JPH0263736A

JPH0263736A - 透明導電性フイルム

Info

Publication number: JPH0263736A
Application number: JP63217985A
Authority: JP
Inventors: Hideo Miyake; 英男三宅; Juji Yamaguchi; 山口　重次; Junichi Sakamoto; 淳一坂本
Original assignee: Toyobo Co Ltd
Current assignee: Toyobo Co Ltd
Priority date: 1988-08-30
Filing date: 1988-08-30
Publication date: 1990-03-05
Anticipated expiration: 2011-08-21
Also published as: JP2526642B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は透明導電性フィルムに関し、具体的には接着性
良好な透明導電性フィルムに関するものであり、特に発
光層と透明導電層との密着性に優れたエレクトロ・ルミ
ネッセンス・発光素子用透明電極などに適した透明導電
性フイルノ、に関するものである。

（従来の技術）透明および導電機能をイ「する飼料は、液晶（ＬＣ［）
）、エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）、エレクトロ
・クロミック（Ｅ　ＣＩ）　）などの各種デイスプレィ
の電極として不Ｉ’ｌｌ欠であり、ガラスノ、（板に酸
化錫薄膜のような導電性薄膜を被覆したものが以前から
用いられてきた。

近年、前記ガラス基板に代わり１り１分子フィルムを基
板として用いてインジウム−錫４シ合酸化物薄膜（ｌｎ
ｄｌｕｍ　Ｔｉｎ　０ｘｉｄｅ、以ド、ＩＴＯと略称す
る）などを被覆した透明導電性フィルムをはじめ、各種
の透明導電性フィルムが開発されている。

透明導電性フィルムは薄い、’１％　ｆ’ｌ　１割れな
い、ｉＵ　ｊＡ性がある、加工性に優れている、大面積
化が容易であるなどの透明導電ｖ１ガラス基板にみられ
ない特長があり、この特長を生かし、ＥＬ用主電極タッ
チ・パネル、ＬＣＤ用電極、電了写１°〔、静電シール
ド、電磁波シールド、透明面状発熱体などに急速にその
応用分野を広げつつある。

現在実用化されている有機薄膜型エレクトロ・ルミネッ
センス・発光素γはその構成例を第１図にノ！〈シた様
に、すべて可（り性のある材料で構成されている。

第１図において■は防湿フィルｌ１、■は背面電極、■
は絶縁層、■は発光層、■は透明導電層および■はベー
ス・フィルｌ、を示しており、その構成材料としては、
例えば、■の防湿フィルムとしては、ポリ（ビニルアル
コール）、エチレン・ビニルアルコールノ（重合体、ポ
リ（トリフロロモノクロロエチレン）などから得られる
高分子フィルムが、■の背面電極には通常アルミ箔が、
■の絶縁層にはＹ２０ａ、Ａ　’１ｗ　Ｏ，Ｊ、Ｓ　ｉ
　０２、Ｓｉ３Ｎ４など耐絶縁性が良く誘電率の高い金
属化合物類が、■の発光層としては、硫化亜鉛や硫化カ
ルシウムト銅、マンガン、アルミニウムなどの金属化合
物との混合物が通常シアノエチルセルロース系樹脂のよ
うな誘電率の高い樹脂中に均一に分散された、いわゆる
発光インキが、■の透明導電層としては高電導でｉ＋）
視光線透過性の優れたＩＴＯが、■のベース・フィルム
としては強度、１１丁（Ａ性、耐熱性、透明性、・ｊ法
安定性などに優れたポリエチレンテレフタレートに代表
される熱可塑性フィルムが使用されている。

（発明が解決しようとする課題）。

従来から、エレクトロ・ルミネッセンス・発光層■とＩ
ＴＯ透明導電層■との接合は熱ラミネートｉ大により行
なわれているが、シアンエチルセルロース系樹脂のよう
な誘電率の高い樹脂とＩＴＯ層との間の密着性は悪く、
その結果として得られる表示素ｒ製品の歩留り低ドとな
り、加えて種々の環境下での長期実用時の信頼性に欠け
るという問題点があり、その解決を業界から強く妥望さ
れていた。このような問題点を改良する提案としては特
開昭６２−１０５３９４　シ３公報にみられるような導
電性薄膜ｉ二にルテニウム、ロジウム、パラジウムから
選ばれる金属酸化物薄膜を設は導電性薄膜と発光層との
密着性を向１．させる試みがあるが未だ充分とはいえな
いものであった。

（課題を解決するための１段）本発明者等はエレクトロ・ルミ不・ｌセンス・発光層と
ＩＴＯ透明導電層との密首ＶＩを向１°、させるため鋭
意研究を続けてきた結果、第２図に示したようにＩＴＯ
透明導電層」−にニッケル酸化物を含有する薄膜を被覆
することによりエレクトロ・ルミネッセンス・発光層と
ＩＴＯ透明導電層との密着性が人中に向１し、加えて１
げ視光線透過率と導電性も良好である１ｆを見出し本発
明に到達した。

即ち、本発明は透明熱可塑性フィルムの少なくとも片面
に透明導電性薄膜を被覆し、更に該透明導電性薄膜の少
な（とも片面１−にニッケル酸化物を含有する薄膜を被
覆したことを特徴とする透明導電性フィルムである。

本発明に使用の透明熱可塑性フィルムとは可視光線透過
性、耐熱性、１法安定性、力学強度などの諸性性に優れ
た延伸フィルムであって、特にノリなことはエレクトロ
・ルミネッセンス・発光素−ｒ−製造り程条件と実用時
の環境条件から、寸法安定性に優れた透明熱＋１Ｊ塑性
フィルムである。この・１″法安定性としては、−・般
的には１５０℃の加熱ドロ０分間放置（ＩＰＣ−ＦＣ−
２４ＩＣの条件）でフィルムの少なくとも−・方向の収
縮率が０．１％以ド、好ましくは０．０５％以ドの収縮
率を小すような極めて収縮率の小さいことが必°冴であ
る。

これらの諸性性をイ１゛する透明熱ｌげ塑性フィルムと
して具体的にはポリエチレンテレフタレート、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ
カーボネート、ポリフェニレンサルファイドなどから得
られる延伸フィルムが挙げられ、特にポリエチレンテレ
フタレートおよびポリエチレンナフタレートから得られ
る低収縮性延伸ポリエステルフィル１１が好ましい。

これら透明熱＋ｊ工工性性フィルムは套装に応じて滑剤
、酸化防＋ｈ剤、充てん剤、可塑剤、消泡剤、帯電防１
−剤などが配合されるが透明性を損なわない配合頃とす
ることが肝゛訝である。

また、これら透明熱可塑性フィルムには染色法、顔料分
散法、コーティング法などで着色したものや、厚さ数１
ＪＩ１１以ドの透明コーティング剤を塗布したものも含
まれる。

本発明でいうニッケル酸化物含イ１薄膜の被覆力法とし
ては反応性スパッタリング法、イオンブレーティング法
やニッケル酸化物をターゲットとしてスパッタリングす
る方法などが挙げられるが常法が適用できる。

ニッケル酸化物含有薄膜の膜厚は透明性を損わないため
には５０オングストローム以下、好ましくは３０オング
ストローム以下とするフグがある。

（発明の効果）エレクトロ・ルミネッセンス・発光素子においてＩＴＯ
透明導電層１〕にニッケル酸化物含有薄膜を被覆するこ
とにより発光層とＩＴＯ透明導電層との密着性が大ｒｌ
＋に向にし、そのため発光素子としての信頼性が増大す
るばかりでなく透明性や導電性も非常に良好である。

以ド、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明
は以ドの実施例に何ら限定されるものではない。

なお、諸物性の測定と評価は次の方法によった。

膜厚：　Ａｕｇｅｒ電ｒ分光法により測定した。

表面抵抗値二四探針法表面抵抗計により測定した。

Ｉ−ＩＩ視光線透過率：分光光度、；１により波長５５
０ｎｍでの透過ヰ（を測定した。

接着性：発光体（Ｐｈｏｓｐｈｏｒ　Ｔｙｐｅ　７２３
ＥＬ、真空冶金会＠製品）を溶媒に溶解したバインダー
（シアルジンＣＲ−８．信越化学ｆ）［１品）中によく分散させた分散液を固形分で４０
戸の厚さになるように■ Ｔｏ薄膜上に塗４１シた後乾燥し、ＪＩＳ　　ＤＯ２０
２の方法に準じてクロスカット接着性を５枚の試験片に
ついて測定し、その平均値を算出した。

実施例１１５０℃で３０分間放置時の収縮率（Ｉ　ＰＣ−ＦＣ−
２４１Ｃ法に型じて測定）がフィルｌ、縦方向（ＭＤ）
で０．０３％である７５ｐＩＲの二軸延伸ポリエチレン
テレフタレート・フィルム１−６にインジウム：錫＝９
０：１０（市ｊ、ｌ比）合金ターゲットを使用し、市販
のウェッブ連続スパッタリング装置を用いて常法に従い
次の条件で反応スパッタリング法によりＩＴＯ薄膜を被
覆した。

圧　　　　力　　　：　　５　Ｘ　　１　０−’　　Ｔ
ｏｒｒ印加電圧　：３２０Ｖガス分圧　：アルゴン　Ｉ　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒ酸
　　　　素　　Ｉ　　Ｘ　　１　０−’　　Ｔｏｒｒフ
ィルム速度＝２ｍ／分次に、ニッケル金属ターゲットを使用し、同様にして反
応性スパッタリング法によりニッケル酸化物薄膜をＩＴ
Ｏ薄膜上に被覆した。得られた透明導電性フィルムにつ
いて膜厚、表面抵抗値、可視光線透過率および接着性を
測定した。得られた結果を第１表に示した。

比較例１同様のノコ法でＩＴＯ薄膜１・、にパラジウム酸化物を
被覆した。得られた透明導電性フィルムの測定結果を第
１表に小した。

比較例２比較のためＩＴＯ薄膜のみの透明導電性フィルムの測定
結果を第１表に示した。

実施例２１５０℃で３０分間放置時の収縮率（＋）ｉｆ　ＩＩ　
＞がフィルム縦方向（ＭＤ）で０．０４％である７５−
の緑色に染色した二軸延伸ポリエチレンテレフタレート
・フィルム（商品名ニスペースシャイン、東洋紡績（）
増製）を使用した以外は実施例１と同様の方法で反応性
スパッタリング法によりＩＴＯ薄膜を被覆した。次に同
様に反応性スパッタリング法によりニッケル酸化物薄膜
をＩＴＯ薄膜１−に被覆した。得られた緑色着色透明導
電性フィルムについて膜厚、表面抵抗値、可視光線透過
率および接着性を測定した。結果を第１表に示した。

比較例３同様の方法でＩＴＯ薄膜［、にパラジウム酸化物を被覆
した。得られた緑色着色透明導電性フィルムの測定結果
を第１表に示した。

比較例４比較のためＩＴＯ薄膜のみの緑色着色透明導電性フィル
ｌ、のｄ！１１定結宋を第１表に小した。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のエレクトロ・ルミネッセンス・発光素子
例の断面略図であり、第２図は本発明のエレクトロ・ル
ミネッセンス・発光素子側の断面略図である。

Claims

【特許請求の範囲】

　透明熱可塑性フイルムの少なくとも片面に透明導電性
薄膜を被覆し、更に該透明導電性薄膜の少なくとも片面
上にニッケル酸化物を含有する薄膜を被覆したことを特
徴とする透明導電性フイルム。