JPH0230047A - 電子ビーム露光装置用試料ホルダー - Google Patents
電子ビーム露光装置用試料ホルダーInfo
- Publication number
- JPH0230047A JPH0230047A JP63179411A JP17941188A JPH0230047A JP H0230047 A JPH0230047 A JP H0230047A JP 63179411 A JP63179411 A JP 63179411A JP 17941188 A JP17941188 A JP 17941188A JP H0230047 A JPH0230047 A JP H0230047A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- elastic plate
- mask
- sample
- grounding
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 12
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Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子ビーム露光装置用の試料ホルダーに関する
ものである。
ものである。
電子ビーム露光装置は、電子線をマスクやウェハー上に
塗布した電子線感光レジストに照射して集積回路パター
ンを描画する装置である。従来、この種の電子ビーム露
光装置でマスク露光に使用されている試料ホルダーの一
例を第４図に示す。
塗布した電子線感光レジストに照射して集積回路パター
ンを描画する装置である。従来、この種の電子ビーム露
光装置でマスク露光に使用されている試料ホルダーの一
例を第４図に示す。
試料ホルダー１は、マスク２を挿入・固定できる構造と
なっており、接地針３が通常１本か２本能れて取り付け
られている。
なっており、接地針３が通常１本か２本能れて取り付け
られている。
接地針の作用原理を、第２図（ａ）乃至（ｃ）で説明す
る。第２図（ａ）のように試料ホルダー１に挿入されて
きたマスク２の側面が接地針３に当たると、接地針３は
先端部の傾斜に沿って上へ曲がって、第２図（ｂ）のよ
うにマスク２の表面へ上がり、電子線感光レジスト４の
層を削って接地針３の先端が金属薄膜５に接触する状態
になる。この状態での接地針３と金属薄膜５の間の抵抗
は、接触が良ければ３００〜４００Ωとなる。この状態
で、第２図（ｃ）のようにマスク上方から電子線７を照
射する。マスク２は、試料ホルダー１に挿入された状態
であり、その構造は電子線感光レジスト４、導電性の金
属薄膜５、絶縁性の石英板６の各層から構成されている
ので、電子線感光レジスト４を感光させた電子線７は、
金属薄膜５から接地針３を通して導電性である試料ホル
ダ−１自体へ除去できる。
る。第２図（ａ）のように試料ホルダー１に挿入されて
きたマスク２の側面が接地針３に当たると、接地針３は
先端部の傾斜に沿って上へ曲がって、第２図（ｂ）のよ
うにマスク２の表面へ上がり、電子線感光レジスト４の
層を削って接地針３の先端が金属薄膜５に接触する状態
になる。この状態での接地針３と金属薄膜５の間の抵抗
は、接触が良ければ３００〜４００Ωとなる。この状態
で、第２図（ｃ）のようにマスク上方から電子線７を照
射する。マスク２は、試料ホルダー１に挿入された状態
であり、その構造は電子線感光レジスト４、導電性の金
属薄膜５、絶縁性の石英板６の各層から構成されている
ので、電子線感光レジスト４を感光させた電子線７は、
金属薄膜５から接地針３を通して導電性である試料ホル
ダ−１自体へ除去できる。
上述した従来の電子ビーム露光装置用試料ホルダーは、
金属薄膜５と接地針３の接触は、電子線感光レジスト４
０層を接地針３で削ることにより行なわれているが、接
地針３の先端に電子線感光レジスト４が付着したり、接
地針３の先端が電子線感光レジスト４の層に乗り上げた
状態になると接地不良になってしまう欠点がある。接地
不良になると、接地針３と金属薄膜５の間の抵抗は最大
４０００００Ω以上になるので、露光に使用された電子
はマスク２の金属薄膜５に帯電して電界を発生する。こ
の電界により、マスク２ビ入射して来る電子線７は偏向
されるので、正しい位置に露光ができなくなる欠点があ
る。
金属薄膜５と接地針３の接触は、電子線感光レジスト４
０層を接地針３で削ることにより行なわれているが、接
地針３の先端に電子線感光レジスト４が付着したり、接
地針３の先端が電子線感光レジスト４の層に乗り上げた
状態になると接地不良になってしまう欠点がある。接地
不良になると、接地針３と金属薄膜５の間の抵抗は最大
４０００００Ω以上になるので、露光に使用された電子
はマスク２の金属薄膜５に帯電して電界を発生する。こ
の電界により、マスク２ビ入射して来る電子線７は偏向
されるので、正しい位置に露光ができなくなる欠点があ
る。
本発明の電子ビーム露光装置用試料ホルダーは、平板状
の部材の一生面に、試料が前記部材の端部から前記主面
に対して平行に挿入される凹部が設けられている電子ビ
ーム露光装置用試料ホルダーにおいて、前記凹部の端縁
近傍の前記主面に試料表面に塗布されている電子線感光
レジストを帯状に削除する弾性板と、前記部材と電気的
に短絡されレジストが削除された前記試料表面に接触す
る接地針とが設けられていることを特徴とする。
の部材の一生面に、試料が前記部材の端部から前記主面
に対して平行に挿入される凹部が設けられている電子ビ
ーム露光装置用試料ホルダーにおいて、前記凹部の端縁
近傍の前記主面に試料表面に塗布されている電子線感光
レジストを帯状に削除する弾性板と、前記部材と電気的
に短絡されレジストが削除された前記試料表面に接触す
る接地針とが設けられていることを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の斜視図である。接地針３
の前に弾性板８が取り付けられている。この弾性板の作
用動作及び構造を第２図（ａ）乃至（ｄ）を用いて説明
する。弾性板８は、第２図（ａ）のように挿入されて来
たマスク２の側面が当たると、先端部の傾斜に沿って上
に曲がって、第２図（ｂ）のようにマスク２の表面に上
がる。そして電子線感光レジスト４の層を削って、金属
薄膜５を帯状に露出させる。これに伴い接地針３も弾性
板８の後を追う形でマスク２０表面へ上がって行く。接
地針３は、第２図（ｃ）のように弾性板８が電子線感光
レジスト４０層を削り取った跡の帯状に露出した金属薄
膜５に接触するため、従来のように接地針が電子線感光
レジスト４０層を削り取る必要が無くなり、接地不良を
防止することができる。
の前に弾性板８が取り付けられている。この弾性板の作
用動作及び構造を第２図（ａ）乃至（ｄ）を用いて説明
する。弾性板８は、第２図（ａ）のように挿入されて来
たマスク２の側面が当たると、先端部の傾斜に沿って上
に曲がって、第２図（ｂ）のようにマスク２の表面に上
がる。そして電子線感光レジスト４の層を削って、金属
薄膜５を帯状に露出させる。これに伴い接地針３も弾性
板８の後を追う形でマスク２０表面へ上がって行く。接
地針３は、第２図（ｃ）のように弾性板８が電子線感光
レジスト４０層を削り取った跡の帯状に露出した金属薄
膜５に接触するため、従来のように接地針が電子線感光
レジスト４０層を削り取る必要が無くなり、接地不良を
防止することができる。
これにより接触針３と金属薄膜５の間の抵抗は、常時理
想的な１０００Ω以下の値となる。また弾性板８は、そ
れ自体が接地の機能を持つため、接地針３が曲がったり
取れてしまった場合に接地針３の代わりをすることがで
き、接地針３がもう一本増えたのと同じ効果がある。
想的な１０００Ω以下の値となる。また弾性板８は、そ
れ自体が接地の機能を持つため、接地針３が曲がったり
取れてしまった場合に接地針３の代わりをすることがで
き、接地針３がもう一本増えたのと同じ効果がある。
弾性板８の構造の詳細を第２図（ｄ）で説明す′る。弾
性板８は、リン胃銅などの弾力性のある金属板で製作さ
れる。ネジ固定部９は、ネジが通る穴１０が開けてあり
、ネジで締め付けると弾性板８が試料ホルダーに固定で
きるようになっている。
性板８は、リン胃銅などの弾力性のある金属板で製作さ
れる。ネジ固定部９は、ネジが通る穴１０が開けてあり
、ネジで締め付けると弾性板８が試料ホルダーに固定で
きるようになっている。
腕部１１は、切削刃１２が挿入されたマスクに当たって
持ち上がる時弾性変形したり切削刃１２が電子線感光レ
ジスト４を帯状に切削する時、刃を押し付ける圧力をバ
ネとして発生する。切削刃１２は、腕部１１より直角よ
りも内側に曲がっているので、マスク２が接触した場合
にその側面を坂としてマスク２の上面に上がる機能があ
ると共に、先端のマスク２と接触する部分で電子線感光
レジスト４を帯状に削除する機能がある。
持ち上がる時弾性変形したり切削刃１２が電子線感光レ
ジスト４を帯状に切削する時、刃を押し付ける圧力をバ
ネとして発生する。切削刃１２は、腕部１１より直角よ
りも内側に曲がっているので、マスク２が接触した場合
にその側面を坂としてマスク２の上面に上がる機能があ
ると共に、先端のマスク２と接触する部分で電子線感光
レジスト４を帯状に削除する機能がある。
第３図は、本発明の他の実施例の斜視図である。
接地針３の前に弾性板８と弾性板１３が２重に取り付け
られている。弾性板が複数になると、片方の弾性板が故
障して機能しなくなった場合でも、もう一方の弾性板が
あるのでより確実に弾性板が機能することになる。また
弾性板１３が電子線感光レジスト４の層を少々削り残し
た場合でも、弾性板８が残りを削除するので、この意味
でもより確実に弾性板が機能することになる。また弾性
板は、それ自体が接地の機能を持つため、接地針３が２
本増えたのと同じ効果が発生する。
られている。弾性板が複数になると、片方の弾性板が故
障して機能しなくなった場合でも、もう一方の弾性板が
あるのでより確実に弾性板が機能することになる。また
弾性板１３が電子線感光レジスト４の層を少々削り残し
た場合でも、弾性板８が残りを削除するので、この意味
でもより確実に弾性板が機能することになる。また弾性
板は、それ自体が接地の機能を持つため、接地針３が２
本増えたのと同じ効果が発生する。
以上説明したように本発明は、電子線感光レジストを削
り取り金属薄膜表面を露出せしめる弾性板を取り付け、
この露出した金属薄膜表面に接地針を接触させることに
より、接地針が電子線感光レジストを削り取る必要がな
くなるため接地不良を防止する効果がある。また、弾性
板は接地の機能もあるため、取り付けた本数分だけ接地
針が増えたのと同じ効果がある。
り取り金属薄膜表面を露出せしめる弾性板を取り付け、
この露出した金属薄膜表面に接地針を接触させることに
より、接地針が電子線感光レジストを削り取る必要がな
くなるため接地不良を防止する効果がある。また、弾性
板は接地の機能もあるため、取り付けた本数分だけ接地
針が増えたのと同じ効果がある。
２・・・・・・切削刃、
１３・・・・・・弾性板。
Claims (1)
- 平板状の部材の一主面に、試料が前記部材の端部から前
記主面に対して平行に挿入される凹部が設けられている
電子ビーム露光装置用試料ホルダーにおいて、前記凹部
の端縁近傍の前記主面に試料表面に塗布されている電子
線感光レジストを帯状に削除する弾性板と、前記部材と
電気的に短絡されレジストが削除された前記試料表面に
接触する接地針とが設けられていることを特徴とする電
子ビーム露光装置用試料ホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179411A JPH0230047A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 電子ビーム露光装置用試料ホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179411A JPH0230047A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 電子ビーム露光装置用試料ホルダー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0230047A true JPH0230047A (ja) | 1990-01-31 |
Family
ID=16065396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63179411A Pending JPH0230047A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 電子ビーム露光装置用試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0230047A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0619253U (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | 株式会社ニコン | 試料ホルダー |
| US5843623A (en) * | 1996-09-10 | 1998-12-01 | International Business Machines Corporation | Low profile substrate ground probe |
| WO1999047977A1 (de) * | 1998-03-13 | 1999-09-23 | Infineon Technologies Ag | Haltevorrichtung für photoblanks |
| JP2007266361A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Nuflare Technology Inc | 基板のアース機構及び荷電粒子ビーム描画装置 |
-
1988
- 1988-07-18 JP JP63179411A patent/JPH0230047A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0619253U (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | 株式会社ニコン | 試料ホルダー |
| US5843623A (en) * | 1996-09-10 | 1998-12-01 | International Business Machines Corporation | Low profile substrate ground probe |
| WO1999047977A1 (de) * | 1998-03-13 | 1999-09-23 | Infineon Technologies Ag | Haltevorrichtung für photoblanks |
| US6972832B1 (en) * | 1998-03-13 | 2005-12-06 | Infineon Technologies Ag | Method of grounding a photoblank to a holding device |
| JP2007266361A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Nuflare Technology Inc | 基板のアース機構及び荷電粒子ビーム描画装置 |
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