JPH0259401B2 - - Google Patents
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- JPH0259401B2 JPH0259401B2 JP57145312A JP14531282A JPH0259401B2 JP H0259401 B2 JPH0259401 B2 JP H0259401B2 JP 57145312 A JP57145312 A JP 57145312A JP 14531282 A JP14531282 A JP 14531282A JP H0259401 B2 JPH0259401 B2 JP H0259401B2
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- optical fiber
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 15
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 101100139907 Arabidopsis thaliana RAR1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101000983348 Plasmodium berghei (strain Anka) 24 kDa ookinete surface protein Proteins 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/344—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光フアイバ形センサ、特に偏波面保存
光フアイバ形センサに関するものである。
光フアイバ形センサに関するものである。
［従来の技術］
従来の光フアイバ形センサを第１図にて記載す
る。光源１１から出た光を直線偏光化し、シング
ルモード光フアイバ１２でハーフミラー１４に導
き、ハーフミラー１４で分割された光を夫々シン
グルモード光フアイバ１５，１６に入射し、出射
光を干渉させて干渉縞を形成する。この時ハーフ
ミラー１４から出た光の一方を測定用、他方を参
照用として用いる。測定用光フアイバ１６に温
度、圧力、振動、歪等Ｓが印加されると光フアイ
バの伸縮及び屈折率変化が生じ光フアイバ出射端
で参照用光フアイバ１５及び測定用光フアイバ１
６から出射する光に相対的位相変化が生じて干渉
縞１８が移動する。この時の干渉縞１８の移動量
より温度、圧力、振動、歪等が測定される。１３
はコリメータレンズ、１７は歪等の印加部を示
す。
る。光源１１から出た光を直線偏光化し、シング
ルモード光フアイバ１２でハーフミラー１４に導
き、ハーフミラー１４で分割された光を夫々シン
グルモード光フアイバ１５，１６に入射し、出射
光を干渉させて干渉縞を形成する。この時ハーフ
ミラー１４から出た光の一方を測定用、他方を参
照用として用いる。測定用光フアイバ１６に温
度、圧力、振動、歪等Ｓが印加されると光フアイ
バの伸縮及び屈折率変化が生じ光フアイバ出射端
で参照用光フアイバ１５及び測定用光フアイバ１
６から出射する光に相対的位相変化が生じて干渉
縞１８が移動する。この時の干渉縞１８の移動量
より温度、圧力、振動、歪等が測定される。１３
はコリメータレンズ、１７は歪等の印加部を示
す。
［従来技術の問題点］
この従来例の場合には通常のシングルモード光
フアイバが使用されているため、光フアイバの消
光比が悪くかつ不安定なため測定精度が劣化する
という問題があつた。又この時の光学系構成では
参照用光フアイバに温度変化等の外乱が加わると
干渉が縞が移動し被測定量の変化として出力され
るため安定な測定が行えないという本質的な問題
を有していた。これを改善するために参照用光フ
アイバの長さを短くすることが考えられるが、光
フアイバ長を零にすることは不可能であり、本質
的な問題解決にはならなかつた。
フアイバが使用されているため、光フアイバの消
光比が悪くかつ不安定なため測定精度が劣化する
という問題があつた。又この時の光学系構成では
参照用光フアイバに温度変化等の外乱が加わると
干渉が縞が移動し被測定量の変化として出力され
るため安定な測定が行えないという本質的な問題
を有していた。これを改善するために参照用光フ
アイバの長さを短くすることが考えられるが、光
フアイバ長を零にすることは不可能であり、本質
的な問題解決にはならなかつた。
本発明の目的は前記した従来技術の欠点を解消
し、測定精度を大幅に増加させることができる新
規な偏波面保存光フアイバ形センサを提供するこ
とにある。
し、測定精度を大幅に増加させることができる新
規な偏波面保存光フアイバ形センサを提供するこ
とにある。
［問題点を解決するための手段］
即ち、本発明の要旨は光源２０１と、光学軸に
対し45゜の方位で入射された光源２０１からの直
線偏光を互に直交する透過光成分と反射光成分と
に分割し出射させる第１の偏光ビームスプリツタ
２０４と、前記第１の偏光ビームスプリツタ２０
４の光学軸に対し同一の軸方位を有するよう両端
が配置されてループを形成し、前記透過光成分と
前記反射光成分とを直交偏波光のまま逆方向に伝
搬させ前記第１の偏光ビームスプリツタ２０４に
再度入射させる測定用偏波面保存光フアイバ２０
５と、前記第１の偏光ビームスプリツタ２０４に
から出射した直交偏波光を２つに分割するハーフ
ミラー２０７と、その分割光の一方が直接光学軸
に対し45゜の方位で入射されその透過光成分と反
射光成分とに分割し出射させる第２の偏光ビーム
スプリツタ２１０と、他方の分割光がλ／４板２
０８を介して光学軸に対し45゜の方位で入射され
その透過光成分し反射光成分とに分割と出射させ
る第３の偏光ビームスプリツタ２１２とを具備
し、前記第２の偏光ビームスプリツタ２１０の２
つの出射光の強度と前記第３の偏光ビームスプリ
ツタ２１２の２の出射光の強度とに基づき所定の
演算を行うことにより、前記測定用偏波面保存光
フアイバに印加された被測定量に起因する位相変
化を求めることを特徴とする偏波面保存光フアイ
バ形センサ。
対し45゜の方位で入射された光源２０１からの直
線偏光を互に直交する透過光成分と反射光成分と
に分割し出射させる第１の偏光ビームスプリツタ
２０４と、前記第１の偏光ビームスプリツタ２０
４の光学軸に対し同一の軸方位を有するよう両端
が配置されてループを形成し、前記透過光成分と
前記反射光成分とを直交偏波光のまま逆方向に伝
搬させ前記第１の偏光ビームスプリツタ２０４に
再度入射させる測定用偏波面保存光フアイバ２０
５と、前記第１の偏光ビームスプリツタ２０４に
から出射した直交偏波光を２つに分割するハーフ
ミラー２０７と、その分割光の一方が直接光学軸
に対し45゜の方位で入射されその透過光成分と反
射光成分とに分割し出射させる第２の偏光ビーム
スプリツタ２１０と、他方の分割光がλ／４板２
０８を介して光学軸に対し45゜の方位で入射され
その透過光成分し反射光成分とに分割と出射させ
る第３の偏光ビームスプリツタ２１２とを具備
し、前記第２の偏光ビームスプリツタ２１０の２
つの出射光の強度と前記第３の偏光ビームスプリ
ツタ２１２の２の出射光の強度とに基づき所定の
演算を行うことにより、前記測定用偏波面保存光
フアイバに印加された被測定量に起因する位相変
化を求めることを特徴とする偏波面保存光フアイ
バ形センサ。
［実施例］
以下本発明の一実施例について第２図を参照し
て具体的に説明する。
て具体的に説明する。
光源２０１から出た直線偏光を光をリード線用
の偏波面保存光フアイバ２０２を用いて偏光ビー
ムスプリツタ（以下PBSと略称する）２０４の
光学軸に対し45゜の方位で入射させる。２０３は
コリメータレンズである。PBS２０４は入射光
を自己の光学軸に一致する偏光成分（Ｐ偏光成
分）とこれに直交する偏光成分（Ｓ偏光成分）と
に分割し夫々透過光成分、反射光成分として出射
させる機能を有しており、従つて今PBS２０４
への入射光を電場ベクトルを Ei＝αiej〓t (1) （ai：比例定数、ω：光の角速度） と定義すれば、PBS２０４により分割して出射
された透過光成分Ep、反射光成分Esは Ep＝Eicosπ／４ (2) Es＝Eisinπ／４ (3) と表すことができ、その位相は一致している。
の偏波面保存光フアイバ２０２を用いて偏光ビー
ムスプリツタ（以下PBSと略称する）２０４の
光学軸に対し45゜の方位で入射させる。２０３は
コリメータレンズである。PBS２０４は入射光
を自己の光学軸に一致する偏光成分（Ｐ偏光成
分）とこれに直交する偏光成分（Ｓ偏光成分）と
に分割し夫々透過光成分、反射光成分として出射
させる機能を有しており、従つて今PBS２０４
への入射光を電場ベクトルを Ei＝αiej〓t (1) （ai：比例定数、ω：光の角速度） と定義すれば、PBS２０４により分割して出射
された透過光成分Ep、反射光成分Esは Ep＝Eicosπ／４ (2) Es＝Eisinπ／４ (3) と表すことができ、その位相は一致している。
PBS２０４において透過光成分Ep及び反射光
成分Esの出射面には、偏波面保存光フアイバ２
０５の両端が、PBS２０４の光学軸に対し同一
の軸方位となるように配置されループを形成して
いる。このとき、透過光成分EpはＰ偏光のまま、
一方反射光成分EsはＳ偏光のまま偏波面保存光
フアイバ２０５を逆方向に伝搬し再びPBS２０
４に入射されることになるが、偏波面保存光フア
イバ２０５の両端が上述のようになつていること
から、夫々PBS２０４を透過、反射させること
ができ、PBS２０４の同一面に合波された直交
偏波光として出射される。
成分Esの出射面には、偏波面保存光フアイバ２
０５の両端が、PBS２０４の光学軸に対し同一
の軸方位となるように配置されループを形成して
いる。このとき、透過光成分EpはＰ偏光のまま、
一方反射光成分EsはＳ偏光のまま偏波面保存光
フアイバ２０５を逆方向に伝搬し再びPBS２０
４に入射されることになるが、偏波面保存光フア
イバ２０５の両端が上述のようになつていること
から、夫々PBS２０４を透過、反射させること
ができ、PBS２０４の同一面に合波された直交
偏波光として出射される。
透過光成分及び反射光成分は上記のような経路
を伝搬するわけであるが、その過程で両者の位相
には偏波面保存光フアイバ２０５中における光路
長の違いに起因する位相差（初期位相）と、被
測定量印加部における歪等Ｓに比例して生ずる位
相変化φがもたらされる。よつてPBS２０４か
ら出射される透過光成分をE1、反射光成分をE2
とし、偏波面保存光フアイバ２０５の透過率をα
とすれば、E1，E2は E1＝αEpej1/2( +〓) (4) E2＝αEse-j1/2( +〓) (5) と表すことができ、位相が（＋φ）だけ異なる
直交偏波光を形成している。
を伝搬するわけであるが、その過程で両者の位相
には偏波面保存光フアイバ２０５中における光路
長の違いに起因する位相差（初期位相）と、被
測定量印加部における歪等Ｓに比例して生ずる位
相変化φがもたらされる。よつてPBS２０４か
ら出射される透過光成分をE1、反射光成分をE2
とし、偏波面保存光フアイバ２０５の透過率をα
とすれば、E1，E2は E1＝αEpej1/2( +〓) (4) E2＝αEse-j1/2( +〓) (5) と表すことができ、位相が（＋φ）だけ異なる
直交偏波光を形成している。
透過光成分E1及び反射光成分E2よりなる直交
偏波光は、次いでハーフミラー２０７により２つ
に分割され、強度は1/2となる。この分割光の１
つは次のPBS２１０の光学軸に対し45゜の方位で
入射させる。PBS２１０はPBS２０４と同一機
能を有しており、従つてPBS２１０の透過光成
分Ep1、反射光成分Es1は夫々 Ep1＝１／２E1cosπ／４＋１／２E2cos（π−π／４）(
6) Es1＝１／２E1sinπ／４＋１／２E2sin（π−π／４）(
7) となる。(1)〜(5)を用い(6)式を書き直せば Ep1＝１／２αEtej1/2( +〓) ×１／√２＋１／２αEre-j1/2( +〓)×１／√２ ＝α／４Ei｛ej1/2( +〓) ＋e-j1/2( +〓)｝ ＝α／２αiej〓t×cos１／２（＋φ） (8) と表すことができ、同様にして(7)式は、 Es1α／２αiej〓t×jsin１／２（＋φ）(9) と表すことができる。
偏波光は、次いでハーフミラー２０７により２つ
に分割され、強度は1/2となる。この分割光の１
つは次のPBS２１０の光学軸に対し45゜の方位で
入射させる。PBS２１０はPBS２０４と同一機
能を有しており、従つてPBS２１０の透過光成
分Ep1、反射光成分Es1は夫々 Ep1＝１／２E1cosπ／４＋１／２E2cos（π−π／４）(
6) Es1＝１／２E1sinπ／４＋１／２E2sin（π−π／４）(
7) となる。(1)〜(5)を用い(6)式を書き直せば Ep1＝１／２αEtej1/2( +〓) ×１／√２＋１／２αEre-j1/2( +〓)×１／√２ ＝α／４Ei｛ej1/2( +〓) ＋e-j1/2( +〓)｝ ＝α／２αiej〓t×cos１／２（＋φ） (8) と表すことができ、同様にして(7)式は、 Es1α／２αiej〓t×jsin１／２（＋φ）(9) と表すことができる。
ゆえに受光器２０９ａ，２０９ｂで夫々受光さ
れる透過光成分Ep1、反射光成分Es1の強度P1，
P1′はEp1，Es1の複素共役を夫々1，1とすれ
ば、 P1＝Ep1・1 ＝（α／２αi）2cos2１／２（＋φ） ＝（α／２αi）2×１／２｛１＋cos（＋φ）｝ ＝Ａ｛１＋cos（＋φ）｝ (10) P1′＝Es1・1 ＝（α／２αi）2cos2１／２（＋φ） ＝（α／２αi）2１／２｛１−cos（＋φ）｝ ＝Ａ｛１−cos（＋φ）｝ (11) として得られるものであり、差動増幅器２１１に
てP1とP1′との差を求める演算を行うことにより
直流成分を除去することができ、 P2＝2Acos（＋φ） (12) の出力を得ることができる。
れる透過光成分Ep1、反射光成分Es1の強度P1，
P1′はEp1，Es1の複素共役を夫々1，1とすれ
ば、 P1＝Ep1・1 ＝（α／２αi）2cos2１／２（＋φ） ＝（α／２αi）2×１／２｛１＋cos（＋φ）｝ ＝Ａ｛１＋cos（＋φ）｝ (10) P1′＝Es1・1 ＝（α／２αi）2cos2１／２（＋φ） ＝（α／２αi）2１／２｛１−cos（＋φ）｝ ＝Ａ｛１−cos（＋φ）｝ (11) として得られるものであり、差動増幅器２１１に
てP1とP1′との差を求める演算を行うことにより
直流成分を除去することができ、 P2＝2Acos（＋φ） (12) の出力を得ることができる。
次にハーフミラー２０７で分割された他方の直
交偏波光について以下説明する。この光は前述同
様透過光成分１／2E1及び反射光成分１／2E2の
直交偏波光よりなるが、次のλ／４板２０８を透
過させると両者の間には相対的にπ／２の位相バ
イアスがかけられ、その後前述同様、PBS２１
２の光学軸に対し45゜の方位で入射させる。
交偏波光について以下説明する。この光は前述同
様透過光成分１／2E1及び反射光成分１／2E2の
直交偏波光よりなるが、次のλ／４板２０８を透
過させると両者の間には相対的にπ／２の位相バ
イアスがかけられ、その後前述同様、PBS２１
２の光学軸に対し45゜の方位で入射させる。
このPBS２１２も同述のPBS２０４，PBS２
１０と同一の機能を有しており従つてその透過光
成分Ep″、反射光成分Es″は、λ／４板２０８の
効果を加味し前記(6)，(7)式においてE1をE1ej〓/2に
置換えれば簡単に求められることができる。即
ち、 Ep″＝１／２αEtej1/2( +〓)× ej〓/2 ×１／√２＋１／２αEre-j1/2( +〓)×１／√２ ＝α／４αiej〓t［ej{1/2( +〓)+〓/2} ＋e-j1/2( +〓)］ （13） Es″＝α／４αiej〓t ［ej{1/2( +〓)+〓/2} ＋e-j1/2( +〓)］ （14） として得ることができる。
１０と同一の機能を有しており従つてその透過光
成分Ep″、反射光成分Es″は、λ／４板２０８の
効果を加味し前記(6)，(7)式においてE1をE1ej〓/2に
置換えれば簡単に求められることができる。即
ち、 Ep″＝１／２αEtej1/2( +〓)× ej〓/2 ×１／√２＋１／２αEre-j1/2( +〓)×１／√２ ＝α／４αiej〓t［ej{1/2( +〓)+〓/2} ＋e-j1/2( +〓)］ （13） Es″＝α／４αiej〓t ［ej{1/2( +〓)+〓/2} ＋e-j1/2( +〓)］ （14） として得ることができる。
ゆえに受光器２０９ｄ，２０９ｃで夫々受光さ
れる透過光成分Ep′、反射光成分Es′の強度 P3，P3′は、 P3＝（α／４αi）2｛２＋ej( +〓+〓/2) ＋e-j( +〓+〓/2)｝ ＝（α／４αi）22｛１＋cos （＋φ＋π／２）｝ ＝Ａ｛１−sin（＋φ）｝ （15） P3′＝（α／４αi）2×２｛１−cos （＋φ＋π／２）｝ ＝Ａ｛１＋sin（＋φ）｝ （16） この出力P3，P3′について差動増幅器２１３に
て差をとる演算を行うことにより直流成分は除去
され、 P4＝2Asin（＋φ） （17） が出力として得られることになる。
れる透過光成分Ep′、反射光成分Es′の強度 P3，P3′は、 P3＝（α／４αi）2｛２＋ej( +〓+〓/2) ＋e-j( +〓+〓/2)｝ ＝（α／４αi）22｛１＋cos （＋φ＋π／２）｝ ＝Ａ｛１−sin（＋φ）｝ （15） P3′＝（α／４αi）2×２｛１−cos （＋φ＋π／２）｝ ＝Ａ｛１＋sin（＋φ）｝ （16） この出力P3，P3′について差動増幅器２１３に
て差をとる演算を行うことにより直流成分は除去
され、 P4＝2Asin（＋φ） （17） が出力として得られることになる。
先に得た（12）式の差動増幅器２１１の出力
P2もしくは上記（17）式の差動増幅器２１３の
出力P4の単独では測定範囲が限定されるので、
双方を使用することにより、広範囲の測定が可能
となる。例えばP2とP4との比を求め、 P4／P2＝tan（＋φ） （18） を得ることにより信号が規格化され、光源２０１
の変動等に左右されない位相変化φにのみ忠実に
依存した測定結果を得ることが可能となる。
P2もしくは上記（17）式の差動増幅器２１３の
出力P4の単独では測定範囲が限定されるので、
双方を使用することにより、広範囲の測定が可能
となる。例えばP2とP4との比を求め、 P4／P2＝tan（＋φ） （18） を得ることにより信号が規格化され、光源２０１
の変動等に左右されない位相変化φにのみ忠実に
依存した測定結果を得ることが可能となる。
尚、偏波面保存光フアイバとしては、特に構造
等限定はなく、公知の例えば特開昭57−37305号
公報記載のもの等が適用できる。
等限定はなく、公知の例えば特開昭57−37305号
公報記載のもの等が適用できる。
［発明の効果］
以上詳述した通り本願発明によれば、測定用偏
波面保存光フアイバを用いるのみで、被測定量に
起因する位相変化を光の強度変化として直接的に
測定することが可能となり、従来問題となつてい
た外乱による精度の低下等を解決せしめた信頼性
の高いセンサとして利用され得るものである。
波面保存光フアイバを用いるのみで、被測定量に
起因する位相変化を光の強度変化として直接的に
測定することが可能となり、従来問題となつてい
た外乱による精度の低下等を解決せしめた信頼性
の高いセンサとして利用され得るものである。
第１図は従来のシングルモード光フアイバ形セ
ンサを示す説明図であり、第２図は本発明の偏波
面保存光フアイバ形センサの一実施例を示す説明
図である。 １１：光源、１２：リード線用シングルモード
光フアイバ、１３：コリメータレンズ、１４：ハ
ーフミラー、１５：参照用シングルモード光フア
イバ、１６：測定用シングルモード光フアイバ、
１７：被測定量印加部、１８：干渉縞、２０１：
光源、２０２：リード線用偏波面保存光フアイ
バ、２０３：コリメータレンズ、２０４：偏光ビ
ームスプリツタ、２０５：測定用偏波面保存光フ
アイバ、２０６：被測定量印加部、２０７：ハー
フミラー、２０８：λ／４板、２０９ａ，２０９
ｂ，２０９ｃ，２０９ｄ：受光器、２１０，２１
２：偏光ビームスプリツタ、２１１，２１３：差
動増幅器。
ンサを示す説明図であり、第２図は本発明の偏波
面保存光フアイバ形センサの一実施例を示す説明
図である。 １１：光源、１２：リード線用シングルモード
光フアイバ、１３：コリメータレンズ、１４：ハ
ーフミラー、１５：参照用シングルモード光フア
イバ、１６：測定用シングルモード光フアイバ、
１７：被測定量印加部、１８：干渉縞、２０１：
光源、２０２：リード線用偏波面保存光フアイ
バ、２０３：コリメータレンズ、２０４：偏光ビ
ームスプリツタ、２０５：測定用偏波面保存光フ
アイバ、２０６：被測定量印加部、２０７：ハー
フミラー、２０８：λ／４板、２０９ａ，２０９
ｂ，２０９ｃ，２０９ｄ：受光器、２１０，２１
２：偏光ビームスプリツタ、２１１，２１３：差
動増幅器。
Claims (1)
- １ 光源２０１と、光学軸に対し45゜の方位で入
射された光源２０１からの直線偏光を互に直交す
る透過光成分と反射光成分とに分割し出射させる
第１の偏光ビームスプリツタ２０４と、前記第１
の偏光ビームスプリツタ２０４の光学軸に対し同
一の軸方位を有するよう両端が配置されてループ
を形成し、前記透過光成分と前記反射光成分とを
直交偏波光のまま逆方向に伝搬させ前記第１の偏
光ビームスプリツタ２０４に再度入射させる測定
用偏波面保存光フアイバ２０５と、前記第１の偏
光ビームスプリツタ２０４にから出射した直交偏
波光を２つに分割するハーフミラー２０７と、そ
の分割光の一方が直接光学軸に対し45゜の方位で
入射されその透過光成分と反射光成分とに分割し
出射させる第２の偏光ビームスプリツタ２１０
と、他方の分割光がλ／４板２０８を介して光学
軸に対し45゜の方位で入射されその透過光成分と
反射光成分とに分割し出射させる第３の偏光ビー
ムスプリツタ２１２とを具備し、前記第２の偏光
ビームスプリツタ２１０の２つの出射光の強度と
前記第３の偏光ビームスプリツタ２１２の２の出
射光の強度とに基づき所定の演算を行うことによ
り、前記測定用偏波面保存光フアイバに印加され
た被測定量に起因する位相変化を求めることを特
徴とする偏波面保存光フアイバ形センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57145312A JPS5935102A (ja) | 1982-08-21 | 1982-08-21 | 偏波面保存光フアイバ形センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57145312A JPS5935102A (ja) | 1982-08-21 | 1982-08-21 | 偏波面保存光フアイバ形センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5935102A JPS5935102A (ja) | 1984-02-25 |
| JPH0259401B2 true JPH0259401B2 (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=15382238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57145312A Granted JPS5935102A (ja) | 1982-08-21 | 1982-08-21 | 偏波面保存光フアイバ形センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5935102A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2572111B2 (ja) * | 1988-07-11 | 1997-01-16 | 株式会社東京精密 | レーザ干渉測定装置 |
-
1982
- 1982-08-21 JP JP57145312A patent/JPS5935102A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5935102A (ja) | 1984-02-25 |
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