JPH0275930A - 気密試験方法 - Google Patents

気密試験方法

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JPH0275930A
JPH0275930A JP22929288A JP22929288A JPH0275930A JP H0275930 A JPH0275930 A JP H0275930A JP 22929288 A JP22929288 A JP 22929288A JP 22929288 A JP22929288 A JP 22929288A JP H0275930 A JPH0275930 A JP H0275930A
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JP
Japan
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inert gas
gas
container
air
pressure
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Application number
JP22929288A
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English (en)
Inventor
Toru Sango
三五 徹
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0275930A publication Critical patent/JPH0275930A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 内容積の大きな各種密閉容器の不活性ガスを使用した気
密試験方法に関し、 不活性ガスを消費量が少なくなるとともにその排除作業
が容易となる気密試験方法の提供を目的とし、 不活性ガスを使用した気密試験の方法であって、風船状
の弾性容器を被試験体の内部に挿入して、該弾性容器に
該被試験体の試験気圧より低い圧力の空気を充満させ、
密封した該被試験体に所定気圧の上記不活性ガスを充満
して漏洩する該不活性ガスを測定する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内容積の大きな各種密閉容器の気密試験方法
に関する。
最近、大型電子機器に装着されるプリント板は大型化と
電子部品の高密度実装が行われているが、一方ではプリ
ント板に実装される半導体チップは更に高密度集積化さ
れて発熱量が増大してその冷却性能に対する要求も大変
厳しいものとなっている。そのため、冷却効率の高い冷
却媒体を循環させて半導体チップを冷却する方法が採用
されているが、特に高密度集積素子を冷却する部分、お
よび冷却媒体をプールする部分等の大容量容器より冷却
媒体が漏洩すると、機器内の各種電子部品の信頼性を劣
化させるとともに冷却媒体の補充が必要となるので、不
活性ガスを使用してその容器の気密を簡単、且つ安価に
測定することができる新しい気密試験方法が要求されて
いる。
〔従来の技術〕
従来、不活性ガスを使用した気密試験方法は第2図に示
すように、例えば液体、或いは気体を注入する注入口1
−1bを設けた容器本体l−1の開口部1−1aに、密
封用の蓋1−2を締着して内部を密封した被試験体1の
前記注入口1−1bと、不活性ガス3を充填したガスボ
ンベ2を配管部材4により結合する。そして、被試験体
1の内部が指定の試験気圧2例えば3 Kg / cs
 ”となるように不活性ガス3を充満して、図示してい
ない専用測定装置により被試験体1から漏洩した不活性
ガス3を定量測定する。そして、不活性ガス3を外部環
境が悪化する1例えばフロンガス等を使用した場合は、
図示していない真空ポンプ等により内部の不活性ガス3
を排除している。
〔発明が解決しようとする課題〕 以上説明した従来の気密試験方法で問題となるのは、内
容積の大きな被試験体に高価な不活性ガスを充満させて
消費するためにそのコストがア・ツブするとともに、試
験終了後の不活性ガス排除に多くの時間を要するので試
験費用が高騰するという問題が生じている。
本発明は上記のような問題点に鑑み、不活性ガスを消費
量が少な(なるとともにその排除作業が容易となる新し
い気密試験方法の提供を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、第1図に示すように被試験体1となる容器本
体1−1の開口部1−1aより風船状の弾性容器15を
挿入して、その弾性容器15の内部に被試験体1の試験
気圧よりやや低い圧力の空気16を充満させ、蓋1−2
により開口部1−18に密封した被試験体1に試験気圧
の不活性ガス3を充満して漏洩する不活性ガス3の量を
測定し、その不活性ガス3を被試験体1から排除した後
に弾性容器15が除去される。
〔作 用〕
本発明では、被試験体1の内部に挿入した弾性容器15
に試験気圧よりやや低い圧力の空気16を充満して膨張
させ、その弾性容器15と被試験体1の内壁との隙間に
試験気圧の不活性ガス3を充満すると、弾性容器15と
空気16の弾性により圧縮して被試験体1が内部を所定
の試験気圧となるので不活性ガス3の供給量が少なくな
り、また、被試験体lに供給された不活性ガス3の量が
少ないのでその排除に要する時間が少なくなって、不活
性ガス3の消費量低減と試験後のガス排除工数の削減が
可能となる。
〔実 施 例〕
以下図面に示した実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
第1図は本実施例による気密試験方法の断面図を示し、
図中において、第2図と同一部材には同一記号が付しで
あるが、その他の15は被試験体の内部に挿入して膨ら
ます弾性容器である。
その弾性容器15は、被試験体1の試験気圧と略等しい
気圧で空気16を充満させるとその被試験体1の内壁と
に隙間が生じる大きさとなり、使用時に密封することが
できる注入口を任意の箇所に配したビニール材、或いは
合成ゴム材より形成した風船である。
上記部材を使用した気密試験方法は、注入口1−1bを
設けた容器本体1−1の開口部1−1aより風船状の弾
性容器15を挿入して、その弾性容器15の内部に被試
験体lの試験気圧よりやや低い圧力1例えば2.5Kg
/am”の空気16を充満させて密封し、その後に密封
用のMl−2の容器本体1〜1の開口部1−1aに締着
して被試験体1を形成する。その被試験体lの前記注入
口1−1bと不活性ガス3を充填したガスボンベ2を配
管部材4により結合して、被試験体lの内部を所定の気
圧、即ち3Kg/cm2となるように不活性ガス3を充
満し、図示していない専用測定装置により被試験体1か
ら漏洩した不活性ガス3の量を測定する。
その測定が終了すると真空ポンプ等を使用して被試験体
1の内部に残留した不活性ガス3を排除して、その後に
容器本体1−1の内部の弾性容器15を空気16を除去
している。
その結果、被試験体1と弾性容器15の隙間容積が小さ
いので不活性ガス3の消費量が少なくなるとともに、試
験終了後の不活性ガス3排除に要する時間を少なくする
ことができる。
以上、図示実施例に基づき説明したが、本発明は上記実
施例の態様のみに限定されるものでなく、例えば被試験
体lは注入口1−1bは蓋1−2に設けられたものでも
良く、弾性容器15の形状は筒状、或いは球状でも良い
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によれば極めて
簡単な方法で不活性ガスの消費量が少なくなるとともに
、試験終了後の不活性ガス排除の時間が少なくなる等の
利点があり、著しい経済的及び、信頼性向上の効果が期
待できる気密試験方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による気密試験方法を示す図
、 第2図は従来の気密試験方法を示す図である。 図において、 1は被試験体、 1−1は容器本体、 1−1aは開口部、     1−1bは注入口、1−
2は蓋、 2はガスボンベ、    3は不活性ガス、4は配管部
材、 15は弾性容器、 16は空気、 を示す。 第1図 徒す気!拭験かよ11図 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 不活性ガスを使用した気密試験の方法であって、風船状
    の弾性容器(15)を被試験体(1)の内部に挿入して
    、該弾性容器(15)に該被試験体(1)の試験気圧よ
    り低い圧力の空気(16)を充満させ、密封した該被試
    験体(1)に所定気圧の上記不活性ガス(3)を充満し
    て漏洩する該不活性ガス(3)を測定してなることを特
    徴とする気密試験方法。
JP22929288A 1988-09-12 1988-09-12 気密試験方法 Pending JPH0275930A (ja)

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