JPH027910B2 - - Google Patents
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- JPH027910B2 JPH027910B2 JP60204986A JP20498685A JPH027910B2 JP H027910 B2 JPH027910 B2 JP H027910B2 JP 60204986 A JP60204986 A JP 60204986A JP 20498685 A JP20498685 A JP 20498685A JP H027910 B2 JPH027910 B2 JP H027910B2
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
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Description
（産業上の利用分野）
本発明は、機械的強度、破壊靭性が大であると
共に熱伝導率が低い窒化珪素焼結体およびその製
造法に関するものである。 （従来の技術） 窒化珪素焼結体は機械的強度、破壊靭性、耐熱
性、耐熱衝撃性等に優れているため、耐熱性高強
度材料としてその用途開発が盛んに進められてい
る。 この窒化珪素は共有結合性の強い物質であり、
それ自体では焼結性が極めて悪いので、高密度焼
結体を得るためには一般的にMgO，Al2O3，
Y2O3，ZrO2等の焼結体助剤を加えることが知ら
れている。このうち、機械的強度と破壊靭性が大
であるものとしては、Sr，Mg，稀土類元素およ
びZrの酸化物又は酸窒化物を含む窒化珪素焼結
体が特開昭59−146981号公報において知られてい
る。 （発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述した窒化珪素焼結体は高い
機械的強度と破壊靭性を有するが、熱伝導率が例
えば耐熱性を必要とするエンジン部材として使用
するときは高い欠点があつた。すなわち、上述し
た窒化珪素焼結体の熱伝導率は約0.07（cal／cm．
sec.℃）であり、エンジン部材等の断熱性を要す
る部材へ適用するには高すぎる欠点があつた。 本発明の目的は上述した欠点を解消して、高い
機械的強度と破壊靭性を維持しながら熱伝導率が
低い窒化珪素焼結体およびその製造法を提供しよ
うとするものである。 （問題点を解決するための手段） 第１発明 Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlを含む窒化珪素焼結
体においてSr，Mg，Ce，ZrおよびAlがSi3N4結
晶あるいは粒界相に固溶析出して酸化物あるいは
酸窒化物を形成しており、Sr，Mg，Ce，Zrおよ
びAlの焼結体中の含有量がそれぞれSrOに換算し
て0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25重量
％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に換算
して0.1〜15重量％、およびAl2O3に換算して１〜
20重量％含み残部が窒化珪素よりなることを特徴
とする窒化珪素焼結体。 第２発明 Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlの化合物のうち焼成
による酸化物あるいは酸窒化物になる酸化物、炭
酸塩、硝酸塩および／または水酸化物をSrOに換
算して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25重
量％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に換
算して0.1〜15重量％、およびAl2O3に換算して１
〜20重量％含み、残部が窒化珪素原料粉末よりな
る調整原料を成形し、次いで窒素雰囲気あるいは
不活性ガス雰囲気中で焼成することを特徴とする
窒化珪素焼結体の製造法。 （作 用） 本発明は上述した構成により、高い機械的強度
と破壊靭性を有する窒化珪素焼結体にAlの化合
物をAl2O3に換算して１〜20重量％加えることに
より、Alがβ−Si3N4粒子中に固溶あるいは粒界
相中に溶解するとともに、機械的強度と破壊靭性
を維持しつつ熱伝導率を従来品の約1/5程度まで
任意に低減できることを見出したことによる。 さらに、Sr，Mg，Ce又はZr等の化合物は従来
それぞれ単独でも、焼成中に窒化珪素原料中の
Si3N4およびSiO2反応し非晶質物質を生成し、難
焼結性物質であるSi3N4の緻密化を助けるもので
ある。しかしながら、Sr，Mg，CeおよびZrを同
時に含む酸化物又は酸窒化物の非晶質物質は、こ
れらが単独ではたす場合とは比べようもない高い
緻密化促進作用を有し、かつ、その強度は各々を
単独に含む酸化物又は酸窒化物の非晶質の強度よ
りはるかに高く、Si3N4の粒界の結合剤として、
窒化珪素焼結体の強度を向上させているものと思
われる。 又、Zrの化合物は焼成中にSr化合物、Mg化合
物、Ce化合物、Si3N4およびSiO2と反応しSi3N4
の緻密化を促進すると同時に、一部は結晶質の
ZrO2として粒界に生成し、窒化珪素焼結体の破
壊靭性を増加させているものと思われる。 次に本発明の成分限定理由を述べる。 本発明の焼結体中のAlの化合物をAl2O3に換算
して１〜20重量％と限定したのは、１重量％未満
では熱伝導率が低下せず、20重量％より多いと機
械的強度が低下するためである。また、本発明の
焼結体中Sr，Mg，Ce，およびZrの化合物をSrO
に換算して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜
25重量％、CeO2に換算して0.1〜20重量％および
ZrO2に換算して0.1〜15重量％と限定したのは、
これらのうちいずれか１つでもその下限未満であ
るときは、これら４つの元素が相乗効果として発
揮する焼成中促進効果および微構造制御効果によ
る高強度化および高靭性化が十分達成されず、焼
結体中に気孔が多く残留し機械的強度、破壊靭性
が低下するためである。さらにこれらのうちいず
れか１つでもその上限を越えると、Si3N4結晶の
粒界に生成するSr，Mg，Ce，およびZrの化合物
よりなる第２相の性質が、最も多く含まれる成分
元素の単独の場合の性質になり、４元素の相乗効
果が発揮されないためである。とりわけZrの化
合物は熱膨脹率がSi3N4の約３倍も大きいため、
窒化珪素焼結体の第２相として不必要に多く存在
すると焼結体の熱膨脹率を増大して耐熱衝撃性を
損うため、特にZrO2に換算して15重量％を越え
ないことが好ましい。 本発明の窒化珪素焼結体は、次の方法により製
造することができる。 すなわち、焼結助剤としてのSr，Mg，Ce，Zr
およびAlの化合物を、SrOに換算して0.1〜18重
量％好ましくは0.4〜12重量％、MgOに換算して
0.2〜25重量％好ましくは0.5〜17重量％、CeO2に
換算して0.1〜20重量％好ましくは0.4〜13重量
％、ZrO2に換算して0.1〜15重量％およびAl2O3
に換算して１〜20重量％とを含む残部が窒化珪素
原料粉末よりなる調整原料を準備する。この場合
粉砕機は例えば回転ミル、振動ミル、アトライタ
ーミル等を使用する。湿式粉砕、乾式粉砕いずれ
でもかまわないが、調合粉末量、玉石量、液体媒
体、スラリー粘度等は粉砕方式に応じ適宜選ばれ
る。液体媒体は例えばアセトン、アルコール、水
等を用いる。粉砕時間は粉砕方式および容量によ
り異なるが、粉砕物が微細化し平均粒径、BET
比表面積が一定の限界値に飽和する時間とする。 なお調整原料を用意する場合、Sr，Mg，Ce，
Alの化合物は粉砕時に粉砕混合又は溶液混合し
てもよいが、Zrの化合物は粉砕時に粉砕混合又
は溶液混合するよりは、ジルコニア磁器製玉石を
用い粉砕工程中にそのジルコニア磁器製玉石の摩
耗により原料中にSrO2として加えるのが好まし
い。 このジルコニア磁器製玉石の摩耗によりZrO2
を加える場合は、平均粒径、BET比表面積の測
定以外にZrO2の混入量を化学分析し、15重量％
を越えないよう粉砕時間を管理する。 なお、使用するジルコニア磁器製玉石は、高い
粉砕効果を得るため、比重５以上、モース硬度６
以上が必要であり、そのためZrO2含有量が70重
量％以上のものが好ましい。又その形状は球状、
円筒状等のものを用いることができ、外径が小さ
過ぎると原料粉末中の粗い粒子が粉砕されず焼結
体の強度が向上しないため、３〜10mm好ましくは
４〜８mmのものがよい。 そして所定粒度に粉砕した調整原料中に必要に
応じてポリビニルアルコール等の成形助剤を加え
撹拌の後、粉末あるいはスラリーを乾燥し成形用
粉末とする。成形用粉末を静水圧プレス等で所望
の形に成形し、窒素雰囲気あるいは不活性ガス雰
囲気中にて1650〜1850℃好ましくは1670〜1730℃
で、0.2〜５時間好ましくは0.5〜２時間焼成する
と窒化珪素焼結体が得られる。 なお、窒化珪素原料粉末は、α相、β相のいず
れを含むものでもよいが、α相を多く含む方が高
強度の焼結体が得られるので、α相を50重量％以
上含むものが好ましく、不純物としてFe，Ca，
Na，Ｋの含有量が合量で３重量％以下好ましく
は１重量％以下、平均粒径は5μｍ以下好ましく
は1μｍ以下、BET比表面積は１〜50m2／ｇ、好
ましくは５〜30m2／ｇのものがよい。 又Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlの化合物は、焼成
により酸化物あるいは酸窒化物になるものは全て
使用可能であり例えばSrO，SrCO3，Sr
（NO3）2・4H2O，MgO，MgCO3，Mg（OH）2，
Mg（NO3）2・6H2O，，CeO2，Ce（NO3）3・6H2O，
ZrO2，ZrO（OH）2，Al2O3，Al（NO3）3・9H2O等
の純度98重量％以上のものを用いる。粉末として
加える場合は、平均粒度5μｍ以下、BET比表面
積は１〜50m2／ｇが好ましく、一方硝酸塩水溶液
あるいはアルコキシド溶液とした後加水分解して
加える場合は、仮焼により分解蒸発分を除去する
必要がある。 （実施例） 以下、本発明の効果を具体的実施例について説
明する。 実施例 １ 純度96重量％、平均粒径0.7μｍ、BET比表面
積3.5m2／ｇの窒化珪素原料粉末と、純度98〜99
重量％、平均粒径２〜0.5μｍの焼結助剤および
Al2O3の各種成分を用いて第１表に示す割合に調
合し、不純物の混入を防ぐため鉄の表面をナイロ
ン樹脂で被覆した外径７mmの玉石を用いて、粉砕
内容積1.2のナイロン樹脂製容器内で原料粉末
200ｇに対しアセトン500ml、玉石500ｇを加え、
回転数100回／分の回転ミルで300時間粉砕した。
そしてこの粉末を乾燥後、3ton／cm2の圧力で60×
60×６mmに静水圧プレス成形し、1700℃で１時間
大気圧の窒素中で無加圧焼結し、本発明の窒化珪
素焼結体（No.１〜No.12）を得た。 又、これとは別に本発明の限定範囲外のものを
同一条件でつくり、比較例の焼結体（No.13〜No.
17）とし、さらに従来品（No.18〜No.20）を用意し
た。そしてこれらの焼結体について嵩密度、熱伝
導率、強度等を比較測定した。熱伝導率は、焼結
体より加工した直径10mm、厚さ３mmの円板を試料
とし、レーザーフラツシユ法により測定した。ま
た、強度はJIS Ｒ−1601「フアインセラミツクス
の曲げ強さ試験方法」に従つて四点曲げ強度を測
定した。得られた焼結体の嵩密度、熱伝導率、強
度は第１表に示す通りである。
共に熱伝導率が低い窒化珪素焼結体およびその製
造法に関するものである。 （従来の技術） 窒化珪素焼結体は機械的強度、破壊靭性、耐熱
性、耐熱衝撃性等に優れているため、耐熱性高強
度材料としてその用途開発が盛んに進められてい
る。 この窒化珪素は共有結合性の強い物質であり、
それ自体では焼結性が極めて悪いので、高密度焼
結体を得るためには一般的にMgO，Al2O3，
Y2O3，ZrO2等の焼結体助剤を加えることが知ら
れている。このうち、機械的強度と破壊靭性が大
であるものとしては、Sr，Mg，稀土類元素およ
びZrの酸化物又は酸窒化物を含む窒化珪素焼結
体が特開昭59−146981号公報において知られてい
る。 （発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述した窒化珪素焼結体は高い
機械的強度と破壊靭性を有するが、熱伝導率が例
えば耐熱性を必要とするエンジン部材として使用
するときは高い欠点があつた。すなわち、上述し
た窒化珪素焼結体の熱伝導率は約0.07（cal／cm．
sec.℃）であり、エンジン部材等の断熱性を要す
る部材へ適用するには高すぎる欠点があつた。 本発明の目的は上述した欠点を解消して、高い
機械的強度と破壊靭性を維持しながら熱伝導率が
低い窒化珪素焼結体およびその製造法を提供しよ
うとするものである。 （問題点を解決するための手段） 第１発明 Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlを含む窒化珪素焼結
体においてSr，Mg，Ce，ZrおよびAlがSi3N4結
晶あるいは粒界相に固溶析出して酸化物あるいは
酸窒化物を形成しており、Sr，Mg，Ce，Zrおよ
びAlの焼結体中の含有量がそれぞれSrOに換算し
て0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25重量
％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に換算
して0.1〜15重量％、およびAl2O3に換算して１〜
20重量％含み残部が窒化珪素よりなることを特徴
とする窒化珪素焼結体。 第２発明 Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlの化合物のうち焼成
による酸化物あるいは酸窒化物になる酸化物、炭
酸塩、硝酸塩および／または水酸化物をSrOに換
算して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25重
量％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に換
算して0.1〜15重量％、およびAl2O3に換算して１
〜20重量％含み、残部が窒化珪素原料粉末よりな
る調整原料を成形し、次いで窒素雰囲気あるいは
不活性ガス雰囲気中で焼成することを特徴とする
窒化珪素焼結体の製造法。 （作 用） 本発明は上述した構成により、高い機械的強度
と破壊靭性を有する窒化珪素焼結体にAlの化合
物をAl2O3に換算して１〜20重量％加えることに
より、Alがβ−Si3N4粒子中に固溶あるいは粒界
相中に溶解するとともに、機械的強度と破壊靭性
を維持しつつ熱伝導率を従来品の約1/5程度まで
任意に低減できることを見出したことによる。 さらに、Sr，Mg，Ce又はZr等の化合物は従来
それぞれ単独でも、焼成中に窒化珪素原料中の
Si3N4およびSiO2反応し非晶質物質を生成し、難
焼結性物質であるSi3N4の緻密化を助けるもので
ある。しかしながら、Sr，Mg，CeおよびZrを同
時に含む酸化物又は酸窒化物の非晶質物質は、こ
れらが単独ではたす場合とは比べようもない高い
緻密化促進作用を有し、かつ、その強度は各々を
単独に含む酸化物又は酸窒化物の非晶質の強度よ
りはるかに高く、Si3N4の粒界の結合剤として、
窒化珪素焼結体の強度を向上させているものと思
われる。 又、Zrの化合物は焼成中にSr化合物、Mg化合
物、Ce化合物、Si3N4およびSiO2と反応しSi3N4
の緻密化を促進すると同時に、一部は結晶質の
ZrO2として粒界に生成し、窒化珪素焼結体の破
壊靭性を増加させているものと思われる。 次に本発明の成分限定理由を述べる。 本発明の焼結体中のAlの化合物をAl2O3に換算
して１〜20重量％と限定したのは、１重量％未満
では熱伝導率が低下せず、20重量％より多いと機
械的強度が低下するためである。また、本発明の
焼結体中Sr，Mg，Ce，およびZrの化合物をSrO
に換算して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜
25重量％、CeO2に換算して0.1〜20重量％および
ZrO2に換算して0.1〜15重量％と限定したのは、
これらのうちいずれか１つでもその下限未満であ
るときは、これら４つの元素が相乗効果として発
揮する焼成中促進効果および微構造制御効果によ
る高強度化および高靭性化が十分達成されず、焼
結体中に気孔が多く残留し機械的強度、破壊靭性
が低下するためである。さらにこれらのうちいず
れか１つでもその上限を越えると、Si3N4結晶の
粒界に生成するSr，Mg，Ce，およびZrの化合物
よりなる第２相の性質が、最も多く含まれる成分
元素の単独の場合の性質になり、４元素の相乗効
果が発揮されないためである。とりわけZrの化
合物は熱膨脹率がSi3N4の約３倍も大きいため、
窒化珪素焼結体の第２相として不必要に多く存在
すると焼結体の熱膨脹率を増大して耐熱衝撃性を
損うため、特にZrO2に換算して15重量％を越え
ないことが好ましい。 本発明の窒化珪素焼結体は、次の方法により製
造することができる。 すなわち、焼結助剤としてのSr，Mg，Ce，Zr
およびAlの化合物を、SrOに換算して0.1〜18重
量％好ましくは0.4〜12重量％、MgOに換算して
0.2〜25重量％好ましくは0.5〜17重量％、CeO2に
換算して0.1〜20重量％好ましくは0.4〜13重量
％、ZrO2に換算して0.1〜15重量％およびAl2O3
に換算して１〜20重量％とを含む残部が窒化珪素
原料粉末よりなる調整原料を準備する。この場合
粉砕機は例えば回転ミル、振動ミル、アトライタ
ーミル等を使用する。湿式粉砕、乾式粉砕いずれ
でもかまわないが、調合粉末量、玉石量、液体媒
体、スラリー粘度等は粉砕方式に応じ適宜選ばれ
る。液体媒体は例えばアセトン、アルコール、水
等を用いる。粉砕時間は粉砕方式および容量によ
り異なるが、粉砕物が微細化し平均粒径、BET
比表面積が一定の限界値に飽和する時間とする。 なお調整原料を用意する場合、Sr，Mg，Ce，
Alの化合物は粉砕時に粉砕混合又は溶液混合し
てもよいが、Zrの化合物は粉砕時に粉砕混合又
は溶液混合するよりは、ジルコニア磁器製玉石を
用い粉砕工程中にそのジルコニア磁器製玉石の摩
耗により原料中にSrO2として加えるのが好まし
い。 このジルコニア磁器製玉石の摩耗によりZrO2
を加える場合は、平均粒径、BET比表面積の測
定以外にZrO2の混入量を化学分析し、15重量％
を越えないよう粉砕時間を管理する。 なお、使用するジルコニア磁器製玉石は、高い
粉砕効果を得るため、比重５以上、モース硬度６
以上が必要であり、そのためZrO2含有量が70重
量％以上のものが好ましい。又その形状は球状、
円筒状等のものを用いることができ、外径が小さ
過ぎると原料粉末中の粗い粒子が粉砕されず焼結
体の強度が向上しないため、３〜10mm好ましくは
４〜８mmのものがよい。 そして所定粒度に粉砕した調整原料中に必要に
応じてポリビニルアルコール等の成形助剤を加え
撹拌の後、粉末あるいはスラリーを乾燥し成形用
粉末とする。成形用粉末を静水圧プレス等で所望
の形に成形し、窒素雰囲気あるいは不活性ガス雰
囲気中にて1650〜1850℃好ましくは1670〜1730℃
で、0.2〜５時間好ましくは0.5〜２時間焼成する
と窒化珪素焼結体が得られる。 なお、窒化珪素原料粉末は、α相、β相のいず
れを含むものでもよいが、α相を多く含む方が高
強度の焼結体が得られるので、α相を50重量％以
上含むものが好ましく、不純物としてFe，Ca，
Na，Ｋの含有量が合量で３重量％以下好ましく
は１重量％以下、平均粒径は5μｍ以下好ましく
は1μｍ以下、BET比表面積は１〜50m2／ｇ、好
ましくは５〜30m2／ｇのものがよい。 又Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlの化合物は、焼成
により酸化物あるいは酸窒化物になるものは全て
使用可能であり例えばSrO，SrCO3，Sr
（NO3）2・4H2O，MgO，MgCO3，Mg（OH）2，
Mg（NO3）2・6H2O，，CeO2，Ce（NO3）3・6H2O，
ZrO2，ZrO（OH）2，Al2O3，Al（NO3）3・9H2O等
の純度98重量％以上のものを用いる。粉末として
加える場合は、平均粒度5μｍ以下、BET比表面
積は１〜50m2／ｇが好ましく、一方硝酸塩水溶液
あるいはアルコキシド溶液とした後加水分解して
加える場合は、仮焼により分解蒸発分を除去する
必要がある。 （実施例） 以下、本発明の効果を具体的実施例について説
明する。 実施例 １ 純度96重量％、平均粒径0.7μｍ、BET比表面
積3.5m2／ｇの窒化珪素原料粉末と、純度98〜99
重量％、平均粒径２〜0.5μｍの焼結助剤および
Al2O3の各種成分を用いて第１表に示す割合に調
合し、不純物の混入を防ぐため鉄の表面をナイロ
ン樹脂で被覆した外径７mmの玉石を用いて、粉砕
内容積1.2のナイロン樹脂製容器内で原料粉末
200ｇに対しアセトン500ml、玉石500ｇを加え、
回転数100回／分の回転ミルで300時間粉砕した。
そしてこの粉末を乾燥後、3ton／cm2の圧力で60×
60×６mmに静水圧プレス成形し、1700℃で１時間
大気圧の窒素中で無加圧焼結し、本発明の窒化珪
素焼結体（No.１〜No.12）を得た。 又、これとは別に本発明の限定範囲外のものを
同一条件でつくり、比較例の焼結体（No.13〜No.
17）とし、さらに従来品（No.18〜No.20）を用意し
た。そしてこれらの焼結体について嵩密度、熱伝
導率、強度等を比較測定した。熱伝導率は、焼結
体より加工した直径10mm、厚さ３mmの円板を試料
とし、レーザーフラツシユ法により測定した。ま
た、強度はJIS Ｒ−1601「フアインセラミツクス
の曲げ強さ試験方法」に従つて四点曲げ強度を測
定した。得られた焼結体の嵩密度、熱伝導率、強
度は第１表に示す通りである。
【表】
第１表の結果から明らかなように、本発明の窒
化珪素焼結体の製造法によれば、熱伝導率が低く
強度の高い窒化珪素焼結体が得られる。 （発明の効果） 以上詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の窒化珪素焼結体およびその製造法に
よれば、高い機械的強度と破壊靭性を有する窒化
珪素焼結体に適当量のAl2O3を添加することによ
り、高い機械的強度と破壊靭性を維持しながら熱
伝導率が低い窒化珪素焼結体を得ることができ
る。 そのため、例えば断熱性を要求されるエンジン
部材として本発明の窒化珪素焼結体を好適に使用
することができる。
化珪素焼結体の製造法によれば、熱伝導率が低く
強度の高い窒化珪素焼結体が得られる。 （発明の効果） 以上詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の窒化珪素焼結体およびその製造法に
よれば、高い機械的強度と破壊靭性を有する窒化
珪素焼結体に適当量のAl2O3を添加することによ
り、高い機械的強度と破壊靭性を維持しながら熱
伝導率が低い窒化珪素焼結体を得ることができ
る。 そのため、例えば断熱性を要求されるエンジン
部材として本発明の窒化珪素焼結体を好適に使用
することができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlを含む窒化珪素焼
結体においてSr，Mg，Ce，ZrおよびAlがSi3N4
結晶あるいは粒界相に固溶析出して酸化物あるい
は酸窒化物を形成しており、Sr，Mg，Ce，Zrお
よびAlの焼結体中の含有量がそれぞれSrOに換算
して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25重量
％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に換算
して0.1〜15重量％およびAl2O3に換算して１〜20
重量％含み、残部が窒化珪素よりなることを特徴
とする窒化珪素焼結体。 ２ Sr，Mg，Ce，ZrおよびAlの化合物のうち焼
成により酸化物あるいは酸窒化物になる酸化物、
炭酸塩、硝酸塩および／または水酸化物をSrOに
換算して0.1〜18重量％、MgOに換算して0.2〜25
重量％、CeO2に換算して0.1〜20重量％、ZrO2に
換算して0.1〜15重量％およびAl2O3に換算して１
〜20重量％含み、残部が窒化珪素原料粉末より成
る調整原料を成形し、次いで窒素雰囲気あるいは
不活性ガス雰囲気中で焼成することを特徴とする
窒化珪素焼結体の製造法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60204986A JPS6265976A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
| US06/892,249 US4692419A (en) | 1985-09-17 | 1986-08-04 | Silicon nitride sintered body and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60204986A JPS6265976A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265976A JPS6265976A (ja) | 1987-03-25 |
| JPH027910B2 true JPH027910B2 (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=16499579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60204986A Granted JPS6265976A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4692419A (ja) |
| JP (1) | JPS6265976A (ja) |
Families Citing this family (10)
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|---|---|---|---|---|
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| US4994219A (en) * | 1988-03-08 | 1991-02-19 | Allied-Signal Inc. | Method for forming a high strength silicon nitride |
| US4870036A (en) * | 1988-03-08 | 1989-09-26 | Allied-Signal Inc. | High strength silicon nitride |
| JPH0694390B2 (ja) * | 1988-09-09 | 1994-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体 |
| EP0484916A3 (en) * | 1990-11-07 | 1993-06-02 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Silicon nitride sintered body |
| US5120685A (en) * | 1990-12-18 | 1992-06-09 | W. R. Grace & Co.-Conn. | Sintered silicon nitride |
| US5173458A (en) * | 1990-12-28 | 1992-12-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon nitride sintered body and process for producing the same |
| US5364608A (en) * | 1993-07-30 | 1994-11-15 | Eaton Corporation | Method of converting a silicon nitride from alpha-phase to beta-phase, apparatus used therefor, and silicon nitride material made therefrom |
| US6227127B1 (en) * | 1998-04-28 | 2001-05-08 | Kyocera Corporation | Furnace material, heat resisting protection tube and protective member using the same sintered material |
| CN109265809A (zh) * | 2018-08-22 | 2019-01-25 | 浙江理工大学 | 一种基于导电陶瓷的改性导电聚乙烯及其制备方法 |
Family Cites Families (5)
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|---|---|---|---|---|
| US4218257A (en) * | 1975-04-07 | 1980-08-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered silicon nitride body and a method of producing the same |
| US4134947A (en) * | 1975-04-07 | 1979-01-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered silicon nitride body and a method of producing the same |
| US4376742A (en) * | 1981-02-23 | 1983-03-15 | Systems Research Laboratories, Inc. | Fugitive liquid phase densification of silicon nitride |
| JPS59146981A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-23 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体およびその製造法 |
| CA1223013A (en) * | 1983-04-22 | 1987-06-16 | Mikio Fukuhara | Silicon nitride sintered body and method for preparing the same |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP60204986A patent/JPS6265976A/ja active Granted
-
1986
- 1986-08-04 US US06/892,249 patent/US4692419A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4692419A (en) | 1987-09-08 |
| JPS6265976A (ja) | 1987-03-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |