JPH02283682A - セラミックスのメタライズ方法 - Google Patents
セラミックスのメタライズ方法Info
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- JPH02283682A JPH02283682A JP10424889A JP10424889A JPH02283682A JP H02283682 A JPH02283682 A JP H02283682A JP 10424889 A JP10424889 A JP 10424889A JP 10424889 A JP10424889 A JP 10424889A JP H02283682 A JPH02283682 A JP H02283682A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/51—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal
- C04B41/5144—Metallising, e.g. infiltration of sintered ceramic preforms with molten metal with a composition mainly composed of one or more of the metals of the iron group
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、セラミックスのメタライズ方法に関するもの
であり、特に極めて簡単な方法でセラミックスをメタラ
イジングする方法に係るものである。
であり、特に極めて簡単な方法でセラミックスをメタラ
イジングする方法に係るものである。
（従来の技術）
従来、セラミックスの、メタライズ法としては、活性金
属法とか、Ｍｏ−Ｍｎ法などが知られている。Ｍｏ−Ｍ
ｎ法は、ＭｏとＭｎ微粉末をペースト状にしてセラミッ
クスの表面に塗布し、高温焼結したのち、Ｎｉメツキを
施す。この方法を採用すれば、高い真空封止性かえられ
るが、製造工程が長く、かつ高価である。一方、比較的
安価な方法として、鋼の化合物とＳ ｉ０２ ＋ カリ
オンなどを混合したペーストを、セラミックス表面に塗
布し、酸化雰囲気中で焼き付け、しかる後に還元処理す
ることが特開昭６０−２１８Ｈ号、同８１−８８４８８
号などに開示されている。この方法も、２段階の処理が
必要でありコスト高になる。さらに、Ｎｉ塩化物と、フ
ッソ化合物を混合し、還元処理する方法が、特開昭６１
−１３２５７８号に開示されているが、これは、Ｎｉ層
と、セラミックスの間に間隙が生じ、真空封止性かえら
れない。
属法とか、Ｍｏ−Ｍｎ法などが知られている。Ｍｏ−Ｍ
ｎ法は、ＭｏとＭｎ微粉末をペースト状にしてセラミッ
クスの表面に塗布し、高温焼結したのち、Ｎｉメツキを
施す。この方法を採用すれば、高い真空封止性かえられ
るが、製造工程が長く、かつ高価である。一方、比較的
安価な方法として、鋼の化合物とＳ ｉ０２ ＋ カリ
オンなどを混合したペーストを、セラミックス表面に塗
布し、酸化雰囲気中で焼き付け、しかる後に還元処理す
ることが特開昭６０−２１８Ｈ号、同８１−８８４８８
号などに開示されている。この方法も、２段階の処理が
必要でありコスト高になる。さらに、Ｎｉ塩化物と、フ
ッソ化合物を混合し、還元処理する方法が、特開昭６１
−１３２５７８号に開示されているが、これは、Ｎｉ層
と、セラミックスの間に間隙が生じ、真空封止性かえら
れない。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、上記したような従来の問題点を解決するもの
であって、機密性を保持し、しかも安価なセラミックス
のメタライジング法を提供するものである。
であって、機密性を保持し、しかも安価なセラミックス
のメタライジング法を提供するものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、金属成分比で、Ｎｌを５０ｗｔ％以上含有す
る複合酸化物粉末のペーストを、セラミックス表面に塗
布し、乾燥後、ｌＯ≦Ｈ２／Ｈ２０またはｌｏ−２≦Ｃ
Ｏ／Ｃｏ に、調整した雰囲気で焼き付けることを特
徴とするセラミックスのメタライズ方法である。
る複合酸化物粉末のペーストを、セラミックス表面に塗
布し、乾燥後、ｌＯ≦Ｈ２／Ｈ２０またはｌｏ−２≦Ｃ
Ｏ／Ｃｏ に、調整した雰囲気で焼き付けることを特
徴とするセラミックスのメタライズ方法である。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明が対象とするセラミックスは、従来用いられてい
る酸化物系、窒化物系、炭化物系などのいずれでも良く
、特に制限されない。
る酸化物系、窒化物系、炭化物系などのいずれでも良く
、特に制限されない。
本発明は、これらのセラミックスにメタライズ処理をす
るのであるが、これは次の方法によって行う。すなわち
まずＮｉＯとそれ以外の金属酸化物とを混合溶融し、金
属比でＮｉが５０ｖｔ％以上となるように調整する。Ｎ
ｉが５０％未満の場合はセラミックス表面を充分に被覆
できなくなる。好檀。それ以外の酸化 物成分としては、ＡＮ ＯＭ ｎ Ｏ、Ｓ 五〇 ２
。
るのであるが、これは次の方法によって行う。すなわち
まずＮｉＯとそれ以外の金属酸化物とを混合溶融し、金
属比でＮｉが５０ｖｔ％以上となるように調整する。Ｎ
ｉが５０％未満の場合はセラミックス表面を充分に被覆
できなくなる。好檀。それ以外の酸化 物成分としては、ＡＮ ＯＭ ｎ Ｏ、Ｓ 五〇 ２
。
２ ３ ”
Ｂ ＯＣａｂ、ＭｇＯ，ＴｉＯ２などがあり、２ ３
゛ これらは９００℃〜１４５０℃の温度範囲の融点を持ち
、Ｎｉより低い酸化ポテンシャルをもつものからえらば
れる。前記溶融した複合金属酸化物は冷却後、粉砕し、
粉末化する。得られた粉末を有機ビークルと共に混練し
てペースト状にし、これをセラミックス表面に塗布した
のち乾燥する。この乾燥した後、本発明はそのセラミッ
クス表面の複合金属酸化物を特殊雰囲気中にて焼き付け
る。すなわち、Ｉ Ｏ−２≦Ｈ／ＨＯまたは１０−２≦
Ｃｏ／ＣＯ２に調整した雰囲気で焼き付けることにより
、塗布された複合酸化物から、Ｎｉが析出し、そのあと
残った複合酸化物が、Ｎｌとセラミックスとの間を埋め
ると共にセラミックスと反応する。
゛ これらは９００℃〜１４５０℃の温度範囲の融点を持ち
、Ｎｉより低い酸化ポテンシャルをもつものからえらば
れる。前記溶融した複合金属酸化物は冷却後、粉砕し、
粉末化する。得られた粉末を有機ビークルと共に混練し
てペースト状にし、これをセラミックス表面に塗布した
のち乾燥する。この乾燥した後、本発明はそのセラミッ
クス表面の複合金属酸化物を特殊雰囲気中にて焼き付け
る。すなわち、Ｉ Ｏ−２≦Ｈ／ＨＯまたは１０−２≦
Ｃｏ／ＣＯ２に調整した雰囲気で焼き付けることにより
、塗布された複合酸化物から、Ｎｉが析出し、そのあと
残った複合酸化物が、Ｎｌとセラミックスとの間を埋め
ると共にセラミックスと反応する。
これによって表面がＮｉで被覆されたセラミツクスとな
る。雰囲気を１０ ≦Ｈ２／ Ｈ２０または１０−２
≦Ｃｏ／Ｃｏ に限定したのは、これを外れるとＮｉ
Ｏが還元されないからである。
る。雰囲気を１０ ≦Ｈ２／ Ｈ２０または１０−２
≦Ｃｏ／Ｃｏ に限定したのは、これを外れるとＮｉ
Ｏが還元されないからである。
上記した雰囲気での焼き付は温度は、ＮｉＯを除いた複
合酸化物の融点以上、好ましくは９００℃以上であって
Ｎｉが溶融しない温度すなわち１４５３℃以下が好まし
い。酸化物の融点以下では、酸化物が流れずＮｉとセラ
ミックスの間に隙間を生じ真空封止性がたもたれないし
、最後のろう付け（通常９００℃以下の温度で行われる
）のさい、焼き付けによって形成されたガラスが再溶融
するからである。また、１４５３℃を超えると、Ｎｉが
溶融し熱処理中に球状に凝集して良好なメタライズかえ
られないためである。
合酸化物の融点以上、好ましくは９００℃以上であって
Ｎｉが溶融しない温度すなわち１４５３℃以下が好まし
い。酸化物の融点以下では、酸化物が流れずＮｉとセラ
ミックスの間に隙間を生じ真空封止性がたもたれないし
、最後のろう付け（通常９００℃以下の温度で行われる
）のさい、焼き付けによって形成されたガラスが再溶融
するからである。また、１４５３℃を超えると、Ｎｉが
溶融し熱処理中に球状に凝集して良好なメタライズかえ
られないためである。
（実 施 例）
以下に本発明の詳細な説明する。
Ｎ Ｉ Ｏ： ’ｒｏｇ、 Ａｊ！ ２０３： ４ ｇ
ＳＭ ｎ Ｏ： １３．５ｇ １Ｓ ｉ ０２ ： １
２．５ｇよりなる金属酸化物を溶融し、冷却後粉砕した
（このとき粒径は２５−以下である。）。粉砕した粉末
を有機ビークル（テルピネオール５７ｇとエチルセルロ
ース３ｇ：の混合物）と混練してペースト状にし、これ
をアルミナセラミックス（ＡｆＩ２０３含有量９２％）
表面に塗布−これをＨ２／Ｈ２Ｏ−１０に調整した雰囲
気中で１３５０℃６０分間加熱焼成した。
ＳＭ ｎ Ｏ： １３．５ｇ １Ｓ ｉ ０２ ： １
２．５ｇよりなる金属酸化物を溶融し、冷却後粉砕した
（このとき粒径は２５−以下である。）。粉砕した粉末
を有機ビークル（テルピネオール５７ｇとエチルセルロ
ース３ｇ：の混合物）と混練してペースト状にし、これ
をアルミナセラミックス（ＡｆＩ２０３含有量９２％）
表面に塗布−これをＨ２／Ｈ２Ｏ−１０に調整した雰囲
気中で１３５０℃６０分間加熱焼成した。
材（ＢＡｇ−８）を用いてコバール合金と接合した。こ
の時の接合温度は８４０℃であった。接合部の強度を測
定したところ平均８０ＭＰａの強度が得られまた真空封
止性もＩ Ｘ １０” Ｔｏｒｒ−Ω／ ｓｅｅが保証
できた。
の時の接合温度は８４０℃であった。接合部の強度を測
定したところ平均８０ＭＰａの強度が得られまた真空封
止性もＩ Ｘ １０” Ｔｏｒｒ−Ω／ ｓｅｅが保証
できた。
（発明の効果）
上述したように、本発明は極めて緻密なＮｉを主体とす
るメタライズ層を得ることができ、セラミックス或は金
属との接合において高い強度と共にすぐれた真空封止性
を付与することが可能となり、その工業的効果は極めて
大きい。
るメタライズ層を得ることができ、セラミックス或は金
属との接合において高い強度と共にすぐれた真空封止性
を付与することが可能となり、その工業的効果は極めて
大きい。
復代理人 弁理士 田村弘明
Claims (1)
- 金属成分比でＮｉを５０重量％以上含有する複合酸化物
粉末のペーストをつくり、このペーストをセラミックス
表面に塗布し乾燥後、１０＾−＾２≦Ｈ＿２／Ｈ＿２Ｏ
または１０＾−＾２≦ＣＯ／ＣＯ＿２に調整した雰囲気
中で焼き付けることを特徴とするセラミックスのメタラ
イズ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424889A JPH02283682A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | セラミックスのメタライズ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10424889A JPH02283682A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | セラミックスのメタライズ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02283682A true JPH02283682A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14375636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10424889A Pending JPH02283682A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | セラミックスのメタライズ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02283682A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698590A3 (en) * | 1994-08-23 | 1997-04-16 | At & T Corp | Metallization of ceramic materials by applying an adhesive, reducible layer |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP10424889A patent/JPH02283682A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698590A3 (en) * | 1994-08-23 | 1997-04-16 | At & T Corp | Metallization of ceramic materials by applying an adhesive, reducible layer |
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