JPH023082B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体の製造過程に生ずる危険な
可燃性粉体並びにシランガス等の毒性ガスを含む
排ガスを吸引し、これを燃焼処理する装置に関す
るものである。

〔技術的背景〕

半導体整造過程に於て、その炉で生ずる微粉体
及び毒性ガスを含む排ガスは空気（酸素）に触れ
爆発的に燃焼する物質で、特に微粉体はかさ比重
が小さくその取扱処理に難渋する。

またシランガス等を含む排ガス、はその燃焼性
を利用し、空気（酸素）と反応させ燃焼させる手
断を採つている。

〔従来の技術〕

半導体の製造過程で排出される毒性な微粉末の
処理は湿式の集塵操作で回収し、これを燃焼させ
るか、水面上で酸化させる方法が用いられてき
た。

また、シランガスを含む毒性ガスは、空気（酸
素）と反応酸化させる手段が用いられているが、
その燃焼時に多量の燃焼生成物を生成し、これが
燃焼筒開口部に凝結付着させ燃焼作業を阻害する
のでこれら物質を除去しながら行つていたもので
ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記のように、半導体製造過程で排出される可
燃性の微粉末及び排ガスを吸引し、且つ該吸引回
路の中間に設けた燃焼器内で燃焼させようとする
もので、燃焼器内に設けた可燃性ガスを燃料とす
るガスバーナーを設け、吸引した微粉末及び排気
ガスを着火燃焼させ、前記２重管開口構造の燃焼
ノズルの外管に不活性ガスを流すことにより燃焼
生成物が燃焼ノズルに凝結付着しないようにし、
微粉末と排ガスを同時または単独で燃焼させるこ
とができるもので、これら被燃焼物質の単独燃焼
あるいは複合燃焼の形態は排出側の状況におおじ
て出来るようしたことを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記目的を達成するための手段とし
て、燃焼ガス供給管を接続したガスバーナーを内
装した燃焼筒の出口側にブロワーを設け中間に粉
体除去手段を介した排気管の元端を接続開口して
燃焼筒内の気体を吸引し、且つ外部に排出できる
ように形成し、また、吸引ノズルを有する吸引管
を先端に設けた吸引導管を前記燃焼筒内に導き、
その元端を前記ガスバーナーの近傍で開口するよ
うに設置し、更に、前記燃焼筒内に排ガス噴射管
を内管とし、不活性ガス噴射管を外管とする２重
管開口構造で、前記内管が前記外管の開口部近傍
位置で開口する排ガス燃焼ノズルを形成して設置
し、これら２重管を燃焼筒の外部に導出し、排ガ
ス噴射管を粉体発生箇所に開口する吸引管に接続
できるようにすると共に、不活性ガス管には不活
性ガスを供給できるようにしてなるものである。

〔作 用〕

本発明はブロワーを作動し、吸引作用をさせれ
ば、燃焼筒内は負圧になり、この燃焼筒内に元端
を開口する吸引導管を通じて先端の吸引ノズルの
吸引作用で粉体発生箇所に向けた吸引ノズルよ
り、微粉体を吸引することができる。この時燃焼
筒内におけるガスバーナーに対し燃焼ガス供給管
をへて燃焼ガスを供給し且つ、これに点火して燃
焼させることによりガスバーナー近傍で開口する
吸引導管を経て吸引されてきた可燃性の前記粉体
はガスバーナーの火炎で燃焼させる。

一方毒性で可燃性ガスを含む排ガスを該排ガス
発生源あるいは排ガス雰囲気内に開口する排ガス
吸引管より燃焼筒の負圧作用により、吸引し、且
つ、該燃焼筒内に於て排ガス噴射管をへて排ガス
燃焼ノズルより噴出させる。これら、排ガス吸引
のもとに前記燃焼外管ノズルより窒素ガスあるい
は炭素ガス等の不活性ガスを供給することによ
り、内管の排ガス噴射管から噴出する排ガスは、
燃焼筒内で空気（酸素）と反応して燃焼するがそ
の燃焼火炎は、外管の不活性ガス噴射管から導入
される不活性ガスによりノズル近傍では火炎は発
生せずに排ガス燃焼ノズルよりある程度の距離を
介した位置で燃焼する。燃焼と共に生成する粉体
は前記のように燃焼火炎が排ガス燃焼ノズルより
ある程度一定の距離を介した位置であることか
ら、排ガス燃焼ノズルに凝結付着することなく、
該ノズルに対し、目詰まり現象を生じさせる作用
も与えることなく連続燃焼を可能にする。

また生成した粉体は燃焼筒内を負圧状態を形成
しているブロワーの吸引作用によつて排気管より
吸引されて中間に位置する粉体除去手段にて集塵
される。

これら前記した毒性で可燃性の粉体及び排ガス
の燃焼を個々別々行つても、また同時に行つても
任意であり、これら燃焼筒の構成からしてもいず
れの作用も可能にするものである。

〔実施例〕

次にこの発明の実施例を図面とともに説明すれ
ば燃焼ガス供給管６を接続したガスバーナー７を
内装した密閉型の燃焼筒４に、出口側にブロワー
２に設け中間に粉体除去手段１を介した排気管３
の元端を接続開口して燃焼筒４内の気体を吸引
し、且つ、外部に排出できるように形成し、ま
た、吸引ノズル９を有する吸引管１０を先端に設
けた吸引導管８を前記燃焼筒４内に導き、その元
端を前記ガスバーナー７の近傍で開口するように
設置し、更に、前記燃焼筒４内に排ガス噴射管１
８を内管とし、不活性ガス噴射管１７を外管とす
る２重管開口構造で、前記内管が前記外管の開口
部近傍位置で開口する排ガス燃焼ノズル１９を形
成して設置し、これら２重管を燃焼筒４の外部に
導出し、排ガス噴射管１８を排ガス発生箇所に開
口する排ガス吸引管２０にできるようにすると共
に、不活性ガス噴射管１７には窒素ガスあるいは
炭素ガス等の不活性ガスを供給することが出来る
様にしてなるものである。

前記した吸引管２０にはその先端に設けた吸引
ノズル９との連結部に２次空気吸入孔１１を設
け、更にその付近をフレキシブル管１０ａとし、
小径の吸引ノズル９の方向を自由に変更して炉内
に生成した粉体を吸引できるようにしてあり、更
にこの吸引管１０の燃焼筒４に近い箇所に逆止弁
１３を設けて燃焼火炎の逆流を防止することが出
来るようにしてある。このようにした吸引管１０
は、その中間位置より複数本に分岐し炉内の清掃
用及び炉１４のダスト溜１５等に連結できるよう
に備えている。

なお、図中付号１２は前記燃焼筒４に接続して
開口する管１６の中間に設けた燃焼器内の圧力調
節弁を示すものである。

〔発明の効果〕

この発明は以上のように構成したことにより、
半導体製造工程の炉より排出される毒性で可燃性
の微粉体と排気ガスなどをブロワーの吸引作用に
より負圧状態にした燃焼器内に吸引し、且つ、燃
焼器内で完全に酸化させ生成した粉体を前記ブロ
ワーと燃焼筒を結ぶ排気管の中間に設けた粉体除
去手段で除去し清浄化された気体のみを排出し、
前記の毒性、または可燃性の微粉体並びに炉より
排出する毒性ガスを含む排ガスを一切大気中に放
出または接触させることなく連続して完全無害化
処理を行うことが出来ることを等徴とする効果の
あるものである。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示す断面略図である。 １……粉体除去手段、２……ブロワー、３……
排気管、４……燃焼筒、６……燃料供給管、７…
…ガスバーナー、８……吸引導管、９……吸引ノ
ズル、１０……吸引管、１７……不活性ガス噴射
管、１８……排ガス噴射管、１９……排ガス燃焼
ノズル、２０……排ガス吸引管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ガスバーナーを内装した燃焼筒に、出口側に
   ブロワーを設け中間に粉体除去手段を介した排気
   管の元端を接続開口して燃焼筒内の気体を吸引
   し、外部に排出できるように形成し、又、吸引ノ
   ズルを吸引管の先端に設けて吸入導管を介して前
   記燃焼筒内に導きその元端を前記ガスバーナーの
   近傍で開口するように設置し、更に前記燃焼筒内
   に排ガス噴射管を内管とし、不活性ガス噴射管を
   外管とする２重管開口構造で、前記内管が前記外
   管開口部近傍位置で開口する排ガス燃焼ノズルを
   形成して設置し、排ガス噴射管を排ガス雰囲気箇
   所に開口する排ガス吸引管に接続できる様にする
   と共に不活性ガス噴射管には不活性ガスを供給で
   きるようにしてなることを特徴とする可燃性粉体
   並びに毒性排ガス吸引燃焼処理装置。