JPH0248140B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0248140B2 JPH0248140B2 JP58221475A JP22147583A JPH0248140B2 JP H0248140 B2 JPH0248140 B2 JP H0248140B2 JP 58221475 A JP58221475 A JP 58221475A JP 22147583 A JP22147583 A JP 22147583A JP H0248140 B2 JPH0248140 B2 JP H0248140B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drum
- block
- semiconductor device
- receiving
- storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 43
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野の説明〕
本発明は半導体装置を良品・不良品に選別する
ハンドリング装置に関するものである。
ハンドリング装置に関するものである。
従来、一般的な半導体装置のハンドリング装置
は半導体装置を搬送レールで滑走させ、その途中
で半導体装置を受け渡す機構を採用しているが、
受け渡しに時間が長くかかり、かつ受け渡し時に
トラブルが生じ、ハンドリングの安定運転や高速
運転が困難であるという欠点があつた。
は半導体装置を搬送レールで滑走させ、その途中
で半導体装置を受け渡す機構を採用しているが、
受け渡しに時間が長くかかり、かつ受け渡し時に
トラブルが生じ、ハンドリングの安定運転や高速
運転が困難であるという欠点があつた。
本発明の目的は前記問題点を解消し、高速で安
定した装置を提供することにある。
定した装置を提供することにある。
本発明は水平軸に間欠回転可能に軸支したドラ
ムと、 該ドラムの外周面上に一定のピツチで放射状に
半導体装置受けブロツクと、 前記ドラムの回転方向に対する上周面から下周
面の範囲内で前記ブロツクが上傾姿勢を保つ特定
位置の正面に向き合せて設置され半導体装置をブ
ロツク上に供給する供給機構及び前記ブロツクが
下傾姿勢を保つ特定位置の正面に向き合せて設置
され搬出される良品半導体を受入れる収納機構
と、 前記供給機構と収納機構間に渡つて各ブロツク
間の正面開口を覆う円弧状プレートと、 前記円弧状プレートをさらにドラムの下周面方
向に延設し、その終端に形成した不良品半導体装
置の排出ゲート機構と、 前記供給機構から前記収納機構に到るドラムの
回転角の範囲内に設置され、前記各受けブロツク
上に受入れられた半導体装置を検査する検査装置
ステーシヨンと、 該ステーシヨンからの指令を受けて前記収納機
構の正面のプレートの一部を開閉する収納ゲート
と、 前記ドラムの軸孔に各々一端が開口され、ドラ
ム内を貫通して半導体装置を受入れる各受けブロ
ツクの面上に他端を開口した真空吸着孔と、 少なくとも前記供給機構から前記検査装置ステ
ーシヨンの位置までのドラムの回転角の範囲に渡
つて前記水平軸の外面に形成され、前記回転角の
範囲に含まれる２以上の前記真空吸着孔と連通し
てポンプの駆動により受けブロツクへの半導体装
置の吸着保持に必要な脱気を行う真空溝とを有す
ることを特徴とするハンドリング装置である。
ムと、 該ドラムの外周面上に一定のピツチで放射状に
半導体装置受けブロツクと、 前記ドラムの回転方向に対する上周面から下周
面の範囲内で前記ブロツクが上傾姿勢を保つ特定
位置の正面に向き合せて設置され半導体装置をブ
ロツク上に供給する供給機構及び前記ブロツクが
下傾姿勢を保つ特定位置の正面に向き合せて設置
され搬出される良品半導体を受入れる収納機構
と、 前記供給機構と収納機構間に渡つて各ブロツク
間の正面開口を覆う円弧状プレートと、 前記円弧状プレートをさらにドラムの下周面方
向に延設し、その終端に形成した不良品半導体装
置の排出ゲート機構と、 前記供給機構から前記収納機構に到るドラムの
回転角の範囲内に設置され、前記各受けブロツク
上に受入れられた半導体装置を検査する検査装置
ステーシヨンと、 該ステーシヨンからの指令を受けて前記収納機
構の正面のプレートの一部を開閉する収納ゲート
と、 前記ドラムの軸孔に各々一端が開口され、ドラ
ム内を貫通して半導体装置を受入れる各受けブロ
ツクの面上に他端を開口した真空吸着孔と、 少なくとも前記供給機構から前記検査装置ステ
ーシヨンの位置までのドラムの回転角の範囲に渡
つて前記水平軸の外面に形成され、前記回転角の
範囲に含まれる２以上の前記真空吸着孔と連通し
てポンプの駆動により受けブロツクへの半導体装
置の吸着保持に必要な脱気を行う真空溝とを有す
ることを特徴とするハンドリング装置である。
以下に、本発明の一実施例を図により説明す
る。
る。
第１図において、ドラム３を水平軸１４に回転
可能に軸支し、ドラム３を間欠回転させるモータ
７に該ドラム３をベルト８により連動させる。ド
ラム３の周上には半導体装置受けブロツク４，４
…を放射状に設け、半導体装置を受け入れる各受
けブロツク４の一面に開口した真空吸着孔５の各
他端をドラム３の軸孔内に同心円状に開口する。
一方ドラム周上の一部の半導体装置受けブロツク
４，４…を覆い該ブロツク４の半導体装置出入口
４ａを閉塞する円弧状プレート１１を、前記ドラ
ム３の一側に隣接して設置する。さらに、該プレ
ート１１に沿い、その上縁に半導体装置１を斜上
方から出入口４ａを通して上傾姿勢に保たれた受
けブロツク４上に送り込む供給機構２を設置し、
ついで前記受けブロツク４に吸着された半導体装
置１の良品・不良品を判別する検査装置ステーシ
ヨン１２と、該ステーシヨン１２より良品判定指
令を受けて良品の半導体装置１を下傾姿勢に保た
れた前記受けブロツク４から受け取る収納機構１
０とをドラム３の回転方向に対する上周面から下
周面までの範囲内の途中に配設し、プレート１１
の終端には前記受けブロツク４より不良品の半導
体装置１を前記受けブロツク４から自重落下によ
り排出する排出ゲート機構１３を設置する。
可能に軸支し、ドラム３を間欠回転させるモータ
７に該ドラム３をベルト８により連動させる。ド
ラム３の周上には半導体装置受けブロツク４，４
…を放射状に設け、半導体装置を受け入れる各受
けブロツク４の一面に開口した真空吸着孔５の各
他端をドラム３の軸孔内に同心円状に開口する。
一方ドラム周上の一部の半導体装置受けブロツク
４，４…を覆い該ブロツク４の半導体装置出入口
４ａを閉塞する円弧状プレート１１を、前記ドラ
ム３の一側に隣接して設置する。さらに、該プレ
ート１１に沿い、その上縁に半導体装置１を斜上
方から出入口４ａを通して上傾姿勢に保たれた受
けブロツク４上に送り込む供給機構２を設置し、
ついで前記受けブロツク４に吸着された半導体装
置１の良品・不良品を判別する検査装置ステーシ
ヨン１２と、該ステーシヨン１２より良品判定指
令を受けて良品の半導体装置１を下傾姿勢に保た
れた前記受けブロツク４から受け取る収納機構１
０とをドラム３の回転方向に対する上周面から下
周面までの範囲内の途中に配設し、プレート１１
の終端には前記受けブロツク４より不良品の半導
体装置１を前記受けブロツク４から自重落下によ
り排出する排出ゲート機構１３を設置する。
なお、収納機構１０はプレート１１の切目部分
に臨ませて斜下方に向けて設置され、切目部分に
はステーシヨン１２の指令を受けて開閉する収納
ゲート９が設けられている。
に臨ませて斜下方に向けて設置され、切目部分に
はステーシヨン１２の指令を受けて開閉する収納
ゲート９が設けられている。
さらに、前記水平軸１４の周上には、半導体装
置１を吸着して検査装置ステーシヨン１２を通過
するのに必要なドラム３の回転角θの範囲（具体
的には供給機構２から収納機構１０の直前までの
範囲）にわたつてドラム３の回転に伴ない前記範
囲に含まれる前記各受けブロツク４の真空吸着孔
５を順次連通させる真空溝６を設ける。
置１を吸着して検査装置ステーシヨン１２を通過
するのに必要なドラム３の回転角θの範囲（具体
的には供給機構２から収納機構１０の直前までの
範囲）にわたつてドラム３の回転に伴ない前記範
囲に含まれる前記各受けブロツク４の真空吸着孔
５を順次連通させる真空溝６を設ける。
次に本発明の動作について説明する。
モータ７の間欠回転駆動によりドラム３に間欠
送りを与え、これを順次供給機構２、検査装置ス
テーシヨン１２、収納ゲート９、排出ゲート機構
１３の位置で一旦停止させる。
送りを与え、これを順次供給機構２、検査装置ス
テーシヨン１２、収納ゲート９、排出ゲート機構
１３の位置で一旦停止させる。
半導体装置１は供給機構２にレール上を滑走さ
せて搬入する。一方、ドラム３の回転に伴ない空
の受けブロツク４が供給機構２の位置に送りこま
れる。供給機構２の位置に達すると、真空吸着孔
５が水平軸１４の真空溝６に連通する。供給機構
２の位置でドラム３が停止すると、空の受けブロ
ツク４上に半導体装置１が落下し、その空の受け
ブロツク４の基端の定位置まで送り込まれる。真
空溝６は常にポンプ（図示略）で脱気されてお
り、この吸引力が真空吸着孔５内に作用し、半導
体装置１は真空吸着孔５を通して真空固定され
る。受け渡しが終了すると、ドラム３は２ピツチ
の間欠回転を行ない、受けブロツク４に吸着され
た半導体装置１をひきつづきドラムの回転により
検査装置ステーシヨン１２に送り込み、該ステー
シヨン１２において半導体装置１の良品・不良品
を判定する。良品であれば、さらにドラム３を２
ピツチ間欠回転させて良品の半導体装置１を収納
ゲート９の位置に送り込む。収納ゲート９では、
ドラム３の回転に伴なつて受けブロツク４の真空
孔５が水平軸１４の真空溝６から切り離され、半
導体装置１はフリーな状態で、かつ下向きに傾斜
した姿勢になる。ステーシヨン１２から良品判定
指令が収納機構１０に入力すると、収納ゲート９
が開き、半導体装置１は自重で受けブロツク４か
ら滑落して収納機構１０のレールに沿い滑走し、
該収納機構１０に収納される。不良品の場合は、
収納ゲート９は閉じた状態でドラム３は回転す
る。半導体装置１はフリーな状態で下向きに傾斜
した姿勢で受けブロツク４上に支持されるが、プ
レート１１により滑落するを阻止され、排出ゲー
ト機構１３の位置まで移送される。そして、排出
ゲート機構１３より不良品の半導体装置１は排出
される。
せて搬入する。一方、ドラム３の回転に伴ない空
の受けブロツク４が供給機構２の位置に送りこま
れる。供給機構２の位置に達すると、真空吸着孔
５が水平軸１４の真空溝６に連通する。供給機構
２の位置でドラム３が停止すると、空の受けブロ
ツク４上に半導体装置１が落下し、その空の受け
ブロツク４の基端の定位置まで送り込まれる。真
空溝６は常にポンプ（図示略）で脱気されてお
り、この吸引力が真空吸着孔５内に作用し、半導
体装置１は真空吸着孔５を通して真空固定され
る。受け渡しが終了すると、ドラム３は２ピツチ
の間欠回転を行ない、受けブロツク４に吸着され
た半導体装置１をひきつづきドラムの回転により
検査装置ステーシヨン１２に送り込み、該ステー
シヨン１２において半導体装置１の良品・不良品
を判定する。良品であれば、さらにドラム３を２
ピツチ間欠回転させて良品の半導体装置１を収納
ゲート９の位置に送り込む。収納ゲート９では、
ドラム３の回転に伴なつて受けブロツク４の真空
孔５が水平軸１４の真空溝６から切り離され、半
導体装置１はフリーな状態で、かつ下向きに傾斜
した姿勢になる。ステーシヨン１２から良品判定
指令が収納機構１０に入力すると、収納ゲート９
が開き、半導体装置１は自重で受けブロツク４か
ら滑落して収納機構１０のレールに沿い滑走し、
該収納機構１０に収納される。不良品の場合は、
収納ゲート９は閉じた状態でドラム３は回転す
る。半導体装置１はフリーな状態で下向きに傾斜
した姿勢で受けブロツク４上に支持されるが、プ
レート１１により滑落するを阻止され、排出ゲー
ト機構１３の位置まで移送される。そして、排出
ゲート機構１３より不良品の半導体装置１は排出
される。
収納機構１０又は排出ゲート機構１３の位置で
半導体装置１を排出して空になつた受けブロツク
４はドラム３の回転に伴ない再び供給機構２の位
置にもどり、一方半導体装置は一個づつ連続して
供給され、ドラム３の空の受けブロツク４に間断
なく供給される。
半導体装置１を排出して空になつた受けブロツク
４はドラム３の回転に伴ない再び供給機構２の位
置にもどり、一方半導体装置は一個づつ連続して
供給され、ドラム３の空の受けブロツク４に間断
なく供給される。
以上説明したように、本発明によるときには各
受けブロツクの姿勢変化による半導体装置の定位
置受け入れ、搬出並びに真空吸引、吸引解除をド
ラムの回転角の特定範囲を有効に利用して行うこ
とができ、半導体装置の受け渡し時間を短縮し、
しかも受け渡し時のトラブルをなくすことがで
き、半導体装置のハンドリングを高速で、しかも
安定して行なうことができる効果を有するもので
ある。
受けブロツクの姿勢変化による半導体装置の定位
置受け入れ、搬出並びに真空吸引、吸引解除をド
ラムの回転角の特定範囲を有効に利用して行うこ
とができ、半導体装置の受け渡し時間を短縮し、
しかも受け渡し時のトラブルをなくすことがで
き、半導体装置のハンドリングを高速で、しかも
安定して行なうことができる効果を有するもので
ある。
第１図は本発明の実施例を示す構成図である。
１……半導体装置、２……供給機構、３……ド
ラム、４……受けブロツク、５……真空吸着孔、
６……真空溝、７……モータ、８……ベルト、９
……収納ゲート、１０……収納機構、１１……プ
レート、１２……検査装置ステーシヨン、１３…
…排出ゲート機構、１４……水平軸。
ラム、４……受けブロツク、５……真空吸着孔、
６……真空溝、７……モータ、８……ベルト、９
……収納ゲート、１０……収納機構、１１……プ
レート、１２……検査装置ステーシヨン、１３…
…排出ゲート機構、１４……水平軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 水平軸に間欠回転可能に軸支したドラムと、
該ドラムの外周面上に一定のピツチで放射状に突
出形成した半導体装置受けブロツクと、 前記ドラムの回転方向に対する上周面から下周
面の範囲内で前記ブロツクが上傾姿勢を保つ特定
位置の正面に向き合せて設置され半導体装置をブ
ロツク上に供給する供給機構及び前記ブロツクが
下傾姿勢を保つ特定位置の正面に向き合せて設置
され搬出される良品半導体を受入れる収納機構
と、 前記供給機構と収納機構間に渡つて各ブロツク
間の正面開口を覆う円弧状プレートと、 前記円弧状プレートをさらにドラムの下周面方
向に延設し、その終端に形成した不良品半導体装
置の排出ゲート機構と、 前記供給機構から前記収納機構に到るドラムの
回転角の範囲内に設置され、前記各受けブロツク
上に受入れられた半導体装置を検査する検査装置
ステーシヨンと、 該ステーシヨンからの指令を受けて前記収納機
構の正面のプレートの一部を開閉する収納ゲート
と、 前記ドラムの軸孔に各々一端が開口され、ドラ
ム内を貫通して半導体装置を受入れる各受けブロ
ツクの面上に他端を開口した真空吸着孔と、 少なくとも前記供給機構から前記検査装置ステ
ーシヨンの位置までのドラムの回転角の範囲に渡
つて前記水平軸の外面に形成され、前記回転角の
範囲に含まれる２以上の前記真空吸着孔と連通し
てポンプの駆動により受けブロツクへの半導体装
置の吸着保持に必要な脱気を行う真空溝とを有す
ることを特徴とするハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22147583A JPS60113939A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22147583A JPS60113939A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113939A JPS60113939A (ja) | 1985-06-20 |
| JPH0248140B2 true JPH0248140B2 (ja) | 1990-10-24 |
Family
ID=16767295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22147583A Granted JPS60113939A (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113939A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61236135A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Internatl Rectifier Corp Japan Ltd | 電子部品の検査装置 |
| JPS62186814U (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-27 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5568649A (en) * | 1978-11-20 | 1980-05-23 | Hitachi Ltd | Automatic sorter for diode pellet |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP22147583A patent/JPS60113939A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5568649A (en) * | 1978-11-20 | 1980-05-23 | Hitachi Ltd | Automatic sorter for diode pellet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60113939A (ja) | 1985-06-20 |
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