JPH02292168A - プラネタリ型研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、板状の圧電片をキャリアを用いて遊星運動さ
せて研磨するプラネタリ型研磨装置に係わり、特に上・
下定盤の改良に関する。

（発明の技術的背景） 従来、たとえば水晶娠動子の製造工程では、原石を結晶
軸に対して所定角度に切断した後、表面層の加工偏、加
工歪を除去するとともに所望の共娠周波数を得るように
所定の厚みまで研磨するようにしている。そして、この
ような研磨を行う研磨装置では、水晶片の厚み等の外形
形状が特性、特に周波数を決定することから欠損等を生
じることなく精密な研磨を行えることが要求されている
。

第３図、第４図は従来のプラネタリ型の４軸駆動の研磨
装置の一例を示す斜視図および研磨盤の部分の断面図で
、零体１に図示しない遊星運動機構部を設けて同軸に中
心から第１、第２、第３および第４の駆動軸２、３、４
、６を設けている。

そして本体ｌの上面に、下定盤６を配設している。この
下定盤６は、たとえば中央に透孔を有する円盤状の硬質
鋼材で、上記第３の駆動軸４によって回転駆動するよう
にしている。　　そして、この下定盤６の中心部を貫通
して内周に太陽ギア７、外周にインターナルギア８をそ
れぞれ配設している。この太陽ギア７は上記第２の駆動
軸３で回転駆動し、インターナルギア８は上記第４の駆
動軸５で回転駆動するようにしている。　　そして、上
記下定盤６に対面して上定盤９を設けている。この上定
盤９も円盤状の硬質鋼材で、第１の駆動軸２および駆動
ギア１０を介して回転駆動するようにしている。

なお上定盤９は、零体ｌから突設した支柱ｌ１の先端部
のエアシリンダｌ２によって昇降自在に保持している。

さらに上・下定盤６、９の間に配設したキャリアｌ３は
、研磨すべき被研磨材ｌ４、たとえば水晶片を保持する
ための複数の保持孔１３Ａを形成・した遊星歯車であり
、太陽ギア７およびインターナルギア８の双方に歯合し
て遊星運動を行う。

そして、太陽ギア７とインターナルギア８は同方向に、
上定盤９と下定盤６とは互いに反対方向に図示しない駆
動機構により回転駆動するようにしている。

したがって、水晶片ｌ４をキャリア１３の保持孔１３Ａ
に保持して上定盤９を下降させ、太陽ギア７、インター
ナルギア８、上・下定盤９、６を回転させると、水晶片
１４は上・下定盤９、６に押圧されて両主面を研磨する
ことができる。

なお、キャリア１３の厚みは、たとえば数１００ミクロ
ンで水晶片ｌ４の厚みよりも薄く設定し、かつ上・下定
盤９、６間には研磨剤を役人して研磨作業を行うように
している。

なお、キャリアｌ３に水晶片１４を保持して遊星運動す
る際に上・下定盤９、６の中心部分のみで研磨を行うと
定盤９、６の中心部分だけが偏摩耗し、それによって水
晶片１４も偏摩耗して正確に平行平面に研暦することが
できない。このため、キャリアｌ３に保持した水晶片ｌ
４の遊星運動の軌跡の外接円は上・下定盤９、６の外径
よりも大きく、すなわち、第４図に示す要部の断面図の
ように研磨作業中に水晶片ｌ４が最も外側に位置すると
きは水晶片１４の略半分弱の面積は定盤９、６の外側縁
から外れるように各部材の寸法を設定している。同様に
水晶片ｌ４が最も内側に位置するときは水晶片ｌ４の略
半分弱の面積は定盤９、６の内側縁から外れるように各
部材の寸法を設定している，したがって上・下定盤９、
６の外周紳とインターナルギア８の内周との間、および
上・下定盤９、６の内周縁と太陽ギアとの間にそれぞれ
ある程度の間隔Ｄ，　　Ｅを設けるようにしている。

（従来技術の問題点） しかしながら、このようなものでは研磨作業中にキャリ
アの上・下定盤から外れた部分に第４図に破線で示すよ
うにたわみを生じ易く、特に研磨作業の開始直後等のよ
うにキャリアに大きな応力が作用した際にキャリアの外
側に位置する部分が大きくたわんで極端な場合は圧電片
がキャリアの保持孔から飛び出して割れ、欠け等を生じ
て破損する不具合を生じる問題があった。

（発明の目的） 本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、キャリ
アにたわみを生じることなく、しかも被研磨物を正確に
平行平面に研磨することができるプラネタリ型研磨装置
を提供することを目的とするものである。

（発明の概要） 本発明は回転中心に太陽ギアを配設し、この外周にイン
ターナルギアを配設するとともに研磨すべき圧電片を保
持する多数の保持孔を有するキャリアを太陽ギアおよび
インターナルギアに歯合させて遊星運動するようにし該
キャリアに保持した圧電片の遊星運動の軌跡に外接する
円よりも大きな径を有する上・下定盤をキャリアの上・
下面に配設し、この上定盤および下定盤の対向面の内周
部分に上記キャリアの遊星運動の軌跡に内接する円を含
む環状の第１の溝を形成し外周部分に上記軌跡に外接す
る円を含む環状の第２の溝を形成したことを特徴とする
ものである。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を、第１図に示す研磨盤の部分
の断面図、第２図に示す要部の断面図を参即して詳細に
説明する。なお第３図ないし第５図と同一部材には同一
符号を付与してその説明を省略する。

図中２１は下定盤で、たとえば円盤状の硬質鋼材からな
りキャリアｌ３に保持した圧電片ｌ４の遊星運動する軌
跡に外接する円よりも大きな径を有し、その外周端部は
インターナルギア８の内周にわずかな間隙Ｓで対向し、
第３の駆動軸４によって回転駆動するようにしている。

そして２２は上定盤で、上記下定盤２ｌと同一形状、同
一材質で、第１の駆動軸２によって回転駆動するように
している。

そして上・下定盤２ｌ、２２の対向面の外周部分にキャ
リア１３に保持した圧電片１４の遊星運動の軌跡の外接
円を含んで、それぞれ第２の満２３を形成し、この溝２
３の外周にキャリア１３を両側面からガイドして平面に
維持させる保持部２４を形成している。

そして上・下定ａｉ２１、２２の対向面の内周部分にキ
ャリアｌ３に保持した圧電片ｌ４の遊星運動の軌跡の内
接円を含んで、それぞれ第１の溝２５を形成し、この溝
２５の内周にキャリア１３を両側面からガイドして平面
に維持させる保持部２６を形成している。

このようにすれば上・下定盤２ｌ、２２の外周部の溝２
３と内周部の溝２５との間の部位では本来の研暦盤とし
て作用し、満２３の外側の保持部２４および溝２５の内
周側の保持部２６ではキャリア１３のたわみを阻止して
平面に保つカイトとして作用する。

すなわち上・下定盤２２、２１の溝２３、２６の間の部
分では全面で研磨がなされるので偏摩耗を生じることが
なく被研磨物を正確に平行モ面に研磨を行うことができ
る。

そして、キャリア１３のたわみを阻止できるので研廖中
の圧電片１４が保持孔１３Ａから飛び出すような事故を
確実に防止することができる。

さらに溝２３の部分に研磨材を貯溜できるので研磨材が
無駄に排出されることがなく有効に利用することができ
る。

なお本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上記実施例では上・下研磨盤２２、２１は保持
部２４も含めて一体としているが、保持部の部分だけを
別体に製作し、これを本来の研磨盤の外周および、また
は内周に固着するようにしてもよい。

また、溝２４からあふれた研磨材が保持部２４、２６の
対向面を研磨することが望ましくない場合は、たとえば
溝２４、２６の下側に透孔を穿設して研磨材を排除する
ようにしてもよい。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明によればキャリアのたわみ
を生じることなく厚みの薄い被研磨物も正確に研磨する
ことができるプラネタリ型研磨装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す断面図、第２図
は上記実施例の研磨盤の部分の断面図、第３図は研磨装
置の一例を示す斜視図、第４図は従来の研磨装置の研磨
盤の部分の断面図、 第５図は従来の研Ｎ装置の要部の断面図である。 ｌ　３　・ ２　ｌ　・ ２２争 ２３、 ２４、 ２５　＠ ２６　・ インターナルギア キャリア 下定盤 上定盤 溝 保持部 第１図 第３図 第２ＥＩ 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 回転中心に配設した太陽ギアと、 この太陽ギアの外周に配設したインターナルギアと、 研磨すべき圧電片を保持する多数の保持孔を有し上記太
   陽ギアおよびインターナルギアに歯合して遊星運動する
   キャリアと、 このキャリアの上面および下面に配設し該キャリアに保
   持した圧電片の遊星運動の軌跡に外接する円よりも大き
   な径を有する上定盤および下定盤と、 この上定盤および下定盤の対向面に上記キャリアの遊星
   運動の軌跡に内接する円を含んで形成した環状の第１の
   溝および上記軌跡に外接する円を含んで形成した環状の
   第２の溝と、 を具備することを特徴とするプラネタリ型研磨装置。