JPH0242311A - 傾斜角検出器 - Google Patents
傾斜角検出器Info
- Publication number
- JPH0242311A JPH0242311A JP19203588A JP19203588A JPH0242311A JP H0242311 A JPH0242311 A JP H0242311A JP 19203588 A JP19203588 A JP 19203588A JP 19203588 A JP19203588 A JP 19203588A JP H0242311 A JPH0242311 A JP H0242311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- light
- receiving part
- inclined angle
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は水平又は重力の方向に対する披Δ―ｊ定物の傾
斜角を電気的に検出する傾斜角検出器に関する。
斜角を電気的に検出する傾斜角検出器に関する。
（従来の技術）
従来の傾斜角検出器として、上部内面が球状の凹面に形
成された透明容器に気体と透明液体とを封入して成る気
泡管と、該気泡管に向けて上方又は下方より光を照射す
る送光部と、該気泡管を透過した光を電気信号に変換す
る円形４分割型の位置検出用受光素子と、該電気信号に
より傾斜角を算出する演算部とを備え、気泡管を透過し
た送光部からの光を受光素子で受け、第８図又は第９図
に示すように受光素子ａ上にできた気泡影すが傾斜角に
応じて相対的に受光素子ａ上での位置を変えることによ
って生じる光量分布の変化を受光素子ａにより電気的変
化としてとらえ、この変化を演算部により算出して傾斜
角を光電的に測定するものは知られる。
成された透明容器に気体と透明液体とを封入して成る気
泡管と、該気泡管に向けて上方又は下方より光を照射す
る送光部と、該気泡管を透過した光を電気信号に変換す
る円形４分割型の位置検出用受光素子と、該電気信号に
より傾斜角を算出する演算部とを備え、気泡管を透過し
た送光部からの光を受光素子で受け、第８図又は第９図
に示すように受光素子ａ上にできた気泡影すが傾斜角に
応じて相対的に受光素子ａ上での位置を変えることによ
って生じる光量分布の変化を受光素子ａにより電気的変
化としてとらえ、この変化を演算部により算出して傾斜
角を光電的に測定するものは知られる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来の傾斜角検出器によれば、温度
変化などに伴う気泡径、送光部の発光強度、受光素子の
光電変換感度などの変動のために、測定結果に大きな誤
差が入り込むことを免れ得ない不都合があった。
変化などに伴う気泡径、送光部の発光強度、受光素子の
光電変換感度などの変動のために、測定結果に大きな誤
差が入り込むことを免れ得ない不都合があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記不都合をなくすことを目的とするものであ
って、上部内面が球状の凹面に形成された透明容器に気
体と透明液体とを封入して成る気泡管と、該気泡管に向
けて上方又は下方より光を照射する送光部と、該気泡管
を透過した光を電気信号に変換する受光素子と、該電気
信号により傾斜角を算出する演算部とを備える傾斜角検
出器において、該受光素子を気泡影の可動範囲内の位置
検出用受光部と可動範囲外の参照用受光部とで構成し、
該両受光部を近接配置して成る。
って、上部内面が球状の凹面に形成された透明容器に気
体と透明液体とを封入して成る気泡管と、該気泡管に向
けて上方又は下方より光を照射する送光部と、該気泡管
を透過した光を電気信号に変換する受光素子と、該電気
信号により傾斜角を算出する演算部とを備える傾斜角検
出器において、該受光素子を気泡影の可動範囲内の位置
検出用受光部と可動範囲外の参照用受光部とで構成し、
該両受光部を近接配置して成る。
（作 用）
本発明は上記構成によるもので、これによれば、気泡管
を透過した送光部からの光は受光素子の位置検出用受光
部上に気泡影を形成するように照射されると同時に参照
用受光部上にも照射される。位置検出用受光部は主に気
泡影が傾斜角に応じて相対的に位置を変えることによっ
て生じる光量分布の変化を電気的変化としてとらえて出
力し、参照用受光部は主に送光部の発光強度、光電変換
感度などの変動を電気的変化としてとらえて出力する。
を透過した送光部からの光は受光素子の位置検出用受光
部上に気泡影を形成するように照射されると同時に参照
用受光部上にも照射される。位置検出用受光部は主に気
泡影が傾斜角に応じて相対的に位置を変えることによっ
て生じる光量分布の変化を電気的変化としてとらえて出
力し、参照用受光部は主に送光部の発光強度、光電変換
感度などの変動を電気的変化としてとらえて出力する。
照射面積、照射強度などに比例した各受光部からの出力
は演算部に人力され、ここで演算されて傾斜角が求めら
れる。かくするときは、温度が変化して、送光部の発光
強度、光電変換感度などが変動しても、この変動は参照
用受光部により確実にとらえられ、演算部により補償さ
れ、また気泡径の変化による誤差も演算部により補償さ
れるので、測定結果に大きな誤差が入り込む余地がなく
、正確に傾斜角を測定できる。
は演算部に人力され、ここで演算されて傾斜角が求めら
れる。かくするときは、温度が変化して、送光部の発光
強度、光電変換感度などが変動しても、この変動は参照
用受光部により確実にとらえられ、演算部により補償さ
れ、また気泡径の変化による誤差も演算部により補償さ
れるので、測定結果に大きな誤差が入り込む余地がなく
、正確に傾斜角を測定できる。
（実施例）
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図乃至第２図において、１は気泡管を示し、この気
泡管１は上部内面が球状の四面２に形成された透明容器
３に気泡４を存して透明液体５を封入して成る。
泡管１は上部内面が球状の四面２に形成された透明容器
３に気泡４を存して透明液体５を封入して成る。
気泡管１の下方には、送光部６が配設され、この送光部
６は発光ダイオード等の光源７と、この光源７からの光
をスリット板８を介して気泡管１の下部に平行に照射さ
せるレンズ９とから成る。
６は発光ダイオード等の光源７と、この光源７からの光
をスリット板８を介して気泡管１の下部に平行に照射さ
せるレンズ９とから成る。
気泡管１の上方には、ＰＳＤ等の受光素子ｌＯが配設さ
れ、この受光素子ｌＯは気泡管１を透過した光を電気信
号に変換して二次元の傾斜角すなわちＸＹ力方向傾斜角
を検出するもので、気泡影Ｉ■の可動範囲内に設けられ
る位置検出用受光部１２と、これに近接させて気泡影１
１の可動範囲外に設けられる参照用受光部１３とから成
る。
れ、この受光素子ｌＯは気泡管１を透過した光を電気信
号に変換して二次元の傾斜角すなわちＸＹ力方向傾斜角
を検出するもので、気泡影Ｉ■の可動範囲内に設けられ
る位置検出用受光部１２と、これに近接させて気泡影１
１の可動範囲外に設けられる参照用受光部１３とから成
る。
位置検出用受光部１２は、円板形の受光部を４つの受光
片１４．１５．１８．１７に分割して成る。
片１４．１５．１８．１７に分割して成る。
参照用受光部１３は、位置検出用受光部１２を囲うよう
に配置される。
に配置される。
１８は前記両受光部■２．１３から出力される電気信号
を入力して傾斜角を算出する演算部を示す。
を入力して傾斜角を算出する演算部を示す。
かくするときは、気泡管１を透過した光源７からの光は
位置検出用受光部ｌまたる４つの受光片１４．１５．１
８．１７上に気泡影１１を形成するように照射されると
同時に参照用受光部１３にも照射される。照射面積、照
射強度等に比例した両受光部１２．１３からの電気的な
出力は演算部１８に入力される。
位置検出用受光部ｌまたる４つの受光片１４．１５．１
８．１７上に気泡影１１を形成するように照射されると
同時に参照用受光部１３にも照射される。照射面積、照
射強度等に比例した両受光部１２．１３からの電気的な
出力は演算部１８に入力される。
演算部１８では、次のような演算が行なわれてＸＹ力方
向傾斜角が求められる。
向傾斜角が求められる。
ここで、位置検出用受光部ｌまたる受光片１４゜１５、
１６．１７の合計面積を８１そのうちの光の照射されて
いる部分の面積をＳ＋４、Ｓ１５、Ｓ１６、Ｓ＋７、参
照用受光部１３の面積をＳ１３、傾斜角のＸＹ力方向成
分を夫々θ８、θ、（θ工、θ、〈〈１）、気泡管１の
上部内面の曲率半径Ｒ１送光部６の発光強度及び受光部
１２．１３の光電変換効率等を考慮に入れた係数をに１
気泡４の径をＤとする。
１６．１７の合計面積を８１そのうちの光の照射されて
いる部分の面積をＳ＋４、Ｓ１５、Ｓ１６、Ｓ＋７、参
照用受光部１３の面積をＳ１３、傾斜角のＸＹ力方向成
分を夫々θ８、θ、（θ工、θ、〈〈１）、気泡管１の
上部内面の曲率半径Ｒ１送光部６の発光強度及び受光部
１２．１３の光電変換効率等を考慮に入れた係数をに１
気泡４の径をＤとする。
まず次の値Ａ、ＢＳＣを求める。
Ａ−（受光片１４の出力ｖ１４＋受光片受光の出力Ｖ’
ｓ） （受光片１Ｂの出力■Ｉ６＋受光片１７）出
力ｖ１７）＝Ｋ （（Ｓ１４＋５１５） （Ｓ＋６
＋Ｓｌ□））−−２ＲＫＤθ８ Ｂ−（受光片１４の出力■１４＋受光片受光の出力Ｖ１
５） ＋ （受光片１８の出力ｖ１６＋受光片受光（７
）出力ｖ、７）＝Ｋ （（ＳＩ４＋Ｓ＋５） ＋ Ｃ５
＋ｂ ＋ Ｓ＋７） １Ｃ−参照用受光部１３の出力Ｖ
、ｓ−Ｋ Ｓ １３これらＡ、Ｂ、Ｃの値によりＸ方
向の傾斜角すなわち、各受光片１４．１５．１８．１７
の出力及び受光部１３の出力よりＡ、Ｂ、Ｃの各位を求
め、（１）式によってθＸを計算すれば、温度によって
変化する気泡径Ｄ１送光部６及び受光部１２．１３の光
電係数Ｋが相殺されてしまうので、温度、送光部６の発
光強度、受光部１２．１３の光電変換感度に依存されな
い正しいＸ方向の傾斜角を求めることができる。
ｓ） （受光片１Ｂの出力■Ｉ６＋受光片１７）出
力ｖ１７）＝Ｋ （（Ｓ１４＋５１５） （Ｓ＋６
＋Ｓｌ□））−−２ＲＫＤθ８ Ｂ−（受光片１４の出力■１４＋受光片受光の出力Ｖ１
５） ＋ （受光片１８の出力ｖ１６＋受光片受光（７
）出力ｖ、７）＝Ｋ （（ＳＩ４＋Ｓ＋５） ＋ Ｃ５
＋ｂ ＋ Ｓ＋７） １Ｃ−参照用受光部１３の出力Ｖ
、ｓ−Ｋ Ｓ １３これらＡ、Ｂ、Ｃの値によりＸ方
向の傾斜角すなわち、各受光片１４．１５．１８．１７
の出力及び受光部１３の出力よりＡ、Ｂ、Ｃの各位を求
め、（１）式によってθＸを計算すれば、温度によって
変化する気泡径Ｄ１送光部６及び受光部１２．１３の光
電係数Ｋが相殺されてしまうので、温度、送光部６の発
光強度、受光部１２．１３の光電変換感度に依存されな
い正しいＸ方向の傾斜角を求めることができる。
Ｙ方向の傾斜角も同様にして求めることができるのは明
らかである。
らかである。
尚、位置検出用受光部１２及び参照用受光部１３は上記
した実施例のものに限るものではなく、第３図乃至第７
図のいずれかに示すようなものであっても勿論良い。
した実施例のものに限るものではなく、第３図乃至第７
図のいずれかに示すようなものであっても勿論良い。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、気泡管を透過した光を
電気信号に変換する受光素子を、気泡影の可動範囲内の
位置検出用受光部と可動範囲外の参照用受光部とで構成
したので、両受光部からの電気的出力を演算部により演
算処理することによって、温度等に起因する気泡径の変
化、送・受光部の光電特性の変化などによる測定誤差を
相殺することができ、温度変化、送光部の発光強度の変
化、受光部の光電変換感度の変化のある条件下でも検出
精度を保つことができる効果を有する。
電気信号に変換する受光素子を、気泡影の可動範囲内の
位置検出用受光部と可動範囲外の参照用受光部とで構成
したので、両受光部からの電気的出力を演算部により演
算処理することによって、温度等に起因する気泡径の変
化、送・受光部の光電特性の変化などによる測定誤差を
相殺することができ、温度変化、送光部の発光強度の変
化、受光部の光電変換感度の変化のある条件下でも検出
精度を保つことができる効果を有する。
さらに両受光部を近接配置したので、検出器をコンパク
ト化することができる効果を有する。
ト化することができる効果を有する。
第１図は本発明の第１実施例を示す概略説明図、第２図
はその受光素子と気泡影の位置関係図、第３図乃至第７
図は本発明の第２実施例乃至第５実施例の受光素子と気
泡影の位置関係図、第８図及び第９図は２つの従来例の
受光素子と気泡影の位置関係図である。 １・・・気泡管 ２・・・凹面 ３・・・透明容器 ４ｔ・・気泡 ５・・・透明液体 ６・・・送光部 １０・・・受光素子 １１・・・気泡影 １２・・・位置検出用受光部 １３・・・参照用受光部 １８・・・演算部 第１図 第３図 第６図 第７図 第８図 第９図
はその受光素子と気泡影の位置関係図、第３図乃至第７
図は本発明の第２実施例乃至第５実施例の受光素子と気
泡影の位置関係図、第８図及び第９図は２つの従来例の
受光素子と気泡影の位置関係図である。 １・・・気泡管 ２・・・凹面 ３・・・透明容器 ４ｔ・・気泡 ５・・・透明液体 ６・・・送光部 １０・・・受光素子 １１・・・気泡影 １２・・・位置検出用受光部 １３・・・参照用受光部 １８・・・演算部 第１図 第３図 第６図 第７図 第８図 第９図
Claims (1)
- 上部内面が球状の凹面に形成された透明容器に気体と
透明液体とを封入して成る気泡管と、該気泡管に向けて
上方又は下方より光を照射する送光部と、該気泡管を透
過した光を電気信号に変換する受光素子と、該電気信号
により傾斜角を算出する演算部とを備える傾斜角検出器
において、該受光素子を気泡影の可動範囲内の位置検出
用受光部と可動範囲外の参照用受光部とで構成し、該両
受光部を近接配置して成る傾斜角検出器。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63192035A JP2688933B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 傾斜角検出器 |
| CA000604601A CA1314706C (en) | 1988-08-02 | 1989-06-30 | Inclination angle detector |
| PCT/JP1989/000712 WO1990001677A1 (en) | 1988-08-02 | 1989-07-14 | Inclination detector |
| DE19893990869 DE3990869T1 (de) | 1988-08-02 | 1989-07-14 | Neigungswinkeldetektor |
| DE3990869A DE3990869C2 (de) | 1988-08-02 | 1989-07-14 | Neigungswinkeldetektor |
| US07/474,756 US5101570A (en) | 1988-08-02 | 1989-07-14 | Inclination angle detector |
| AU40404/89A AU610751B2 (en) | 1988-08-02 | 1989-08-01 | Inclination angle detector |
| PCT/JP1989/000792 WO1990001678A1 (en) | 1988-08-02 | 1989-08-01 | Inclination detector |
| GB9006057A GB2232762B (en) | 1988-08-02 | 1990-03-12 | Inclination detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63192035A JP2688933B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 傾斜角検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242311A true JPH0242311A (ja) | 1990-02-13 |
| JP2688933B2 JP2688933B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=16284520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63192035A Expired - Lifetime JP2688933B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 傾斜角検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2688933B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6080965A (en) * | 1997-09-18 | 2000-06-27 | Tokyo Electron Limited | Single-substrate-heat-treatment apparatus in semiconductor processing system |
| US6123429A (en) * | 1997-05-17 | 2000-09-26 | Tokyo Electron Limited | Light source device |
| US6259061B1 (en) | 1997-09-18 | 2001-07-10 | Tokyo Electron Limited | Vertical-heat-treatment apparatus with movable lid and compensation heater movable therewith |
| JP2007046948A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Daishowa Seiki Co Ltd | 水準センサ、水準センサの水準検出処理回路、水準センサの製造方法および墨出し装置 |
| JP2007218722A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Sokkia Co Ltd | 傾斜角検出器 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48106251U (ja) * | 1972-03-13 | 1973-12-10 | ||
| JPS55103877U (ja) * | 1979-01-06 | 1980-07-19 | ||
| JPS59138717U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-17 | ナカミチ株式会社 | 光学センサ−装置 |
| JPS60123719A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-02 | Hisao Kato | 傾斜角検出装置 |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP63192035A patent/JP2688933B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48106251U (ja) * | 1972-03-13 | 1973-12-10 | ||
| JPS55103877U (ja) * | 1979-01-06 | 1980-07-19 | ||
| JPS59138717U (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-17 | ナカミチ株式会社 | 光学センサ−装置 |
| JPS60123719A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-02 | Hisao Kato | 傾斜角検出装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6123429A (en) * | 1997-05-17 | 2000-09-26 | Tokyo Electron Limited | Light source device |
| US6080965A (en) * | 1997-09-18 | 2000-06-27 | Tokyo Electron Limited | Single-substrate-heat-treatment apparatus in semiconductor processing system |
| US6259061B1 (en) | 1997-09-18 | 2001-07-10 | Tokyo Electron Limited | Vertical-heat-treatment apparatus with movable lid and compensation heater movable therewith |
| JP2007046948A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Daishowa Seiki Co Ltd | 水準センサ、水準センサの水準検出処理回路、水準センサの製造方法および墨出し装置 |
| JP2007218722A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Sokkia Co Ltd | 傾斜角検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2688933B2 (ja) | 1997-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5101570A (en) | Inclination angle detector | |
| US4921345A (en) | Spatial filter type speed measuring apparatus | |
| CN107490563A (zh) | 一种监测仪器窗口片积尘的测量装置及方法 | |
| JPH0242311A (ja) | 傾斜角検出器 | |
| US7595479B2 (en) | Tilt detector and tilt detecting method for the same | |
| JPS59762B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| CN217384240U (zh) | 一种光电式液体水平传感器 | |
| US4888491A (en) | Device for measuring angular deviation of flat plate | |
| JPS61155803A (ja) | 幅測定装置 | |
| JP3510215B2 (ja) | 傾斜角度検出装置および１次元測定方向の傾斜角度測定方法 | |
| JP2655276B2 (ja) | 傾斜角検出器 | |
| JPS61260113A (ja) | 面傾斜角検出装置 | |
| JPS60123719A (ja) | 傾斜角検出装置 | |
| JPS61104202A (ja) | 光変位計 | |
| JP3256764B2 (ja) | 広範囲位置ディテクター | |
| SU739376A1 (ru) | Устройство дл измерени размеров и счетных концентраций аэрозольных частиц | |
| JPS6140505A (ja) | 水平度測定装置 | |
| JPH0371041B2 (ja) | ||
| JPH02150707A (ja) | 水準器 | |
| JPH0645848Y2 (ja) | 平面を形成する光束の位置を検出する測量装置の受光装置 | |
| JP2007232663A (ja) | 傾斜角検出器 | |
| JPH09243359A (ja) | 傾斜センサー | |
| JPH05203447A (ja) | 傾斜計 | |
| JPH0629717B2 (ja) | エツジ像の境界位置及び角度検出装置 | |
| JPH0348530B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080829 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |