JPS6018727A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
- Publication number
- JPS6018727A JPS6018727A JP12658683A JP12658683A JPS6018727A JP S6018727 A JPS6018727 A JP S6018727A JP 12658683 A JP12658683 A JP 12658683A JP 12658683 A JP12658683 A JP 12658683A JP S6018727 A JPS6018727 A JP S6018727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical fiber
- reflected
- splitter
- mode optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
- G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
- G01H9/006—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors the vibrations causing a variation in the relative position of the end of a fibre and another element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の背景と目的〕
本発明は光干渉計に係り、特にシングルモード光ファイ
バを用いた測定系を簡単にセットでき、かつ、測定精度
を高くするのに好適なマツ・・ツエンダ−光干渉計に関
するものである。
バを用いた測定系を簡単にセットでき、かつ、測定精度
を高くするのに好適なマツ・・ツエンダ−光干渉計に関
するものである。
マツハツエンダ−干渉計は、光源から出た光を分岐し、
一方は被測定物に当てて反射させ、他方は信号光として
２つの光を干渉させ、被測定物の振動状態を測定するも
のであるが、従来のマツハツエンダ−干渉計は、空気中
を光が伝搬するように々っているため、空気のゆらぎに
よって光のゆらぎが生じ、精度が悪かった。
一方は被測定物に当てて反射させ、他方は信号光として
２つの光を干渉させ、被測定物の振動状態を測定するも
のであるが、従来のマツハツエンダ−干渉計は、空気中
を光が伝搬するように々っているため、空気のゆらぎに
よって光のゆらぎが生じ、精度が悪かった。
また、ハーフミラ−、レンズなどの測定系のセットが容
易でなく、測定系を移動させることができず、測定系を
セットした場所に被測定物を持って行かなければならな
かった。また、光の直進性のだめ、ある程度のスペース
が必要であった。
易でなく、測定系を移動させることができず、測定系を
セットした場所に被測定物を持って行かなければならな
かった。また、光の直進性のだめ、ある程度のスペース
が必要であった。
そこで、これらの欠点、不便を解決するため、光の伝搬
路に光ファイバを用いた光干渉計が提案された。第１図
はこの光干渉計の系統図である。
路に光ファイバを用いた光干渉計が提案された。第１図
はこの光干渉計の系統図である。
第１図において、１は光源で、光源１から出た光は、光
分岐器２で２つの光に分岐され、一方の光は鏡６で反射
されて光分岐器２、シングルモード光ファイバ４ａを経
て光検出回路５に入る。他方の光ハシングルモード光フ
ァイバ４ｂルンズ６を通り、被測定物（振動体）７で反
射して再度レンズ６、シングルモード光ファイバ４ｂ、
光分岐器２を通り、光検出回路５に入る。これらの２つ
の光の干渉が光検出回路５で検出され、光検出回路５か
ら出力はシンクロスコープ８で観測される。
分岐器２で２つの光に分岐され、一方の光は鏡６で反射
されて光分岐器２、シングルモード光ファイバ４ａを経
て光検出回路５に入る。他方の光ハシングルモード光フ
ァイバ４ｂルンズ６を通り、被測定物（振動体）７で反
射して再度レンズ６、シングルモード光ファイバ４ｂ、
光分岐器２を通り、光検出回路５に入る。これらの２つ
の光の干渉が光検出回路５で検出され、光検出回路５か
ら出力はシンクロスコープ８で観測される。
第１図に示す光干渉計によれば、従来の光ファイバを用
いないマツハツエンダ−干渉計の問題が大部分解決され
る。しかし、第１図に示す光干渉計においては、２つの
光を光分岐器２を通して１つにして干渉させているが、
光分岐器２で分岐された光のうちの一方の光を鏡６で反
射させてから再び光分岐器２を通すようにしているので
、全反射の境６と光分岐器２のハーフミラ−との軸合わ
せが困難であり、組立てに時間がかかるという問題があ
る。
いないマツハツエンダ−干渉計の問題が大部分解決され
る。しかし、第１図に示す光干渉計においては、２つの
光を光分岐器２を通して１つにして干渉させているが、
光分岐器２で分岐された光のうちの一方の光を鏡６で反
射させてから再び光分岐器２を通すようにしているので
、全反射の境６と光分岐器２のハーフミラ−との軸合わ
せが困難であり、組立てに時間がかかるという問題があ
る。
また、干渉する２つの光のレベルを機械的にレンズなど
で微調整するようにしているが、それが困難である。ま
た、干渉する２つの光の経路が異なるので、光フアイバ
４ｂ自身の特性の影響を受けるという問題もある。
で微調整するようにしているが、それが困難である。ま
た、干渉する２つの光の経路が異なるので、光フアイバ
４ｂ自身の特性の影響を受けるという問題もある。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、測定系を簡単にセットすることができ、かつ
、測定精度を高めることができる光干渉計を提供するこ
とにある。
ところは、測定系を簡単にセットすることができ、かつ
、測定精度を高めることができる光干渉計を提供するこ
とにある。
本発明の特徴は、ヘリウム−ネオンレーザを用いた光源
からの光を第１のシングルモード光ファイバを介して光
分岐器で受け、この光分岐器を出た光のウチ第２のシン
グルモード光ファイバを通った後レンズの削の部分でフ
レネル反射して上記第２のシングルモード光ファイバを
通った光と、上記光分岐器を出た光のうち上記第２のシ
ングルモード光ファイバを通った後上記レンズおよび減
衰器を通って振動している被測定物で変調されて反射し
て上記減衰器、」二重レンズおよび上記第２６− のシングルモード光ファイバを通った光とが上記光分岐
器で全反射された光を第６のシングルモード光ファイバ
を介して光電変換素子と復調回路とから々る光検出回路
で受け、この光検出回路の出力を表示装置に表示させる
構成とした点にある。
からの光を第１のシングルモード光ファイバを介して光
分岐器で受け、この光分岐器を出た光のウチ第２のシン
グルモード光ファイバを通った後レンズの削の部分でフ
レネル反射して上記第２のシングルモード光ファイバを
通った光と、上記光分岐器を出た光のうち上記第２のシ
ングルモード光ファイバを通った後上記レンズおよび減
衰器を通って振動している被測定物で変調されて反射し
て上記減衰器、」二重レンズおよび上記第２６− のシングルモード光ファイバを通った光とが上記光分岐
器で全反射された光を第６のシングルモード光ファイバ
を介して光電変換素子と復調回路とから々る光検出回路
で受け、この光検出回路の出力を表示装置に表示させる
構成とした点にある。
以下本発明を第２図に示しだ実施例を用いて詳細に説明
する。
する。
第２図は本発明の光干渉計の一実施例を示す系統図であ
る。第２図において、１はヘリウム−ネオンレーザから
なる偏向特性のよいレーザ光を発する光源、９α、９ｂ
、９ｃはシングルモード光ファイバ、２は光分岐器、１
０はレンズ、１１は減衰器、７は撮動している被測定物
、５は光電変換素子と復調回路とから彦る光検出回路、
８はシンクロスコープである。
る。第２図において、１はヘリウム−ネオンレーザから
なる偏向特性のよいレーザ光を発する光源、９α、９ｂ
、９ｃはシングルモード光ファイバ、２は光分岐器、１
０はレンズ、１１は減衰器、７は撮動している被測定物
、５は光電変換素子と復調回路とから彦る光検出回路、
８はシンクロスコープである。
第２図においては、光源１からの光はシングルモード光
ファイバ９ａを辿って光分岐器２に入り、光分岐器２か
ら出だ光のうちシングルモード光ファイバ９ｂを辿って
レンズ１０の前の部分でフレ４− ネル反射してシングルモード光ファイバ９ｂを通った光
と、光分岐器２から出た光のうちシングルモード光ファ
イバ９ｂを通った後、レンズ１０および減衰器１１を通
って振動している被測定物７で変調されて反射して減衰
器１１、レンズ１０およびシングルモード光ファイバ９
ｂを通った光とが光分岐器２で全反射されてシングルモ
ード光ファイバ９ｃを通って光検出回路５に入射する。
ファイバ９ａを辿って光分岐器２に入り、光分岐器２か
ら出だ光のうちシングルモード光ファイバ９ｂを辿って
レンズ１０の前の部分でフレ４− ネル反射してシングルモード光ファイバ９ｂを通った光
と、光分岐器２から出た光のうちシングルモード光ファ
イバ９ｂを通った後、レンズ１０および減衰器１１を通
って振動している被測定物７で変調されて反射して減衰
器１１、レンズ１０およびシングルモード光ファイバ９
ｂを通った光とが光分岐器２で全反射されてシングルモ
ード光ファイバ９ｃを通って光検出回路５に入射する。
このようにするため、レンズ１０の前以外のシングルモ
ード光ファイバ９ｂの端面には、フレネル反射を抑える
ため、マツチングオイルが使用しである。
ード光ファイバ９ｂの端面には、フレネル反射を抑える
ため、マツチングオイルが使用しである。
々お、この場合の減衰器１１の役割は、フレネル反射が
６係と小さいので、被測定物７で反射して光分岐器２に
入る光のレベルをフレネル反射による光のレベルに合わ
せる必要があるが、それをレンズ１０などの機械釣機ｍ
＝なしに実現することである。
６係と小さいので、被測定物７で反射して光分岐器２に
入る光のレベルをフレネル反射による光のレベルに合わ
せる必要があるが、それをレンズ１０などの機械釣機ｍ
＝なしに実現することである。
以上により上記２つの光が干渉し、その波形が光検出回
路５でｉｓ出され、シンクロスコープ８に表示される。
路５でｉｓ出され、シンクロスコープ８に表示される。
上記した本発明の実施例によれば、干渉する２つの光が
同じシングルモード光ファイバ９ｂを通るので干渉誤差
が小さくなり、測定精度を高めることができる。また、
第１図の鏡６が不要とカリ、調整個所が減り、測定系を
簡明にセットすることができる。また、光分岐器２の製
作が容易になる。
同じシングルモード光ファイバ９ｂを通るので干渉誤差
が小さくなり、測定精度を高めることができる。また、
第１図の鏡６が不要とカリ、調整個所が減り、測定系を
簡明にセットすることができる。また、光分岐器２の製
作が容易になる。
以上説明したように、本発明によれば、測定系を簡単に
セットすることができ、かつ、測定精度を高めることが
できるという効果がある。
セットすることができ、かつ、測定精度を高めることが
できるという効果がある。
第１図は従来の光干渉計の系統図、第２図は本発明の光
干渉計の一実施例を示す系統図である。 １；光源、２；光分岐器、５；光検出回路、７ ； 被
測定物、８ ニシンクロスコープ、９ ＬＬ＋ ９ ｂ
１９ ｃ；シングルモード光ファイバ、１０；レンズ
、１１；減衰器。 ＝７− 見 １ 日 党 Ｚ 図
干渉計の一実施例を示す系統図である。 １；光源、２；光分岐器、５；光検出回路、７ ； 被
測定物、８ ニシンクロスコープ、９ ＬＬ＋ ９ ｂ
１９ ｃ；シングルモード光ファイバ、１０；レンズ
、１１；減衰器。 ＝７− 見 １ 日 党 Ｚ 図
Claims (1)
- （１）ヘリウム−ネオンレーザを用いた光源と、該光源
からの光を第１のシングルモード光ファイバを介して受
ける光分岐器と、該光分岐器を出た光のうち第２のシン
グルモード光ファイバを通った後レンズの前の部分でフ
レネル反射して前記第２のシングルモード光ファイバを
通った光と前記光分岐器を出た光のうち前記第２のシン
グルモード光ファイバを通った後前記レンズおよび減衰
器を通って振動している被測定物で変調されて反射して
１〕１丁記減衰器、前記レンズおよび前記第２のシング
ルモード光ファイバを通った光とが前記光分岐器で全反
射された光が第６のシングルモード光ファイバを通って
入射する光電変・換素子と復調回路とからなる光検出回
路と、該光検出回路の出力を表示する表示装置とからな
ることを特徴とする光干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12658683A JPS6018727A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12658683A JPS6018727A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6018727A true JPS6018727A (ja) | 1985-01-30 |
Family
ID=14938841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12658683A Pending JPS6018727A (ja) | 1983-07-12 | 1983-07-12 | 光干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6018727A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5641314A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Moving method for truck in walking beam type heating furnace |
| JPS63159708U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159706U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159705U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159707U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS646705A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | Kyocera Corp | Displacement quantity and speed measuring apparatus |
| JPH0214002U (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-29 | ||
| CN110553713A (zh) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 中国科学院电子学研究所 | 光纤超声波传感器 |
-
1983
- 1983-07-12 JP JP12658683A patent/JPS6018727A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5641314A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-18 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Moving method for truck in walking beam type heating furnace |
| JPS6142764B2 (ja) * | 1979-09-13 | 1986-09-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | |
| JPS63159708U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159706U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159705U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS63159707U (ja) * | 1987-04-08 | 1988-10-19 | ||
| JPS646705A (en) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | Kyocera Corp | Displacement quantity and speed measuring apparatus |
| JPH0214002U (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-29 | ||
| CN110553713A (zh) * | 2018-05-30 | 2019-12-10 | 中国科学院电子学研究所 | 光纤超声波传感器 |
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