JPH0238543A - 半導体用リード素材 - Google Patents
半導体用リード素材Info
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- JPH0238543A JPH0238543A JP18833788A JP18833788A JPH0238543A JP H0238543 A JPH0238543 A JP H0238543A JP 18833788 A JP18833788 A JP 18833788A JP 18833788 A JP18833788 A JP 18833788A JP H0238543 A JPH0238543 A JP H0238543A
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Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、ＩＣやＬＳＩの半導体製造に用いられる鉄
系リード素材に関するものである。
系リード素材に関するものである。
［従来の技術］
一般に、半導体のリード材となるＦｅ系リード素材には
種々の特性が要求されるが、特に半導体の輸送あるいは
電気機器への組込みに際して曲がりや繰り返し曲げによ
って破損が生じない強度および伸び、耐食性が要求され
る。
種々の特性が要求されるが、特に半導体の輸送あるいは
電気機器への組込みに際して曲がりや繰り返し曲げによ
って破損が生じない強度および伸び、耐食性が要求され
る。
これまで、リード素材としては、４２％Ｎｉ合金が多く
使用されていた。
使用されていた。
しかし、近年の半導体は大量生産され、コスト低減が大
きな課題となってきているが、一方で、Ｎｉはコス１〜
が高騰し、Ｃｕ系リードフレームに転換しつつある。し
かし、Ｃｕ系は強度の向上が難しくしかもコストも必ず
しも安価ではない。そこで、安価でしかも高強度高耐食
性を具備する鉄系のリードフレーム素材の開発が強く望
まれている。
きな課題となってきているが、一方で、Ｎｉはコス１〜
が高騰し、Ｃｕ系リードフレームに転換しつつある。し
かし、Ｃｕ系は強度の向上が難しくしかもコストも必ず
しも安価ではない。そこで、安価でしかも高強度高耐食
性を具備する鉄系のリードフレーム素材の開発が強く望
まれている。
［発明が解決しようとする課題］
本発明はＩＣやＬＳＩ等の半導体製造に用いられる前記
要請に答える事の出来るリード素材の開発を意図したも
のである。
要請に答える事の出来るリード素材の開発を意図したも
のである。
［課題を解決するための手段および作用］すなわち、本
発明は、 Ｃ： ０．００１−０．５％、 Ｓｉ ： ０．００１
１．０％、 Ｍｎ ： ０゜０５〜２．０％、 Ｐ
： ０．１．０％以下、 Ｓ ： ０．０１０％以下。
発明は、 Ｃ： ０．００１−０．５％、 Ｓｉ ： ０．００１
１．０％、 Ｍｎ ： ０゜０５〜２．０％、 Ｐ
： ０．１．０％以下、 Ｓ ： ０．０１０％以下。
Ａ ｆｌ ： ３．０−２０．０％、 Ｃｒ ： １．
０−１０．０％を含有し、残部不可避的不純物およびＦ
ｅからなる組成の鉄合金で構成されていることを特徴と
する半導体リード素材であり、また 上記成分に、希土類元素０．０１〜０．５０％、Ｃａ：
０゜０００５〜ｏ、ｏｔｏ％、 Ｍｇ ： ０．０００
５〜０．０１０％のいずれか１種以上を含有させた組成
の鉄合金で構成されていることを特徴とする半導体用リ
ード素材である。 以下に成分構成を上記の通りに限定
した理由を説明する。なお、本明細書で各成分の含有量
の単位はいずれも重量％である。
０−１０．０％を含有し、残部不可避的不純物およびＦ
ｅからなる組成の鉄合金で構成されていることを特徴と
する半導体リード素材であり、また 上記成分に、希土類元素０．０１〜０．５０％、Ｃａ：
０゜０００５〜ｏ、ｏｔｏ％、 Ｍｇ ： ０．０００
５〜０．０１０％のいずれか１種以上を含有させた組成
の鉄合金で構成されていることを特徴とする半導体用リ
ード素材である。 以下に成分構成を上記の通りに限定
した理由を説明する。なお、本明細書で各成分の含有量
の単位はいずれも重量％である。
Ｃは、母材の強度を上げるのに有効で含有量として最低
０．００１％は必要であり、０．５％を越えると伸びが
低下する。但し、低い方が望ましい。
０．００１％は必要であり、０．５％を越えると伸びが
低下する。但し、低い方が望ましい。
Ｓｌの含有量としては鉄の脱酸上最低０．０ＯＬ％必要
で、１．０％を越えると圧延が難しくなる。
で、１．０％を越えると圧延が難しくなる。
Ｍｎの含有量は、本発明の鉄合金の圧延時の割れ防止の
ため最低０．０５％必要であり、母材強度のためにも高
い方がよいが、２．０％を越えると伸びが減少する。
ため最低０．０５％必要であり、母材強度のためにも高
い方がよいが、２．０％を越えると伸びが減少する。
Ｐ、Ｓの含有量は低い方が望ましく、各々０．１０％、
０．０１０％を上限とする。これ以上では、伸びが出
にくく、加工性が低下する。
０．０１０％を上限とする。これ以上では、伸びが出
にくく、加工性が低下する。
ＡＱとＣｒは、本発明鋼の重要添加元素で、ＡＱとＣｒ
の含有量の最適範囲において、耐食性の良好な高強度リ
ード材を得ることができる。
の含有量の最適範囲において、耐食性の良好な高強度リ
ード材を得ることができる。
第１図は、鉄合金中のＡＱ、Ｃｒ含有量と塩水噴霧試験
での腐食程度との関係を示すもので、試験材のベース成
分は、Ｃ： ０．０１％、Ｓｊ、：０．１％。
での腐食程度との関係を示すもので、試験材のベース成
分は、Ｃ： ０．０１％、Ｓｊ、：０．１％。
Ｍｎ：０．１％以下、Ｓ：０．０１％、 Ｓ ： ０．
００１％、Ｃｅ：０゜０５％の鉄合金で、又腐食面積は
塩水噴霧４８時間後の表面の腐食面積を示す。
００１％、Ｃｅ：０゜０５％の鉄合金で、又腐食面積は
塩水噴霧４８時間後の表面の腐食面積を示す。
図面からも判るようにＡＱ、Ｃｒは各々３．０％、１゜
０％以上で耐食性が良好となる。
０％以上で耐食性が良好となる。
また、ＡＱは、２０．０％を越えると圧延が困難になり
、Ｃｒは１０％以上で耐食性向上効果が飽和するととも
に経済的な観点から上限を１０．０％とした。
、Ｃｒは１０％以上で耐食性向上効果が飽和するととも
に経済的な観点から上限を１０．０％とした。
希土類元素、ＣａおよびＭｇの含有量は、本発明のＡＱ
含有量高い鉄合金を、圧延等の加工を施すために極めて
有効である。特にリード素材は、０．２〜０ 、３＋ｎ
ｍ程度の板厚にすることが必要なため、リード素材の製
造の際には苛酷な圧延条件となるが、このような場合で
も本発明の鉄合金では健全な素材を作成することが可能
となる。
含有量高い鉄合金を、圧延等の加工を施すために極めて
有効である。特にリード素材は、０．２〜０ 、３＋ｎ
ｍ程度の板厚にすることが必要なため、リード素材の製
造の際には苛酷な圧延条件となるが、このような場合で
も本発明の鉄合金では健全な素材を作成することが可能
となる。
これらの最適含有量としては、希土類元素で０゜０１〜
０．５０％、 Ｃａ、 Ｍｇで各々０．０００５〜０．
０１０％で、いずれか１種以上を添加し、鉄合金中に含
有させることが必要である。
０．５０％、 Ｃａ、 Ｍｇで各々０．０００５〜０．
０１０％で、いずれか１種以上を添加し、鉄合金中に含
有させることが必要である。
希土類元素、ＣａおよびＭｇは、複合して含有させても
よい。
よい。
なお、希土類元素はＬａ、Ｃｅ、Ｙなどで、これらの１
種または２種以上を合計して０．０１〜０．５０％であ
り、精製されたＬａ、Ｃｅ、Ｙなどでも、ミツシュメタ
ルで添加してもよい。
種または２種以上を合計して０．０１〜０．５０％であ
り、精製されたＬａ、Ｃｅ、Ｙなどでも、ミツシュメタ
ルで添加してもよい。
本発明のリード素材は、目標とする成分範囲の鉄合金を
電気炉、転炉、真空溶解炉などで溶解し、場合によって
は脱ガス後、鋳造、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍によって
製造される。
電気炉、転炉、真空溶解炉などで溶解し、場合によって
は脱ガス後、鋳造、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍によって
製造される。
［実施例コ
つぎに実施例について説明する。
第１表に、成分組成と特性を一覧表にして示した。
これらのサンプルは、真空溶解後熱間圧延し、０ 、３
ｍｍ厚に冷間圧延して、それを焼鈍したものである。
ｍｍ厚に冷間圧延して、それを焼鈍したものである。
上述の方法によって作製された本発明のリード素材より
ＪＩＳ５号引張試験片を切出し、引張試験をおこなった
。ＴＳはそのときの引張強度、ＥＱは伸びである。
ＪＩＳ５号引張試験片を切出し、引張試験をおこなった
。ＴＳはそのときの引張強度、ＥＱは伸びである。
また塩水噴霧試験によって腐食の促進試験を４８ｈｒお
こない、表面の錆面績を測定した。
こない、表面の錆面績を測定した。
その結果、第１表に示すように本発明材は、強度が高く
しかも耐食性がすぐれていることがわかる。
しかも耐食性がすぐれていることがわかる。
なお、従来から使用されている４２％Ｎユ合金は４８ｈ
ｒの塩水噴霧で約２０％の錆発生であり、強度も６０〜
７０ｋｇｆ／ｍｍ２と、本発明材と同等かそれ以下であ
り、本発明材は、安価でしかも優れた特性をもつリード
素材であることが判る。
ｒの塩水噴霧で約２０％の錆発生であり、強度も６０〜
７０ｋｇｆ／ｍｍ２と、本発明材と同等かそれ以下であ
り、本発明材は、安価でしかも優れた特性をもつリード
素材であることが判る。
また、リード素材は一般に金、銀などをメツキして実用
に供するが、本発明のリード素材のメツキ特性は良好で
あった。
に供するが、本発明のリード素材のメツキ特性は良好で
あった。
［発明の効果］
第１表の結果から、本発明のＦｅ合金り−１（素材は、
いずれも強度が高く、しかも耐食性がすぐれた結果を示
している。
いずれも強度が高く、しかも耐食性がすぐれた結果を示
している。
以」二のように、この発明のリード素材は、通常の半導
体用Ｆｅ合金リード素材に要求される特性を十分満足し
、しかも安価な素材として半導体工業で強く求められて
いる経済性と信頼性とを共に具備しうる等顕著な効果を
有する。
体用Ｆｅ合金リード素材に要求される特性を十分満足し
、しかも安価な素材として半導体工業で強く求められて
いる経済性と信頼性とを共に具備しうる等顕著な効果を
有する。
第１図は、鉄合金中のＡＱ、Ｃｒ含有量と塩水噴霧試験
での腐食面積との関係を示す図である。
での腐食面積との関係を示す図である。
Claims (2)
- （１）Ｃ：０．００１〜０．５％、Ｓｉ：０．００１〜
１．０％、 Ｍｎ：０．０５〜２．０％、Ｐ：０．１０％以下、 Ｓ：０．０１０％以下、Ａｌ：３．０〜２０．０％、 Ｃｒ：１．０〜１０．０％ を含有し、残部不可避不純物およびＦｅからなる組成の
鉄合金で構成されていることを特徴とする半導体用リー
ド素材 - （２）Ｃ：０．００１〜０．５％、Ｓｉ：０．００１〜
１．０％、 Ｍｎ：０．０５〜２．０％、Ｐ：０．１０％以下、 Ｓ：０．０１０％以下、Ａｌ：３．０〜２０．０％、 Ｃｒ：１．０〜１０．０％ を含有し、さらに 希土類元素：０．０１〜０．５０％、 Ｃａ：０．０００５〜０．０１０％、 Ｍｇ：０．０００５〜０．０１０％ のいずれか１種以上を含有し残部不可避不純物およびＦ
ｅからなる組成の鉄合金で構成されていることを特徴と
する半導体用リード素材
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18833788A JPH0238543A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 半導体用リード素材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18833788A JPH0238543A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 半導体用リード素材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238543A true JPH0238543A (ja) | 1990-02-07 |
Family
ID=16221850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18833788A Pending JPH0238543A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | 半導体用リード素材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238543A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026161C2 (nl) * | 2004-05-11 | 2005-11-14 | Moons & Van Hoof B V | Pomp voor een dispenser voor gas-vloeistofmengsels. |
| CN100392850C (zh) * | 2006-05-29 | 2008-06-04 | 朱冬生 | 一种引线框架以及具有所述引线框架的半导体器件 |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP18833788A patent/JPH0238543A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1026161C2 (nl) * | 2004-05-11 | 2005-11-14 | Moons & Van Hoof B V | Pomp voor een dispenser voor gas-vloeistofmengsels. |
| CN100392850C (zh) * | 2006-05-29 | 2008-06-04 | 朱冬生 | 一种引线框架以及具有所述引线框架的半导体器件 |
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