JPH0270990A - 冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ - Google Patents

冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ロータリー形真空ポンプ

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JPH0270990A
JPH0270990A JP63220496A JP22049688A JPH0270990A JP H0270990 A JPH0270990 A JP H0270990A JP 63220496 A JP63220496 A JP 63220496A JP 22049688 A JP22049688 A JP 22049688A JP H0270990 A JPH0270990 A JP H0270990A
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神辺　重治
Tsutomu Higuchi
勉 樋口
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ルーツ形
真空ポンプに関する。
本発明は吸込圧力が、大気圧から１０−’Ｔｏｒｒレベ
ルまでの領域において、高圧縮比状態で運転され運転時
の温度が比較的高温となる逆流冷却式多段ルーツ形真空
ポンプに適用されることができる。
〔従来技術、及び発明が解決しようとする課題〕一般に
、一対のロータがそれらを包括するハウジングと微小な
隙間を保ちながら回転し、気体の吸込、吐出を行うルー
ツ形真空ポンプ等においては、できる限りその隙間を微
小に保ち運転することが、高性能なポンプを実現するう
えで重要となる。
従来第６図に示すように、特に高圧縮比状態で運転され
その圧縮熱により運転時の温度が比較的高温となる多段
ルーツ形真空ポンプ等においては、圧縮熱を外部に放熱
しポンプの過熱を防止するために、ロータ１０２を内蔵
するハウジング１０１の外周部に直接、冷却水用ジャケ
ラ）　１０３Ａ・１０３Ｂを設け、これに冷却水Ｗ１０
３を流すことにより、ポンプの冷却を行うことが試みら
れているが、ハウジングが直接、冷却水により冷却され
るためにポンプ運転時のハウジングの温度が、内部のロ
ータ温度に比較し著しく低くなり、ハウジングの熱膨張
量がロータの熱膨張量に比較し小さ（なることから、ハ
ウジングとロータ間の隙間が減少し接触を引き起こす恐
れがある。このため、予め、ハウジングとロータ間の隙
間を大きく設定しなければならず、この隙間を通して漏
れる気体の量をできる限り少なくし高性能なポンプを実
現する上で問題となる。
また従来第７図に示すように、−ａに逆流冷却式多段ル
ーツ形真空ポンプにおいては、各ポンプ区分の吐出口と
次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管路が設けら
れ、この連結管路には、冷却器が設けられ、この冷却器
の下流側の連結管路からは、前段側の各ポンプ区分へ逆
流冷却用気体を導く逆流管路が分岐し配管されるものが
、提案されている。（特開昭５９−１１５４８９）第７
図に示されている３段ルーツ形真空ポンプにおいては、
第１ポンプ区分２０１の吐出口２１４と第２ポンプ区分
２０４の吸込口２４３は、連結管路２３１．２３２．２
３３により連結し、連結管路２３１と２３２の間に冷却
器２３６を設け、連結管路２３２から分岐し第１ポンプ
区分２０１のハウジングへ逆流冷却用気体を導く逆流管
路２３４　、２３５が設けられている。
第２ポンプ区分２０４の吐出口２４４と第３ポンプ区分
２０７の吸込口２７３は、連結管路２６１．２６２．２
６３により連結し、連結管路２６１と２６２の間に冷却
器２６６を設け、連結管路２６２から分岐し第２ポンプ
区分２０４のハウジングへ逆流冷却用気体を導く逆流管
路２６４，２６５が設けられている。第３ポンプ区分２
０７の吐出口２７４に吐出管路２８１と２８２の間に冷
却器２８５を設け、吐出管路２８２から分岐し第３ポン
プ区分２０７のハウジングに連結する逆流冷却配管２８
３，２８４が設けられる。
第７図の逆流冷却式多段ルーツ形真空ポンプにおいては
、各ポンプ区分において発生した圧縮熱を外部に放熱し
、ポンプの過熱を防止するために連結管路を流れる気体
を冷却するための複数の外部冷却器が設けられている。
更に、ポンプの外部配管として、各ポンプ区分の吐出口
と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結管と、この
連結管から分岐し、前段側のポンプ区分へ逆流冷却用気
体を導く逆流配管が配管されている。このため、ポンプ
の小型化を実現する上で問題となり、また、外部冷却器
及び配管の製作費の点において必ずしも有利ではない。
したがって小形で且つ高性能なポンプの実現が強く望ま
れている。
本発明の主な目的は、前述の従来形における問題点に鑑
み、逆流冷却式多段ルーツ形真空ポンプにおける逆流冷
却を適切に行うとともに、特別な外部冷却器を使用せず
に、ポンプが過熱することのない温度に冷却し、ポンプ
運転時のハウジングとハウジング内部のロータの温度差
を小さく抑え、ハウジングとロータの熱膨張量の差を少
なくし、ハウジングとロータの接触を引き起こすことな
くハウジングとロータ間の隙間をより微少に設定するこ
とを可能とし、この隙間を通して漏れる気体の量を減少
させ、逆流冷却式多段ルーツ形真空ポンプとしての性能
を向上させることにある。
また、本発明の他の目的は、ポンプの外部に設けられて
いた冷却器と、外部配管としてなされていた各ポンプ区
分の吐出口と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結
管と、この連結管から分岐し前段側のポンプ区分へ逆流
冷却用気体を４く逆流管路を不要とすることにより、ポ
ンプを小型化し、外部冷却器及び配管の製作費を不要と
し、ポンプ製作費の大幅な低減を実現することにある。
〔課題を解決するための手段、及び作用〕本発明におい
ては、ルーツ形真空ポンプが複数のポンプ区分により形
成され、各ポンプに共通の２本の軸が設けられ、これら
の軸に支承される口−タが設けられ、 各ポンプ区分を構成しロータを内蔵するハウジングには
、吸込口、吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部に
は該ハウジングに隣接する外周気体流路および該外周気
体流路の外側の冷却水を流すための冷却水路が設けられ
、 該吸込口から該ハウジングに流入し該吐出口を通って排
出される気体が該外周気体流路へ導びかれて冷却され、 該冷却された気体の少くとも一部が該ハウジングへ返還
され、最終段のポンプ区分を除くポンプ区分においては
ハウジングへ返還されない該冷却された気体の残部が該
外周気体流路を通って次段のポンプ区分の吸込口へ導び
かれるようになっている、 ことを特徴とする冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ル
ーツ形真空ポンプ、が提供される。
本発明による真空ポンプの作用は以下の通りである。
各ポンプ区分の吸込口から、ハウジング内部へ吸い込ま
れた気体は、ロータの動作にもとずき移送されるが、こ
のとき該気体は、外周気体流路を通り逆流冷却用気体の
流入口からハウジング内部に流入す・る逆流冷却用気体
により、温度の上昇を低く抑えられながら逆流圧縮され
、吐出気体として吐出口より外周気体流路に吐出される
。該吐出気体は、冷却水路を流れる冷却水により充分に
冷却された外周気体流路の外壁に放熱するとともに、ハ
ウジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流れ
、逆流冷却用気体の流入口において、再びハウジング内
部へ流入する逆流冷却用気体と次段のポンプ区分に流入
する吸込気体とに分かれる。
該吸込気体は、冷却水路を流れる冷却水により充分に冷
却された外周気体流路の外壁に放熱するとともに、ハウ
ジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流れ続
け、次段のポンプ区分の吸込口に到る。
本発明による逆流冷却式多段ルーツ形真空ポンプにおい
ては、逆流冷却用気体は、各ポンプ区分の吸込圧力と吐
出圧力の圧力差により充分な流量が確保され、逆流冷却
用気体の流入口・ハウジング内部・吐出口・外周気体流
路と順次流れる循環流となりハウジング内部における圧
縮による発熱と外周気体流路における放熱とを繰り返す
サイクルが形成され、常に、ハウジング内部における圧
縮熱をハウジングの外部に連続的に搬出するとともにハ
ウジングを適度な温度に保温することによりポンプ運転
時のハウジング内部のロータとハウジングの温度差を小
さく抑える作用を行う。
他方、次段のポンプ区分の吸込口に流入する気体は、冷
却水路を流れる冷却水により、充分に冷却された外周気
体流路の外壁とハウジングとの間の外周気体流路を流れ
ることにより外周気体流路の外壁に放熱するとともに、
ハウジングが冷却水により直接冷却されることを防止し
、ハウジングを適度な温度に保温することによりハウジ
ング内部のロータとハウジングの温度差を小さく抑える
作用を行ない次段のポンプ区分の吸込口に流入する。以
上の作用が各ポンプ区分において順次行なわれる。
〔実施例〕
本発明の一実施例として、第１ポンプ区分１、第２ポン
プ区分２、第３ポンプ区分３、を持つ逆流冷紺式３段ル
ーツ形真空ポンプが第１図に示されている。第２図は、
第１図に示されるポンプのｎ−ｎ断面図であり、第３図
は、ｍ−ｍ断面図、第４図は、ＩＶ−ＩＶ断面図、第５
図は、Ｖ−Ｖ断面図である。
本ポンプの構造は、以下の通りである。
第１図において、隔壁４で第１ポンプ区分１と第２ポン
プ区分２に区切られ、隔壁５で第２ポンプ区分２と第３
ポンプ区分３に区切られており、第２図において、第１
シヤフト７１と第２シヤフト７２は、各ポンプ区分を貫
通してそれぞれ２箇所軸の受機構７４で支承され、タイ
ミングギヤセット７３で互いに反対方向に回転するよう
に組み込まれている。第１シヤフト７１は、軸封機構７
５を貫通し電動機により駆動されることができる。
各ポンプ区分の構造は、以下の通りである。
第１及び第３図において、第１ポンプ区分１は、吸込口
１３と吐出口１４とを有するハウジング１１と一対の軸
７１　、７２に支承されるロータ１２Ａ・１２Ｂから成
り、ハウジング１１の外周部には、吐出口１４とハウジ
ング１１の内部に逆流冷却用気体を導く流入口１５Ａ・
１５Ｂを連通し、次段の第２ポンプ区分へ向かう外周気
体流路１６Ａ・１６Ｂを有し、外周気体流路１６Ａ・１
６Ｂの外周部には、冷却水路９を有する。
第１及び第４図において、第２ポンプ区分２は、吸込口
２３と吐出口２４とを有するハウジング２１と一対の軸
７１　、７２に支承されるロータ２２Ａ・２２Ｂから成
り、ハウジング２１の外周部には、前段の第１ポンプ区
分より吸込口２３に連通ずる外周気体流路１６Ａ・１６
Ｂと、吐出口２４とハウジング内部に逆流冷却用気体を
導く流入口２５Ａ・２５Ｂを連通し、次段の第３ポンプ
区分へ向かう外周気体流路２６Ａ・２６Ｂを有し、外周
気体流路１６Ａ・１６Ｂ・２６Ａ・２６Ｂの外周部には
、冷却水路９を有する。
第１及び第５図において、第３ポンプ区分３は、吸込口
３３と吐出口３４を有するハウジング３１と一対の軸７
１　、７２に支承されるロータ３２Ａ・３２Ｂから成り
、ハウジング３１の外周部には、前段の第２ポンプ区分
より吸込口３３に連通ずる外周気体流路２６Ａ・２６Ｂ
と、吐出口３４とハウジング３１の内部に逆流冷却用気
体を導く流入口３５Ａ・３５Ｂを連通ずる外周気体流路
２６Ａ・２６Ｂを有し、外周気体流路２６Ａ・２６Ｂ・
３６Ａ・３６Ｂの外周部には、冷却水路９を有する。第
１図〜第５図において、冷却水人口９１は外周気体流路
の外周部に設けられた冷却水路９により冷却水出口９２
に連通ずる。
本ポンプ装置の動作を第１図〜第５図を用いて説明する
と下記の通りである。
第１ポンプ区分１において、第１図及び第３図に示すよ
うに、ポンプの吸込気体Ｇ８１は、ポンプの吸込口８１
を通り第１ポンプ区分の吸込口１３から吸込気体Ｇ１３
として吸込まれ、ロータ１２Ａ。
１２Ｂの動作にもとずき移送されるが、このとき該気体
は、外周気体流路１６Ａ　−１６Ｂを通り、逆流冷却用
気体の流入口１５Ａ・１５Ｂからハウジングの内部に流
入する逆流冷却用気体Ｇ１５により温度の上昇を低く抑
えられながら逆流圧縮され、吐出気体Ｇ１４として吐出
口１４から外周気体流路１６Ａ・１６Ｂに吐出される。
吐出気体Ｇ１４は、冷却水路９を流れる冷却水Ｗ９によ
り充分に冷却された外周気体流路１６Ａ・１６Ｂの外壁
に放熱するとともに、ハウジング１１を適度な温度に保
温しつつ外周気体流路を流れ逆流冷却用気体の流入口１
５Ａ・１５Ｂにおいて、再びハウジングｌｌ内へ流入す
る逆流冷却用気体Ｇ１５と、第２ポンプ区分の吸込口２
３へ流入する吸込気体Ｇ２３とに分かれる。
咳吸込気体Ｇ２３は、冷却水路９を流れる冷却水Ｗ９に
より充分に冷却された外周気体流路１６Ａ・１６Ｂの外
壁に放熱するとともに、ハウジング１１とハウジング２
１を適度な温度に保温しつつ外周気体流路１６Ａ・１６
Ｂを流れ続け、第２ポンプ区分の吸込口２３に到る。
第２ポンプ区分においては、第１図と第４図に示すよう
に、吸込気体０２３は、吸込口２３から吸い込まれ、ロ
ータ２２Ａ、２２Ｂの動作にもとすき移送されるが、こ
のとき該気体は、外周気体流路２６Ａ・２６Ｂを通り逆
流冷却用気体の流入口２５Ａ・２５Ｂか・らハウジング
２１内部に流入する逆流冷却用気体Ｇ２５により温度の
上昇を低く抑えられながら逆流圧縮され、吐出気体Ｇ２
４として吐出口２４より外周気体流路２６Ａ・２６Ｂに
吐出される。吐出気体Ｇ２４は、冷却水路９を流れる冷
却水Ｗ９により充分に冷却された外周気体流路２６Ａ・
２６Ｂの外壁に放熱するとともに、ハウジング２１を適
度な温度に保温しつつ外周気体流路を流れ逆流冷却用気
体の流入口２５Ａ・２５Ｂにおいて、再びハウジング２
１内へ流入する逆流冷却用気体Ｇ２５と第３ポンプ区分
に流入する吸込気体Ｇ３３とに分かれる。
該吸込気体Ｇ３３は、冷却水路９を流れる冷却水Ｗ９に
より充分に冷却された外周気体流路２６Ａ・２６Ｂの外
壁に放熱するとともに、ハウジング２１とハウジング３
１を適度な温度に保温しつつ外周気体流路２６Ａ・２６
Ｂを流れ続け、第３ポンプ区分の吸込口３３に到る。
第３ポンプ区分においては、第１図と第５図に示すよう
に、吸込気体Ｇ３３は、吸込口３３から吸い込まれ、ロ
ータ３２Ａ、３２Ｂの動作にもとすき移送されるが、こ
のとき該気体は、外周気体流路３６Ａ・３６Ｂを通り逆
流冷却用気体の流入口３５Ａ・３５Ｂからハウジング３
１内部に流入する逆流冷却用気体Ｇ３５により温度の上
昇を低く抑えられながら逆流圧縮され、吐出気体Ｇ３４
として吐出口３４より吐出される。吐出気体Ｇ３４は、
吐出口３４において、逆流冷却用気体Ｇ３５とポンプの
吐出口８２よりポンプ外へ吐出されるポンプの吐出気体
Ｇ８２とに分かれる。逆流冷却用気体Ｇ３５は、冷却水
路９を流れる冷却水Ｗ９により充分に冷却された外周気
体流路３６Ａ・３６Ｂの外壁に放熱するとともに、ハウ
ジング３１を適度な温度に保温しつつ外周気体流路３６
Ａ・３６Ｂを流れ、再び逆流冷却用気体の流入口より３
５Ａ・３５Ｂハウジング３１内へ流入する。
このように、本発明による逆流冷却式多段ルーツ形真空
ポンプにおいては、各ポンプ区分の吸込口から、ハウジ
ング内部へ吸い込まれた気体は、ロータの動作にもとづ
き移送されるが、このとき該気体は、外周気体流路を通
り逆流冷却用気体の流入口からハウジング内部に流入す
る逆流冷却用気体により、温度の上昇を低く抑えられな
がら逆流圧縮され、吐出気体として吐出口より外周気体
流路に吐出される。該吐出気体は、冷却水路を流れる冷
却水により充分に冷却された外周気体流路の外壁に放熱
するとともに、ハウジングを適度な温度に保温しつつ外
周気体流路を流れ、逆流冷却用気体の流入口において、
再びハウジング内部へ流入する逆流冷却用気体と次段の
ポンプ区分に流入する吸込気体とに分かれる。
該吸込気体は、冷却水路を流れる冷却水により充分に冷
却された外周気体流路の外壁に放熱するとともに、ハウ
ジングを適度な温度に保温しつつ外周気体流路を流れ続
け、次段のポンプ区分の吸込口に到る。以上の作用が各
ポンプ区分において順次行なわれる。
以上はポンプ区分３段の場合について記述したが、３段
に限らず、４段以上にすることができる。
なお４段以上の場合においても初段は第３図の構成、最
終段は第５図の構成をとることになる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、高圧縮比状態で運転され、運転時の温
度が比較的高温となる逆流冷却式多段ルーツ形真空ポン
プにおける逆流冷却が適切に行われる。また本発明によ
れば、逆流冷却用気体は、各ポンプ区分の吸込圧力と吐
出圧力の圧力差により充分な流量が確保され、逆流冷却
用気体の流入口・ハウジング内部・吐出口・外周気体流
路と順次流れる循環流となりハウジング内部における圧
縮による発熱と外周気体流路における放熱とを繰り返す
サイクルが形成され、常に、ハウジング内部における圧
縮熱がハウジングの外部に連続的に搬出され、ハウジン
グは適度な温度に保温され、それによりポンプ運転時の
ハウジング内部のロータの温度とハウジングの温度との
関係が適切に保たれる。また、次段のポンプ区分の吸込
口に流入する気体は、冷却水路を流れる冷却水により充
分に冷却された外周気体流路の外壁とハウジングとの間
の外周気体流路を流れることにより外周気体流路の外壁
に放熱し、ハウジングの冷却水による直接冷却が防止さ
れ、ハウジングが適度な温度に保温され、それによって
また、ハウジング内部のロータの温度とハウジングの温
度との関係が適切に保たれる。
以上の作用が各ポンプ区分において順次行なわれ、特別
な外部冷却器を使用せず、ポンプが過熱することのない
温度に冷却され、ポンプ運転時のハウジングと、ハウジ
ング内部のロータの温度関係が適切に保たれ、ハウジン
グの熱膨張量がロータの熱膨張量に比較して著しく小さ
くなることが防止され、ハウジングとロータの接触を引
き起こすことなしに、ハウジングとロータ間の隙間をよ
り微少に設定することが可能となり、この隙間を通して
、漏れる気体の量を減少せしめ、逆流冷却式多段ルーツ
形真空ポンプとしての性能が向上する。
また、本発明によれば、従来ポンプの外部に設けられて
いた冷却器と、外部配管としてなされていた各ポンプ区
分の吐出口と次段のポンプ区分の吸込口を連結する連結
管と、この連結管から分岐し、前段側のポンプ区分へ逆
流冷却用気体を導く逆流管路が不要であり、ポンプの小
型化が可能となり、外部冷却器及び外部配管の製作費が
不要であり、ポンプ製作費の大幅な低減が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例として逆流冷却式３段ルー
ツ形真空ポンプの構造図、第２図は、第１図に示される
ポンプの■−■断面図であり、第３図は、ｍ−ｍ断面図
、第４図は、ＩＶ−Ｉｔ／断面図、第５図は、Ｖ−Ｖ断
面図であり、第６図は、従来のルーツ形真空ポンプの一
実施例、第７図は、従来の逆流冷却式多段ルーツ形真空
ポンプ−実施例として３段ルーツ形真空ポンプの概要図
を示したものである。 （符号の説明） ｌ・・・第１ポンプ区分、　　　１１・・・ハウジング
、１２Ａ・１２Ｂ・・・ロータ、　　　１３・・・吸込
口、１４・・・吐出口、 １５Ａ・１５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、１６Ａ
・１６Ｂ・・・第１、第２ポンプ区分間の外周気体流路
、 ２・・・第２ポンプ区分、　　２１・・・ハウジング、
２２Ａ・２２Ｂ・・・ロータ、　　　２３・・・吸込口
、２４・・・吐出口、 ２５Ａ・２５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、２６Ａ
・２６Ｂ・・・第２、第３ポンプ区分間の外周気体流路
、 ３・・・第３ポンプ区分、　　３１・・・ハウジング、
３２Ａ・３２Ｂ・・・ロータ、　　　３３・・・吸込口
、３４・・・吐出口、 ３５Ａ・３５Ｂ・・・逆流冷却用気体の流入口、３６Ａ
・３６Ｂ・・・第３ポンプ区分の吐出口と逆流冷却用気
体の流入口間の外周気体流路、 ４・・・第１、第２ポンプ区分間の仕切壁、５・・・第
２、第３ポンプ区分間の仕切壁、７１・・・第１シヤフ
ト、　　７２・・・第２シヤフト、７３・・・タイミン
グギヤセット、 ７４・・・軸受機構、　　　　７５・・・軸封機構、８
１・・・ポンプの吸込口、　８２・・・ポンプの吐出口
、９・・・冷却水路、　　　　　　９１・・・冷却水入
口、９２・・・冷却水、 Ｇ１３・・・第１ポンプ区分の吸込気体、Ｇ１４・・・
第１ポンプ区分の吐出気体、Ｇ１５・・・第１ポンプ区
分へ流入する逆流冷却用気体、Ｇ２３・・・第２ポンプ
区分の吸込気体、Ｇ２４・・・第２ポンプ区分の吐出気
体、Ｇ２５・・・第２ポンプ区分へ流入する逆流冷却用
気体、Ｇ３３・・・第３ポンプ区分の吸込気体、Ｇ３４
・・・第３ポンプ区分の吐出気体、０３５・・・第３ポ
ンプ区分へ流入する逆流冷却用気体、Ｇ８１・・・ポン
プの吸込気体、 Ｇ８２・・・ポンプの吐出気体、 １０１・・・ハウジング、１０２・・・ロータ、１１１
・・・吸込口、　　　　　１１２・・・吐出口、１０３
Ａ・１０３Ｂ・・・冷却水用ジャケット、１１３Ａ・１
１３Ｂ・・・冷却水入口、１２３Ａ・１２３Ｂ・・・冷
却水出口、Ｇ１１１・・・吸込気体、　　　Ｇ１１２・
・・吐出気体、Ｗ９・・・冷却水、　　　　　Ｗ２Ｏ３
・・・冷却水、２０１・・・第１ポンプ区分、 ２１３・・・吸込口、　　　　　２１４・・・吐出口、
２３１．２３２，２３３・・・連結管路、２３４　、２
３５・・・逆流管路、２３６・・・冷却器、 ２０４・・・第２ポンプ区分、 ２４３・・・吸込口、　　　　　２４４・・・吐出口、
２６１　、２６２　、２６３・・・連結管路、２６４　
、２６５・・・逆流管路、２６６・・・冷却器、 ２０７・・・第３ポンプ区分、 ２７３・・・吸込口、　　　　　２７４・・・吐出口、
２８１．２８２・・・吐出管路。 第 図 第 図 第 図 第６ 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ルーツ形真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され
    、各ポンプに共通の２本の軸が設けられ、これらの軸に
    支承されるロータが設けられ、各ポンプ区分を構成しロ
    ータを内蔵するハウジングには、吸込口、吐出口が設け
    られ、該ハウジングの外周部には該ハウジングに隣接す
    る外周気体流路および該外周気体流路の外側の冷却水を
    流すための冷却水路が設けられ、 該吸込口から該ハウジングに流入し該吐出口を通って排
    出される気体が該外周気体流路へ導びかれて冷却され、
    該冷却された気体の少くとも一部が該ハウジングへ返還
    され、 最終段のポンプ区分を除くポンプ区分においてはハウジ
    ングへ返還されない該冷却された気体の残部が該外周気
    体流路を通って次段のポンプ区分の吸込口へ導びかれる
    ようになっている、 ことを特徴とする冷却水路を内蔵する逆流冷却式多段ル
    ーツ形真空ポンプ。
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