JPH11218544A - ３軸加速度センサ - Google Patents
３軸加速度センサInfo
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- JPH11218544A JPH11218544A JP10022215A JP2221598A JPH11218544A JP H11218544 A JPH11218544 A JP H11218544A JP 10022215 A JP10022215 A JP 10022215A JP 2221598 A JP2221598 A JP 2221598A JP H11218544 A JPH11218544 A JP H11218544A
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- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
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- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
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- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化且つ安価でしかも検出精度の良い３軸
加速度センサを提供することを課題とする。 【解決手段】 重錘体１１は、ダイヤフラム１３に接合
され、Ｚ軸方向に沿って第１の段部１１ａ及び第２の段
部１１ｃを有し、印加される加速度により可動する可動
電極であり、電極筒１７は、重錘体の周囲に所定の距離
を隔てて配置され、第１の段部に対向する部分に形成さ
れたＸＹ軸加速度検出用電極１９、及び第２の段部に対
向する部分に形成されたＺ軸加速度検出用電極２１を有
し、加速度による第１の段部及びＸＹ軸加速度検出用電
極間の容量変化に基づきＸ軸及びＹ軸方向の加速度を検
出し、加速度による第２の段部及びＺ軸加速度検出用電
極間の容量変化に基づきＺ軸方向の加速度を検出したこ
とを特徴とする。
加速度センサを提供することを課題とする。 【解決手段】 重錘体１１は、ダイヤフラム１３に接合
され、Ｚ軸方向に沿って第１の段部１１ａ及び第２の段
部１１ｃを有し、印加される加速度により可動する可動
電極であり、電極筒１７は、重錘体の周囲に所定の距離
を隔てて配置され、第１の段部に対向する部分に形成さ
れたＸＹ軸加速度検出用電極１９、及び第２の段部に対
向する部分に形成されたＺ軸加速度検出用電極２１を有
し、加速度による第１の段部及びＸＹ軸加速度検出用電
極間の容量変化に基づきＸ軸及びＹ軸方向の加速度を検
出し、加速度による第２の段部及びＺ軸加速度検出用電
極間の容量変化に基づきＺ軸方向の加速度を検出したこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、３軸加速度センサ
に関し、特に３軸方向の加速度を検出する３軸加速度セ
ンサに関する。
に関し、特に３軸方向の加速度を検出する３軸加速度セ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】３軸加速度センサは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向、及びＺ軸方向のそれぞれの方向の加速度を検出する
もので、例えば、特開平６−１３００８３号公報に記載
されており、図１１に従来のこの種の３軸加速度センサ
を示す。
向、及びＺ軸方向のそれぞれの方向の加速度を検出する
もので、例えば、特開平６−１３００８３号公報に記載
されており、図１１に従来のこの種の３軸加速度センサ
を示す。
【０００３】３軸加速度センサは、図１１に示すように
Ｘ軸方向の加速度を検出する第１の加速度セン１０１
ａ、Ｙ軸方向の加速度を検出する第２の加速度センサ１
０１ｂ、Ｚ軸方向の加速度を検出する第３の加速度セン
サ１０１ｃを有して構成されている。図１２に従来の１
軸加速度センサの構成図を示し、図１３に従来の１軸加
速度センサのＡ−Ａ′断面図を示す。
Ｘ軸方向の加速度を検出する第１の加速度セン１０１
ａ、Ｙ軸方向の加速度を検出する第２の加速度センサ１
０１ｂ、Ｚ軸方向の加速度を検出する第３の加速度セン
サ１０１ｃを有して構成されている。図１２に従来の１
軸加速度センサの構成図を示し、図１３に従来の１軸加
速度センサのＡ−Ａ′断面図を示す。
【０００４】各方向の加速度センサは、シリコン基板１
０３に重り部１０５と、重り部１０５を支える薄片化し
た片持ちはり部１０７を形成し、片持ちはり部１０７上
にはリンまたはボロンなどを拡散したピエゾ抵抗１０９
を形成している。
０３に重り部１０５と、重り部１０５を支える薄片化し
た片持ちはり部１０７を形成し、片持ちはり部１０７上
にはリンまたはボロンなどを拡散したピエゾ抵抗１０９
を形成している。
【０００５】シリコン基板１０３と垂直方向（検知方
向）に加速度を受けると、重り部１０５の移動により片
持ちはり部１０７が歪み変形し、この歪み変形により発
生する応力からピエゾ抵抗１０９の抵抗値が変化し、こ
の抵抗変化を電気信号として検出する。
向）に加速度を受けると、重り部１０５の移動により片
持ちはり部１０７が歪み変形し、この歪み変形により発
生する応力からピエゾ抵抗１０９の抵抗値が変化し、こ
の抵抗変化を電気信号として検出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
３軸加速度センサにあっては、図１１に示すように１軸
加速度センサを３個立体的に組み合わせているため、セ
ンサの形状が大きく、その構造が複雑であり、コスト高
であった。
３軸加速度センサにあっては、図１１に示すように１軸
加速度センサを３個立体的に組み合わせているため、セ
ンサの形状が大きく、その構造が複雑であり、コスト高
であった。
【０００７】また、ピエゾ抵抗１０９の抵抗値が温度の
変化によって変動するため、加速度の検出精度が悪かっ
た。このため、検出精度を向上させるべく、ピエゾ抵抗
１０９の抵抗値の温度特性を補償する回路を設けなけれ
ばならず、コスト高になっていた。
変化によって変動するため、加速度の検出精度が悪かっ
た。このため、検出精度を向上させるべく、ピエゾ抵抗
１０９の抵抗値の温度特性を補償する回路を設けなけれ
ばならず、コスト高になっていた。
【０００８】本発明は、小型化且つ安価でしかも検出精
度の良い３軸加速度センサを提供することを課題とす
る。
度の良い３軸加速度センサを提供することを課題とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために以下の構成とした。請求項１の発明は、Ｘ
軸、Ｙ軸及びＺ軸方向の３軸方向の加速度を検出する３
軸加速度センサであって、振動板に接合され、前記Ｚ軸
方向に沿って第１の段部及び第２の段部を有し、印加さ
れる加速度により可動する重錘体からなる可動電極体
と、この可動電極体の周囲に所定の距離を隔てて配置さ
れ、前記第１の段部に対向する部分に形成されたＸＹ軸
加速度検出用電極、及び前記第２の段部に対向する部分
に形成されたＺ軸加速度検出用電極を有する固定電極体
と、前記加速度による前記第１の段部及び前記ＸＹ軸加
速度検出用電極間の容量変化に基づきＸ軸及びＹ軸方向
の加速度を検出し、前記加速度による前記第２の段部及
び前記Ｚ軸加速度検出用電極間の容量変化に基づきＺ軸
方向の加速度を検出する加速度検出手段とを備えること
を特徴とする。
するために以下の構成とした。請求項１の発明は、Ｘ
軸、Ｙ軸及びＺ軸方向の３軸方向の加速度を検出する３
軸加速度センサであって、振動板に接合され、前記Ｚ軸
方向に沿って第１の段部及び第２の段部を有し、印加さ
れる加速度により可動する重錘体からなる可動電極体
と、この可動電極体の周囲に所定の距離を隔てて配置さ
れ、前記第１の段部に対向する部分に形成されたＸＹ軸
加速度検出用電極、及び前記第２の段部に対向する部分
に形成されたＺ軸加速度検出用電極を有する固定電極体
と、前記加速度による前記第１の段部及び前記ＸＹ軸加
速度検出用電極間の容量変化に基づきＸ軸及びＹ軸方向
の加速度を検出し、前記加速度による前記第２の段部及
び前記Ｚ軸加速度検出用電極間の容量変化に基づきＺ軸
方向の加速度を検出する加速度検出手段とを備えること
を特徴とする。
【００１０】この発明によれば、加速度が例えば、Ｘ軸
方向に印加されると、可動電極体が可動するので、第１
の段部とＸＹ軸加速度検出用電極との容量が変化し、こ
の容量変化に基づきＸ軸方向の加速度が検出できる。ま
た、加速度が例えば、Ｚ軸方向に印加されると、可動電
極体が可動するので、第２の段部とＺ軸加速度検出用電
極との容量が変化し、この容量変化に基づきＺ軸方向の
加速度が検出できる。すなわち、容量変化により３軸方
向の加速度を検出でき、構造が簡単で且つ部品数が少な
くてすみ、温度特性も良好であるから、小型化且つ安価
でしかも検出精度の良い３軸加速度センサを提供でき
る。
方向に印加されると、可動電極体が可動するので、第１
の段部とＸＹ軸加速度検出用電極との容量が変化し、こ
の容量変化に基づきＸ軸方向の加速度が検出できる。ま
た、加速度が例えば、Ｚ軸方向に印加されると、可動電
極体が可動するので、第２の段部とＺ軸加速度検出用電
極との容量が変化し、この容量変化に基づきＺ軸方向の
加速度が検出できる。すなわち、容量変化により３軸方
向の加速度を検出でき、構造が簡単で且つ部品数が少な
くてすみ、温度特性も良好であるから、小型化且つ安価
でしかも検出精度の良い３軸加速度センサを提供でき
る。
【００１１】請求項２の発明のように、前記ＸＹ軸加速
度検出用電極は、前記可動電極体を挟んで前記Ｘ軸方向
に沿って対向配置された２つのＸ軸加速度検出用電極
と、前記可動電極体を挟んで前記Ｙ軸方向に沿って対向
配置された２つのＹ軸加速度検出用電極とを有すること
を特徴とする。
度検出用電極は、前記可動電極体を挟んで前記Ｘ軸方向
に沿って対向配置された２つのＸ軸加速度検出用電極
と、前記可動電極体を挟んで前記Ｙ軸方向に沿って対向
配置された２つのＹ軸加速度検出用電極とを有すること
を特徴とする。
【００１２】この発明によれば、可動電極体を挟んでＸ
軸方向に沿って対向配置された２つのＸ軸加速度検出用
電極を用いてＸ軸方向の加速度を検出でき、可動電極体
を挟んでＹ軸方向に沿って対向配置された２つのＹ軸加
速度検出用電極を用いてＹ軸方向の加速度を検出でき
る。
軸方向に沿って対向配置された２つのＸ軸加速度検出用
電極を用いてＸ軸方向の加速度を検出でき、可動電極体
を挟んでＹ軸方向に沿って対向配置された２つのＹ軸加
速度検出用電極を用いてＹ軸方向の加速度を検出でき
る。
【００１３】請求項３の発明のように、前記ＸＹ軸加速
度検出用電極は、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とで形成される水
平方向においてリング状の電極パターンからなることを
特徴とする。
度検出用電極は、前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とで形成される水
平方向においてリング状の電極パターンからなることを
特徴とする。
【００１４】この発明によれば、ＸＹ軸加速度検出用電
極が、水平方向においてリング状の電極パターンからな
ることで水平方向の加速度として検出できる。
極が、水平方向においてリング状の電極パターンからな
ることで水平方向の加速度として検出できる。
【００１５】請求項４の発明のように、前記加速度検出
手段は、前記加速度による前記第１の段部及び前記２つ
のＸ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸方向の加速
度に応じた電圧に変換するＸ軸容量電圧変換手段と、前
記加速度による前記第１の段部及び前記２つのＹ軸加速
度検出用電極間の容量変化をＹ軸方向の加速度に応じた
電圧に変換するＹ軸容量電圧変換手段と、前記加速度に
よる前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速度検出用電極間の
容量変化をＺ軸方向の加速度に応じた電圧に変換するＺ
軸容量電圧変換手段とを有することを特徴とする。
手段は、前記加速度による前記第１の段部及び前記２つ
のＸ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸方向の加速
度に応じた電圧に変換するＸ軸容量電圧変換手段と、前
記加速度による前記第１の段部及び前記２つのＹ軸加速
度検出用電極間の容量変化をＹ軸方向の加速度に応じた
電圧に変換するＹ軸容量電圧変換手段と、前記加速度に
よる前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速度検出用電極間の
容量変化をＺ軸方向の加速度に応じた電圧に変換するＺ
軸容量電圧変換手段とを有することを特徴とする。
【００１６】この発明によれば、加速度による第１の段
部及び２つのＸ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸
方向の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による第１
の段部及び２つのＹ軸加速度検出用電極間の容量変化を
Ｙ軸方向の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による
第２の段部及びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化をＺ
軸方向の加速度に応じた電圧に変換することで、各軸方
向の加速度を各軸方向の電圧値として検出することがで
きる。
部及び２つのＸ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸
方向の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による第１
の段部及び２つのＹ軸加速度検出用電極間の容量変化を
Ｙ軸方向の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による
第２の段部及びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化をＺ
軸方向の加速度に応じた電圧に変換することで、各軸方
向の加速度を各軸方向の電圧値として検出することがで
きる。
【００１７】請求項５の発明のように、前記加速度検出
手段は、前記加速度による前記第１の段部及び前記ＸＹ
軸加速度検出用電極間の容量変化を前記水平方向の加速
度に応じた電圧に変換する水平方向容量電圧変換手段
と、前記加速度による前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速
度検出用電極間の容量変化を垂直方向であるＺ軸方向の
加速度に応じた電圧に変換する垂直方向容量電圧変換手
段とを有することを特徴とする。
手段は、前記加速度による前記第１の段部及び前記ＸＹ
軸加速度検出用電極間の容量変化を前記水平方向の加速
度に応じた電圧に変換する水平方向容量電圧変換手段
と、前記加速度による前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速
度検出用電極間の容量変化を垂直方向であるＺ軸方向の
加速度に応じた電圧に変換する垂直方向容量電圧変換手
段とを有することを特徴とする。
【００１８】この発明によれば、加速度による第１の段
部及びＸＹ軸加速度検出用電極間の容量変化を水平方向
の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による第２の段
部及びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化を垂直方向で
あるＺ軸方向の加速度に応じた電圧に変換することで、
水平方向及び垂直方向の加速度を各方向の電圧値として
検出することができる。
部及びＸＹ軸加速度検出用電極間の容量変化を水平方向
の加速度に応じた電圧に変換し、加速度による第２の段
部及びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化を垂直方向で
あるＺ軸方向の加速度に応じた電圧に変換することで、
水平方向及び垂直方向の加速度を各方向の電圧値として
検出することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の３軸加速度センサ
の実施の形態を図面を参照して説明する。
の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２０】＜第１の実施の形態＞図１に本発明の３軸
加速度センサの第１の実施の形態の構成図を示し、図２
に３軸加速度センサのＢ−Ｂ′断面図を示し、図３に３
軸加速度センサのＣ−Ｃ′断面図を示す。なお、ここで
は、加速度方向の３軸方向については、左右方向がＸ軸
方向であり、紙面に対して垂直方向がＹ軸方向であり、
上下方向がＺ軸方向と定義する。
加速度センサの第１の実施の形態の構成図を示し、図２
に３軸加速度センサのＢ−Ｂ′断面図を示し、図３に３
軸加速度センサのＣ−Ｃ′断面図を示す。なお、ここで
は、加速度方向の３軸方向については、左右方向がＸ軸
方向であり、紙面に対して垂直方向がＹ軸方向であり、
上下方向がＺ軸方向と定義する。
【００２１】図１において、３軸加速度センサには加速
度を慣性力に変換する重錘体１１が中央部に配置され、
この重錘体１１がベース１５上のダイヤフラム（振動
板）１３に接合されている。この重錘体１１は、加速度
により可動するので、可動電極を構成する。
度を慣性力に変換する重錘体１１が中央部に配置され、
この重錘体１１がベース１５上のダイヤフラム（振動
板）１３に接合されている。この重錘体１１は、加速度
により可動するので、可動電極を構成する。
【００２２】重錘体１１は、円筒状をなしており、Ｘ軸
方向及びＹ軸方向に大径でＺ軸方向に厚みの大きい段部
１１ａ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に小径でＺ軸方向に厚み
の小さい段部１１ｂ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に大径でＺ
軸方向に厚みの小さい段部１１ｃ、段部１１ｂとほぼ同
一構成の段部１１ｄを有している。
方向及びＹ軸方向に大径でＺ軸方向に厚みの大きい段部
１１ａ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に小径でＺ軸方向に厚み
の小さい段部１１ｂ、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に大径でＺ
軸方向に厚みの小さい段部１１ｃ、段部１１ｂとほぼ同
一構成の段部１１ｄを有している。
【００２３】また、重錘体１１の外側には、所定の間隔
を持って、重錘体１１と同心円上に円筒形状の電極筒１
７が配置されており、この電極筒１７の内の、段部１１
ａの両側面に対向する部分にはＸＹ軸加速度検出用電極
１９が形成されている。また、電極筒１７の内の、段部
１１ｄの両側面に対向する部分にはＺ軸加速度検出用電
極２１が形成されている。
を持って、重錘体１１と同心円上に円筒形状の電極筒１
７が配置されており、この電極筒１７の内の、段部１１
ａの両側面に対向する部分にはＸＹ軸加速度検出用電極
１９が形成されている。また、電極筒１７の内の、段部
１１ｄの両側面に対向する部分にはＺ軸加速度検出用電
極２１が形成されている。
【００２４】ＸＹ軸加速度検出用電極１９、及びＺ軸加
速度検出用電極２１は、図示しないパターン等で電極筒
１７の上部に配置された回路基板２３に接続されてい
る。また、重錘体１１も図示しないパターン等で回路基
板２３に接続されている。
速度検出用電極２１は、図示しないパターン等で電極筒
１７の上部に配置された回路基板２３に接続されてい
る。また、重錘体１１も図示しないパターン等で回路基
板２３に接続されている。
【００２５】ＸＹ軸加速度検出用電極１９は、図２に示
すように、重錘体１１を挟んでＸ軸方向に沿って対向配
置されたＸ軸加速度検出用電極１９ａ（面積Ｓ１），１
９ｂ（面積Ｓ２）と、重錘体１１を挟んでＹ軸方向に沿
って対向配置されたＹ軸加速度検出用電極１９ｃ（面積
Ｓ３），１９ｄ（面積Ｓ４）とからなる。
すように、重錘体１１を挟んでＸ軸方向に沿って対向配
置されたＸ軸加速度検出用電極１９ａ（面積Ｓ１），１
９ｂ（面積Ｓ２）と、重錘体１１を挟んでＹ軸方向に沿
って対向配置されたＹ軸加速度検出用電極１９ｃ（面積
Ｓ３），１９ｄ（面積Ｓ４）とからなる。
【００２６】Ｘ軸加速度検出用電極１９ａ，１９ｂ、Ｙ
軸加速度検出用電極１９ｃ，１９ｄのそれぞれは、円弧
状の電極パターンからなり、隣接する電極間には電極間
を分離すべく隙間２５が設けられている。
軸加速度検出用電極１９ｃ，１９ｄのそれぞれは、円弧
状の電極パターンからなり、隣接する電極間には電極間
を分離すべく隙間２５が設けられている。
【００２７】Ｚ軸加速度検出用電極２１は、図３に示す
ように、リング状の電極パターンからなる。Ｘ軸加速度
検出用電極１９ａ，１９ｂ、Ｙ軸加速度検出用電極１９
ｃ，１９ｄ、及びＺ軸加速度検出用電極２１は、固定電
極を構成する。
ように、リング状の電極パターンからなる。Ｘ軸加速度
検出用電極１９ａ，１９ｂ、Ｙ軸加速度検出用電極１９
ｃ，１９ｄ、及びＺ軸加速度検出用電極２１は、固定電
極を構成する。
【００２８】可動電極である重錘体１１と、各軸加速度
検出用電極１９ａ〜１９ｄ，２１との間で複数の可変容
量素子を構成し、この可変容量素子の変化に基づき３軸
方向の加速度成分を検出するようになっている。
検出用電極１９ａ〜１９ｄ，２１との間で複数の可変容
量素子を構成し、この可変容量素子の変化に基づき３軸
方向の加速度成分を検出するようになっている。
【００２９】可変容量素子Ｃ１は、重錘体１１とＸ軸加
速度検出用電極１９ａ（Ｓ１）とで構成され、可変容量
素子Ｃ２は、重錘体１１とＸ軸加速度検出用電極１９ｂ
（Ｓ２）とで構成される。可変容量素子Ｃ３は、重錘体
１１とＹ軸加速度検出用電極１９ｃ（Ｓ３）とで構成さ
れ、可変容量素子Ｃ４は、重錘体１１とＸ軸加速度検出
用電極１９ｄ（Ｓ４）とで構成される。可変容量素子Ｃ
５は、重錘体１１とＺ軸加速度検出用電極２１（Ｓ５）
とで構成される。なお、重錘体１１は回路基板２３の大
地（ＧＮＤ）に接続される。
速度検出用電極１９ａ（Ｓ１）とで構成され、可変容量
素子Ｃ２は、重錘体１１とＸ軸加速度検出用電極１９ｂ
（Ｓ２）とで構成される。可変容量素子Ｃ３は、重錘体
１１とＹ軸加速度検出用電極１９ｃ（Ｓ３）とで構成さ
れ、可変容量素子Ｃ４は、重錘体１１とＸ軸加速度検出
用電極１９ｄ（Ｓ４）とで構成される。可変容量素子Ｃ
５は、重錘体１１とＺ軸加速度検出用電極２１（Ｓ５）
とで構成される。なお、重錘体１１は回路基板２３の大
地（ＧＮＤ）に接続される。
【００３０】次に、このように構成された第１の実施の
形態の３軸加速度センサの動作を説明する。
形態の３軸加速度センサの動作を説明する。
【００３１】（１）Ｘ，Ｙ軸方向（水平方向）加速度の
検出 まず、Ｘ，Ｙ軸方向（水平方向）加速度の検出の動作を
説明する。図４にＸ，Ｙ軸方向の加速度の検出の説明図
を示す。図４において、Ｘ軸方向の加速度ａxが加わる
と、重錘体１１は慣性力により左方向に移動する。この
ため、Ｘ軸加速度検出用電極１９ａと重錘体１１との距
離２７（可変容量素子Ｃ１の電極間距離）は大きくな
り、可変容量素子Ｃ１の静電容量は減少する。
検出 まず、Ｘ，Ｙ軸方向（水平方向）加速度の検出の動作を
説明する。図４にＸ，Ｙ軸方向の加速度の検出の説明図
を示す。図４において、Ｘ軸方向の加速度ａxが加わる
と、重錘体１１は慣性力により左方向に移動する。この
ため、Ｘ軸加速度検出用電極１９ａと重錘体１１との距
離２７（可変容量素子Ｃ１の電極間距離）は大きくな
り、可変容量素子Ｃ１の静電容量は減少する。
【００３２】一方、Ｘ軸加速度検出用電極１９ｂと重錘
体１１との距離２９（可変容量素子Ｃ２の電極間距離）
は小さくなり、可変容量素子Ｃ２の静電容量は増大す
る。なお、この場合、Ｙ軸方向には加速度が加わってい
ないので、可変容量素子Ｃ３，Ｃ４は、変動しない。
体１１との距離２９（可変容量素子Ｃ２の電極間距離）
は小さくなり、可変容量素子Ｃ２の静電容量は増大す
る。なお、この場合、Ｙ軸方向には加速度が加わってい
ないので、可変容量素子Ｃ３，Ｃ４は、変動しない。
【００３３】一方、Ｚ軸加速度検出用電極２１と重錘体
１１とにより構成される可変容量素子Ｃ５は、重錘体１
１の水平方向移動の支点Ｏに近い部分に形成されてい
る。このため、可変容量素子Ｃ５においては、Ｘ、Ｙ軸
用の可変容量素子Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に比較して、
重錘体１１の水平方向移動による電極間距離（静電容
量）の変動が非常に小さい。従って、可変容量素子Ｃ５
の変動を“０”とみなすことができるから、Ｘ軸用の可
変容量素子Ｃ１，Ｃ２の変動のみ発生するとみなすこと
ができる。
１１とにより構成される可変容量素子Ｃ５は、重錘体１
１の水平方向移動の支点Ｏに近い部分に形成されてい
る。このため、可変容量素子Ｃ５においては、Ｘ、Ｙ軸
用の可変容量素子Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に比較して、
重錘体１１の水平方向移動による電極間距離（静電容
量）の変動が非常に小さい。従って、可変容量素子Ｃ５
の変動を“０”とみなすことができるから、Ｘ軸用の可
変容量素子Ｃ１，Ｃ２の変動のみ発生するとみなすこと
ができる。
【００３４】（２）Ｚ軸方向（垂直方向）加速度の検出 次に、Ｚ軸方向（垂直方向）加速度の検出の動作を説明
する。図５にＺ軸方向の加速度の検出の説明図を示す。
図５において、Ｚ軸方向の加速度ａzが加わると、重錘
体１１は慣性力により上方向に移動する。すると、Ｚ軸
加速度検出用電極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの対
向する面積が変動し、可変容量素子Ｃ５も変動する。可
変容量素子Ｃ５の値は、加速度とその極性により変化す
る。
する。図５にＺ軸方向の加速度の検出の説明図を示す。
図５において、Ｚ軸方向の加速度ａzが加わると、重錘
体１１は慣性力により上方向に移動する。すると、Ｚ軸
加速度検出用電極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの対
向する面積が変動し、可変容量素子Ｃ５も変動する。可
変容量素子Ｃ５の値は、加速度とその極性により変化す
る。
【００３５】図５のＤ部分におけるＺ軸加速度検出用電
極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置関係を図６に
示す。図６（ａ）は、無負荷時のＺ軸加速度検出用電極
２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置関係を示し、図
６（ｂ）は、Ｚ軸方向の加速度が加わったときのＺ軸加
速度検出用電極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置
関係を示す。
極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置関係を図６に
示す。図６（ａ）は、無負荷時のＺ軸加速度検出用電極
２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置関係を示し、図
６（ｂ）は、Ｚ軸方向の加速度が加わったときのＺ軸加
速度検出用電極２１と重錘体１１の段部１１ｃとの位置
関係を示す。
【００３６】図６（ａ）の無負荷時では、Ｚ軸加速度検
出用電極２１の上面Ｐと重錘体１１の段部１１ｃの下面
Ｑとの距離はｄ0であり、図６（ｂ）の加速度検出時で
は、Ｚ軸加速度検出用電極２１の上面Ｐと重錘体１１の
段部１１ｃの下面Ｑとの距離はｄ′である。
出用電極２１の上面Ｐと重錘体１１の段部１１ｃの下面
Ｑとの距離はｄ0であり、図６（ｂ）の加速度検出時で
は、Ｚ軸加速度検出用電極２１の上面Ｐと重錘体１１の
段部１１ｃの下面Ｑとの距離はｄ′である。
【００３７】ここで、ｄ0はｄ′よりも大きいから、Ｃ0
はＣ′よりも大きいことになる。このため、可変容量素
子Ｃ５の変動は、減少する。
はＣ′よりも大きいことになる。このため、可変容量素
子Ｃ５の変動は、減少する。
【００３８】この場合、Ｘ，Ｙ軸加速度検出用の可変容
量素子Ｃ１，Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４については、電極間距
離、面積が変わらず、重錘体１１が上へ平行移動するだ
けであるので、変動しない。
量素子Ｃ１，Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４については、電極間距
離、面積が変わらず、重錘体１１が上へ平行移動するだ
けであるので、変動しない。
【００３９】（１）及び（２）で説明したように、Ｘ軸
方向の加速度では、可変容量素子Ｃ１，Ｃ２が変動し、
Ｙ軸方向の加速度では、可変容量素子Ｃ３，Ｃ４が変動
し、Ｚ軸方向の加速度では、可変容量素子Ｃ５が変動す
る。図７に３軸方向の各方向毎の各可変容量素子の変動
分を示す。図７において、＊印は主軸の出力に対して微
少であるため、０と見なしている。
方向の加速度では、可変容量素子Ｃ１，Ｃ２が変動し、
Ｙ軸方向の加速度では、可変容量素子Ｃ３，Ｃ４が変動
し、Ｚ軸方向の加速度では、可変容量素子Ｃ５が変動す
る。図７に３軸方向の各方向毎の各可変容量素子の変動
分を示す。図７において、＊印は主軸の出力に対して微
少であるため、０と見なしている。
【００４０】次に、可変容量素子の変動分に基づき各軸
方向の加速度成分に応じた電圧値を検出する加速度検出
回路について説明する。図８に第１の実施の形態の加速
度検出回路の構成ブロック図を示す。
方向の加速度成分に応じた電圧値を検出する加速度検出
回路について説明する。図８に第１の実施の形態の加速
度検出回路の構成ブロック図を示す。
【００４１】図８において、可変容量電圧変換回路（Ｃ
Ｖ変換回路）３１ａは、可変容量素子Ｃ１の容量値をそ
の容量値に応じた電圧値Ｖ１に変換し、その電圧値Ｖ１
をオペアンプ３３ａの非反転入力端子に出力する。ＣＶ
変換回路３１ｂは、可変容量素子Ｃ２の容量値をその容
量値に応じた電圧値Ｖ２に変換し、その電圧値Ｖ２をオ
ペアンプ３３ａの反転入力端子に出力する。オペアンプ
３３ａは、ＣＶ変換回路３１ａからの電圧値Ｖ１とＣＶ
変換回路３１ｂからの電圧値Ｖ２との差電圧を増幅して
電圧値Ｖｘを出力する。
Ｖ変換回路）３１ａは、可変容量素子Ｃ１の容量値をそ
の容量値に応じた電圧値Ｖ１に変換し、その電圧値Ｖ１
をオペアンプ３３ａの非反転入力端子に出力する。ＣＶ
変換回路３１ｂは、可変容量素子Ｃ２の容量値をその容
量値に応じた電圧値Ｖ２に変換し、その電圧値Ｖ２をオ
ペアンプ３３ａの反転入力端子に出力する。オペアンプ
３３ａは、ＣＶ変換回路３１ａからの電圧値Ｖ１とＣＶ
変換回路３１ｂからの電圧値Ｖ２との差電圧を増幅して
電圧値Ｖｘを出力する。
【００４２】ＣＶ変換回路３１ｃは、可変容量素子Ｃ３
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ３に変換し、そ
の電圧値Ｖ３をオペアンプ３３ｂの非反転入力端子に出
力する。ＣＶ変換回路３１ｄは、可変容量素子Ｃ４の容
量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ４に変換し、その電
圧値Ｖ４をオペアンプ３３ｂの反転入力端子に出力す
る。オペアンプ３３ｂは、ＣＶ変換回路３１ｃからの電
圧値Ｖ３とＣＶ変換回路３１ｄからの電圧値Ｖ４との差
電圧を増幅して電圧値Ｖｙを出力する。
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ３に変換し、そ
の電圧値Ｖ３をオペアンプ３３ｂの非反転入力端子に出
力する。ＣＶ変換回路３１ｄは、可変容量素子Ｃ４の容
量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ４に変換し、その電
圧値Ｖ４をオペアンプ３３ｂの反転入力端子に出力す
る。オペアンプ３３ｂは、ＣＶ変換回路３１ｃからの電
圧値Ｖ３とＣＶ変換回路３１ｄからの電圧値Ｖ４との差
電圧を増幅して電圧値Ｖｙを出力する。
【００４３】ＣＶ変換回路３１ｅは、可変容量素子Ｃ５
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ５に変換し、そ
の電圧値Ｖ５を電圧値Ｖｚとして出力する。このように
検出された電圧値Ｖｘ，Ｖｙ，Ｖｚにより各軸方向の加
速度成分が検出されることになる。
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ５に変換し、そ
の電圧値Ｖ５を電圧値Ｖｚとして出力する。このように
検出された電圧値Ｖｘ，Ｖｙ，Ｖｚにより各軸方向の加
速度成分が検出されることになる。
【００４４】このように、第１の実施の形態の３軸加速
度センサによれば、３軸方向の加速度を検出することが
できるとともに、重錘体１１と各軸加速度用検出電極１
９ａ〜１９ｄ，２１から構成されるため、簡単な構成で
あり、しかも構成部品数が少なくて済むため、小型化且
つ安価で量産性の高い３軸加速度センサを提供すること
ができる。
度センサによれば、３軸方向の加速度を検出することが
できるとともに、重錘体１１と各軸加速度用検出電極１
９ａ〜１９ｄ，２１から構成されるため、簡単な構成で
あり、しかも構成部品数が少なくて済むため、小型化且
つ安価で量産性の高い３軸加速度センサを提供すること
ができる。
【００４５】また、重錘体１１と各軸加速度用検出電極
１９ａ〜１９ｄ，２１とによる可変容量素子を用いるた
め、温度に対する静電容量の変動、すなわち、温度特性
が良くなり、加速度の検出精度が向上し、信頼性の高い
加速度センサを提供することができる。
１９ａ〜１９ｄ，２１とによる可変容量素子を用いるた
め、温度に対する静電容量の変動、すなわち、温度特性
が良くなり、加速度の検出精度が向上し、信頼性の高い
加速度センサを提供することができる。
【００４６】さらに、重錘体１１と各軸加速度用検出電
極１９ａ〜１９ｄ，２１との構造により、水平方向
（Ｘ，Ｙ軸方向）、垂直方向（Ｚ軸方向）のそれぞれに
ついて、他軸の感度を影響がない程度に低く押さえてい
るので、各軸の加速度の検出精度を向上することができ
る。
極１９ａ〜１９ｄ，２１との構造により、水平方向
（Ｘ，Ｙ軸方向）、垂直方向（Ｚ軸方向）のそれぞれに
ついて、他軸の感度を影響がない程度に低く押さえてい
るので、各軸の加速度の検出精度を向上することができ
る。
【００４７】＜第２の実施の形態＞図９に本発明の３軸
加速度センサの第２の実施の形態の主要部の構成図を示
す。図９に示す第２の実施の形態の３軸加速度センサで
は、Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電極１９ｅ（Ｓｈ）がリング
状の電極パターンからなることを特徴とする。Ｚ軸加速
度検出電極、及び重錘体１１の構成は、第１の実施の形
態の３軸加速度センサのそれらと同一構成である。
加速度センサの第２の実施の形態の主要部の構成図を示
す。図９に示す第２の実施の形態の３軸加速度センサで
は、Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電極１９ｅ（Ｓｈ）がリング
状の電極パターンからなることを特徴とする。Ｚ軸加速
度検出電極、及び重錘体１１の構成は、第１の実施の形
態の３軸加速度センサのそれらと同一構成である。
【００４８】このような３軸加速度センサによれば、
Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電極１９ｅと重錘体１１とで可変
容量素子Ｃｈを構成でき、水平方向に対する加速度が加
わった場合には、可変容量素子Ｃｈが変動する。
Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電極１９ｅと重錘体１１とで可変
容量素子Ｃｈを構成でき、水平方向に対する加速度が加
わった場合には、可変容量素子Ｃｈが変動する。
【００４９】図１０に第２の実施の形態の加速度検出回
路の構成ブロック図を示す。図１０において、ＣＶ変換
回路３１ｆは、可変容量素子Ｃｈの容量値をその容量値
に応じた電圧値Ｖｈに変換し、その電圧値Ｖｈを水平方
向の電圧値Ｖｈとして出力する。
路の構成ブロック図を示す。図１０において、ＣＶ変換
回路３１ｆは、可変容量素子Ｃｈの容量値をその容量値
に応じた電圧値Ｖｈに変換し、その電圧値Ｖｈを水平方
向の電圧値Ｖｈとして出力する。
【００５０】ＣＶ変換回路３１ｇは、可変容量素子Ｃ５
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ５に変換し、そ
の電圧値Ｖ５を垂直方向の電圧値Ｖｖとして出力する。
そして、検出された電圧値Ｖｈ，Ｖｖにより水平方向及
び垂直方向の加速度成分が検出されることになる。
の容量値をその容量値に応じた電圧値Ｖ５に変換し、そ
の電圧値Ｖ５を垂直方向の電圧値Ｖｖとして出力する。
そして、検出された電圧値Ｖｈ，Ｖｖにより水平方向及
び垂直方向の加速度成分が検出されることになる。
【００５１】このように、第２の実施の形態の３軸加速
度センサによれば、水平方向及び垂直方向の加速度を検
出することができるとともに、Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電
極１９ｅが水平垂直方向加速度用検出仕様として用いら
れるため、さらに簡単な構成の３軸加速度センサを提供
することができる。
度センサによれば、水平方向及び垂直方向の加速度を検
出することができるとともに、Ｘ、Ｙ軸加速度検出用電
極１９ｅが水平垂直方向加速度用検出仕様として用いら
れるため、さらに簡単な構成の３軸加速度センサを提供
することができる。
【００５２】
【発明の効果】本発明によれば、加速度が各軸方向に印
加されると、可動電極体が可動するので、容量が変化
し、この容量変化に基づき各軸方向の加速度が検出で
き、構造が簡単で且つ部品数が少なくてすみ、温度特性
も良好であるから、小型化且つ安価でしかも検出精度の
良い３軸加速度センサを提供できる。
加されると、可動電極体が可動するので、容量が変化
し、この容量変化に基づき各軸方向の加速度が検出で
き、構造が簡単で且つ部品数が少なくてすみ、温度特性
も良好であるから、小型化且つ安価でしかも検出精度の
良い３軸加速度センサを提供できる。
【００５３】また、可動電極体を挟んでＸ軸方向に沿っ
て対向配置された２つのＸ軸加速度検出用電極を用いて
Ｘ軸方向の加速度を検出でき、可動電極体を挟んでＹ軸
方向に沿って対向配置された２つのＹ軸加速度検出用電
極を用いてＹ軸方向の加速度を検出できる。
て対向配置された２つのＸ軸加速度検出用電極を用いて
Ｘ軸方向の加速度を検出でき、可動電極体を挟んでＹ軸
方向に沿って対向配置された２つのＹ軸加速度検出用電
極を用いてＹ軸方向の加速度を検出できる。
【００５４】また、ＸＹ軸加速度検出用電極が、水平方
向においてリング状の電極パターンからなることで水平
方向の加速度として検出できる。
向においてリング状の電極パターンからなることで水平
方向の加速度として検出できる。
【００５５】また、加速度による第１の段部及び２つの
Ｘ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸方向の加速度
に応じた電圧に変換し、加速度による第１の段部及び２
つのＹ軸加速度検出用電極間の容量変化をＹ軸方向の加
速度に応じた電圧に変換し、加速度による第２の段部及
びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化をＺ軸方向の加速
度に応じた電圧に変換することで、各軸方向の加速度を
各軸方向の電圧値として検出することができる。
Ｘ軸加速度検出用電極間の容量変化をＸ軸方向の加速度
に応じた電圧に変換し、加速度による第１の段部及び２
つのＹ軸加速度検出用電極間の容量変化をＹ軸方向の加
速度に応じた電圧に変換し、加速度による第２の段部及
びＺ軸加速度検出用電極間の容量変化をＺ軸方向の加速
度に応じた電圧に変換することで、各軸方向の加速度を
各軸方向の電圧値として検出することができる。
【００５６】また、加速度による第１の段部及びＸＹ軸
加速度検出用電極間の容量変化を水平方向の加速度に応
じた電圧に変換し、加速度による第２の段部及びＺ軸加
速度検出用電極間の容量変化を垂直方向であるＺ軸方向
の加速度に応じた電圧に変換することで、水平方向及び
垂直方向の加速度を各方向の電圧値として検出すること
ができる。
加速度検出用電極間の容量変化を水平方向の加速度に応
じた電圧に変換し、加速度による第２の段部及びＺ軸加
速度検出用電極間の容量変化を垂直方向であるＺ軸方向
の加速度に応じた電圧に変換することで、水平方向及び
垂直方向の加速度を各方向の電圧値として検出すること
ができる。
【図１】本発明の３軸加速度センサの第１の実施の形態
の構成図である。
の構成図である。
【図２】３軸加速度センサのＢ−Ｂ′断面図である。
【図３】３軸加速度センサのＣ−Ｃ′断面図である。
【図４】Ｘ，Ｙ軸方向の加速度の検出の説明図である。
【図５】Ｚ軸方向の加速度の検出の説明図である。
【図６】図５のＤ部分におけるＺ軸加速度検出用電極と
重錘体の段部との位置関係を示す図である。
重錘体の段部との位置関係を示す図である。
【図７】３軸方向の各方向毎の各可変容量素子の変動分
を示す図である。
を示す図である。
【図８】第１の実施の形態の加速度検出回路の構成ブロ
ック図である。
ック図である。
【図９】本発明の３軸加速度センサの第２の実施の形態
の主要部の構成図である。
の主要部の構成図である。
【図１０】第２の実施の形態の加速度検出回路の構成ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図１１】従来のこの種の３軸加速度センサの構成図で
ある。
ある。
【図１２】従来の１軸加速度センサの構成図である。
【図１３】従来の１軸加速度センサのＡ−Ａ′断面図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １１ 重錘体 １１ａ〜１１ｄ 段部 １３ ダイヤフラム １５ ベース １７ 電極筒 １９ ＸＹ軸加速度検出用電極 １９ａ，１９ｂ Ｘ軸加速度検出用電極 １９ｃ，１９ｄ Ｙ軸加速度検出用電極 ２１ Ｚ軸加速度検出用電極 ２３ 回路基板 ２５ 隙間 ２７，２９ 距離 ３１ａ〜３１ｇ 容量電圧変換回路（ＣＶ変換回路） ３３ａ，３３ｂ オペアンプ １０３ シリコン基板 １０５ 重り部 １０７ 片持ちはり部 １０９ ピエゾ抵抗
Claims (5)
- 【請求項１】 Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向の３軸方向の加
速度を検出する３軸加速度センサであって、 振動板に接合され、前記Ｚ軸方向に沿って第１の段部及
び第２の段部を有し、印加される加速度により可動する
重錘体からなる可動電極体と、 この可動電極体の周囲に所定の距離を隔てて配置され、
前記第１の段部に対向する部分に形成されたＸＹ軸加速
度検出用電極、及び前記第２の段部に対向する部分に形
成されたＺ軸加速度検出用電極を有する固定電極体と、 前記加速度による前記第１の段部及び前記ＸＹ軸加速度
検出用電極間の容量変化に基づきＸ軸及びＹ軸方向の加
速度を検出し、前記加速度による前記第２の段部及び前
記Ｚ軸加速度検出用電極間の容量変化に基づきＺ軸方向
の加速度を検出する加速度検出手段と、を備えることを
特徴とする３軸加速度センサ。 - 【請求項２】 前記ＸＹ軸加速度検出用電極は、前記可
動電極体を挟んで前記Ｘ軸方向に沿って対向配置された
２つのＸ軸加速度検出用電極と、前記可動電極体を挟ん
で前記Ｙ軸方向に沿って対向配置された２つのＹ軸加速
度検出用電極とを有することを特徴とする請求項１記載
の３軸加速度センサ。 - 【請求項３】 前記ＸＹ軸加速度検出用電極は、前記Ｘ
軸と前記Ｙ軸とで形成される水平方向においてリング状
の電極パターンからなることを特徴とする請求項１記載
の３軸加速度センサ。 - 【請求項４】 前記加速度検出手段は、前記加速度によ
る前記第１の段部及び前記２つのＸ軸加速度検出用電極
間の容量変化をＸ軸方向の加速度に応じた電圧に変換す
るＸ軸容量電圧変換手段と、 前記加速度による前記第１の段部及び前記２つのＹ軸加
速度検出用電極間の容量変化をＹ軸方向の加速度に応じ
た電圧に変換するＹ軸容量電圧変換手段と、 前記加速度による前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速度検
出用電極間の容量変化をＺ軸方向の加速度に応じた電圧
に変換するＺ軸容量電圧変換手段と、を有することを特
徴とする請求項２記載の３軸加速度センサ。 - 【請求項５】 前記加速度検出手段は、前記加速度によ
る前記第１の段部及び前記ＸＹ軸加速度検出用電極間の
容量変化を前記水平方向の加速度に応じた電圧に変換す
る水平方向容量電圧変換手段と、 前記加速度による前記第２の段部及び前記Ｚ軸加速度検
出用電極間の容量変化を垂直方向であるＺ軸方向の加速
度に応じた電圧に変換する垂直方向容量電圧変換手段
と、を有することを特徴とする請求項３記載の３軸加速
度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022215A JPH11218544A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | ３軸加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10022215A JPH11218544A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | ３軸加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218544A true JPH11218544A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12076591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10022215A Pending JPH11218544A (ja) | 1998-02-03 | 1998-02-03 | ３軸加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218544A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102818915A (zh) * | 2011-06-07 | 2012-12-12 | 日本电波工业株式会社 | 加速度测量装置 |
| EP3660519A1 (en) * | 2018-11-28 | 2020-06-03 | Yokogawa Electric Corporation | Resonant sensor device |
-
1998
- 1998-02-03 JP JP10022215A patent/JPH11218544A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102818915A (zh) * | 2011-06-07 | 2012-12-12 | 日本电波工业株式会社 | 加速度测量装置 |
| EP3660519A1 (en) * | 2018-11-28 | 2020-06-03 | Yokogawa Electric Corporation | Resonant sensor device |
| CN111239439A (zh) * | 2018-11-28 | 2020-06-05 | 横河电机株式会社 | 振动式传感器装置 |
| CN111239439B (zh) * | 2018-11-28 | 2022-05-10 | 横河电机株式会社 | 振动式传感器装置 |
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