JPH0276311A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH0276311A JPH0276311A JP22665888A JP22665888A JPH0276311A JP H0276311 A JPH0276311 A JP H0276311A JP 22665888 A JP22665888 A JP 22665888A JP 22665888 A JP22665888 A JP 22665888A JP H0276311 A JPH0276311 A JP H0276311A
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- Japan
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- absorbing member
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は一方向性電極な用いた弾性表面波フィルタの、
移相器、若しくは周辺回路素子な同一基板よく配した構
成に係９、特に低リップルな周波数特性に好適なフィル
タに関する。
移相器、若しくは周辺回路素子な同一基板よく配した構
成に係９、特に低リップルな周波数特性に好適なフィル
タに関する。
弾性表面波フィルタの基板両端部に不要反射波を抑圧す
る吸収材を塗布した場合、上記吸収材が電極指側に流れ
る為、不良品の発生率が高くなり量産性に乏しいなどの
欠点があり、この対策としての従来技術として、特公昭
５７−４５１６３号公報「表面波素子の製法」に記載さ
れているように、吸収材を制限する突壁を設ける方法が
知られていた◎ 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし上記従来技術は、一方向性電極を用いたフィルタ
のように、同一基板上に移相器、若しくは周辺回路素子
な集積化した構成に於ては、一方向性電極と上記素子間
のパターン上に突ＩＩｖ設けなければならず、該突壁に
よる不要反射、及び工程数の増加等の問題があった。
る吸収材を塗布した場合、上記吸収材が電極指側に流れ
る為、不良品の発生率が高くなり量産性に乏しいなどの
欠点があり、この対策としての従来技術として、特公昭
５７−４５１６３号公報「表面波素子の製法」に記載さ
れているように、吸収材を制限する突壁を設ける方法が
知られていた◎ 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし上記従来技術は、一方向性電極を用いたフィルタ
のように、同一基板上に移相器、若しくは周辺回路素子
な集積化した構成に於ては、一方向性電極と上記素子間
のパターン上に突ＩＩｖ設けなければならず、該突壁に
よる不要反射、及び工程数の増加等の問題があった。
本発明の目的は、同一基板上に周辺回路素子が構成され
た一方向性゛罐極を用いた弾性表面波フイルタに於て、
突壁な設けることなく吸収材が一方向性電極側のパター
ンに流延しない構成ケ得ることにある。
た一方向性゛罐極を用いた弾性表面波フイルタに於て、
突壁な設けることなく吸収材が一方向性電極側のパター
ンに流延しない構成ケ得ることにある。
上記目的は、同一基板上に構成された一方向性電極と移
相器、及び周辺回路素子との間に吸収材流延部を設ける
ことにより達成される。
相器、及び周辺回路素子との間に吸収材流延部を設ける
ことにより達成される。
端面反射による不要波ケ抑圧する吸収材は、圧１基板に
比べ土載基板上に形成される°成極パターン上の方が流
れ出し易い、よって一方向性を極側と移相器及び周辺回
路素子側との間に吸収材流延部を形成し、吸収材な流し
込んでしまえば、一方向性電極側に吸収材が流れ出るこ
とはない。
比べ土載基板上に形成される°成極パターン上の方が流
れ出し易い、よって一方向性を極側と移相器及び周辺回
路素子側との間に吸収材流延部を形成し、吸収材な流し
込んでしまえば、一方向性電極側に吸収材が流れ出るこ
とはない。
〔実施例］
以下、本発明の第１の実施例？第１図により説明する。
第１図は、本発明による弾性表面波フィルタを模式的に
示したものである。圧電性基板１は、１２８度回転Ｙ軸
カットＸ軸方向伝搬のニオブ酸リチウム単結晶を用いた
。人力１ｔｔ１２は、゛戒極指対向部の長さである開口
長８が順次変化している重み付け′ｔｉで、最大開口長
が１０００（μｍ）である。また弾性表面波励振源対数
は５０．５対である。出力１啄６は、開口長が一定であ
る正規型の一方向性ｔｆｆｌで、送出電極３−１、反射
１甑３−２、ミアンダ電極３−３より構成される。この
−方向性１啄の移相器に用いるキャパシタ５は、同−基
版、同−伝搬路上に形成され、一方向性電極との間に吸
収材流れ止め部７が形成される。尚、移相器と一方向性
電極との距離９は１５０（ｊＩｍ）、又入出力電極の電
極指幅は１Ｚ２（μｍ〕である。４は入出力電極の浮遊
容置による直接漏洩波を除去するシールド電極である。
示したものである。圧電性基板１は、１２８度回転Ｙ軸
カットＸ軸方向伝搬のニオブ酸リチウム単結晶を用いた
。人力１ｔｔ１２は、゛戒極指対向部の長さである開口
長８が順次変化している重み付け′ｔｉで、最大開口長
が１０００（μｍ）である。また弾性表面波励振源対数
は５０．５対である。出力１啄６は、開口長が一定であ
る正規型の一方向性ｔｆｆｌで、送出電極３−１、反射
１甑３−２、ミアンダ電極３−３より構成される。この
−方向性１啄の移相器に用いるキャパシタ５は、同−基
版、同−伝搬路上に形成され、一方向性電極との間に吸
収材流れ止め部７が形成される。尚、移相器と一方向性
電極との距離９は１５０（ｊＩｍ）、又入出力電極の電
極指幅は１Ｚ２（μｍ〕である。４は入出力電極の浮遊
容置による直接漏洩波を除去するシールド電極である。
これらの電極は膜厚６ｏ ｏ ｏＡのアルミニウム蒸着
膜より成り、ホトリソグラフ技術により形成されている
。又、基板の端面で反射する不要信号を抑圧する吸収材
６が移相器上部Ｉｃｅ！１布されている。
膜より成り、ホトリソグラフ技術により形成されている
。又、基板の端面で反射する不要信号を抑圧する吸収材
６が移相器上部Ｉｃｅ！１布されている。
ここで移相器５上部に塗布された吸収材は、４愼パター
ンに溢って一方向性側のパターンに流れ出るが、本発明
による吸収材流延部７を設けることによりこの箇所に、
流れ出た吸収材？取り込むことが出来るので一方向性ｔ
ｆｆｌ側のバッド部、及びｑ１１指部が吸収材によって
覆われることがなくなり、ワイヤボンディング等に支障
の出ることはない。湖、従来の突壁？設ける工程も省略
できる。
ンに溢って一方向性側のパターンに流れ出るが、本発明
による吸収材流延部７を設けることによりこの箇所に、
流れ出た吸収材？取り込むことが出来るので一方向性ｔ
ｆｆｌ側のバッド部、及びｑ１１指部が吸収材によって
覆われることがなくなり、ワイヤボンディング等に支障
の出ることはない。湖、従来の突壁？設ける工程も省略
できる。
次に第２．３．４実施例？第２．６．４図を用いて説明
する。いずれの図も本実施例の一部ｆ／模式的に示した
もので、一方向性に、！ｉから移相器までの部分ケ示し
である。第２図は吸収材流れ止め部１０％−＜Ｌ形状に
した第２実施例、第３図は吸収材流れ止め部１１ケミア
ンダ状にした第３実施例、第４図は吸収材流れ止め部１
２？格子状にした＠４実施例を示す。吸収材は１雅の端
？流れ易くこれら３つの実施例は低極端が多いことより
、−層の余分な、吸収材流延部み効果がある。同、移相
器と一方向性電極間距離９はそれぞれ１５０（μｍ）と
第１実施例と同じである。
する。いずれの図も本実施例の一部ｆ／模式的に示した
もので、一方向性に、！ｉから移相器までの部分ケ示し
である。第２図は吸収材流れ止め部１０％−＜Ｌ形状に
した第２実施例、第３図は吸収材流れ止め部１１ケミア
ンダ状にした第３実施例、第４図は吸収材流れ止め部１
２？格子状にした＠４実施例を示す。吸収材は１雅の端
？流れ易くこれら３つの実施例は低極端が多いことより
、−層の余分な、吸収材流延部み効果がある。同、移相
器と一方向性電極間距離９はそれぞれ１５０（μｍ）と
第１実施例と同じである。
第５の実施例？第５図を用いて説明する。図は本実施例
の一部？模式的に示したもので、一方向性′ｔｔｉから
移相器までの部分を示しである。吸収材流延部１３は、
弾性表面波伝搬方向と垂直な方向からＡ ＋ｆ （図中
１４）！けられている。移相器と一方向性電極間距離９
は１５０（／＋ｍ）である。本実施例によれば、弾性表
面波伝搬方向に対し吸収材流延部が傾けられている為、
吸収材流れ１ヒめ部の端で反射されろ不要波も抑圧でき
ろ効果がある。
の一部？模式的に示したもので、一方向性′ｔｔｉから
移相器までの部分を示しである。吸収材流延部１３は、
弾性表面波伝搬方向と垂直な方向からＡ ＋ｆ （図中
１４）！けられている。移相器と一方向性電極間距離９
は１５０（／＋ｍ）である。本実施例によれば、弾性表
面波伝搬方向に対し吸収材流延部が傾けられている為、
吸収材流れ１ヒめ部の端で反射されろ不要波も抑圧でき
ろ効果がある。
μ上説明したように、本発明によれば、一方向性Ｉ！極
？用いた弾性表面波フィルタの移相器ｊ・上記成極と同
一基板上、同一伝搬路に形成した構成にて、基板端間で
の不要信号？除去する吸収材ケ塗布した場合、この吸収
材が一方向性成極側に流延せず、これによりワイヤボン
ディングのパッドが吸収材によって覆われろことはない
のでボンディングの信頼性、及びデバイスの歩留まりに
効果がある。父、工程も通常の弾性表面波フィルタの手
法のみでよい。
？用いた弾性表面波フィルタの移相器ｊ・上記成極と同
一基板上、同一伝搬路に形成した構成にて、基板端間で
の不要信号？除去する吸収材ケ塗布した場合、この吸収
材が一方向性成極側に流延せず、これによりワイヤボン
ディングのパッドが吸収材によって覆われろことはない
のでボンディングの信頼性、及びデバイスの歩留まりに
効果がある。父、工程も通常の弾性表面波フィルタの手
法のみでよい。
明の第２乃至第５の実施例の模式図の一部？それぞれ示
すものである。 １・・・圧に曲基板、２・・・入力′鑞事、３・・・出
力１啄、４・・・シールド電極、５・・・移相器、６・
・・吸収材、８・・・開口長、。
すものである。 １・・・圧に曲基板、２・・・入力′鑞事、３・・・出
力１啄、４・・・シールド電極、５・・・移相器、６・
・・吸収材、８・・・開口長、。
Claims (1)
- １．圧電性基板上に入力及び出力電極として、複数のす
だれ状電極を設け、これら電極の少なくとも１つが弾性
表面波伝搬方向に電極中心が特定距離を隔てて同一伝搬
路上に配置され、フィルタの特定周波数において前記距
離に対応した特定の電気的位相差を有する電圧が印加さ
れる送出電極と反射電極の組より成る一方向性電極の、
特定の電気的位相差を与える移相器が、同一圧電基板上
の同一伝搬路上に形成された該フィルタにおいて、一方
向性電極と移相器の接続箇所に吸収材流れ止め部を設け
たことを特徴とする弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22665888A JPH0276311A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22665888A JPH0276311A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0276311A true JPH0276311A (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=16848628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22665888A Pending JPH0276311A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0276311A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5619175A (en) * | 1994-04-22 | 1997-04-08 | Siemens Matsushita Components Gmbh & Co. Kg | Surface acoustic wave filter with reflectors and resistors |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP22665888A patent/JPH0276311A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5619175A (en) * | 1994-04-22 | 1997-04-08 | Siemens Matsushita Components Gmbh & Co. Kg | Surface acoustic wave filter with reflectors and resistors |
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