JPH0680462B2 - 感光性フィルム及びその現像方法 - Google Patents
感光性フィルム及びその現像方法Info
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- JPH0680462B2 JPH0680462B2 JP1060496A JP6049689A JPH0680462B2 JP H0680462 B2 JPH0680462 B2 JP H0680462B2 JP 1060496 A JP1060496 A JP 1060496A JP 6049689 A JP6049689 A JP 6049689A JP H0680462 B2 JPH0680462 B2 JP H0680462B2
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- JP
- Japan
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- film
- photosensitive
- compound
- photosensitive film
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はポリビニルブチラール又はポリ酢酸ビニルと、
オルソキノンジアジド系化合物とを含有する感光性組成
物層を備えた感光性フィルム及びこのような感光性フィ
ルムの現像方法に関するものである。
オルソキノンジアジド系化合物とを含有する感光性組成
物層を備えた感光性フィルム及びこのような感光性フィ
ルムの現像方法に関するものである。
［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］ 従来より高分子化合物とオルソキノンジアジド系化合物
とを含有する感光性組成物が知られており、例えばフェ
ノール樹脂と、１、２−ナフトキノン−ジアジド（２）
−４−スルホン酸のノボラックエステルの組合せがあ
る。これらはフォトレジスト、フォトレリーフなどの用
途に利用されている。しかしながら、これらの組合せで
はアルカリ水溶液で現像可能であるが、感光皮膜が脆
く、きずがつきやすいなど機械的強度が不充分である。
感光皮膜の強度を上げるため、このような樹脂にポリビ
ニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等の樹脂を添加するこ
とが提案されているが（特開昭50−96304号公報、特開
昭55−129341号公報、特開昭55−6397号公報）、ポリビ
ニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等は通常のアルカリ水
溶液には溶解しないので、限られた量しか用いることが
できす、又、比較的分子量の小さいものが用いられてい
る。
とを含有する感光性組成物が知られており、例えばフェ
ノール樹脂と、１、２−ナフトキノン−ジアジド（２）
−４−スルホン酸のノボラックエステルの組合せがあ
る。これらはフォトレジスト、フォトレリーフなどの用
途に利用されている。しかしながら、これらの組合せで
はアルカリ水溶液で現像可能であるが、感光皮膜が脆
く、きずがつきやすいなど機械的強度が不充分である。
感光皮膜の強度を上げるため、このような樹脂にポリビ
ニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等の樹脂を添加するこ
とが提案されているが（特開昭50−96304号公報、特開
昭55−129341号公報、特開昭55−6397号公報）、ポリビ
ニルブチラール、ポリ酢酸ビニル等は通常のアルカリ水
溶液には溶解しないので、限られた量しか用いることが
できす、又、比較的分子量の小さいものが用いられてい
る。
従って、従来の感光性組成物を用いた感光フィルムでは
充分な機械的強度が得られず、折り曲げたり筒状に丸め
たりするとクラックが発生し、良好な画像が得られなか
った。
充分な機械的強度が得られず、折り曲げたり筒状に丸め
たりするとクラックが発生し、良好な画像が得られなか
った。
［発明の目的］ 本発明の目的は、これらの問題点を解消し、感光皮膜が
強靭でしかも水系現像液で現像可能な感光性フィルム及
びその現像方法を提供することにある。
強靭でしかも水系現像液で現像可能な感光性フィルム及
びその現像方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明の感光性フィルムは、
フィルム支持体及びその上に形成された感光性組成物層
から成り、感光性組成物層は高分子化合物として平均分
子量10000から230000で、ブチラール化度が20から80mol
％であるポリビニルブチラール、又は平均分子量15000
から270000であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれ
た１種以上と、オルソキノンジアジド系化合物とを含有
するものであり、又、本発明の現像方法は、高分子化合
物として平均分子量10000から230000で、ブチラール化
度が20から80mol％であるポリビニルブチラール、又は
平均分子量15000から270000であるポリ酢酸ビニルより
なる群から選ばれた１種以上と、オルソキノンジアジド
系化合物とを含有し、オルソキノンジアジド系化合物の
前記高分子化合物に対する添加量が５から50重量％であ
る感光性組成物層を備えた感光性フィルムを露光し、次
いで芳香族カルボン酸のアルカリ金属塩化合物と、アル
カリ金属の水酸化物及び／又は炭酸塩との水溶液である
水系現像液で現像するものである。
フィルム支持体及びその上に形成された感光性組成物層
から成り、感光性組成物層は高分子化合物として平均分
子量10000から230000で、ブチラール化度が20から80mol
％であるポリビニルブチラール、又は平均分子量15000
から270000であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれ
た１種以上と、オルソキノンジアジド系化合物とを含有
するものであり、又、本発明の現像方法は、高分子化合
物として平均分子量10000から230000で、ブチラール化
度が20から80mol％であるポリビニルブチラール、又は
平均分子量15000から270000であるポリ酢酸ビニルより
なる群から選ばれた１種以上と、オルソキノンジアジド
系化合物とを含有し、オルソキノンジアジド系化合物の
前記高分子化合物に対する添加量が５から50重量％であ
る感光性組成物層を備えた感光性フィルムを露光し、次
いで芳香族カルボン酸のアルカリ金属塩化合物と、アル
カリ金属の水酸化物及び／又は炭酸塩との水溶液である
水系現像液で現像するものである。
本発明の感光性フィルムにおいて使用する高分子化合物
は、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビニルよりな
る群から選ばれた１種以上が用いられている。これら高
分子化合物は有機溶剤に可溶であるば使用可能である
が、その分子量が少なすぎると皮膜強度が低下し、又、
分子量が大きすぎると感光液が高粘度になり、その調整
が困難になるため好ましくない。ブチラール化度につい
ては低すぎると耐水性が悪くなり、高すぎると水系現像
液での現像性が低下する。以上の理由によりポリビニル
ブチラールは、平均分子量10000から230000でブチラー
ル化度が20から80mol％、ポリ酢酸ビニルにおいては平
均分子量15000から270000である高分子化合物が好まし
い。
は、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビニルよりな
る群から選ばれた１種以上が用いられている。これら高
分子化合物は有機溶剤に可溶であるば使用可能である
が、その分子量が少なすぎると皮膜強度が低下し、又、
分子量が大きすぎると感光液が高粘度になり、その調整
が困難になるため好ましくない。ブチラール化度につい
ては低すぎると耐水性が悪くなり、高すぎると水系現像
液での現像性が低下する。以上の理由によりポリビニル
ブチラールは、平均分子量10000から230000でブチラー
ル化度が20から80mol％、ポリ酢酸ビニルにおいては平
均分子量15000から270000である高分子化合物が好まし
い。
又、本発明において使用するオルソキノンジアジド系化
合物としては、２−ジアゾ−１−ナフトール−５（４′
−メチルフエニルスルホネート）、２−ジアゾ−１−ナ
フトール−５−フェノキシスルホネート、１、２−ナフ
トキノン−ジアジド（２）−４−スルホン酸のノボラッ
クエステル、２、２′−ジヒドロキシ−ジフエニル−ビ
ス−（ナフトキノン−１、２−ジアジド−５−スルホン
酸エステル）、２、３、４−トリオキシベンザフェノン
−ビス−（ナフトキノン−１、２−ジアジド−５−スル
ホン酸エステル）等をあげることができる。
合物としては、２−ジアゾ−１−ナフトール−５（４′
−メチルフエニルスルホネート）、２−ジアゾ−１−ナ
フトール−５−フェノキシスルホネート、１、２−ナフ
トキノン−ジアジド（２）−４−スルホン酸のノボラッ
クエステル、２、２′−ジヒドロキシ−ジフエニル−ビ
ス−（ナフトキノン−１、２−ジアジド−５−スルホン
酸エステル）、２、３、４−トリオキシベンザフェノン
−ビス−（ナフトキノン−１、２−ジアジド−５−スル
ホン酸エステル）等をあげることができる。
これらオルソキノンジアジド系化合物の高分子化合物に
対する添加量は、重量で通常５から50％、好適な添加量
は10から30％である。
対する添加量は、重量で通常５から50％、好適な添加量
は10から30％である。
さらに、必要に応じ、染料、顔料等を添加しても差支え
ない。又、使用目的に応じ、現像性、耐触性等の改善の
必要が有れば、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビ
ニルと相溶性のあるフェノール樹脂、スチレン−マレイ
ン酸共重合樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂等をポ
リビニルブチラール或いはポリ酢酸ビニルに対して等量
まで添加しても良い。
ない。又、使用目的に応じ、現像性、耐触性等の改善の
必要が有れば、ポリビニルブチラール、又はポリ酢酸ビ
ニルと相溶性のあるフェノール樹脂、スチレン−マレイ
ン酸共重合樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂等をポ
リビニルブチラール或いはポリ酢酸ビニルに対して等量
まで添加しても良い。
本発明の感光性組成物は、一般的には有機溶剤に溶解
し、フィルム支持体に塗布して感光性フィルムとする。
有機溶剤の具体例としては、アセトン、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、メチルアルコール、エチルア
ルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルグリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジメチルホルムアミド等、又はこれら有機溶剤
の混合物をあげることができる。
し、フィルム支持体に塗布して感光性フィルムとする。
有機溶剤の具体例としては、アセトン、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、メチルアルコール、エチルア
ルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルグリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジメチルホルムアミド等、又はこれら有機溶剤
の混合物をあげることができる。
フィルム支持体としては、ポリエチレンテレフタレート
等のプラスチックフィルム或いはアルミニウム等の金属
を蒸着したプラスチックフィルムなどが用いられる。
等のプラスチックフィルム或いはアルミニウム等の金属
を蒸着したプラスチックフィルムなどが用いられる。
次に本発明の感光性フィルムの現像方法について説明す
る。本発明の現像方法は、高分子化合物としてポリビニ
ルブチラール又はポリ酢酸ビニルと、オルソキノンジア
ジド系化合物とを含有する上記の感光性組成物層を有す
る感光性フィルムに適用されるもので、特定の複合され
たアルカリ現像液を用いることによりこのような高分子
化合物を現像するものである。すなわち、本発明の感光
性フィルムの現像液としては、芳香族カルボン酸のアル
カリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水酸化合物及びあ
るいは炭酸塩との水溶液を使用することができる。これ
らの化合物の具体例を示せば、芳香族カルボン酸として
はＰ−クロル安息香酸、サリチル酸、アントラニル酸等
のナトリウム、カリウム等のアルカリ金属塩化合物をあ
げることができる。また、これらのアルカリ金属の水酸
化物あるいは炭酸塩の具体例を示せば、前者としては、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、後者としては炭酸
ナトリウム、炭酸カリウムがある。
る。本発明の現像方法は、高分子化合物としてポリビニ
ルブチラール又はポリ酢酸ビニルと、オルソキノンジア
ジド系化合物とを含有する上記の感光性組成物層を有す
る感光性フィルムに適用されるもので、特定の複合され
たアルカリ現像液を用いることによりこのような高分子
化合物を現像するものである。すなわち、本発明の感光
性フィルムの現像液としては、芳香族カルボン酸のアル
カリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水酸化合物及びあ
るいは炭酸塩との水溶液を使用することができる。これ
らの化合物の具体例を示せば、芳香族カルボン酸として
はＰ−クロル安息香酸、サリチル酸、アントラニル酸等
のナトリウム、カリウム等のアルカリ金属塩化合物をあ
げることができる。また、これらのアルカリ金属の水酸
化物あるいは炭酸塩の具体例を示せば、前者としては、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、後者としては炭酸
ナトリウム、炭酸カリウムがある。
現像液の現像性、安定性等からみて、最も好ましい現像
液としては、Ｐ−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル
酸ナトリウムの単独または混合物と、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウムの単独または混合物との水溶液をあ
げることができる。現像液の濃度としては通常４から40
重量％の水溶液として使用することができるが、現像性
を改善する目的で、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール等を
これら現像液に対し重量で１から40％添加することもで
きる。
液としては、Ｐ−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル
酸ナトリウムの単独または混合物と、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウムの単独または混合物との水溶液をあ
げることができる。現像液の濃度としては通常４から40
重量％の水溶液として使用することができるが、現像性
を改善する目的で、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール等を
これら現像液に対し重量で１から40％添加することもで
きる。
［実施例］ 次に本発明を実施例によって更に詳細に説明する。
実施例 １ 厚さ100μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が10μｍにな
るように塗布、乾燥し、アルコール可溶性ポリアミド層
を形成した。
に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が10μｍにな
るように塗布、乾燥し、アルコール可溶性ポリアミド層
を形成した。
アルコール可溶性ポリアミド・ ウルトラミドIC（BASF社製） 10重量部 赤色有機染料 ３ 〃 メチルアルコール 70 〃 トルエン 20 〃 次に上記ポリアミド層の上に下記組成の感光液を乾燥後
の塗膜が３μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。
の塗膜が３μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。
感光液 ポリビニルブチラール・エスレックBL−３ （積水化学（株）製） （分子量約17,000、ブチラール化度60〜73mol％） 10重量部 １、２−ナフトキノン−ジアジド（２）−４− スルホン酸のノボラックエステル ３ 〃 メチルエチルケトン 60 〃 トルエン 40 〃 この感光性フィルムをネガのくくり線原稿と密着させ、
超高圧水銀灯2kwで1mの距離より、40秒露光を行った
後、以下の現像液で処理することにより、感光層の現像
及びポリアミド層のエッチングを一液で行うことがで
き、良好なネガフィルムが得られた。
超高圧水銀灯2kwで1mの距離より、40秒露光を行った
後、以下の現像液で処理することにより、感光層の現像
及びポリアミド層のエッチングを一液で行うことがで
き、良好なネガフィルムが得られた。
現像液 Ｐ−クロル安息香酸ナトリウム 20重量部 水酸化ナトリウム １ 〃 水 79 〃 比較例 １ 実施例１の感光液で使用されているポリビニルブチラー
ル樹脂に替えて、フエノール樹脂（郡栄化学工業（株）
製商品名MP120HH）を使用し、実施例１に従って感光性
フィルムを作り、現像処理したネガフィルムを得た。
ル樹脂に替えて、フエノール樹脂（郡栄化学工業（株）
製商品名MP120HH）を使用し、実施例１に従って感光性
フィルムを作り、現像処理したネガフィルムを得た。
処理剤のネガフィルムは、実施例１とほとんど同じであ
ったが、現像処理前に、感光フィルムを折り曲げたり、
強く筒状に丸めたりすると、比較例１の感光フィルム
は、クラックが入り、現像処理により、可溶性ポリアミ
ド層にも同型の溝が入ったが、実施例１の感光フィルム
は、全く異状が認められなかった。
ったが、現像処理前に、感光フィルムを折り曲げたり、
強く筒状に丸めたりすると、比較例１の感光フィルム
は、クラックが入り、現像処理により、可溶性ポリアミ
ド層にも同型の溝が入ったが、実施例１の感光フィルム
は、全く異状が認められなかった。
実施例 ２ 厚さ100μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの
片面に真空蒸着により0.1μｍのアルミニウム膜を設
け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が３μｍに
なるように塗布し、乾燥した。
片面に真空蒸着により0.1μｍのアルミニウム膜を設
け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が３μｍに
なるように塗布し、乾燥した。
感光液 ポリ酢酸ビニル・ゴーセニールM35 −X6（メチルアルコール35％溶液、 日本合成化学工業（株）製） （分子量約220,000） 20重量部 メチルエチルケトン 60 〃 トルエン 40 〃 ２−ジアゾ−１−ナフトール−５− ７−フェノキシスルホネート ６ 〃 このフィルムにポジ原稿を密着させ、2kwの超高圧水銀
灯で1mの距離より２分間露光を行った後、次に示す現像
液で現像を行った。次いで50重量％リン酸水溶液で、ア
ルミニウムのエッチングを行った。露光部の感光層は十
分にレジストとしての機能を果たし、画像遮光性の高い
鮮明なアルミニウムのポジ画像が得られた。
灯で1mの距離より２分間露光を行った後、次に示す現像
液で現像を行った。次いで50重量％リン酸水溶液で、ア
ルミニウムのエッチングを行った。露光部の感光層は十
分にレジストとしての機能を果たし、画像遮光性の高い
鮮明なアルミニウムのポジ画像が得られた。
現像液 サリチル酸ナトリウム 40重量部 水酸化ナトリウム １ 〃 水 59 〃 比較例 ２ 実施例２の感光液で使用されているポリ酢酸ビニルに替
えて、フェノール樹脂（郡栄化学工業（株）製商品名MP
120HH）を使って実施例２に従って感光フィルムを作っ
た。
えて、フェノール樹脂（郡栄化学工業（株）製商品名MP
120HH）を使って実施例２に従って感光フィルムを作っ
た。
実施例２及び比較例２の両フィルムを現像前に折り曲
げ、強く丸めたところ、比較例２のフィルムはクラック
が入り現像及びエッチング処理により、クラックの部分
のアルミニウムが溶解して良好な画像を得られなかっ
た。
げ、強く丸めたところ、比較例２のフィルムはクラック
が入り現像及びエッチング処理により、クラックの部分
のアルミニウムが溶解して良好な画像を得られなかっ
た。
実施例２のフィルムには全く異状が認められなかった。
［発明の効果］ 本発明の感光性フィルム及その現像方法によれば、皮膜
が強靭でリレーフがシャープな良好な画像が得られ、又
有機溶剤を使用しないので作業性も良い。
が強靭でリレーフがシャープな良好な画像が得られ、又
有機溶剤を使用しないので作業性も良い。
フロントページの続き (72)発明者 小倉 政子 埼玉県与野市鈴谷1115―２ 株式会社きも と埼玉工場内 (56)参考文献 特開 昭53−36222（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−129341（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−63818（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】フィルム支持体及びその上に形成された感
光性組成物層から成る感光性フィルムにおいて、前記感
光性組成物層は、高分子化合物として平均分子量10000
から230000で、ブチラール化度が20から80mol％である
ポリビニルブチラール、又は平均分子量15000から27000
0であるポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれた１種以
上と、オルソキノンジアジド系化合物とを含有し、前記
オルソキノンジアジド系化合物の前記高分子化合物に対
する添加量が５から50重量％であることを特徴とする感
光性フィルム。 - 【請求項２】高分子化合物として平均分子量10000から2
30000で、ブチラール化度が20から80mol％であるポリビ
ニルブチラール、又は平均分子量15000から270000であ
るポリ酢酸ビニルよりなる群から選ばれた１種以上と、
オルソキノンジアジド系化合物とを含有し、前記オルソ
キノンジアジド系化合物の前記高分子化合物に対する添
加量が５から50重量％である感光性組成物層を備えた感
光性フィルムを露光し、次いで芳香族カルボン酸のアル
カリ金属塩化合物と、アルカリ金属の水酸化物及び／又
は炭酸塩との水溶液である水系現像液で現像することを
特徴とする感光性フィルムの現像方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1060496A JPH0680462B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 感光性フィルム及びその現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1060496A JPH0680462B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 感光性フィルム及びその現像方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14090783A Division JPS59187340A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | 感光性組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267A JPH0267A (ja) | 1990-01-05 |
| JPH0680462B2 true JPH0680462B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=13143963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1060496A Expired - Lifetime JPH0680462B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 感光性フィルム及びその現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680462B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02244048A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-28 | Konica Corp | 感光性画像形成材料 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2641099A1 (de) * | 1976-09-13 | 1978-03-16 | Hoechst Ag | Lichtempfindliche kopierschicht |
| DE2742631A1 (de) * | 1977-09-22 | 1979-04-05 | Hoechst Ag | Lichtempfindliche kopiermasse |
| JPS55129341A (en) * | 1979-03-29 | 1980-10-07 | Daicel Chem Ind Ltd | Photosensitive covering composition |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP1060496A patent/JPH0680462B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0267A (ja) | 1990-01-05 |
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