JPH04216408A - 圧電体角速度センサ - Google Patents
圧電体角速度センサInfo
- Publication number
- JPH04216408A JPH04216408A JP2402482A JP40248290A JPH04216408A JP H04216408 A JPH04216408 A JP H04216408A JP 2402482 A JP2402482 A JP 2402482A JP 40248290 A JP40248290 A JP 40248290A JP H04216408 A JPH04216408 A JP H04216408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- angular velocity
- tuning fork
- velocity sensor
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電体を用いた振動
形の圧電体角速度センサに関し、特に音叉形振動子を用
いたものに関する。
形の圧電体角速度センサに関し、特に音叉形振動子を用
いたものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧電体を用いた振動形の圧電体角
速度センサとしては、例えば特開昭６３−４２４１７号
公報、特開昭６３−２５２２０号公報に示すものがある
。
速度センサとしては、例えば特開昭６３−４２４１７号
公報、特開昭６３−２５２２０号公報に示すものがある
。
【０００３】このうち、特開昭６３−４２４１７号公報
には、２枚の圧電板を接着剤で張合わせて構成したバイ
モルフ形状の音叉形振動子の２本のアーム部の側面に、
伸縮し得る圧電体を固着し、この圧電体により前記アー
ム部に振動を与えるとともに、前記アーム部を検知部と
した圧電体角速度センサが記載されている。
には、２枚の圧電板を接着剤で張合わせて構成したバイ
モルフ形状の音叉形振動子の２本のアーム部の側面に、
伸縮し得る圧電体を固着し、この圧電体により前記アー
ム部に振動を与えるとともに、前記アーム部を検知部と
した圧電体角速度センサが記載されている。
【０００４】また、特開昭６３−２５２２０号公報には
、金属材料を構成材料とした音叉形振動子に検出のため
の圧電素子と、振動のための圧電素子を張り付けて構成
した圧電体角速度センサが記載されている。
、金属材料を構成材料とした音叉形振動子に検出のため
の圧電素子と、振動のための圧電素子を張り付けて構成
した圧電体角速度センサが記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この特開昭６
３−４２４１７号公報に記載されたものは、音叉形振動
子がこの音叉形振動子に振動を与える部分と同一素材の
圧電体で構成されているため、落下時の過大衝撃による
音叉形振動子の破損、または精度の良い音叉形振動子の
製作が困難であるという問題点があった。
３−４２４１７号公報に記載されたものは、音叉形振動
子がこの音叉形振動子に振動を与える部分と同一素材の
圧電体で構成されているため、落下時の過大衝撃による
音叉形振動子の破損、または精度の良い音叉形振動子の
製作が困難であるという問題点があった。
【０００６】また、特開昭６３−２５２２０号公報に記
載されたものは、金属の音叉振動子に検出、振動のため
の圧電体を張り付けているため、金属材料、圧電素子、
接着剤の線膨脹計数の違いによる温度変化時の零出力が
発生し、角度計測の精度が低下するという問題点があっ
た。
載されたものは、金属の音叉振動子に検出、振動のため
の圧電体を張り付けているため、金属材料、圧電素子、
接着剤の線膨脹計数の違いによる温度変化時の零出力が
発生し、角度計測の精度が低下するという問題点があっ
た。
【０００７】そこで、この発明は機械的強度が強く、か
つ製作が容易で、更に温度変化時の零出力が発生しない
高精度の圧電体角速度センサを提供することを目的とす
る。
つ製作が容易で、更に温度変化時の零出力が発生しない
高精度の圧電体角速度センサを提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明では、上記目的
を達成するため、音叉形振動子の２本のアーム部の側面
に伸縮し得る圧電体を固着して駆動部となすとともに、
前記アーム部を検知部とした圧電体角速度センサにおい
て、前記音叉形振動子は、中央電極の両表面に２枚の圧
電体を接着剤で張り合わせてバイモルフ状にした圧電板
を前記音叉形振動子の２本のアーム部にそれぞれ配置し
、該圧電板を２枚の金属側面電極でサンドイッチ状に接
着して構成したことを特徴とする。
を達成するため、音叉形振動子の２本のアーム部の側面
に伸縮し得る圧電体を固着して駆動部となすとともに、
前記アーム部を検知部とした圧電体角速度センサにおい
て、前記音叉形振動子は、中央電極の両表面に２枚の圧
電体を接着剤で張り合わせてバイモルフ状にした圧電板
を前記音叉形振動子の２本のアーム部にそれぞれ配置し
、該圧電板を２枚の金属側面電極でサンドイッチ状に接
着して構成したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】音叉形振動子の両側面に、接着剤で張り付けた
圧電板を伸縮させて前記検知部を、バイモルフの屈曲方
向に対して垂直方向に振動させ、音叉形振動子のアーム
部に配置されたバイモルフ構造の圧電板により角速度を
検知する。音叉形振動子は、バイモルフ構造の圧電板を
２枚の金属側面電極でサンドイッチ状に接着した構成と
なっているため、落下時の過大衝撃による音叉形振動子
の破損が生じ難く、製作も容易である。
圧電板を伸縮させて前記検知部を、バイモルフの屈曲方
向に対して垂直方向に振動させ、音叉形振動子のアーム
部に配置されたバイモルフ構造の圧電板により角速度を
検知する。音叉形振動子は、バイモルフ構造の圧電板を
２枚の金属側面電極でサンドイッチ状に接着した構成と
なっているため、落下時の過大衝撃による音叉形振動子
の破損が生じ難く、製作も容易である。
【００１０】
【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
【００１１】図１は、この発明の一実施例を示す図であ
る。
る。
【００１２】まず、構成を説明すると、５は、四辺形断
面を有する２本の検知部（アーム）２，２´とベース部
６とからなる音叉形振動子で、各検知部２，２´は図２
に示すように、中央電極８ａ，８ｂの両表面に圧電体１
０ａ，１０ｂ、１１ａ，１１ｂを接着剤で張り合わせ、
この圧電体１０ａ，１０ｂ、１１ａ，１１ｂの側面に側
面電極（アース電極）１２ａ，１２ｂ、１３ａ，１３ｂ
を接着剤で張り合わせ、中央電極８ａ，８ｂ、側面電極
１２ａ，１２ｂ、１３ａ，１３ｂを有する層状バイモル
フ構造となっている。該側面電極１２ａ，１２ｂ、１３
ａ，１３ｂは、電気的に接続し導通している。前記ベー
ス部６は側面電極と一体で形成され、該ベース部は接着
、締付け、その他の方法で支持部４に固定されている。
面を有する２本の検知部（アーム）２，２´とベース部
６とからなる音叉形振動子で、各検知部２，２´は図２
に示すように、中央電極８ａ，８ｂの両表面に圧電体１
０ａ，１０ｂ、１１ａ，１１ｂを接着剤で張り合わせ、
この圧電体１０ａ，１０ｂ、１１ａ，１１ｂの側面に側
面電極（アース電極）１２ａ，１２ｂ、１３ａ，１３ｂ
を接着剤で張り合わせ、中央電極８ａ，８ｂ、側面電極
１２ａ，１２ｂ、１３ａ，１３ｂを有する層状バイモル
フ構造となっている。該側面電極１２ａ，１２ｂ、１３
ａ，１３ｂは、電気的に接続し導通している。前記ベー
ス部６は側面電極と一体で形成され、該ベース部は接着
、締付け、その他の方法で支持部４に固定されている。
【００１３】四辺形断面をなす検知部２，２´の両側面
の中央電極８ａ，８ｂ、圧電体１０ａ，１０ｂ、１１ａ
，１１ｂ部分には、酸化シリコンＳｉ Ｏ２ の絶縁層
２０ａ，２０ｂがスパッタリングにより形成され、この
検知部２，２´の両側面には電極１ａ，１ａ´を設けた
圧電体からなる駆動部１，１´が接着剤等で張り付けら
れ、駆動部とされる。
の中央電極８ａ，８ｂ、圧電体１０ａ，１０ｂ、１１ａ
，１１ｂ部分には、酸化シリコンＳｉ Ｏ２ の絶縁層
２０ａ，２０ｂがスパッタリングにより形成され、この
検知部２，２´の両側面には電極１ａ，１ａ´を設けた
圧電体からなる駆動部１，１´が接着剤等で張り付けら
れ、駆動部とされる。
【００１４】この音叉形振動子の製造方法は、図３に示
すように、接着剤により、側面電極１２ｂ，１３ｂを形
成するＵ字形の金属板２０、圧電体１０ｂ，１１ｂ、中
央電極８ａ，８ｂ、スペーサ２１、圧電体１０ａ，１１
ａ、側面電極１２ａ，１３ａを形成するＵ字形の金属板
２２を接着して構成してもよいが、側面電極１２ｂ，１
３ｂを形成する金属板、圧電体１０ｂ，１１ｂを形成す
る圧電体板、中央電極８ａ，８ｂを形成する金属板、圧
電体１０ａ，１１ａを形成する圧電体板、側面電極１２
ａ，１３ａを形成する金属板を接着剤で張合わせ、その
後、音叉の溝部を含む切り出し加工により作製してもよ
い。この場合、一体に加工できるので、張り合わせのず
れがなく、歩留りが向上する。
すように、接着剤により、側面電極１２ｂ，１３ｂを形
成するＵ字形の金属板２０、圧電体１０ｂ，１１ｂ、中
央電極８ａ，８ｂ、スペーサ２１、圧電体１０ａ，１１
ａ、側面電極１２ａ，１３ａを形成するＵ字形の金属板
２２を接着して構成してもよいが、側面電極１２ｂ，１
３ｂを形成する金属板、圧電体１０ｂ，１１ｂを形成す
る圧電体板、中央電極８ａ，８ｂを形成する金属板、圧
電体１０ａ，１１ａを形成する圧電体板、側面電極１２
ａ，１３ａを形成する金属板を接着剤で張合わせ、その
後、音叉の溝部を含む切り出し加工により作製してもよ
い。この場合、一体に加工できるので、張り合わせのず
れがなく、歩留りが向上する。
【００１５】なお、この検知部２，２´の両側面には電
極１ａ，１ａ´には、リード線１６，１６´を介して駆
動電源が接続され、また、中央電極８ａ，８ｂには出力
信号を取り出すためのリード線１５，１５´が接続され
る。
極１ａ，１ａ´には、リード線１６，１６´を介して駆
動電源が接続され、また、中央電極８ａ，８ｂには出力
信号を取り出すためのリード線１５，１５´が接続され
る。
【００１６】リード線１５，１５´を介して取り出され
たこのセンサの出力信号は図４に示す差動増幅器を構成
するアンプ３０の差動入力にそれぞれ加えられ、アンプ
３０から検出出力ＯＵＴを得る。
たこのセンサの出力信号は図４に示す差動増幅器を構成
するアンプ３０の差動入力にそれぞれ加えられ、アンプ
３０から検出出力ＯＵＴを得る。
【００１７】次にこの実施例の動作について説明する。
【００１８】この圧電体角速度センサによる角速度の計
測において、駆動部１の収縮によって検知部２がＸ方向
へ、また駆動部１´の収縮によって検知部２´がＸ´方
向へ屈曲するときに、Ｚ軸まわりの回転角速度Ωが与え
られると、検知部２はＹ方向、検知部２´はＹ´方向に
コリオリの力を受ける。
測において、駆動部１の収縮によって検知部２がＸ方向
へ、また駆動部１´の収縮によって検知部２´がＸ´方
向へ屈曲するときに、Ｚ軸まわりの回転角速度Ωが与え
られると、検知部２はＹ方向、検知部２´はＹ´方向に
コリオリの力を受ける。
【００１９】図２に示す如く、圧電体１０ａ，１０ｂの
分極方向が矢印Ｐ，Ｐ´の場合は、前記コリオリの力を
受けて、中央電極８ａは正電荷を発生する。もう一方の
検知部２´の中央電極８ｂは負電荷を発生する。したが
って、図２のような分極方向に張り合わせて回転角速度
Ωを検知する場合、中央電極８ａ，８ｂに接続されたリ
ード線１５，１５´からはそれぞれ回転角速度Ωに比例
した正電荷と負電荷が発生する。
分極方向が矢印Ｐ，Ｐ´の場合は、前記コリオリの力を
受けて、中央電極８ａは正電荷を発生する。もう一方の
検知部２´の中央電極８ｂは負電荷を発生する。したが
って、図２のような分極方向に張り合わせて回転角速度
Ωを検知する場合、中央電極８ａ，８ｂに接続されたリ
ード線１５，１５´からはそれぞれ回転角速度Ωに比例
した正電荷と負電荷が発生する。
【００２０】以上とは逆に検出部２がＸ´方向に、検出
部２´がＸ方向に屈曲するときは、リード線１５には負
電荷が、リード線１５´には正電荷が発生する。したが
って、両検知部２，２´がＸ−Ｘ´方向に振動している
ときに、Ｚ軸のまわりの回転角速度Ωを受けると、検知
部２，２´に接続した導線１５，１５´には交流電圧が
発生し、この大きさは回転角速度Ωに比例するから、図
４に示したアンプ３０の出力ＯＵＴからは、回転角速度
Ωに比例した信号を得ることができる。
部２´がＸ方向に屈曲するときは、リード線１５には負
電荷が、リード線１５´には正電荷が発生する。したが
って、両検知部２，２´がＸ−Ｘ´方向に振動している
ときに、Ｚ軸のまわりの回転角速度Ωを受けると、検知
部２，２´に接続した導線１５，１５´には交流電圧が
発生し、この大きさは回転角速度Ωに比例するから、図
４に示したアンプ３０の出力ＯＵＴからは、回転角速度
Ωに比例した信号を得ることができる。
【００２１】ところで、この発明の圧電体角速度センサ
は、外部からの振動や加速度を受けた場合でも、角速度
の計測にはほとんど支障はない。例えば、図１において
、加速度によって両検知部２，２´がＹ方向の力を受け
ると、中央電極８ａ，８ｂは正電荷を発生する。この電
荷は、前記差動増幅器を構成するアンプ３０で相殺され
、この外部からの振動や加速度を受けない。この他、種
々の方向の加速度や振動を受けた場合でも、これらの影
響を受けないことが容易に理解できる。
は、外部からの振動や加速度を受けた場合でも、角速度
の計測にはほとんど支障はない。例えば、図１において
、加速度によって両検知部２，２´がＹ方向の力を受け
ると、中央電極８ａ，８ｂは正電荷を発生する。この電
荷は、前記差動増幅器を構成するアンプ３０で相殺され
、この外部からの振動や加速度を受けない。この他、種
々の方向の加速度や振動を受けた場合でも、これらの影
響を受けないことが容易に理解できる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
中央電極の両表面に圧電体を接着剤で張り合わせた層状
のバイモルフ構造の圧電体を、金属の音叉形振動子のア
ーム部に該音叉形振動子（側面電極）２枚でサンドイッ
チ状に挾み接着し、センサの検出部としたため、角速度
検知用圧電体の特性を厳密に選定すれば、バイモルフ構
成とする各圧電体の電気的、圧電的、機械的特性を高精
度に同一にできるため、零出力の減少や外乱による影響
をなくすことができる。
中央電極の両表面に圧電体を接着剤で張り合わせた層状
のバイモルフ構造の圧電体を、金属の音叉形振動子のア
ーム部に該音叉形振動子（側面電極）２枚でサンドイッ
チ状に挾み接着し、センサの検出部としたため、角速度
検知用圧電体の特性を厳密に選定すれば、バイモルフ構
成とする各圧電体の電気的、圧電的、機械的特性を高精
度に同一にできるため、零出力の減少や外乱による影響
をなくすことができる。
【００２３】また、中央電極からリード線を取り出す構
造としたため、ろう付けによる圧電体へのリード線の取
り付けがなく、ろう付けによる圧電体の特性の変化、ろ
う付け部の経時変化、信頼性等を考慮する必要がなく、
リード線の取り出しが容易である。
造としたため、ろう付けによる圧電体へのリード線の取
り付けがなく、ろう付けによる圧電体の特性の変化、ろ
う付け部の経時変化、信頼性等を考慮する必要がなく、
リード線の取り出しが容易である。
【００２４】また、検知用圧電体を金属の音叉形振動子
（側面電極）で保護する構造としたため、落下等の過大
衝撃による圧電体の破損等がなく信頼性の向上が計れる
。
（側面電極）で保護する構造としたため、落下等の過大
衝撃による圧電体の破損等がなく信頼性の向上が計れる
。
【００２５】また、一対のアーム部はベース部と一体で
構成されているため、一対の振動子の周波数調整は容易
となる。
構成されているため、一対の振動子の周波数調整は容易
となる。
【００２６】また、検知部にバイモルフを使用するため
、出力インピーダンスが比較的小さくできるため、電気
回路のマッチングがとりやすい。
、出力インピーダンスが比較的小さくできるため、電気
回路のマッチングがとりやすい。
【図１】この発明の圧電体角速度センサの構造を示す斜
視図。
視図。
【図２】図１に示したこの圧電体角速度センサの要部断
面図。
面図。
【図３】図１に示した圧電体角速度センサの製造方法の
一例を説明する図。
一例を説明する図。
【図４】図１に示した圧電体角速度センサの出力の電気
処理回路の一例を示す回路図。
処理回路の一例を示す回路図。
１ 駆動部
１´ 駆動部
２ 検知部（アーム）
２´ 検知部（アーム）
４ 支持部
６ ベース部
８ａ 中央電極
８ｂ 中央電極
１０ａ 圧電体
１０ｂ 圧電体
１１ａ 圧電体
１１ｂ 圧電体
１２ａ 側面電極（アース電極）
１２ｂ 側面電極（アース電極）
１３ａ 側面電極（アース電極）
１３ｂ 側面電極（アース電極）
２０ａ 絶縁層
２０ｂ 絶縁層
３０ アンプ
Claims (1)
- 【請求項１】音叉形振動子の２本のアーム部の側面に伸
縮し得る圧電体を固着して駆動部となすとともに、前記
アーム部を検知部とした圧電体角速度センサにおいて、
前記音叉形振動子は、中央電極の両表面に２枚の圧電体
を接着剤で張り合わせてバイモルフ状にした圧電板を前
記音叉形振動子の２本のアーム部にそれぞれ配置し、該
圧電板を２枚の金属側面電極でサンドイッチ状に接着し
て構成したことを特徴とする圧電体角速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402482A JPH04216408A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 圧電体角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402482A JPH04216408A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 圧電体角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04216408A true JPH04216408A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=18512301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2402482A Withdrawn JPH04216408A (ja) | 1990-12-14 | 1990-12-14 | 圧電体角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04216408A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5575050A (en) * | 1993-02-26 | 1996-11-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of assembling electronic component |
| DE10083545C2 (de) * | 1999-10-18 | 2003-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sensor für Winkelgeschwindigkeit |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP2402482A patent/JPH04216408A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5575050A (en) * | 1993-02-26 | 1996-11-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of assembling electronic component |
| DE10083545C2 (de) * | 1999-10-18 | 2003-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sensor für Winkelgeschwindigkeit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3326989B2 (ja) | 振動子とその調整方法および角速度センサ | |
| US6119518A (en) | Angular velocity sensor | |
| JP6160027B2 (ja) | 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 | |
| WO2005012922A1 (ja) | 加速度センサ | |
| EP0905479B1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| WO1998019134A1 (fr) | Gyroscope a vibrations | |
| US8065914B2 (en) | Vibration gyro | |
| WO2005012921A1 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH063455B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| US10001373B2 (en) | Resonator element, electronic device, electronic apparatus, and moving object | |
| JPH04216409A (ja) | 角速度センサ | |
| US6018997A (en) | Tuning fork type oscillator and vibration gyroscope using same | |
| JP2002228453A (ja) | 振動ジャイロおよびその温度ドリフト調整方法 | |
| JP3428803B2 (ja) | 加速度センサ及びその製造方法 | |
| JPH04216408A (ja) | 圧電体角速度センサ | |
| JP2001133267A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP3368744B2 (ja) | 振動型加速度センサ | |
| JP3355998B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP5076657B2 (ja) | 応力感応型センサ用の双音叉型振動素子及び加速度検知ユニット | |
| JPH1096742A (ja) | 加速度センサ及びその製造方法、並びに加速度センサを利用した衝撃検知機器 | |
| JP5040196B2 (ja) | 角速度センサ素子及びこれを利用した角速度センサ | |
| JP3239709B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPS6342417A (ja) | 圧電体角速度センサ− | |
| JP4309814B2 (ja) | 圧電振動ジャイロ用振動子の調整方法 | |
| JPS62228111A (ja) | 圧電体角速度センサ− |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |