JPH0229529A - 層流方式のクリーンルームを構成するためのトンネルモジユール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は請求項１の上位概念に記載のトンネルモジュー
ルに関する。

例えばマイクロエレクトロニクス、精密機械工学、光学
、又は薬学に関する特定の生産過程では、クリーンルー
ム工学装置によってもたらされる清潔な埃のない環境を
必要としている。

いわゆる層流法においては、高度Ｋｇ過された空気が、
乱流の少ない押しのけ流れとなってクリーンルーム中を
通過せしめられる。

〔従来の技術〕

欧州特許出願公開第０２０２１１０号明細書に記載され
た層流法のクリーンルーム装置においては、空気は、送
風機によって加圧されて、カバーと高性能フィルターで
構成された中間カバーとの間の室内に吐出される。高性
能機械フィルターによって浄化された空気は、クリーン
ルームを下に向かって垂直に賞流し、底において吸引さ
れ、そし℃側路な経て送風機に戻される。

この設備においては、クリーンルーム工学装置は堅固に
設置されている。

多くの分針で生産条件が急速に変化しているので、新た
なりリーンルームの迅速な構築、古いクリーンルームの
撤去、又は現存のクリーンルームの拡大、縮小を可能に
するところの迅速に組み立て・解体可能なりリーンルー
ムシステムに関心が集まつ℃いる。

このことからモジュールシステムが開発されるに至った
。その１′）は、パンフレット”　Ｒｅｉｎｒａｕｍ　
−Ｔｅａｈｎｉｋ　ｆｕｅｒ　ｄｉｅ　Ｊ！１ｌｅｋｔ
ｒｏｎｉｋ　”（Ｂａｂｃｏｃｋ−Ｂ８ＨＲｅｉｎｒａ
ｕｍ　−Ｔｅｏｈｎｉｌｃ　、　６　、８６）に記載さ
れている。ページ００４に示されたクリーンルーム−ト
ンネルシステムは、任意の１ｄ数だけ並べることができ
る移送可能なモジエールに関するものである。

再生されたシステムの１つのトンネルモジュールは、１
つの上部分と２重壁を備える２つの側壁とから成る。こ
の上部分は、２つの戻し空気取り入れ口と１つの送風機
と上下に位置する室とを備える室システムを有する。こ
の場合下室は、高性能機械フィルターの配置によって下
方に対して境界づけられている。側壁とその２重壁の関
に戻された空気は、上室を通過し１両側から下室に供給
され、そし℃高性能機械フィルターを経、てクリーンル
ームに供給される。

クリーンルームにおける層流の前提条件は、高性能機械
フィルター後方の均質な速度配分でるる。この均質な速
度配分は、フィルターとの均等な衝突によつ℃生せしめ
られる。

高性能機械フィルターは、流動速度を大幅に減少せしめ
る大きな空気抵抗を有する。それゆえ、高性能機械フィ
ルター前方の空気流の静圧だけが本質的に有効でろる。

したがって、層流法では、高性能機械フィルター前方の
室内において、可能なかぎシ高い静圧を有する可能なか
ぎり乱流の少ない空気流を必要としている。

乱流の少ない流れは、高性能機械フィルター前方の室へ
の片側からの空気供給にょっ℃助長される。流れの静圧
は、動圧から静圧への変換によって増加可能でるる。

このような変換は、空気を４１数の室χ有する室システ
ム内に通して、それによって流通速度を減少せしめるこ
とによ妙達成される。動圧から静圧への変換は、大金な
エネルギー損失と送風機の高いエネルギー需要をもたら
す。

同種構造のトンネルモジュールが、パンフレッ　ト　”
　　ｉａｇ　　／　（ｌｅａｎ　　Ｒｏｏｍ　　Ｔｕｎ
ｎｅｘｓ　　、　　Ｉ＋ＶＴＴｕｎｎｅｌ　ｇｅｒｉａ
ａ　２（ＯＲＴ　−５−８４）”において概略的に示さ
れている。このトンネルモジュールの上部分内には、２
つの鏡像的に隣接配置されかつ中間壁によつて仕切られ
た寛システムが存在する。

各々の室システムは、２つの間仕切り板によって分割さ
れて上下に位置している６つの室と、１つの送風機と、
１つの戻し空気口を有する。

この送風機は、上部分の片側における上室の前方の箱内
に存在し、戻し空気口はこの送風機の箱内に位置し℃い
る。前記３つの呈は、間仕り・板の開口を介して互いに
連通しており、この場合、上方の間仕切り板の開口、戻
し空気口と対面しくいる側に位置し、下方の間仕切り板
の開口は、戻し空気口側に位置している。下室は、高性
能フィルターの配置によって下方に対して境界づけられ
る。

両方の室システムのいずれにおいても、空気は、戻し空
気口を介して吸い込まれ、両上室を経て移送され、そし
て高性能フィルター前方の下室に片側から供給される。

〔発明が解決しようとしている課題〕

本発明の味題は、クリーンルーム内の−様な速度配分を
可能な限り小さなエネルイー需要において保証するとこ
ろの、層流法のクリーンルームな組み立てるためのトン
ネルモジュールを開発することにるる。

〔本発明の課題な解決するための手段〕この味題は、本
発明によれば請求項１に記載の特徴事項によりて解決さ
れる。

請求項１の特徴事項のおかげで、高性能フィルター前方
の下室内において高い静圧が付与された乱流の少ない空
気流を発生させるための送風機は、本質的に少ないエネ
ルギーしか必要としない。中間室内の戻し正気口と対面
する側に送風機を配置したために、摩擦損失は本質的に
小さくなる。上屋前方の送風機箱に基づく流動上の障害
は回避される。上室な介して戻し空気を吸引しているた
めに、送風機への空気流は均質である。

請求項２に記載の、上室内に突入する吸い込みノズルを
備える送風機の配置は、送風機のエネルイーｗＩ要を更
に低減せしめる。

請求項６の特徴事項の利点は、後方に曲げられた羽根と
外部回転子型モーターを備える送風機の構造によって、
エネルイー需要が更に低下することにるる。ゲージング
に基づく流動上の障害は回避される。

請求項４に記載された送風機の配置は、側壁に対して比
較的大きな間隔を置い九場合、又は前壁と後壁の間に非
対称に配置した場合と比べて、送風機の効率を最大に高
める。

請求項５の特徴事項の利点は、送風機の吸い込みノズル
への空気流の誘導にるる。

請求項６の特徴事項は、送風機上方の上室内での空気流
の均質化をもたらす。

請求項７の特徴事項の利点りよ、送風機への空気流の同
時的な均質化と誘導にある。

請求項８に記載のスポイラ−によって、下方の間仕切り
板の開口を通して導かれる空気の流れがとぎれる。動圧
から静圧への変換は、この位置において助長される。

請求項９の特徴事項は、クリーンルーム内の騒音レベル
の有利な減少をもたらす。

前記騒音レベルは、請求項１０に記載の、中間の消音部
材の配置によって更に低下する。この消音部材は、動圧
から静圧への低損失の変換を特徴とする 請求項１１の特徴事項は、高性能フィルター前方の寥内
の乱流の少ない有利な流Ｉ！ｈをもたらす。

準クリーンの外部域に据え付けられたトンネルモジュー
ルに対しては、いわゆる開放構造の請求項１２の特徴事
項が有利である。

請求項１６の特徴革項ぼ、−節された空気を必要とする
場合の開放構造のトンネルモジュールに対して有利でる
る。

汚染された外部域のトンネルモジュールに対しては、い
わゆる密閉構造の請求項１４の特徴事項が有利である。

請求項１５の特徴事項の利点は、トンネルモジュールの
簡単な構造にある。

ｇｉｌｔ求項１６０特徴事項を備えるトンネルモジュー
ルは、幅の広いクリーンルームの構造に特に適し℃いる
。

〔実施例〕

図面は、゛簡単に示された実施例に基づいて本発明を説
明するために利用される。

例１：開放構造のトンネルモジュール トンネルモジュール９工、２つのＵ形材２によつて支持
された上部分１と、２つの１ｔＩＩＩ１１３．４とから
なる。

上部分１は、直方体状であって、１つの室システムを有
している。この室システムは、上部分１の全幅にわたっ
て延びている。側壁５．６並びに図面では見ることがで
きない図示平面に対して平行な前壁及び後壁は、縁を曲
げられた金属板で構成されている。上部分１は、２つの
間仕切り板１．８によって、６層状に上下に位置する６
つの平坦な呈９．１０．１１に分割されている。上室９
及び中間至１０の高さは、はぼ同じである。下室１１の
高さは、中間室９の高さのほぼ２ラナｖ１である。′Ｉ
！ｒ里９．１０゜１１は、間仕切り板７．８の相異なる
側に配設さｎ九開口１２．１３に−よって互いに接続さ
れＣいる。

上室９は、側壁６に戻し空気口１４を有している。上方
の間仕切り板Ｔの開口１２は、向かい側の側壁５の近傍
に存在する。下方の間仕切Ｑ板８の開口１３は区間で６
って、同隙間は、戻し空気口１４を有する側壁６に完全
に達していない下方の間仕切り板８の縁部と側壁６との
間に設けられている。

下室１１は、タイル状に並置されかつ格子状の枠体内に
掛は止めされ九６個の高性能機械フィルター１５によっ
て、下方に対して境界づけられる。この６個の高性能機
械フィルター１５はそれぞれ前後に２ＩＩｉ１１横に３
個差べて配置されている。この高性能機械フィルター１
５には、乾４がスケット及び液密がスケットが備えられ
ている。

中間室１０内には送風機１６が存在し、同送風機の吸い
込みノズル１１は上方の間仕切り板７の開口１２に位置
し、そして同送風機は上方の間仕切り板Ｔに固定されて
いる。送風機１６は、外部回転子匿モーター１８を備え
るケーシングのない半径流送風機として構成され、そし
て後方に曲げられた羽根１９を有している。送風機の軸
線２０に最も近い側壁５と同軸線との距離は、送風機１
６の直径の約０．８倍に相当する。送風機の軸線２０は
前壁と後壁の中間に位置する。

上￥９内にいいて、カバー２１及び上方の間仕切り板７
は、側壁６から吸い込みノズル１１の近傍まで延びる消
ｆｓ材２２によって覆われ℃いる。それぞれの消音部材
２２の厚さは、上ヱ９の高さのほぼ６分の１であり、そ
の結果間消音部材Ｑ間には、その高さが同様に室の高さ
の３分の１であるところの隙間が残る。吸い込みノズル
１７の上部のカバー２１１Ｃは、送風機を保守するため
のキャッゾによって閉鎖された開口が存在している。

前壁及び後壁に対して平行な整流板２３が、吸い込みノ
ズル１７の上方な横切つ℃いる。この整流板ｌ工、両側
において吸い込みノズル１１を石干越えて突出し、そし
て吸い込みノズル１１の戻し空気口１４側においＣは消
音部材２２の直前で終了している。

前壁と後壁の間で２つの流入板２４が延びており、同流
入板２４は、−４側では消音部材２２間の隙間内に達し
ており、他端側では下方に向けて曲げられて、吸い込み
ノズル１７＆Ｃ直接達している。前記隙間内で、両流大
根２４は中心において弘いに隣接し、そしてその後整流
板２３に隣接する。消音部材２２間の隙間内では、流入
板２４は同一量の高さのほぼ６分の１のところにある。

吸い込みノズル１１上の流入板２４の縁部と送風機の軸
＋１１！２Ｑとの間隔は、吸い込みノズル１７の直径の
約１０チである。

中間室１０を限定する２つの間仕切り板Ｔ＃８には、同
中間呈１０内において、消音部材２５が取り付けられて
おり、同消音部材は、送風機１６からＩＩ壁６に向かっ
て延び℃、中間室１０の中央部まで達している。消音部
材の厚さ及び同消音部材の中間に残存する隙間の厚さは
、それぞれ蔓の萬さの約６分の１である。

中間室１０の１４１１壁６供＋１の残りの半分における
雨間仕切り板７．８には、同様に消ｆ部材２６が設けら
れている。この消音部材の厚さは、室の高さの約６分の
１しかない。里の高さの約６分の１の厚さの別の中間の
消音部材２１が、前記両消音部材２６の中間に存在する
。この中間の消音部材２７の上下には、七ｎそれ室の高
さの約６分の１の高さの隙間が残されている。この両隙
間は、中間室１０の送風機１６側半分における前記消音
部材２５間の隙間に続いており、その結果隙間の横断面
は音叉の形に似℃いる。

の中心を通って下室１１内に延びるとともに前壁から後
壁まで達するところのそらせ板２ＢがｆＲり付けられて
いる。このそらせ板２８の縁部は、下室１１のはぼ２分
の１の高さにおいて下方の間仕切抄板８の下方へ水平に
突き出ている。

側壁６には、下室１１のほぼ４０％の高さにおいて、前
壁から後壁に達する板状ストリップ、いわゆるスポイラ
−２９が設けられている。このスポイラ−は、下方の間
仕切り板８の開口１３の下方において下室１１内に水平
に突き出ている。スポイラ−２９の縁部とそらせ′板２
８との間隔は、下室１１の高さの約半分である。

予備フィルター３０と水冷式空気冷却器３１は、戻し空
気口１４の前方で鉛直線に対して鋭角に傾斜して、側壁
６に固定されている。この空気冷却器３１と予備フィル
ター３０はサンドイッチ状に互いに重ねて配置されてお
り、この場合予備フィルター３０は外側にある。両者は
側壁６の全幅にわたって延びている。

トンネルモジュールの側壁３．４の底部近傍には排気口
３２．３３が存在する。

空気の流通方向Ｖ工、矢印によって示されている。上室
９と中間室１０の自由な内部空間は、ヘアピン状の空気
通路を構成している。中間室１０の領域において、空気
通路は中間の消音部材２７によって分岐されている。こ
の分岐した通路は、そらせ仮２８により、下方の間仕切
り板８の開口１３内及び下室１１のそれに続く小領域に
２いて、継続している。

第２図は、開放構造の４′）のトンネルモジュールの配
置を示す。トンネルモジュールは、同きを交互に変えて
連続配置されている。この場合送風機１６は、連続する
トンネルモジュール内圧おいて、配置の左右両側に交互
に存在する。

トンネルモジュールは、υ形材２において互いにボルト
締めされている。この配置は前後において前壁３４及び
ｆｉｋ壁３５によって限定されている。第２図において
宍示された矢印は、上室９の高さの空気の流通方向を表
している。

運転に際して、空気は、外部域から予備フィルター３０
、冷却器３１、戻し空気口１４そして上室９を経℃、送
に機１６によって吸い込まれ　欠いで中間室１０及び下
室１１を経て高性能機械フィルター１５を通過してクリ
ーンルームＫｆｓられる。この浄化された空気は、クリ
ーンルームを層状に貫流し、そして排気口３２゜３３を
通ってクリーンルームｆｔ陥れる。

例２：密閉構造のトンネルモジュール 第６図に示された密閉講造のトンネルモジュールは、以
下の点ｆｔ除いて例１のトンネルモジュールと一致して
いる。

トンネルモジュールの側壁３．４の前方には２重壁３６
．３７が存在する。この２重壁は、上部においては、両
側で中間室１０及び下室１１を越えて突出している上室
９をもって終了している。戻し空気口１４側に存在する
、側壁４と２重壁３１間の隙間は、戻し空気口１４を介
して上室９と連通している。この隙間の幅は、上室９の
消音部材２２間に設けられた隙間の幅と＃１ぼ同じでる
る。トンネルモジュールの側壁３．４と２ム壁３６．３
７間の隙間ｑよ、底部近傍において排気口３２．３３を
弁してクリーンルームと連通している。送風機１６（１
４１１の隙間は、上部分１の室システムに対して閉鎖さ
れている。

下室１１は、８１固の高性能機械フィルター１５によっ
て下方に対して境界づけられており、この場合それぞれ
２個が前後に１そして４個が並列して配置されている。

ここに示された例２は、層流をｍ持するためｌｃ　４．
５　ｍ以上の幅を必要とする通気性の２型底３Ｂを有す
る。排気口３２．Ｊ３は２瓜底３８の下方に存在する。

第４図は、向きを交互に変えて連続して配置された密閉
構造の６つのトンネルモジュールを示す。この６つのト
ンネルモジュールの配置は、前後において前壁３９及び
後壁４０によって限定されている。側壁３．４と２重壁
３６．３７間の１側において互いに隣接している隙間は
、互いに連通している。矢印は、上室９の高さＫおける
空気の流通方向を表している。

運転に際して、空気は、２型底３８を通過し、同２皇底
３８の下方において両側の排気口３２゜３３へ向かって
流れ、そして排気口３２．３３を通過し℃、側壁３，４
と２Ｍ重壁３６．３Ｔ間の前記互いに連通し℃いる隙間
内に流入する。

空気は、前記隙間から、同隙間と連通している戻し空気
口１４４Ｍて、トンネルモジュールの室システム内に吸
い込まれ、同室システムを介して移送され浄化されて、
クリーンルームに再び供給される。

第４図に示された６つのトンネルモジュールの配置にお
いて、左側の隙間の空気は、中央のトンネルモジュール
の呈システム内に吸い込まれ、そして右側の隙間の空気
は、前後のトンネルモジュールの璽システム内に吸い込
まれる。

ジュール 第５図は、例６の４つの前後に位置するトンネルモジュ
ールの配置を示す。

例６のトンネルモジュールは、例２のトンネルモジュー
ルと次の点で相違している。即ち、例３のトンネルモジ
ュールにおいては、中央壁４１によって分割された２つ
の室システムは、鏡像的に並列して配置されている。ト
ンネルモジュールの画室システムは、中央壁４１におい
て、送風機１６が存在する＠をもって互いに同かい合っ
ている。戻し空気口１４は、それに対応し℃トンネルモ
ジュールの両側に存在する。

４つのトンネルモジュールのこの配置は、前壁４２及び
後壁４３によって限定されている。

トンネルモジュールの側壁３．４と２重壁３６゜３１間
の１側において互いに隣接している隙間は、相互に連通
している。第５図の矢印は、上室９の高さにおける空気
の流通方向を表している。

運転に際して、排気口３２．３３から流出した空気は、
トンネルモジュールの両側において、側壁３．４と２２
１壁３６．３７間の隙間を通って、互いに分割された室
システム内に吸い込まれ、同室システムを介して移送さ
れ浄化されて、クリーンルームに再び供給される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、予備フィルターと冷却器を備える開放構造の
トンネルモジュールの断面図、第２図は、開放構造のト
ンネルモジュールの配置を示す図、第６図は、密閉構造
の例を示す図、 第４図は、密閉構造の６つのトンネルモジュールの配置
を示す図、第５図は、２つの室システムを備える複数の
トンネルモジュールの配ｆを示す図である。 １・・・上部分、３．４・・・側壁、５・・室システム
の側壁、Ｔ、８・・・間仕切シ板、９・・・上室、７、
・・・中間室、１１・・・Ｔｉ、１２．１３・・・開口
、１４・・・戻し空気口、１５・・・高性能機械フィル
タ１６・・・送風機、１７・・・吸い込みノズル、１８
・・・外部回転子型モーター　１９・・・羽根、２０・
・・送風機の軸線、２２．２５．２６．２１・・・消音
部材、２３・・・整流板、２４・・・流入板、２８・・
・そらせ板、２９・・・スポイラ−１３０・・・予備フ
ィルター　３１・・・冷却器、３６．３７・・・２皿壁
。 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、２つの側壁（３、４）と、少なくとも１つの室シス
   テムを備える上部分（１）とから成る層流方式のクリー
   ンルームを構成するためのトンネルモジュールであつて
   、 −前記室システムは、２つの間仕切り板（７、８）によ
   つて分割されかつ互いに上下に位置している３つの室（
   ９、１０、１１）と、１つの送風機（１６）と、１つの
   戻し空気口（１４）とを有しており、 −この場合前記３つの室（９、１０、１１）は、前記間
   仕切り板（７、８）の、相異なる側に配置された開口（
   １２、１３）を介して互いに連通しており、 −前記上方の間仕切り板（１）の前記開口（１２）と前
   記戻し空気口（１４）は、前記室システムの相対してい
   る両側部に存在しており、 −前記下室（１１）は、高性能フィルター（１５）によ
   つて下方に対して限定されている、トンネルモジュール
   において、 前記送風機（１６）は、前記中間室（１０）内において
   、前記上方の間仕切り板（７）の開口（１２）の下方に
   配置されていることを特徴とするトンネルモジユール。 ２、前記送風機（１６）の吸い込みノズル（１７）は、
   前記上方の間仕切り板（７）の前記開口（１２）を通過
   して前記上室（９）内に突入していることを特徴とする
   請求項１に記載のトンネルモジユール。 ６、前記送風機（１６）は、外部回転子型モーター（１
   ８）と後方に曲げられた羽根（１９）とを備えるケーシ
   ングのない半径流送風機であることを特徴とする請求項
   １又は２に記載のトンネルモジュール。 ４、前記送風機（１６）の軸線（２０）は、該送風機の
   直径の０．７５〜０．８５倍だけ前記室システムの一方
   の側壁（５）から離れた、該室システムの前壁と後壁間
   の中心にあることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
   １つに記載のトンネルモジュール。 ５、−前記吸い込みノズル（１７）の上方の前記上室（
   ９）内に、前記戻し空気口（１４）に向かう側に、前記
   室システムの前記前壁及び前記後壁に対して垂直に、少
   なくとも１つの流入板（２４）が、前記上室（９）の高
   さの２５〜４５％の高さにおいて存在しており、 −この場合前記流入板（２４）は、前記送風機（１６）
   の前記軸線（２０）の近傍において下向きに丸められる
   とともに、前記吸い込みノズル（１７）付近まで接近す
   ることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載
   のトンネルモジュール。 ６、前記上室（９）内において、前記吸い込みノズル（
   １７）の上を横切って、前記室システムの前記前壁及び
   前記後壁に対して平行に整流板（２３）が取り付けられ
   ていることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１つに
   記載のトンネルモジュール。 ７、２つの流入板（２４）が存在しており、この場合一
   方の流入板は、前記整流板（２３）と前記室システムの
   前記前壁との間で延びており、他方の流入板は、前記整
   流板（２３）と前記室システムの前記後壁との間で延び
   ていることを特徴とする請求項６に記載のトンネルモジ
   ュール。 ８、前記下方の間仕切り板（８）の前記開口（１３）の
   下方の、前記高性能フィルター （１５）の上方において、スポイラー（２９）が前記下
   室（１１）内に突入していることを特徴とする請求項１
   〜７のいずれか１つに記載のトンネルモジュール。 ９、前記上室（９）内においてはカバー（２１）と前記
   上方の間仕切り板（７）が、そして前記中間室（１０）
   内においては前記両方の間仕切り板（７、８）が消音部
   材（２２、２５、２６）によつて覆われていることを特
   徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載のトンネル
   モジュール。 １０、前記中間室（１０）の、前記送風機（１６）と反
   対側の半分領域において、前記消音部材（２６）の間に
   中間の消音部材（２７）が取り付けられており、この場
   合前記半分領域の前記消音部材（２６）の厚さは、前記
   送風機（１６）に面した半分領域の前記消音部材の厚さ
   の約半分であり、前記中間の消音部材（２７）は、前記
   下方の間仕切り板（８）の前記開口（１３）上に半分突
   き出ていることを特徴とする請求項９に記載のトンネル
   モジュール。 １１、前記中間の消音部材（２７）の端部に、そらせ板
   （２８）が取り付けられており、該そらせ板は、前記下
   方の間仕切り板（８）の前記開口（１３）を通して前記
   下室（１１）内に突入することを特徴とする請求項１０
   に記載のトンネルモジュール。 １２、前記各戻し空気口（１４）の前方に予備フィルタ
   ー（３０）が取り付けられていることを特徴とする請求
   項１〜１１のいずれか１つに記載のトンネルモジュール
   。 １６、前記戻し空気口（１４）の前方かつ前記予備フィ
   ルター（３０）の後方に、水冷式の空気冷却器（３１）
   が取り付けられていることを特徴とする請求項１２に記
   載のトンネルモジュール。 １４、トンネルモジユールの前記側壁（３、４）の前方
   に、２重壁（３６、３７）が取り付けられていることを
   特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載のトン
   ネルモジュール。 １５、１つの室システムが、前記上部分（１）の全幅に
   わたつて延びていることを特徴とする請求項１〜１４の
   いずれか１つに記載のトンネルモジユール。 １６、前記上部分（１）内には、２つの室システムが相
   並んで配置されていることを特徴とする請求項１〜１４
   のいずれか１つに記載のトンネルモジュール。