JPH02290529A - 硬さセンサ - Google Patents
硬さセンサInfo
- Publication number
- JPH02290529A JPH02290529A JP1311427A JP31142789A JPH02290529A JP H02290529 A JPH02290529 A JP H02290529A JP 1311427 A JP1311427 A JP 1311427A JP 31142789 A JP31142789 A JP 31142789A JP H02290529 A JPH02290529 A JP H02290529A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hardness
- contact
- circuit
- piezoelectric element
- frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229940110387 zensa Drugs 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用部分野
この発明は、たとえば工業用ロボット装置などに組み込
むセンサであって、圧電素子の振動を用いて振動板に接
触した物体の硬さを検知する硬さセンサに関する。
むセンサであって、圧電素子の振動を用いて振動板に接
触した物体の硬さを検知する硬さセンサに関する。
（口）従来の技術
従来から人間の触覚の代りとして、導電性感圧ゴムや半
導体歪みゲージなどを使い、物体接触時の接触圧を電気
信号として取り出す触覚センサは知られている。
導体歪みゲージなどを使い、物体接触時の接触圧を電気
信号として取り出す触覚センサは知られている。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
しかるに従来のセンサでは、該センサと物体の接触の有
無は判断できても、接触した物体の硬さまでは検知でき
なかった。
無は判断できても、接触した物体の硬さまでは検知でき
なかった。
この発明は上記問題に鑑み、接触物体の硬さを検知でき
る硬さセンサの提供を目的とする。
る硬さセンサの提供を目的とする。
（二）問題点を解決するための手段
この発明は、物体に接触させる振動板上に圧電素子を有
する硬さセンサであって、上記圧電素子と共に自励発振
回路を構成して、物体接触時に発振周波数の変化情報を
出力する第１の回路手段と、上記発振周波数の変化情報
に基づいて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを
備えた硬さセンサを特徴とする。
する硬さセンサであって、上記圧電素子と共に自励発振
回路を構成して、物体接触時に発振周波数の変化情報を
出力する第１の回路手段と、上記発振周波数の変化情報
に基づいて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを
備えた硬さセンサを特徴とする。
さらに、この発明は、物体に接触させる振動板上に圧電
素子を有する硬さセンサであって、上記圧電素子に交流
電圧を印加して、物体接触時に出力電圧の変化情報を出
力する第２の回路手段と、上記出力電圧の変化情報に基
づいて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備え
た硬さセンサを特徴とする。
素子を有する硬さセンサであって、上記圧電素子に交流
電圧を印加して、物体接触時に出力電圧の変化情報を出
力する第２の回路手段と、上記出力電圧の変化情報に基
づいて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備え
た硬さセンサを特徴とする。
さらにまた、この発明は物体に接触させる振動板上に圧
電素子を有する硬さセンサであって、上記圧電素子と共
に自励発振回路を構成して、物体接触時に発振周波数の
変化情報を出力する第１の回路手段と、上記圧電素子に
交流電圧を印加して、物体接触時に出力電圧の変化情報
を出力する第２の回路手段と、前記発振周波数の変化情
報および上記出力電圧の変化情報との２つの情報に基づ
いて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備えた
硬さセンサを特徴とする。
電素子を有する硬さセンサであって、上記圧電素子と共
に自励発振回路を構成して、物体接触時に発振周波数の
変化情報を出力する第１の回路手段と、上記圧電素子に
交流電圧を印加して、物体接触時に出力電圧の変化情報
を出力する第２の回路手段と、前記発振周波数の変化情
報および上記出力電圧の変化情報との２つの情報に基づ
いて接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備えた
硬さセンサを特徴とする。
（ホ）作用
この発明によれば、圧電素子に所用の周波数の発振信号
または所用の交流電圧を印加して振動板を振動させてい
る状態から、振動板を物体に接触させると、その物体の
硬さに応じて圧電素子のインピーダンスが変化し、かつ
圧電素子の発振周波数または出力電圧が変化し、その変
化分を計量化することで物体硬さが検知される。
または所用の交流電圧を印加して振動板を振動させてい
る状態から、振動板を物体に接触させると、その物体の
硬さに応じて圧電素子のインピーダンスが変化し、かつ
圧電素子の発振周波数または出力電圧が変化し、その変
化分を計量化することで物体硬さが検知される。
（へ）発明の効果
従って、物体接触の有無のみではなく、物体硬さも同時
検知でき、しかも全体構造が簡単で、小型化も容易であ
るから、ロボット装置などへの組み込みが簡便に行なえ
る。
検知でき、しかも全体構造が簡単で、小型化も容易であ
るから、ロボット装置などへの組み込みが簡便に行なえ
る。
さらに、圧電素子の発振周波数と出力電圧との２つの変
化情報に基づいて、例えば、２変数近似式により変化の
情報を取出すときは、振動板と物体との接触圧力を一定
にしなくとも物体の硬さを正確に測定でき、硬さセンサ
の使用が容易となる。
化情報に基づいて、例えば、２変数近似式により変化の
情報を取出すときは、振動板と物体との接触圧力を一定
にしなくとも物体の硬さを正確に測定でき、硬さセンサ
の使用が容易となる。
（ト）実施例
以下、この発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図はセンサヘッド１の正面図であって、振動板２の
上に圧電素子３が貼り付けられている。
上に圧電素子３が貼り付けられている。
圧電素子３はその下面にアース電極４が設けられ、上面
に２つの電極５，６が設けられている。
に２つの電極５，６が設けられている。
第２図は第１図のセンサヘッド１を用い、物体硬さ検知
のための信号処理を周波数で実行する実施例回路を示し
、上記２つの電極５．６のうち、一方６を帰還電極とし
て用いて、増幅器７を挟んで両電極５．６が自励発振回
路８を構成するように相互をむすんでいる。
のための信号処理を周波数で実行する実施例回路を示し
、上記２つの電極５．６のうち、一方６を帰還電極とし
て用いて、増幅器７を挟んで両電極５．６が自励発振回
路８を構成するように相互をむすんでいる。
第２図回路では、電源を没入すると、増幅器７から発生
するトリガ信号が電極６を経て圧電素子３に印加され、
該素子は逆圧電効果にて変位を起こす。すると圧電効果
で電極５から圧電が発生し、該圧電が増幅器７で増幅さ
れ、電極６から圧電素子３にフィードバックされること
により自励発振が成立する。また、そのフィードバック
信号は周波数カウント回路９に送られ、発振周波数がカ
ウントされる。
するトリガ信号が電極６を経て圧電素子３に印加され、
該素子は逆圧電効果にて変位を起こす。すると圧電効果
で電極５から圧電が発生し、該圧電が増幅器７で増幅さ
れ、電極６から圧電素子３にフィードバックされること
により自励発振が成立する。また、そのフィードバック
信号は周波数カウント回路９に送られ、発振周波数がカ
ウントされる。
振動板２に物体が接触すると、接触物体の硬さに応じて
圧電素子３のインピーダンスが変わり、発振周波数も変
化する。変化した周波数は周波数カウント回路９で検出
され、その値が周波数一硬さ変換回路１０で硬さの値に
変化されたのち、該硬さが表示器１１に表示される。
圧電素子３のインピーダンスが変わり、発振周波数も変
化する。変化した周波数は周波数カウント回路９で検出
され、その値が周波数一硬さ変換回路１０で硬さの値に
変化されたのち、該硬さが表示器１１に表示される。
第３図は物体硬さ検知のだめの信号処理を素子出力電圧
で実行する実施例回路を示し、上記２つの電極５．６の
うち、電極５に発振器１２から入力信号として交流電圧
が印加され、他方電極６から出力電圧が取り出される。
で実行する実施例回路を示し、上記２つの電極５．６の
うち、電極５に発振器１２から入力信号として交流電圧
が印加され、他方電極６から出力電圧が取り出される。
即ち入力電圧を加えると、圧電素子３は逆圧電効果で変
位し、圧電効果により電極６から出力電圧が発生する。
位し、圧電効果により電極６から出力電圧が発生する。
振動板２に物体が接触すると、接触物体の硬さに応じて
圧電素子３のインピーダンスが変わり、電極からの出力
レベルも変化する。この変化した出力電圧は増幅器１３
で増幅され、次に整流平滑回路１４にて直流電圧レベル
に変換されたのち、そのレベル値が電圧一硬さ変換回路
１５で硬さの値に変換されて、該硬さが表示器ｌ１に表
示される。
圧電素子３のインピーダンスが変わり、電極からの出力
レベルも変化する。この変化した出力電圧は増幅器１３
で増幅され、次に整流平滑回路１４にて直流電圧レベル
に変換されたのち、そのレベル値が電圧一硬さ変換回路
１５で硬さの値に変換されて、該硬さが表示器ｌ１に表
示される。
なお、第２図および第３図における物体接触による発振
周波数の変化、出力電圧の変化が、図示していないが物
体接触信号に利用されることは勿論である。
周波数の変化、出力電圧の変化が、図示していないが物
体接触信号に利用されることは勿論である。
第４図に示す回路は、前述の第２図で示した自励発振周
波数の変化から硬さを検知する自励発振周波数変化検知
回路と、第３図に示す出力レベルの変化から硬さを検知
する出力レベル変化検知回路との２回路併用の複合回路
で構成した硬さセンサを示す。
波数の変化から硬さを検知する自励発振周波数変化検知
回路と、第３図に示す出力レベルの変化から硬さを検知
する出力レベル変化検知回路との２回路併用の複合回路
で構成した硬さセンサを示す。
すなわち、センサヘッド１、増幅器１６、周波数カウン
タ９ａ，周波数一電圧コンバータ１７、Ａ−Ｄコンバー
タ１８が、第２図で既に説明した自励発振周波数変化検
知回路に対応し、圧電素子３と増幅器１６とによって自
励発振回路８を形成し、センサヘッド１が物体と接触し
たときの発振周波数の変化は周波数カウンタ９ａで検出
して、周波数一電圧コンバータ１７でレベル出力に変換
し、さらに、このレベル出力をＡ−Ｄコンバータ１８で
Ａ−Ｄ変換して、硬さの値を示す情報Ａとして出力する
ことは、先の第２図で示した回路構成と等価である。
タ９ａ，周波数一電圧コンバータ１７、Ａ−Ｄコンバー
タ１８が、第２図で既に説明した自励発振周波数変化検
知回路に対応し、圧電素子３と増幅器１６とによって自
励発振回路８を形成し、センサヘッド１が物体と接触し
たときの発振周波数の変化は周波数カウンタ９ａで検出
して、周波数一電圧コンバータ１７でレベル出力に変換
し、さらに、このレベル出力をＡ−Ｄコンバータ１８で
Ａ−Ｄ変換して、硬さの値を示す情報Ａとして出力する
ことは、先の第２図で示した回路構成と等価である。
さらに、発振器１２ａ，センサヘッド１、増幅器１６、
整流回路１４ａ１平滑回路１４ｂ，ＡＤコンバータ１８
が、第３図で既に説明した出力レベル変化検知回路に対
応し、センサヘッド１が物体と接触すると、発振器１２
ａの印加による交流電圧で生ずる出力に変化が生じ、こ
の出力レベルの変化は、整流回路１４ａで整流し、平滑
回路１４ｂで平滑し、Ａ−Ｄコンバータ１８でＡ−Ｄ変
換して、硬さの値を示す情報Ｂとして出力することは、
先の第３図で示した回路構成と等価である。
整流回路１４ａ１平滑回路１４ｂ，ＡＤコンバータ１８
が、第３図で既に説明した出力レベル変化検知回路に対
応し、センサヘッド１が物体と接触すると、発振器１２
ａの印加による交流電圧で生ずる出力に変化が生じ、こ
の出力レベルの変化は、整流回路１４ａで整流し、平滑
回路１４ｂで平滑し、Ａ−Ｄコンバータ１８でＡ−Ｄ変
換して、硬さの値を示す情報Ｂとして出力することは、
先の第３図で示した回路構成と等価である。
上述の２つの回路、すなわち、自励発振周波数変化検知
回路と、出力レベル変化検知回路とは、アナログスイッ
チ回路１９で連動操作される３個のスイッチＳＷ１，Ｓ
Ｗ２．ＳＷ３により切換えられ、さらに、上述のアナロ
グスイッチ回路１９はタイマ２０により所定時間毎に切
換えられる。
回路と、出力レベル変化検知回路とは、アナログスイッ
チ回路１９で連動操作される３個のスイッチＳＷ１，Ｓ
Ｗ２．ＳＷ３により切換えられ、さらに、上述のアナロ
グスイッチ回路１９はタイマ２０により所定時間毎に切
換えられる。
演算回路２１はタイマ２０を駆動制御する他に、上述の
各回路から出力される２つの硬さの情報Ａ，Ｂとに基づ
き、２変数近似式Ｆによって硬さＨを求める。すなわち
、 Ｈ＝Ｆ （Ａ，Ｂ） ・・・・・・・・・・川・・・
・・・（１） 式なる関数で表される。
各回路から出力される２つの硬さの情報Ａ，Ｂとに基づ
き、２変数近似式Ｆによって硬さＨを求める。すなわち
、 Ｈ＝Ｆ （Ａ，Ｂ） ・・・・・・・・・・川・・・
・・・（１） 式なる関数で表される。
なお、この場合、センサヘッド１と物体との接触圧力は
任意の値でよい。
任意の値でよい。
前述の２変数近似式Ｆは、例えば、下記のようにべき級
数をあてはめ、２次の項まで展開する。
数をあてはめ、２次の項まで展開する。
＋Ｃ，Ａ２Ｂ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・
（２）式そして、硬さの異なった物体で、接触圧力を変
化させた９個０１〜Ｃ９の情報Ａ，Ｂを上述の（２）式
に代入して連立９元方程式を解き、求まったＣＩ−Ｃ９
から前述の（１）式を決定する。
（２）式そして、硬さの異なった物体で、接触圧力を変
化させた９個０１〜Ｃ９の情報Ａ，Ｂを上述の（２）式
に代入して連立９元方程式を解き、求まったＣＩ−Ｃ９
から前述の（１）式を決定する。
なお、１０個以上の情報Ａ，Ｂから最小２乗法により０
１〜Ｃ９を求め、前述の（１）式を決定するもよい。
１〜Ｃ９を求め、前述の（１）式を決定するもよい。
これらによって求められた硬さは表示器１１に表示され
る。
る。
このように複合回路で硬さセンサを構成した場合、振動
板２と物体との接触圧力を一定にしなくとも硬さを正確
に測定することができ、硬さセンサの使用が容易となる
。
板２と物体との接触圧力を一定にしなくとも硬さを正確
に測定することができ、硬さセンサの使用が容易となる
。
以上の説明のように、この発明センサは物体接触の有無
を識別する触覚センサとして機能するだけでなく、接触
物体の硬さを識別するセンサとして働く。
を識別する触覚センサとして機能するだけでなく、接触
物体の硬さを識別するセンサとして働く。
この発明の構成と上述の実施例との対応において、
この発明の振動板は、実施例の振動板２に対応し、
圧電素子は、圧電素子３に対応し、
自励発振回路は、自励発振回路８に対応し、周波数変化
から物体硬さを検知する第１の回路手段は、周波数カウ
ント回路９．９ａ，周波数一硬さ変換回路１０、周波数
一電圧コンバータ１７、Ａ−Ｄコンバータ１８に対応し
、 交流電圧を印加する第２の回路手段は、発振器１２，１
２ａに対応し、 電圧変化から接触物体硬さを検知する硬さ検知手段は、
整流平滑回路１４、電圧一硬さ変換回路１５、Ａ−Ｄコ
ンバータ１８に対応するも、この発明は上述の実施例の
構成のみに限定されるものではない。
から物体硬さを検知する第１の回路手段は、周波数カウ
ント回路９．９ａ，周波数一硬さ変換回路１０、周波数
一電圧コンバータ１７、Ａ−Ｄコンバータ１８に対応し
、 交流電圧を印加する第２の回路手段は、発振器１２，１
２ａに対応し、 電圧変化から接触物体硬さを検知する硬さ検知手段は、
整流平滑回路１４、電圧一硬さ変換回路１５、Ａ−Ｄコ
ンバータ１８に対応するも、この発明は上述の実施例の
構成のみに限定されるものではない。
図面はこの発明の実施例を示し、
第１図はセンサヘッドの構成図、
第２図はセンサの一実施例回路図、
第３図はセンサの他の実施例の回路図、第４図はセンサ
の他の実施例の複合回路図である。 ２・・・振動板 ３・・・圧電素子 ５，６・・・電 極 ８・・・自励発振回路 ９，９ａ・・・周波数カウント回路 １０・・・周波数一硬さ変換回路 １２，１２ａ・・・発振器 １４．１４ａ， １４ｂ−・・整流平滑回路１５・・
・電圧一硬さ変換回路 １８・・・Ａ−Ｄコンバータ ２１・・・演算回路 第３図 ぜンサの池ｆ）臭加（ＩＪｆ）凪野図
の他の実施例の複合回路図である。 ２・・・振動板 ３・・・圧電素子 ５，６・・・電 極 ８・・・自励発振回路 ９，９ａ・・・周波数カウント回路 １０・・・周波数一硬さ変換回路 １２，１２ａ・・・発振器 １４．１４ａ， １４ｂ−・・整流平滑回路１５・・
・電圧一硬さ変換回路 １８・・・Ａ−Ｄコンバータ ２１・・・演算回路 第３図 ぜンサの池ｆ）臭加（ＩＪｆ）凪野図
Claims (3)
- （１）物体に接触させる振動板上に圧電素子を有する硬
さセンサであって、 上記圧電素子と共に自励発振回路を構成し て、物体接触時に発振周波数の変化情報を 出力する第１の回路手段と、 上記発振周波数の変化情報に基づいて接触 物体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備 えた 硬さセンサ。 - （２）物体に接触させる振動板上に圧電素子を有する硬
さセンサであって、 上記圧電素子に交流電圧を印加して、物体 接触時に出力電圧の変化情報を出力する第 ２の回路手段と、 上記出力電圧の変化情報に基づいて接触物 体の硬さを検知する硬さ検知手段とを備え 硬さセンサ。 - （３）物体に接触させる振動板上に圧電素子を有する硬
さセンサであって、 上記圧電素子と共に自励発振回路を構成し て、物体接触時に発振周波数の変化情報を 出力する第１の回路手段と、 上記圧電素子に交流電圧を印加して、物体 接触時に出力電圧の変化情報を出力する第 ２の回路手段と、 前記発振周波数の変化情報および上記出力 電圧の変化情報との２つの情報に基づいて 接触物体の硬さを検知する硬さ検知手段と を備えた 硬さセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1311427A JP2814626B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-11-29 | 硬さセンサ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1-32321 | 1989-02-10 | ||
| JP3232189 | 1989-02-10 | ||
| JP1311427A JP2814626B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-11-29 | 硬さセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02290529A true JPH02290529A (ja) | 1990-11-30 |
| JP2814626B2 JP2814626B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=26370863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1311427A Expired - Fee Related JP2814626B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-11-29 | 硬さセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2814626B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261915A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサプローブ及び触覚センサ |
| US5766137A (en) * | 1995-09-20 | 1998-06-16 | Axiom Co., Ltd. | Frequency deviation detecting circuit and measuring apparatus using the frequency deviation detecting circuit |
| US5911694A (en) * | 1996-08-22 | 1999-06-15 | Olympus Optical Co., Ltd. | Endoceliac physical quantity measuring apparatus having excellent measuring resolution |
| WO2001084135A1 (fr) * | 2000-04-28 | 2001-11-08 | School Juridical Person Nihon University | Instrument de mesure de proprietes physiques sans contact |
| EP1604613A1 (en) * | 2003-02-20 | 2005-12-14 | Nihon University | Catheter sensor for measuring hardness |
| JP2007268620A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Toshiba Corp | ロボット用触覚センサ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01189583A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-07-28 | Sadao Omata | 振動子を利用した触覚センサー |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3572097A (en) | 1968-05-07 | 1971-03-23 | Claud Kleesattel | Resonant sensing devices and methods |
-
1989
- 1989-11-29 JP JP1311427A patent/JP2814626B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01189583A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-07-28 | Sadao Omata | 振動子を利用した触覚センサー |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08261915A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサプローブ及び触覚センサ |
| US5766137A (en) * | 1995-09-20 | 1998-06-16 | Axiom Co., Ltd. | Frequency deviation detecting circuit and measuring apparatus using the frequency deviation detecting circuit |
| US5911694A (en) * | 1996-08-22 | 1999-06-15 | Olympus Optical Co., Ltd. | Endoceliac physical quantity measuring apparatus having excellent measuring resolution |
| WO2001084135A1 (fr) * | 2000-04-28 | 2001-11-08 | School Juridical Person Nihon University | Instrument de mesure de proprietes physiques sans contact |
| US6807861B2 (en) | 2000-04-28 | 2004-10-26 | School Juridical Person Nihon University | Instrument for noncontact measurement of physical property |
| EP1604613A1 (en) * | 2003-02-20 | 2005-12-14 | Nihon University | Catheter sensor for measuring hardness |
| EP1604613A4 (en) * | 2003-02-20 | 2006-08-16 | Univ Nihon | CATHETER SENSOR FOR MEASURING HARDNESS |
| JP2007268620A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Toshiba Corp | ロボット用触覚センサ装置 |
| JP4592632B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2010-12-01 | 株式会社東芝 | ロボット用触覚センサ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2814626B2 (ja) | 1998-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5811588B2 (ja) | 複合センサ | |
| EP1286250A3 (en) | Input apparatus for performing input operation corresponding to indication marks and coordinate input operation on the same operational plane | |
| ATE517426T1 (de) | Kapazitiver messwandler und anordnung | |
| JPH02290529A (ja) | 硬さセンサ | |
| JP2003272463A (ja) | スイッチ装置 | |
| JP2004077346A (ja) | 触覚センサとそれを用いた表面形態計測システム並びに表面形態計測方法 | |
| JP2002031574A (ja) | 触覚センサ | |
| EP0803704A3 (en) | Vibration gyroscope | |
| JPH01189583A (ja) | 振動子を利用した触覚センサー | |
| JPH01178836A (ja) | 圧力分布測定装置 | |
| JP5033489B2 (ja) | 静電容量変化検出回路 | |
| JPS62238417A (ja) | 多機能マトリツクスセンサ | |
| JP3730689B2 (ja) | センサ及びモノリシック圧電振動子 | |
| JPS5847383Y2 (ja) | レベル検知器 | |
| JP3041167B2 (ja) | 操作レバー | |
| JPH03179273A (ja) | 表面電位測定装置 | |
| JPH0238935A (ja) | 接触荷重計測装置 | |
| JPH0327208U (ja) | ||
| JPH01138468A (ja) | 電位センサ | |
| JPS60198627A (ja) | ペンダウン検出回路 | |
| JPH02136654U (ja) | ||
| JPS6232370A (ja) | 表面電位検出装置 | |
| JPS61203323U (ja) | ||
| CN110455375A (zh) | 一种液位检测传感器、方法及设备 | |
| Decker et al. | United States patent |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |