JPH0264939A - 光ディスクメモリー - Google Patents
光ディスクメモリーInfo
- Publication number
- JPH0264939A JPH0264939A JP63217894A JP21789488A JPH0264939A JP H0264939 A JPH0264939 A JP H0264939A JP 63217894 A JP63217894 A JP 63217894A JP 21789488 A JP21789488 A JP 21789488A JP H0264939 A JPH0264939 A JP H0264939A
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- Japan
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- carbon
- film
- substrate
- optical disk
- mechanical strength
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 39
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 7
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 6
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 composed of carbon Chemical compound 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012994 photoredox catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は光ディスクの構造に関するものである。
「従来の技術及びその問題点」
現在光ディスクである光学式ビデオディスク(VD)コ
ンパクトディスク(以後CD)が市販されているが、前
者はPMMAの基板を張り合わせた構造の物で後者はポ
リカーボネイト(以後PC)を基板とした単板の構造で
ある。光ディスクの基板に要求される性能として光学的
性質1寸法安定性、成型性の全てが高い事が望まれる。
ンパクトディスク(以後CD)が市販されているが、前
者はPMMAの基板を張り合わせた構造の物で後者はポ
リカーボネイト(以後PC)を基板とした単板の構造で
ある。光ディスクの基板に要求される性能として光学的
性質1寸法安定性、成型性の全てが高い事が望まれる。
PMMAは光学的特性は殆ど満足するがその他の特性、
例えば耐熱性、耐湿性において劣っている。PMMAは
吸湿性が高いため吸湿する事により膨潤して反りが生じ
機械的強度が低くなる。2枚を張り合わせる事により反
りを相殺するようにしであるが、ひどい物では張り合わ
せた接着層より2枚にはがれてしまう事もある。この為
PMMAは単板であるCDには用いられていない。
例えば耐熱性、耐湿性において劣っている。PMMAは
吸湿性が高いため吸湿する事により膨潤して反りが生じ
機械的強度が低くなる。2枚を張り合わせる事により反
りを相殺するようにしであるが、ひどい物では張り合わ
せた接着層より2枚にはがれてしまう事もある。この為
PMMAは単板であるCDには用いられていない。
PCは耐熱性も比較的高いまた寸法安定性も比較的良好
である。しかし複屈折を生じやすいという難点があり添
加剤を加える等の改良により、現在実用レベルになって
いるが表面硬度が低く柔らかいため傷がつき易く光学的
信号読み出し媒体としては不安定な材料である。更にC
Dは単板である為信号面の保護は100μm未満の樹脂
系保護膜のみで行っているが、この保護膜のみでは傷等
がつき易く実用に際して取り扱いにくいものであった。
である。しかし複屈折を生じやすいという難点があり添
加剤を加える等の改良により、現在実用レベルになって
いるが表面硬度が低く柔らかいため傷がつき易く光学的
信号読み出し媒体としては不安定な材料である。更にC
Dは単板である為信号面の保護は100μm未満の樹脂
系保護膜のみで行っているが、この保護膜のみでは傷等
がつき易く実用に際して取り扱いにくいものであった。
本発明は以上の問題点を安価で容易に解決した耐湿性及
び表面の機械的強度が大きな光ディスクメモリーを得る
ことを目的とする。
び表面の機械的強度が大きな光ディスクメモリーを得る
ことを目的とする。
「問題点を解決しようとする手段」
本発明は基板1反射膜及び保護膜を有する光ディスクメ
モリーにおいて、基板に密接して炭素または炭素を主成
分とする被膜を形成したことにより前記の目的を達成し
たものである。即ち炭素又は炭素を主成分とする被膜を
光ディスクの基板上に成膜しそれを保護膜として用いた
ものである。
モリーにおいて、基板に密接して炭素または炭素を主成
分とする被膜を形成したことにより前記の目的を達成し
たものである。即ち炭素又は炭素を主成分とする被膜を
光ディスクの基板上に成膜しそれを保護膜として用いた
ものである。
本発明で炭素または炭素を主成分とする被膜は、ビッカ
ース硬度2000 Kg/mII+”以上を有したアモ
ルファス構造または微結晶構造を有する被膜である。
ース硬度2000 Kg/mII+”以上を有したアモ
ルファス構造または微結晶構造を有する被膜である。
「実施例1」
本実施例の光ディスクメモリーを第1図に示す。
図中1は炭素または炭素を主成分とする被膜、2ハP
M M A等の基板、3はアルミニウム等の反射膜、4
は保護膜、5は接着層を示す。
M M A等の基板、3はアルミニウム等の反射膜、4
は保護膜、5は接着層を示す。
光学式ビデオディスクの単板を公知の製造方法で製作し
得られた単板を2枚、保護膜同志を接着剤により張り合
わせた後基板上に炭素又は炭素を主成分とする被膜を形
成した。炭素又は炭素を主成分とする被膜のコーティン
グ方法は本発明人の出願になる特許側「炭素または炭素
を主成分とする被膜を形成する方法」 (昭和63年3
月2日出願)により行った。
得られた単板を2枚、保護膜同志を接着剤により張り合
わせた後基板上に炭素又は炭素を主成分とする被膜を形
成した。炭素又は炭素を主成分とする被膜のコーティン
グ方法は本発明人の出願になる特許側「炭素または炭素
を主成分とする被膜を形成する方法」 (昭和63年3
月2日出願)により行った。
本実施例では、平行平板方式のプラズマCVD装置によ
って両面同時に被膜形成が可能であるが、張り合わせ前
に光デイスク単板の基板上に片面被膜形成し、後にその
単板を2板張り合わせることも工程上何ら問題ないこと
である。
って両面同時に被膜形成が可能であるが、張り合わせ前
に光デイスク単板の基板上に片面被膜形成し、後にその
単板を2板張り合わせることも工程上何ら問題ないこと
である。
成膜の際反応性気体には反応空間における圧力が0.
001〜10torr代表的には0.01〜05 to
rrの下で高周波エネルギーにより0.1〜5KHのエ
ネルギーが加えられる。
001〜10torr代表的には0.01〜05 to
rrの下で高周波エネルギーにより0.1〜5KHのエ
ネルギーが加えられる。
以下に本実施例の炭素または炭素を主成分とする被膜を
形成する成膜条件を示す。
形成する成膜条件を示す。
材料ガス: CH4+H。
圧力 : 10Pa (0,075torr)RF電
カニ120w 基板温度:室温 前記材料ガスにおいてCH,(メタン)に変えてエタン
、エチレン、メタン系炭化水素等の気体であってもよい
。
カニ120w 基板温度:室温 前記材料ガスにおいてCH,(メタン)に変えてエタン
、エチレン、メタン系炭化水素等の気体であってもよい
。
この条件でビッカース硬度が2200 Kg/mm”を
有する被膜を光ディスクの両面に約500人形成した。
有する被膜を光ディスクの両面に約500人形成した。
得られた被膜は0.8μmの波長においては90%以上
の透過率を得る事が出来るものであった。
の透過率を得る事が出来るものであった。
本発明の効果をみるために炭素又は炭素を主成分とする
被膜を光学式ビデオディスクの両面に成膜した物として
いない物を80°c、RH95%の恒温恒質槽に入れて
加速試験を行った。その結果を第1表に示す。○は良好
、Δは若干の変化、Xは大きな変化である。
被膜を光学式ビデオディスクの両面に成膜した物として
いない物を80°c、RH95%の恒温恒質槽に入れて
加速試験を行った。その結果を第1表に示す。○は良好
、Δは若干の変化、Xは大きな変化である。
した物は変化がないのに対し、成膜していない物は大き
く変化し遂には接着面よりはがれてしまうことがわかる
。
く変化し遂には接着面よりはがれてしまうことがわかる
。
「実施例2」
CDのPC基板上に平行平板方式のプラズマCVDによ
り炭素又は炭素を主成分とする被膜を成膜した。
り炭素又は炭素を主成分とする被膜を成膜した。
成膜条件は前記の実施例1の条件と同じ条件で500人
程変成膜した。
程変成膜した。
炭素又は炭素を主成分とした被膜を成膜したPC基板と
そうでないPC基板に対して規格化したアゲレジブチス
トを実施し、傷のつき具合を比較した結果を第2表に示
す。更に保護膜上にも同様に成膜しアゲレジブチストを
行ったが同様な結果が得られた。
そうでないPC基板に対して規格化したアゲレジブチス
トを実施し、傷のつき具合を比較した結果を第2表に示
す。更に保護膜上にも同様に成膜しアゲレジブチストを
行ったが同様な結果が得られた。
第1表
炭素又は炭素を主成分とする被膜を両面に成膜第2表
表中のOは良好、Δは若干の傷つき、×はかなりの傷つ
きである。
きである。
また、本発明の炭素または炭素を主成分とする被膜は水
や衝撃だけでなく酸素やその他の物に対してもブロッキ
ング作用を示す事は言う迄もない。
や衝撃だけでなく酸素やその他の物に対してもブロッキ
ング作用を示す事は言う迄もない。
「効果」
本発明は以上のように安価で容易に耐湿性を向上させ、
表面硬度を大きくすることでディスク自身の機械的強度
を高めることができた。
表面硬度を大きくすることでディスク自身の機械的強度
を高めることができた。
実施例ではPMMAとPCを取り上げているが、その他
の基板においても同様な結果が得られるのは言う迄もな
い。
の基板においても同様な結果が得られるのは言う迄もな
い。
第1図は炭素又は炭素を主成分とする被膜をディスクの
両面に成膜した時の断面図である。 1・・炭素又は炭素を主成分とする被膜2・・基板(、
PMMA) 3・・反射膜 4・・保護膜 5・・接着層 k− 弔
両面に成膜した時の断面図である。 1・・炭素又は炭素を主成分とする被膜2・・基板(、
PMMA) 3・・反射膜 4・・保護膜 5・・接着層 k− 弔
Claims (1)
- 1、基板、反射膜及び保護膜を有する光ディスクメモリ
ーにおいて、基板に密接して炭素または炭素を主成分と
する被膜を形成したことを特徴とする光ディスクメモリ
ー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63217894A JPH0264939A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 光ディスクメモリー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63217894A JPH0264939A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 光ディスクメモリー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0264939A true JPH0264939A (ja) | 1990-03-05 |
Family
ID=16711425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63217894A Pending JPH0264939A (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 光ディスクメモリー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0264939A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5427599A (en) * | 1987-06-09 | 1995-06-27 | International Business Machines Corporation | System for stamping an optical storage disk |
US6468617B1 (en) | 1993-07-20 | 2002-10-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
US6835523B1 (en) | 1993-05-09 | 2004-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
-
1988
- 1988-08-30 JP JP63217894A patent/JPH0264939A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5427599A (en) * | 1987-06-09 | 1995-06-27 | International Business Machines Corporation | System for stamping an optical storage disk |
US6835523B1 (en) | 1993-05-09 | 2004-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
US6468617B1 (en) | 1993-07-20 | 2002-10-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Apparatus for fabricating coating and method of fabricating the coating |
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