JPH0455142U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455142U JPH0455142U JP9614990U JP9614990U JPH0455142U JP H0455142 U JPH0455142 U JP H0455142U JP 9614990 U JP9614990 U JP 9614990U JP 9614990 U JP9614990 U JP 9614990U JP H0455142 U JPH0455142 U JP H0455142U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- wafer
- semiconductor wafer
- utility
- scope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Dicing (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例の構成図、第２
図は本考案の第２の実施例の構成図、第３図は本
考案の第３の実施例の構成図、第４図は本実施例
のスクライブ後の外観図、第５図は従来のウエハ
の断面図、第６図は従来のウエハの上面図、第７
図はスクライブ動作説明図、第８図は従来のスク
ライブ後の絶縁膜のめくれ発生図である。 １……半導体ウエハ、２……絶縁膜、３……ス
クライブライン、４……スクライブ領域、５……
ボンデイングパツド、６，７……絶縁膜のめくれ
、１４……絶縁膜のスリツト、１５……スクライ
ブ中心線。
図は本考案の第２の実施例の構成図、第３図は本
考案の第３の実施例の構成図、第４図は本実施例
のスクライブ後の外観図、第５図は従来のウエハ
の断面図、第６図は従来のウエハの上面図、第７
図はスクライブ動作説明図、第８図は従来のスク
ライブ後の絶縁膜のめくれ発生図である。 １……半導体ウエハ、２……絶縁膜、３……ス
クライブライン、４……スクライブ領域、５……
ボンデイングパツド、６，７……絶縁膜のめくれ
、１４……絶縁膜のスリツト、１５……スクライ
ブ中心線。
Claims (1)
- 絶縁膜でコーテイングされる半導体ウエハにお
いて、該ウエハのスクライブ領域内に絶縁膜のな
い部分を有することを特徴とする半導体ウエハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9614990U JPH0455142U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9614990U JPH0455142U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455142U true JPH0455142U (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=31835443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9614990U Pending JPH0455142U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455142U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012070004A (ja) * | 2011-12-21 | 2012-04-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP9614990U patent/JPH0455142U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012070004A (ja) * | 2011-12-21 | 2012-04-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |