JPH0236600A - 電子部品の実装システム - Google Patents
電子部品の実装システムInfo
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- JPH0236600A JPH0236600A JP63187234A JP18723488A JPH0236600A JP H0236600 A JPH0236600 A JP H0236600A JP 63187234 A JP63187234 A JP 63187234A JP 18723488 A JP18723488 A JP 18723488A JP H0236600 A JPH0236600 A JP H0236600A
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- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子部品の実装システムに係り、ダイコレット
の組付は成形誤差を補正して、電子部品を基板に移送搭
載するようにしたものである。
の組付は成形誤差を補正して、電子部品を基板に移送搭
載するようにしたものである。
（従来の技術）
電子部品実装装置の移送ヘッドとして、箱形の吸着部を
有するダイコレットを備えたものが知られている。この
種グイコレットは、一般にネジ手段などによりノズルホ
ルダに着脱自在に装着されており、例えば電子部品の形
状や寸法などが変更される場合には、これに対応して適
宜交換できるようになっている。
有するダイコレットを備えたものが知られている。この
種グイコレットは、一般にネジ手段などによりノズルホ
ルダに着脱自在に装着されており、例えば電子部品の形
状や寸法などが変更される場合には、これに対応して適
宜交換できるようになっている。
ところで、上記のようにダイコレットを交換した場合、
殊にθ方向の組み付は誤差を生じやすいものである。ま
たダイコレットには成形誤差が生じるのは避けられない
ものである。かかる組み付は誤差や成形誤差を解消する
ために、従来は、ダイコレットを交換した後、電子部品
の実装を試行しながら、ダイコレットの精度出しを行う
ことにより、その誤差を解消していた。
殊にθ方向の組み付は誤差を生じやすいものである。ま
たダイコレットには成形誤差が生じるのは避けられない
ものである。かかる組み付は誤差や成形誤差を解消する
ために、従来は、ダイコレットを交換した後、電子部品
の実装を試行しながら、ダイコレットの精度出しを行う
ことにより、その誤差を解消していた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながらグイコレットの精度出しは手作業で行われ
るため、多大な手間と時間を要し、特にシャンク部と吸
着部の同芯度の精度を向上しなければならないため、加
工成形にも多大な手間を要し、製品コストが高（なる問
題があった。
るため、多大な手間と時間を要し、特にシャンク部と吸
着部の同芯度の精度を向上しなければならないため、加
工成形にも多大な手間を要し、製品コストが高（なる問
題があった。
したがって本発明は、グイコレットの組付は成形誤差を
簡単に補正できる手段を備えた電子部品の実装システム
を提供することを目的とする。
簡単に補正できる手段を備えた電子部品の実装システム
を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
このために本発明は、ホルダ装着部に、グイコレットを
備えたノズルホルダを交換自在に装着したコレットユニ
ットから成る移送ヘッドを装備した電子部品実装装置に
おいて、グイコレットのＸＹθ方向の組付は成形誤差を
予め制御装置に記憶させ、この制御装置により移送ヘッ
ドのＸＹ方向移動装置及びコレットユニットのθ方向駆
動装置の駆動用モータを制御することにより、グイコレ
ットの組付は成形誤差を補正して、電子部品を基板に移
送搭載するようにしたものである。
備えたノズルホルダを交換自在に装着したコレットユニ
ットから成る移送ヘッドを装備した電子部品実装装置に
おいて、グイコレットのＸＹθ方向の組付は成形誤差を
予め制御装置に記憶させ、この制御装置により移送ヘッ
ドのＸＹ方向移動装置及びコレットユニットのθ方向駆
動装置の駆動用モータを制御することにより、グイコレ
ットの組付は成形誤差を補正して、電子部品を基板に移
送搭載するようにしたものである。
（作用）
上記構成において、光学的手段などにより、予めグイコ
レットのＸＹθ方向の組付は誤差や成形誤差を検知して
そのデータを制御装置に記憶させ、この誤差を解消する
ようにｘｙ方向移動装置やθ方向駆動装置を駆動するこ
とによりその補正を行って、電子部品を基板に実装する
。
レットのＸＹθ方向の組付は誤差や成形誤差を検知して
そのデータを制御装置に記憶させ、この誤差を解消する
ようにｘｙ方向移動装置やθ方向駆動装置を駆動するこ
とによりその補正を行って、電子部品を基板に実装する
。
（実施例）
次に図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。
第１図は電子部品実装装置の全体を示すものであって、
■は電子部品の供給部、２は基板３の位置決め部、４は
ＸＹ方向移動装置５．６に装備された移送ヘッドであり
、供給部ｌにおいてトレイ７に収納された電子部品Ｐを
移送ヘッド４の下端部の吸着部３３ｂに吸着し、基板３
に移送して搭載する。１０は基板３の搬送用チェンコン
ベヤ、１１．１２はＸＹ方向移動装置５．６の駆動用モ
ータ、９はテーブルである。
■は電子部品の供給部、２は基板３の位置決め部、４は
ＸＹ方向移動装置５．６に装備された移送ヘッドであり
、供給部ｌにおいてトレイ７に収納された電子部品Ｐを
移送ヘッド４の下端部の吸着部３３ｂに吸着し、基板３
に移送して搭載する。１０は基板３の搬送用チェンコン
ベヤ、１１．１２はＸＹ方向移動装置５．６の駆動用モ
ータ、９はテーブルである。
移送ヘッド４は、Ｙ方向移動装置６に垂設されたボック
ス１６に、コレットユニット３０を回転自在かつ昇降自
在に保持するシャフト１７を立設し、このシャフト１７
にギヤ１８及び回転板１９を装着するとともに、回転板
１９の弾持用ばね材２０．回転板１９の押圧駆動モータ
２１等を配設して構成されており、モータ２１が駆動し
て回転板１９をばね材２０のばね力に抗して下方に押圧
することにより、シャフト１７の下端部の吸着部３３ｂ
は下降し、また押圧が解除されると、ばね材２０のばね
力により上昇する。２２はギヤ１８に噛合するギヤ、２
３はその駆動用モータ、２４は伝動用ベルトであって、
これら２２〜２４は、コレットユニット３０のθ方向駆
動値ｆ２５を構成しており、モータ２３が駆動すると、
その回転はシャフト１７に伝達され、グイコレット３３
’ｂはその軸心を中心にθ方向に回転する。１４は吸気
用パイプである。１５はコンピュータから成る制御装置
であって、後述するように、グイコレット３３ｂのＸＹ
θ方向の組付は誤差や成形誤差を予め記憶しておき、こ
れらの誤差を補正すべく、上記各モータ１１，１２．２
３を制御する。
ス１６に、コレットユニット３０を回転自在かつ昇降自
在に保持するシャフト１７を立設し、このシャフト１７
にギヤ１８及び回転板１９を装着するとともに、回転板
１９の弾持用ばね材２０．回転板１９の押圧駆動モータ
２１等を配設して構成されており、モータ２１が駆動し
て回転板１９をばね材２０のばね力に抗して下方に押圧
することにより、シャフト１７の下端部の吸着部３３ｂ
は下降し、また押圧が解除されると、ばね材２０のばね
力により上昇する。２２はギヤ１８に噛合するギヤ、２
３はその駆動用モータ、２４は伝動用ベルトであって、
これら２２〜２４は、コレットユニット３０のθ方向駆
動値ｆ２５を構成しており、モータ２３が駆動すると、
その回転はシャフト１７に伝達され、グイコレット３３
’ｂはその軸心を中心にθ方向に回転する。１４は吸気
用パイプである。１５はコンピュータから成る制御装置
であって、後述するように、グイコレット３３ｂのＸＹ
θ方向の組付は誤差や成形誤差を予め記憶しておき、こ
れらの誤差を補正すべく、上記各モータ１１，１２．２
３を制御する。
第２図〜第４図はコレットユニット３０の分解図、組み
立て状態の断面図及び側面図を示すものであって、この
コレットユニット３０は、上記シャフト１７の下部に装
着された円筒体３１ａから成るホルダ装着部３１と、こ
のホルダ装着部３１の下部に着脱自在に装着されるノズ
ルホルダ３２と、このノズルホルダ３２の下部に着脱自
在に装着されるダイコレ、ソト３３から成っている。ノ
ズルホルダ３２は、つば部３２ａの上面にテーバ状周壁
面を有する円錐柱形の挿着部３２ｂ突設して形成されて
おり、挿着部３２ｂをホルダ装着部３１のテーバ状孔部
３１ｂに挿着して組立てられる。３１ｄはビン３１ｅに
よりその上端部を円筒体３１ａの胴面に固着された板ば
ねから成るばね材であって、その下端の屈曲部３１１ｄ
をつば部３２ａの側面に凹設された凹部３２ｄに圧着す
ることにより、ノズルホルダ３２はホルダ装着部３１に
着脱自在に装着される。３１Ｃと３２ｃは回り止め用ピ
ンとその保合用孔部、３１ｆは円筒体３１ａの下部に膨
出形成されたつば部である。グイコレット３３は、パイ
プ状シャンク部３３ａの下部に箱形の吸着部３３ｂを装
着して形成されており、シャンク部３３ａをノズルホル
ダ３２の中心孔３２ｅに挿着してネジ３４により固定す
る。吸着部３３ｂの下面には吸着用凹入部３３Ｃが形成
されており、この凹入部３３ｃに電子部品Ｐを吸着する
。
立て状態の断面図及び側面図を示すものであって、この
コレットユニット３０は、上記シャフト１７の下部に装
着された円筒体３１ａから成るホルダ装着部３１と、こ
のホルダ装着部３１の下部に着脱自在に装着されるノズ
ルホルダ３２と、このノズルホルダ３２の下部に着脱自
在に装着されるダイコレ、ソト３３から成っている。ノ
ズルホルダ３２は、つば部３２ａの上面にテーバ状周壁
面を有する円錐柱形の挿着部３２ｂ突設して形成されて
おり、挿着部３２ｂをホルダ装着部３１のテーバ状孔部
３１ｂに挿着して組立てられる。３１ｄはビン３１ｅに
よりその上端部を円筒体３１ａの胴面に固着された板ば
ねから成るばね材であって、その下端の屈曲部３１１ｄ
をつば部３２ａの側面に凹設された凹部３２ｄに圧着す
ることにより、ノズルホルダ３２はホルダ装着部３１に
着脱自在に装着される。３１Ｃと３２ｃは回り止め用ピ
ンとその保合用孔部、３１ｆは円筒体３１ａの下部に膨
出形成されたつば部である。グイコレット３３は、パイ
プ状シャンク部３３ａの下部に箱形の吸着部３３ｂを装
着して形成されており、シャンク部３３ａをノズルホル
ダ３２の中心孔３２ｅに挿着してネジ３４により固定す
る。吸着部３３ｂの下面には吸着用凹入部３３Ｃが形成
されており、この凹入部３３ｃに電子部品Ｐを吸着する
。
ところで、コレットユニット３０の組付は誤差や各部材
３１〜３３の成形誤差のために、グイコレット３３には
ＸＹθ方向の誤差△Ｘ、△ｙ、θを生じやすく、したが
ってその吸着部３３ｂに電子部品Ｐを吸着して基板３に
搭載する場合、実装誤差を生じる。上述のように従来手
段は、これらの誤差はグイコレットの精度出しを行うこ
とにより解消したものであるが、本発明ではこの誤差△
Ｘ、△ｙ、θを予め検出し、そのデータを制御装置１５
に入力して記憶させておく。そしてこの誤差△Ｘ、△ｙ
、θを解消できるよう、ＸＹ方向移動装置５，６やθ方
向駆動装置２５の駆動用モータ１１．１２．２３を制御
することにより、これらの誤差を補正する。誤差△Ｘ、
△ｙ、θは、パターン認識技術のような光学的手法によ
って簡単に検出できる。
３１〜３３の成形誤差のために、グイコレット３３には
ＸＹθ方向の誤差△Ｘ、△ｙ、θを生じやすく、したが
ってその吸着部３３ｂに電子部品Ｐを吸着して基板３に
搭載する場合、実装誤差を生じる。上述のように従来手
段は、これらの誤差はグイコレットの精度出しを行うこ
とにより解消したものであるが、本発明ではこの誤差△
Ｘ、△ｙ、θを予め検出し、そのデータを制御装置１５
に入力して記憶させておく。そしてこの誤差△Ｘ、△ｙ
、θを解消できるよう、ＸＹ方向移動装置５，６やθ方
向駆動装置２５の駆動用モータ１１．１２．２３を制御
することにより、これらの誤差を補正する。誤差△Ｘ、
△ｙ、θは、パターン認識技術のような光学的手法によ
って簡単に検出できる。
ところで、供給部１において電子部品Ｐを吸着したグイ
コレット３３を、移送中に任意角度θ′回転させたうえ
で、電子部品Ｐを基板３に搭載する場合がある。かかる
場合のＸＹ力方向補正量△Ｘ、△Ｙは、以下のようにし
て求められる。すなわち第５図において、Ａはホルダ装
着部３１の中心を原点とするｘｙ座標軸上のグイコレッ
ト吸着部の理想位置、Ｂは実際のグイコレット３３の吸
着部３３ｂの位置である。またＢｏは、θ方向駆動装置
２５により、原点Ｏを中心としてグイコレット３３を任
意角度θ。
コレット３３を、移送中に任意角度θ′回転させたうえ
で、電子部品Ｐを基板３に搭載する場合がある。かかる
場合のＸＹ力方向補正量△Ｘ、△Ｙは、以下のようにし
て求められる。すなわち第５図において、Ａはホルダ装
着部３１の中心を原点とするｘｙ座標軸上のグイコレッ
ト吸着部の理想位置、Ｂは実際のグイコレット３３の吸
着部３３ｂの位置である。またＢｏは、θ方向駆動装置
２５により、原点Ｏを中心としてグイコレット３３を任
意角度θ。
回転させた場合の吸着部３３ｂの位置を示している。こ
こで上記誤差へＸ、△ｙ、θは既知であり、したがって
グイコレットＢ′の中心座標Ｐ″は次式のようになる。
こで上記誤差へＸ、△ｙ、θは既知であり、したがって
グイコレットＢ′の中心座標Ｐ″は次式のようになる。
したがってグイコレット３３を任意角度θ′回転させて
電子部品を実装する場合は、上記の式で得られる△Ｘ、
△Ｙの補正を加えるよう制御すればよく、かくすれば吸
着部３３ｂのセンターを目的座標へ移動させることがで
きる。
電子部品を実装する場合は、上記の式で得られる△Ｘ、
△Ｙの補正を加えるよう制御すればよく、かくすれば吸
着部３３ｂのセンターを目的座標へ移動させることがで
きる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、この種電子部品実装装置
において、グイコレットのＸＹθ方向の組付は成形誤差
を予め制御装置に記憶させ、この制御装置によりＸＹ方
向移動装置及びθ方向駆動装置の駆動用モータを制御す
ることにより、この組付は成形誤差を補正して、電子部
品を基板に移送搭載するようにしているので、ダイコレ
ット％交換した場合などの組付は誤差や各部材の成形誤
差を解消するための精度出しは格別に行わなくてよく、
大まかに成形組付けたうえでＸＹθ方向の誤差を検出し
、そのデータを制御装置に入力するだけで、これらの誤
差を簡単に補正できる。
において、グイコレットのＸＹθ方向の組付は成形誤差
を予め制御装置に記憶させ、この制御装置によりＸＹ方
向移動装置及びθ方向駆動装置の駆動用モータを制御す
ることにより、この組付は成形誤差を補正して、電子部
品を基板に移送搭載するようにしているので、ダイコレ
ット％交換した場合などの組付は誤差や各部材の成形誤
差を解消するための精度出しは格別に行わなくてよく、
大まかに成形組付けたうえでＸＹθ方向の誤差を検出し
、そのデータを制御装置に入力するだけで、これらの誤
差を簡単に補正できる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は電子
部品実装装置の全体図、第２図、第３図、第４図はコレ
ットユニットの分解図、断面図２組立図、第５図はグイ
コレットが回転する場合の説明図である。 ｌ・・・供給部 ２・・・位置決め部 ３・・・基板 ４・・・手多送ヘッド ５・・・Ｘ方向移動装置 ６・・・Ｙ方向移動装置 １１，１２．２３・・・モータ １５・・・制御装置 ２５・・・θ方向駆動装置 ３０・・・コレットユニット ３１・・・ホルダ装着部 ３２・・・ノズルホルダ ３３・・・グイコレット
部品実装装置の全体図、第２図、第３図、第４図はコレ
ットユニットの分解図、断面図２組立図、第５図はグイ
コレットが回転する場合の説明図である。 ｌ・・・供給部 ２・・・位置決め部 ３・・・基板 ４・・・手多送ヘッド ５・・・Ｘ方向移動装置 ６・・・Ｙ方向移動装置 １１，１２．２３・・・モータ １５・・・制御装置 ２５・・・θ方向駆動装置 ３０・・・コレットユニット ３１・・・ホルダ装着部 ３２・・・ノズルホルダ ３３・・・グイコレット
Claims (1)
- 電子部品の供給部と、基板の位置決め部と、ＸＹ方向
移動装置に駆動されて供給部の電子部品を位置決め部に
位置決めされた基板に移送して搭載する移送ヘッドとか
ら成り、この移送ヘッドが、ホルダ装着部に、ダイコレ
ットを備えたノズルホルダを交換自在に装着して成るコ
レットユニットを装備した移送ヘッドである電子部品実
装装置において、上記ダイコレットのＸＹθ方向の組付
け成形誤差を予め制御装置に記憶させ、この制御装置に
より上記ＸＹ方向移動装置及び上記コレットユニットの
θ方向駆動装置の駆動用モータを制御することにより、
上記組付け成形誤差を補正して、電子部品を基板に移送
搭載するようにしたことを特徴とする電子部品の実装シ
ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63187234A JP2621389B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 電子部品の実装システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63187234A JP2621389B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 電子部品の実装システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236600A true JPH0236600A (ja) | 1990-02-06 |
| JP2621389B2 JP2621389B2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=16202405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63187234A Expired - Lifetime JP2621389B2 (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 電子部品の実装システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2621389B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03265199A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Fujitsu Ltd | 位置合わせ装置 |
| US5839187A (en) * | 1995-08-24 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting a chip |
| WO2012099048A1 (ja) * | 2011-01-18 | 2012-07-26 | ヒーハイスト精工株式会社 | 部品配置装置及びその組み立て方法 |
| JP2012151235A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Hiihaisuto Seiko Kk | 部品配置装置 |
| JP2012248817A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Hiihaisuto Seiko Kk | 部品配置装置及びその組み立て方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62133794A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | 株式会社日立製作所 | 物品自動搭載装置 |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP63187234A patent/JP2621389B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62133794A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | 株式会社日立製作所 | 物品自動搭載装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03265199A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Fujitsu Ltd | 位置合わせ装置 |
| US5839187A (en) * | 1995-08-24 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting a chip |
| WO2012099048A1 (ja) * | 2011-01-18 | 2012-07-26 | ヒーハイスト精工株式会社 | 部品配置装置及びその組み立て方法 |
| JP2012151235A (ja) * | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Hiihaisuto Seiko Kk | 部品配置装置 |
| JP2012248817A (ja) * | 2011-05-31 | 2012-12-13 | Hiihaisuto Seiko Kk | 部品配置装置及びその組み立て方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2621389B2 (ja) | 1997-06-18 |
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Legal Events
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