JPH0227747U - - Google Patents
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- JPH0227747U JPH0227747U JP10562288U JP10562288U JPH0227747U JP H0227747 U JPH0227747 U JP H0227747U JP 10562288 U JP10562288 U JP 10562288U JP 10562288 U JP10562288 U JP 10562288U JP H0227747 U JPH0227747 U JP H0227747U
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- JP
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- drain
- plane
- thickness direction
- channel region
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第1図Aは一実施例を示す要部平面図、同図B
は同図AのA―A′線位置での断面図、同図Cは
同図AのB―B′線位置での断面図である。第2
図Aから同図Hは一実施例の製造方法を示す断面
図である。 2……シリコン基板、6,16……ソース、8
,18……チヤネル領域、10,20……ドレイ
ン。
は同図AのA―A′線位置での断面図、同図Cは
同図AのB―B′線位置での断面図である。第2
図Aから同図Hは一実施例の製造方法を示す断面
図である。 2……シリコン基板、6,16……ソース、8
,18……チヤネル領域、10,20……ドレイ
ン。
Claims (1)
- ソースとドレインが半導体基板の厚さ方向の異
なる層に形成され、ソース、ドレイン及びチヤネ
ル領域が平面上で重なり部分をもち、ソース又は
ドレインで下層側の拡散領域が基板表面方向に張
り出している縦型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10562288U JPH0227747U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10562288U JPH0227747U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0227747U true JPH0227747U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31338403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10562288U Pending JPH0227747U (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0227747U (ja) |
-
1988
- 1988-08-09 JP JP10562288U patent/JPH0227747U/ja active Pending