JPH0267A - 感光性組成物及びその現像方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール
又はポリ酢酸ビニルと、オルソキノンジアジド系化合物
とを含有する感光性組成物及びこのような感光性組成物
の現像方法に関するものである。

［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］従来よ
り高分子化合物とオルソキノンジアジド系化合物とを含
有する感光性組成物が知られており、例えばフェノール
樹脂と、１．２−ナフトキノン−ジアジド（２）−４−
スルホン酸のノボラックエステルの組合せがある。これ
らはフォトレジスト、フォトレリーフなどの用途に利用
されている。しかしながら、これらの組合せではアルカ
リ水溶液で現像可能である゛が、感光皮膜が脆く、きす
がつきやすいなど機械的強度が不充分である。

感光皮膜の強度を上げるため、このような樹脂にポリビ
ニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等の樹脂を添加するこ
とが提案されているが（特開昭５０−９６３０４号公報
、特開昭５５−１２９３４号公報、特開昭５５−６３９
７号公報）、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等
は通常のアルカリ水溶液には溶解しないので、限られた
量しか用いることができず、又、比較的分子量の小さい
ものが用いられている。

従って、従来の感光性組成物を用いた感光フィルムでは
充分な機械的強度が得られず、折り曲げたり筒状に丸め
たりするとクラックが発生し、良好な画像が得られなか
った。

［発明の目的］ 本発明の目的は、これらの問題点を解消し、感光皮膜が
強靭でしかも水系現液で現像可能な感光性組成物及びそ
の現像方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明の感光性組成物は、高
分子化合物として平均分子量１００００から２３０００
０で、ブチラール化度が２０から８軸１％であるポリビ
ニルブチラール、又は平均分子量１５０００から２７０
０００であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれた１
種以上と、オルソキノンジアジド系化合物とを含有する
ものであり、又、本発明の現像方法は、高分子化合物と
してポリビニルブチラール。

ポリビニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群
から選ばれた１種以上と、オルソキノンジアジド系化合
物とを含有する感光性組成物を露光し、次いで芳香族カ
ルボン酸、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアル
キル硫酸のアルカリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水
酸化物及びあるいは炭酸塩との水溶液である水系現像液
で現像するものである。

本発明の感光性組成物において使用する高分子化合物は
、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビニルよりなる
群から選ばれた１種以上が用いられている。これら高分
子化合物は有機溶剤に可溶であるば使用可能であるが、
その分子量が少なすぎると皮膜強度が低下し、又、分子
量が大きすぎると感光液が高粘度になり、その調整が困
難になるため好ましくない、ブチラール化度については
低くすぎると耐水性が悪くなり、高すぎると水系現像液
での現像性が低下する。以上の理由によりポリビニルホ
ルマールは、平均分子量１００００から２３００００で
ブチラール化度が２０ら８０ｍｏ１％、ポリ酢酸ビニル
においては平均分子量１５０００から２７００００であ
る高分子化合物が好ましい。

又１本発明において使用するオルソキノンジアジド系化
合物としては、２−ジアゾ−１−ナフトール−５（４′
−メチルフェニルスルホネート）、２−ジアゾ−１−ナ
フトール−５−フェノキシスルホネート、１．２−ナフ
トキノン−ジアジド（２）　−４−スルホン酸のノボラ
ックエステル、２．２′−ジヒドロキシ−ジフェニル−
ビス−（ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−スルホ
ン酸エステル）、２．３．４−トリオキシベンザフェノ
ン−ビス−（ナフトキノン−１，２−ジアジド−５−ス
ルホン酸エステル）等をあげることができる。

これらオルソキノンジアジド系化合物の高分子化合物に
対する添加量は、重量で通常５から５０％、好適な添加
量は１０から３０％である。

さらに、必要に応じ、染料、顔料等を添加しても差支え
ない、又、使用目的に応じ、現像性、耐触性等の改善の
必要が有れば、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビ
ニルと相溶性のあるフェノール樹脂、スチレン−マレイ
ン酸共重合ｍ脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂等をポ
リビニルホルマールに対して等量まで添加しても良い。

本発明の感光性組成物は、一般的には有機溶剤に溶解し
、基材に塗布して使用する。有機溶剤の具体例としては
、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、
メチルアルコール、エチルアルコール、酢酸エチル、酢
酸ブチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル、ジメチルホルム
アミド等、又はこれら有機溶剤の混合物をあげることが
できる。

次に本発明の感光性組成物の現像方法について説明する
６本発明の現像方法は、高分子化合物としてポリビニル
ブチラール又はポリ酢酸ビニルと、オルソキノンドアシ
ト系化合物とを含有する上記の感光性組成物又は上記感
光性組成物の高分子化合物の代わりに又はそれと併用し
てポリビニルホルマールを含有する感光性組成物（特開
昭５９−１８７３４０号）に適用されるもので、特定の
複合されたアルカリ現像液を用いることによりこのよう
な高分子化合物を現像するものである。すなわち、本発
明の感光性組成物の現像液としては、芳香族カルボン酸
、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアルキル硫酸
のアルカリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水酸化合物
及びあるいは炭酸塩との水溶液を使用することができる
。これらの化合物の具体例を示せば、芳香族カルボン酸
としてはＰ−クロル安息香酸、サリチル酸、アントラニ
ル酸等、芳香族スルホン酸としては１−ナフトール−４
−スルホン酸等、フェノール類としてはＰ−ヒドロキシ
安息香酸エチル、ペンタクロルフェノール等、アルキル
硫酸としてはラウリル硫酸等のナトリウム、カリウム等
のアルカリ金属塩化合物をあげることができる。また、
これらのアルカリ金属の水酸化物あるいは炭酸塩の具体
例を示せば、前者としては、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、後者としては炭酸ナトリウム、炭酸カリウム
がある。

現像液の現像性、安定性等からみて、最も好ましい現像
液としては、Ｐ−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル
酸ナトリウムの単独または混合物と、水酸化ナトリウム
、水酸化カリウムの単独または混合物との水溶液をあげ
ることができる。現像液の濃度としては通常４から４０
重量％の水溶液として使用することができるが、現像性
を改善する目的で、メチルアルコ−ル ル等の有機溶剤をこれら現像液に対し重量で１から４０
％添加することもできる。

［実施例］ 次に本発明を実施例によって更に詳細に説明する。

実施例　１ 厚さ１００μのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が１０μにな
るように塗布、乾燥し，アルコ−着させ、超高圧水銀灯
２ｋｗで１ｍの距離より，４０秒露光を行った後、以下
の現像液で処理することにより，感光層の現像及びポリ
アミド溜のエツチングを一液で行うことができ、良好な
ネガフィルムが得られた。

次に上記ポリアミド層の上に下記組成の感光液を乾燥後
の塗膜が３μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。

この感光性フィルムをネガのくくり線原稿と密比較例　
１ 実施例１の感光液のバインダー用高分子化合物・・・・
・ポリビニルブチラール樹脂に埜えて、フェノール樹脂
（郡栄化学工業（株）社製商品名ＭＰ１２０ＨＨ）を使
用し、実施例１に従って感光性フィルムを作り、現像処
理したネガフィルムを得た。

処理剤のネガフィルムは、実施例１とほとんど同じであ
ったが、現像処理前に、感光フィルムを折り曲げたり、
強く筒状に丸めたりすると、比較例１の感光フィルムは
、クラックが入り、現像処理により、可溶性ポリアミド
層にも同型の溝が入ったが、実施例１の感光フィルムは
、全く異状が認められなかった。

実施例　２ 厚さ１００μのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に真空蒸着により０．１μのアルミニウム膜を設け
、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が３μになる
ように塗布し、乾燥した。

高圧水銀灯で１ｍの距離より２分間露光を行った後１次
に示す現像液で現像を行った０次いで５０重量％リン酸
水溶液で、アルミニウムのエツチングを行った。露光部
の感光層は十分にレジストとしての機能を果たし、画像
遮光性の高い鮮明なアルミニウムのポジ画像が得られた
。

比較例　２ 実施例２の感光液で使用されているポリ酢酸ビニルに替
えて、フェノール樹脂（郡学化学工業（株）社製商品名
ＭＰ１２０ＨＨ）を使って実施例２に従って感光フィル
ムを作った。

実施例２及び比較例２の両フィルムを現像前に折り曲げ
、強く丸めたところ、比較例２のフィルムはクラックが
入り現像及びエツチング処理により、クラックの部分の
アルミニウムが溶解して良好な画像を得られなかった。

実施例２のフィルムには全く異状が認められなかった。

実施例　３ 厚さ１００μのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に下記の組成の感光液を塗布乾燥し、３この感光性フィ
ルムをポジ原稿と密着させ、超高圧水銀灯２ｋｗで１ｍ
の距離より、６０秒露光した後、以下の現像液で処理す
ることにより、明色の鮮明なポジ画像を得た。

［発明の効果コ 本発明の感光性組成物及び現像方法によれば、皮膜が強
靭でレリーフがシャープな良好な画像が得られ、又有機
溶剤を使用しないので作業性も良い。

代理人　弁理士　　守　谷　−雄

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高分子化合物として平均分子量１００００から２３
   ００００で、ブチラール化度が２０から８０ｍｌ％であ
   るポリビニルブチラール、又は平均分子量１５０００か
   ら２７００００であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選
   ばれた１種以上と、オルソキノンジアジド系化合物とを
   含有することを特徴とする感光性組成物。 ２、オルソキノンジアジド系化合物の高分子化合物に対
   する添加量が５から５０重量％である第１項記載の感光
   組成物。 ３、高分子化合物としてポリビニルブチラール、ポリビ
   ニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群から選
   ばれた１種以上と、オルソキノンジアジド系化合物とを
   含有する感光性組成物を露光し、次いで芳香族カルボン
   酸、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアルキル硫
   酸のアルカリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水酸化物
   及びあるいは炭酸塩との水溶液である水系現像液で現像
   することを特徴とする感光性組成物の現像方法。