態がＸ軸方向の歪みであ
るとすると、圧電セラミックス板１０の電極２３ａ側に
電荷が生じて−となり、その裏面の電極２３ｂが＋とな
る。また、この圧電セラミックス板１０の１８０°反対
側の電極２１ａ部分は引張側となり、その裏面が圧縮部
分となって電極２１ｂ側に電荷が生じ、電極２１ａが
＋、電極２１ｂが−となる。そして、この電極２１ｂ，
２３ａを差動アンプ２６の反転入力端子に接続し、電極
２１ａ，２３ｂを差動アンプ２６の非反転入力端子に接
続する。これにより、Ｘ軸方向の歪みによる電位がその
加速度に比例して得られ、差動アンプ２６から増幅率Ａ
で出力（Ｘ+−Ｘ-）Ａが得られる。Ｘ軸方向と同じ平面
内で直交するＹ軸方向の加速度も、同様に検出される。
【００１０】また、ＸＹ軸方向と直角のＺ軸方向の加速
度は、上記と同様に、加速度Ｇにより慣性力Ｆが作用
し、圧電セラミックス板１０が図８に示すように撓む。
これにより、電極２１ｂ，２３ｂ側に電荷が発生し、電
極２１ａ，２３ａが＋側となる。このＺ軸方向の力の検
出は、図５に示す差動アンプ２８により電極２１ａ，２
２ａ，２３ａ，２４ａの和をとって、所定の増幅率で増
幅して出力する。
度は、上記と同様に、加速度Ｇにより慣性力Ｆが作用
し、圧電セラミックス板１０が図８に示すように撓む。
これにより、電極２１ｂ，２３ｂ側に電荷が発生し、電
極２１ａ，２３ａが＋側となる。このＺ軸方向の力の検
出は、図５に示す差動アンプ２８により電極２１ａ，２
２ａ，２３ａ，２４ａの和をとって、所定の増幅率で増
幅して出力する。
【００１１】この実施形態の加速度センサ装置は、電極
２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂが、重り１８の側近か
ら図３に示すように、出力が急減する範囲までの、効率
の良い部分に広く形成され、検知感度が良好であり、し
かも電極数が少なく、配線パターンも少なくて良く、構
造も簡単なものである。さらに、全体の剛性を高めて共
振周波数を高いものにしても、高感度で検出が可能であ
る。また電極数が少ないので、浮遊容量が少なく、信号
漏洩等によるＳ／Ｎ比の悪化も防止することができ、圧
電セラミックスを利用したものの場合、従来の技術の場
合、圧電セラミックス板を２回以上分極処理しなければ
ならず、製造鋼のかかるものであったが、この実施の形
態に示すものの場合、１回の分極処理でセンサ部分とな
る圧電セラミックスを製造することができる。
２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂが、重り１８の側近か
ら図３に示すように、出力が急減する範囲までの、効率
の良い部分に広く形成され、検知感度が良好であり、し
かも電極数が少なく、配線パターンも少なくて良く、構
造も簡単なものである。さらに、全体の剛性を高めて共
振周波数を高いものにしても、高感度で検出が可能であ
る。また電極数が少ないので、浮遊容量が少なく、信号
漏洩等によるＳ／Ｎ比の悪化も防止することができ、圧
電セラミックスを利用したものの場合、従来の技術の場
合、圧電セラミックス板を２回以上分極処理しなければ
ならず、製造鋼のかかるものであったが、この実施の形
態に示すものの場合、１回の分極処理でセンサ部分とな
る圧電セラミックスを製造することができる。
【００１２】尚、この発明の加速度センサ装置の上記歪
み検知部材は、圧電セラミックス板のみならず、半導体
のダイヤフラムにブリッジ状に４方向の拡散抵抗を形成
して、この半導体ダイヤフラムの加速度による歪みを、
加速度の変動として検知することができる。さらに、上
記歪み検知部材は、静電容量の変化を検知する容量セン
サであり、ダイアフラム表面に重りが固定され、上記ダ
イアフラムの裏面に４個の電気変換部である電極が取り
つけられ、この電極と対面する固定の４コの対抗電極が
設けられた加速度センサでも良い。
み検知部材は、圧電セラミックス板のみならず、半導体
のダイヤフラムにブリッジ状に４方向の拡散抵抗を形成
して、この半導体ダイヤフラムの加速度による歪みを、
加速度の変動として検知することができる。さらに、上
記歪み検知部材は、静電容量の変化を検知する容量セン
サであり、ダイアフラム表面に重りが固定され、上記ダ
イアフラムの裏面に４個の電気変換部である電極が取り
つけられ、この電極と対面する固定の４コの対抗電極が
設けられた加速度センサでも良い。
【００１３】
【発明の効果】この発明の加速度センサ装置は、少ない
電極枚数で、高感度に加速度を検出することができ、増
幅回路も簡単なもので良く、周波数の高き加速度も高精
度に検知することができる。
電極枚数で、高感度に加速度を検出することができ、増
幅回路も簡単なもので良く、周波数の高き加速度も高精
度に検知することができる。
【図１】この発明の一実施形態の加速度センサの縦断面
図である。
図である。
【図２】この実施形態の加速度センサの平面図である。
【図３】この実施形態の加速度センサの平面図である。
【図４】この実施形態の加速度センサ装置のＸ、Ｙ軸方
向の増幅回路を示す図である。
向の増幅回路を示す図である。
【図５】この実施形態の加速度センサ装置のＺ軸方向の
増幅回路を示す図である。
増幅回路を示す図である。
【図６】従来の技術の加速度センサの縦断面図である。
【図７】加速度センサのＸＹ軸方向の加速度の検出原理
を示す模式図である。
を示す模式図である。
【図８】加速度センサのＺ軸方向の加速度の検出原理を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図９】従来の技術の加速度センサの平面図である。
【図１０】従来の技術の加速度センサ装置の増幅回路を
示す図である。
示す図である。
１０ 圧電セラミックス板 １２，２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３
ｂ，２４ａ，２４ｂ電極 １８ 重り
ｂ，２４ａ，２４ｂ電極 １８ 重り
Claims (5)
- 【請求項１】 加速度を受けることにより歪みを生じる
円板状の歪み検知部材と、この歪み検知部材の歪みの最
大応力発生部周辺に各々４方向に独立して設けられた電
気変換部と、この電気変換部からの信号のうちこの歪み
検知部材の表面と平行な方向の２方向の各電気変換部の
信号を、その各方向毎に差動増幅する第一、第二の増幅
器を設けた加速度センサ装置。 - 【請求項２】 加速度を受けることにより歪みを生じる
円板状の歪み検知部材と、この歪み検知部材の歪みの最
大応力発生部周辺に各々４方向に独立して設けられた電
気変換部と、この電気変換部からの信号のうちこの歪み
検知部材の表面と平行な方向の２方向の各電気変換部の
信号を、その各方向毎に差動増幅する第一、第二の増幅
器と、上記電気変換部からの信号を加算して増幅し上記
２方向と直交する方向の加速度の信号を得る第三の増幅
器とを設けた加速度センサ装置。 - 【請求項３】 上記歪み検知部材は、圧電セラミックス
板であり、この圧電セラミックス板の表裏に上記電気変
換部である電極が４対形成され、この電極形成部分の直
内側に、この圧電セラミックス板と一体の起歪体をはさ
んで重りが設けられた請求項１又は２記載の加速度セン
サ装置。 - 【請求項４】 上記歪み検知部材は、静電容量の変化を
検知する容量センサであり、ダイアフラム表面に重りが
固定され、上記ダイアフラムの裏面に４個の電気変換部
である電極が取りつけられ、この電極と対面する固定の
４コの対抗電極が設けられた請求項１又は２記載の加速
度センサ装置。 - 【請求項５】 上記歪み検知部材は、半導体基板表面に
ブリッジ状に４方向の拡散抵抗を形成したものである請
求項１又は２記載の加速度センサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7227535A JPH0954112A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 加速度センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7227535A JPH0954112A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 加速度センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0954112A true JPH0954112A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16862431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7227535A Pending JPH0954112A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 加速度センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0954112A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027736A1 (ja) * | 2011-08-24 | 2013-02-28 | 日本電気株式会社 | 圧電振動センサ |
| JP2016090382A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | ヤマハ発動機株式会社 | 衝撃センサおよび部品実装装置 |
| CN114624468A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-06-14 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种防水型六维振动传感器及其测量方法 |
-
1995
- 1995-08-11 JP JP7227535A patent/JPH0954112A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013027736A1 (ja) * | 2011-08-24 | 2013-02-28 | 日本電気株式会社 | 圧電振動センサ |
| JP2016090382A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | ヤマハ発動機株式会社 | 衝撃センサおよび部品実装装置 |
| CN114624468A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-06-14 | 山东利恩斯智能科技有限公司 | 一种防水型六维振动传感器及其测量方法 |
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